CN104843626B - 化学品中央共酸系统用连接装置 - Google Patents
化学品中央共酸系统用连接装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104843626B CN104843626B CN201410056543.5A CN201410056543A CN104843626B CN 104843626 B CN104843626 B CN 104843626B CN 201410056543 A CN201410056543 A CN 201410056543A CN 104843626 B CN104843626 B CN 104843626B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fixed body
- chemicals
- threaded portion
- fluid passage
- acid system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Abstract
本发明提供一种化学品中央共酸系统用连接装置，包括：固定体，固定体中沿轴向设有液体通道，液体通道的第一端用于连通供液管道或回液管道，液体通道第二端用于与化学品盛装桶内连通；旋转体，套设在固定体上并能够相对于固定体转动，旋转体包括操作部分和螺纹部分，螺纹部分的第一端与操作部分朝向所述液体通道的第二端的端部连接，螺纹部分用于与化学品盛装桶的端口螺纹连接，操作部分与螺纹部分之间设有第一密封圈，螺纹部分的第二端与固定体之间设有第二密封圈；驱动装置，驱动装置用于驱动旋转体沿固定体的轴向运动，使螺纹部分的第二端与固定体配合压紧第二密封圈，以在旋转体与固定体之间形成密封。本发明可提高密封效果。
Description
技术领域
本发明涉及半导体生产设备技术，尤其涉及一种化学品中央共酸系统用连接装置。
背景技术
半导体生产所需的化学品要求是高洁净度的，一般生产所需的化学品大多是通过化学品中央共酸系统供应到使用机台的。化学品中央共酸系统中的化学品都是专门的生产厂商提供的使用200升的化学品盛装桶盛装的，故化学品中央共酸系统与化学品盛装桶之间必须有连接装置才能顺利的将化学品输送到使用机台。
为了保证化学品盛装桶内的化学品的品质要求化学品盛装桶内的化学品不能与空气接触，需氮封供应，化学品中央共酸系统为了能进行取样和检查系统本身的状态，配备了供液管道、回液管道及补气管道，供液管道通过供液端连接装置与化学品盛装桶连接，回液管道及补气管道通过回液端连接装置与化学品盛装桶连接，其中需要通过补气管道向化学品盛装桶内补充氮气以保证化学品盛装桶内正压，以保证化学品中央共酸系统的泵浦运行时，容器不会因为内部的化学品被抽空而导致化学品盛装桶变形。
现有的连接装置，密封不严密，从而易导致化学品喷出，并影响化学品盛装桶内化学品的品质。
发明内容
本发明提供一种化学品中央共酸系统用连接装置，以提高密封效果。
本发明提供一种化学品中央共酸系统用连接装置，包括：
固定体，所述固定体中沿轴向设有液体通道，所述液体通道的第一端用于连通化学品中央共酸系统的供液管道或回液管道，所述液体通道第二端用于与化学品盛装桶内连通；
旋转体，套设在所述固定体上并能够相对于所述固定体转动，所述旋转体包括操作部分和螺纹部分，所述螺纹部分的第一端与所述操作部分朝向所述液体通道的第二端的端部连接，所述螺纹部分用于与化学品盛装桶的端口螺纹连接，所述操作部分与螺纹部分之间设有第一密封圈，用于在所述旋转体与所述端口之间形成密封，所述螺纹部分的第二端与所述固定体之间设有第二密封圈；
驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述旋转体沿所述固定体的轴向运动，使所述螺纹部分的第二端与所述固定体配合压紧所述第二密封圈，以在所述旋转体与所述固定体之间形成密封。
基于上述，本发明提供的化学品中央共酸系统用连接装置，在使用过程中，将化学品中央共酸系统的供液管道或回液管道与液体通道的第一端连通，并将液体通道的第二端放置于化学品盛装桶的端口中，从而使化学品盛装桶与供液管道或回液管道连通，之后通过对旋转体的操作部分施力，使旋转体相对于固定体旋转，从而使螺纹部分与化学品盛装桶的端口螺纹连接，由于操作部分与螺纹部分之间设有第一密封圈，因此在旋紧过程中第一密封圈能够在旋转体与端口之间形成密封，之后通过驱动装置驱动旋转体沿固定体的轴向运动，由于螺纹部分的第二端与固定体之间设有第二密封圈，因此能够使螺纹部分的第二端与固定体配合压紧第二密封圈，从而在旋转体与固定体之间形成密封，由此实现了连接装置与化学品盛装桶之间的完全密封，达到了良好的密封效果，避免了化学品喷出，保证了化学品盛装桶内化学品的品质。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种化学品中央共酸系统用连接装置的使用状态示意图；
图2为本发明实施例提供的一种化学品中央共酸系统用连接装置的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的另一种化学品中央共酸系统用连接装置的结构示意图。
附图标记：
100：连接装置； 101：固定体； 102：液体通道；
103：旋转体； 104：操作部分； 105：螺纹部分；
106：第一密封圈； 107：第二密封圈； 108：驱动装置；
109：限位卡环； 110：气体通道； 201：供液管道；
202：回液管道； 203：补气管道； 301：化学品盛装桶。
具体实施方式
请参考图1-3，本发明实施例提供一种化学品中央共酸系统用连接装置100，包括：固定体101，所述固定体101中沿轴向设有液体通道102，所述液体通道102的第一端用于连通化学品中央共酸系统的供液管道201或回液管道202，所述液体通道102第二端用于与化学品盛装桶301内连通；旋转体103，套设在所述固定体101上并能够相对于所述固定体101转动，所述旋转体103包括操作部分104和螺纹部分105，所述螺纹部分105的第一端与所述操作部分104朝向所述液体通道102的第二端的端部连接，所述螺纹部分105用于与化学品盛装桶301的端口螺纹连接，所述操作部分104与螺纹部分105之间设有第一密封圈106，用于在所述旋转体103与所述端口之间形成密封，所述螺纹部分105的第二端与固定体101之间设有第二密封圈107；驱动装置108，所述驱动装置108用于驱动所述旋转体103沿所述固定体101的轴向运动，使所述螺纹部分105的第二端与所述固定体101配合压紧所述第二密封圈107，以在所述旋转体103与固定体101之间形成密封。
本实施例中，在使用时，将化学品中央共酸系统的供液管道201或回液管道202与液体通道102的第一端连通，并将液体通道102的第二端放置于化学品盛装桶301的端口中，从而使化学品盛装桶301与供液管道201或回液管道202连通，之后通过对旋转体103的操作部分104施力，使旋转体103相对于固定体101旋转，从而使螺纹部分105与化学品盛装桶301的端口螺纹连接，由于操作部分104与螺纹部分105之间设有第一密封圈106，因此在旋紧过程中第一密封圈106能够在旋转体103与端口之间形成密封，之后通过驱动装置108驱动旋转体103沿固定体101的轴向运动，由于螺纹部分105的第二端与固定体101之间设有第二密封圈107，因此能够使螺纹部分105的第二端与固定体101配合压紧第二密封圈107，从而在旋转体103与固定体101之间形成密封，由此实现了连接装置100与化学品盛装桶301之间的完全密封，达到了良好的密封效果，避免了化学品喷出，保证了化学品盛装桶301内化学品的品质，同时安装拆卸方便。
请参考图2，本实施例中，优选的，驱动装置108为所述旋转体103与固定体101之间的螺纹结构，所述螺纹结构与所述螺纹部分105的螺纹方向相反。由此，当旋转体103相对于固定体101旋转，从而使螺纹部分105与化学品盛装桶301的端口螺纹连接时，由于螺纹结构与螺纹部分105的螺纹方向相反，因此能够驱动旋转体103沿固定体101的轴向运动，使螺纹部分105的第二端与固定体101配合压紧第二密封圈107，从而在旋转体103与固定体101之间形成密封，由此可以同时实现旋转体103与固定体101之间以及旋转体103与端口之间的密封，操作简便。
请参考图3，本实施例中，优选的，驱动装置108套设在所述固定体101上，所述驱动装置108与所述固定体101螺纹配合，所述驱动装置108用于对所述操作部分104朝向所述液体通道102的第一端的端部施力以驱动所述旋转体103沿所述固定体101的轴向运动。由此，通过旋转驱动装置108，使驱动装置108沿固定体101的轴向运动，并对操作部分104朝向所述液体通道102的第一端的端部施力，从而驱动旋转体103沿固定体101的轴向运动，使螺纹部分105的第二端与固定体101配合压紧第二密封圈107，从而在旋转体103与固定体101之间形成密封，操作简便，加工方便。当然驱动装置108也可为液压装置、电动装置或能够驱动旋转体103运动的其他装置，本发明对此不做具体限定。
本实施例中，优选的，固定体101设置有限位卡环109，用于限制旋转体103在固定体101上的移动距离。由此，可避免在将连接装置100从化学品盛装桶301上拆卸时，由于旋转体103在固定体101上的移动距离过大，造成的不便于拆卸和下一次安装的问题。
本实施例中，优选的，固定体101中设有气体通道110，所述气体通道110沿所述固定体101的轴向延伸，所述气体通道110的第一端用于连通化学品中央共酸系统的补气管道203，所述气体通道110的第二端用于与化学品盛装桶301内连通；所述液体通道102的第二端突出于所述气体通道110的第二端设置，所述液体通道102的第二端与所述气体通道110的第二端在所述固定体101的轴向上具有一设定距离。通过设置气体通道110，可实现化学品中央共酸系统的补气管道203与化学品盛装桶301的连通，同时液体通道102的第一端可与化学品中央共酸系统的回液管道202连通，使连接装置100作为回液端连接装置100使用。由于液体通道102的第二端突出于气体通道110的第二端设置，液体通道102的第二端与气体通道110的第二端在固定体101的轴向上具有一设定距离，以实现气液的完全分离，并能够避免化学品喷出。
本实施例中，优选的，所述设定距离大于或等于20毫米。由此达到较好的气液分离效果，避免化学品喷出。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。
Claims (4)
1.一种化学品中央共酸系统用连接装置，其特征在于，包括：
固定体，所述固定体中沿轴向设有液体通道，所述液体通道的第一端用于连通化学品中央共酸系统的供液管道或回液管道，所述液体通道第二端用于与化学品盛装桶内连通；
旋转体，套设在所述固定体上并能够相对于所述固定体转动，所述旋转体包括操作部分和螺纹部分，所述螺纹部分的第一端与所述操作部分朝向所述液体通道的第二端的端部连接，所述螺纹部分用于与化学品盛装桶的端口螺纹连接，所述操作部分与螺纹部分之间设有第一密封圈，用于在所述旋转体与所述端口之间形成密封，所述螺纹部分的第二端与所述固定体之间设有第二密封圈；
驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述旋转体沿所述固定体的轴向运动，使所述螺纹部分的第二端与所述固定体配合压紧所述第二密封圈，以在所述旋转体与所述固定体之间形成密封；
所述驱动装置套设在所述固定体上，所述驱动装置与所述固定体螺纹配合，所述驱动装置用于对所述操作部分朝向所述液体通道的第一端的端部施力以驱动所述旋转体沿所述固定体的轴向运动。
2.根据权利要求1所述的化学品中央共酸系统用连接装置，其特征在于，所述固定体设置有限位卡环，用于限制所述旋转体在所述固定体上的移动距离。
3.根据权利要求1或2所述的化学品中央共酸系统用连接装置，其特征在于：
所述固定体中设有气体通道，所述气体通道沿所述固定体的轴向延伸，所述气体通道的第一端用于连通化学品中央共酸系统的补气管道，所述气体通道的第二端用于与化学品盛装桶内连通；
所述液体通道的第二端突出于所述气体通道的第二端设置，所述液体通道的第二端与所述气体通道的第二端在所述固定体的轴向上具有一设定距离。
4.根据权利要求3所述的化学品中央共酸系统用连接装置，其特征在于，所述设定距离大于或等于20毫米。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410056543.5A CN104843626B (zh) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | 化学品中央共酸系统用连接装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410056543.5A CN104843626B (zh) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | 化学品中央共酸系统用连接装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104843626A CN104843626A (zh) | 2015-08-19 |
| CN104843626B true CN104843626B (zh) | 2017-09-15 |
Family
ID=53843688
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410056543.5A Active CN104843626B (zh) | 2014-02-19 | 2014-02-19 | 化学品中央共酸系统用连接装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN104843626B (zh) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5154213A (en) * | 1991-05-01 | 1992-10-13 | Strato Malamas | Fuel line adapter for portable fuel containers |
| PT1984279E (pt) * | 2006-02-14 | 2010-02-12 | Power Container Corp | Dispositivo de distribuição de fluidos |
| CN102190272B (zh) * | 2006-06-01 | 2013-11-27 | 株式会社阿迪雅 | 液体供给装置 |
| CN1861517A (zh) * | 2006-06-19 | 2006-11-15 | 北京理工大学 | 自动延时供液器 |
| CN201739573U (zh) * | 2010-03-29 | 2011-02-09 | 刘永 | 水表用倒流防止器 |
| CN102042449B (zh) * | 2011-01-19 | 2012-06-20 | 王涵琳 | 管道连接件 |
| CN203006192U (zh) * | 2012-12-14 | 2013-06-19 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 化学药液储液罐转换连接器 |
-
2014
- 2014-02-19 CN CN201410056543.5A patent/CN104843626B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN104843626A (zh) | 2015-08-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN202778799U (zh) | 矿用正反向旋转喷雾装置 | |
| CN203281443U (zh) | 清洗喷头 | |
| CN206519292U (zh) | 壁装万向喷嘴安装座 | |
| CN104843626B (zh) | 化学品中央共酸系统用连接装置 | |
| CN103423540B (zh) | 一种多通道旋转接头 | |
| CN201908675U (zh) | 旋转式雾化喷淋装置 | |
| CN208389230U (zh) | 一种多剂联用高喷车转台灭火剂管路快速供给装置 | |
| CN206802573U (zh) | 一种大口径可旋转接头 | |
| CN203718020U (zh) | 用于铝塑管的球阀 | |
| CN207580698U (zh) | 防粘附星型卸料器 | |
| CN103629405B (zh) | 一种控制流体流量的密闭性聚四氟乙烯阀门 | |
| CN204447513U (zh) | 用于陶瓷过滤机的分配器 | |
| CN105289035B (zh) | 一种喷气防堵塞排放管 | |
| CN203082272U (zh) | 一种三通阀 | |
| CN207401196U (zh) | 一种浓密机 | |
| CN202065495U (zh) | 沥青喷洒控制转阀 | |
| CN205627442U (zh) | 一种生物液膜除尘双向旋转泡沫喷洒装置 | |
| CN204533913U (zh) | 零泄漏旋转接头 | |
| CN204176199U (zh) | 液态天然气鹤管低温旋转接头 | |
| CN204093600U (zh) | 一种扇形喷嘴 | |
| CN203778214U (zh) | 旋转增速可调喷嘴 | |
| CN208827062U (zh) | 色母生产用挤出机加液料装置 | |
| CN204200151U (zh) | 一种采油井口密封装置 | |
| CN108514706A (zh) | 一种多剂联用高喷车转台灭火剂管路快速供给装置 | |
| CN207279114U (zh) | 电动高压细水雾系统用五通管 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| EXSB | Decision made by sipo to initiate substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220725 Address after: 518116 founder Microelectronics Industrial Park, No. 5, Baolong seventh Road, Baolong Industrial City, Longgang District, Shenzhen, Guangdong Province Patentee after: SHENZHEN FOUNDER MICROELECTRONICS Co.,Ltd. Address before: 100871, Beijing, Haidian District, Cheng Fu Road, No. 298, Zhongguancun Fangzheng building, 9 floor Patentee before: PEKING UNIVERSITY FOUNDER GROUP Co.,Ltd. Patentee before: SHENZHEN FOUNDER MICROELECTRONICS Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |