CN203006192U - 化学药液储液罐转换连接器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种化学药液储液罐转换连接器，所述化学药液储液罐转换连接器设有供液连接口、补气连接口、超压溢流排气孔和回液连接口。本实用新型的化学药液储液罐转换连接器将供液、回液、补气和超压溢流排气等功能连接集成于一体，可满足复杂和不同的药液输送工艺使用要求；当储液罐内气压大于设定压力时，超压溢流排气孔排气，使罐内气压稳定，有利于供液的稳定，并且超压排气的临界压力可调；带有多孔板的回液连接口，可以减小回流药液对储液罐内药液的冲击，有利于供液和药液本身的稳定，且减小了噪音。

Description

化学药液储液罐转换连接器

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种将供液、回液、补气、超压溢流排气等多种功能连接集于一体的化学药液储液罐转换连接器。

背景技术

在半导体制造工艺中需要用到各种化学药液，其中包括强腐蚀性药液，而此药液都是由工艺设备外部供给的浓度较高的原液经过一定比例稀释后方可使用的。现阶段所使用的化学液原液基本都是标准品，由于其具有较强的腐蚀性，在盛装、保存和使用过程中都要尽量避免与操作人员直接接触或直接暴露于环境中，以免污染环境或被环境污染。

存储药液的储液罐是由耐化学药液腐蚀的材料制成，储液罐顶部通常设有两个连接口，其中一个可以作为备用或者根据需要连接。其连接形式和液体输送形式较为单一，不能满足较复杂的输送工艺要求。在实际使用过程中，由厂端向工艺设备供给化学药液原液时，出于供给的稳定性和安全性等方面的考虑，除了简单的供液或通气接口外还需要储液罐具备连接其他需求管路的功能，以便适应较复杂或者功能要求较多的药液供给系统。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够与现有的化学原液储液罐配合使用，并将供液、回液、补气、超压溢流排气等多种功能连接集于一体的化学药液储液罐转换连接器。

（二）技术方案

为达上述目的，本实用新型的化学药液储液罐转换连接器，其设有供液连接口3、补气连接口4、超压溢流排气孔1和回液连接口2；所述超压溢流排气孔1为二阶圆通孔，包括第一阶排气通孔和第二阶排气通孔，所述第二阶排气通孔与储液罐13相连，所述第一阶排气通孔的直径大于所述第二阶排气通孔的直径。

所述第一阶排气通孔内安装有端盖5、弹簧6和密封珠7，所述端盖5和所述密封珠7分别置于所述弹簧6的两端，所述密封珠7在弹簧6作用下将所述第二阶排气通孔活动密封，所述端盖5上设有通孔。

所述端盖5上设有外螺纹，所述端盖5通过螺纹与超压溢流排气孔1连接。

所述端盖5上的通孔为内六角型。

所述回液连接口2为二阶圆通孔，包括第一阶回液通孔和第二阶回液通孔，所述第二阶回液通孔与储液罐13相连，所述第一阶回液通孔的直径小于所述第二阶回液通孔的直径，所述第二阶回液通孔的端面设有多孔板，所述多孔板上的孔为通孔。

所述多孔板上的所有孔的横截面积之和大于回液管路的横截面积。

所述化学药液储液罐转换连接器的材质为耐腐蚀性塑料。

（三）有益效果

本实用新型采用上述技术方案提供的装置，将供液、回液、补气和超压溢流排气等功能连接集成于一体，可满足复杂和不同的药液输送工艺使用要求；当储液罐内气压大于设定压力时，超压溢流排气孔排气，使罐内气压稳定，有利于供液的稳定，并且超压排气的临界压力可调；带有多孔板的回液连接口，可以减小回流药液对储液罐内药液的冲击，有利于供液和药液本身的稳定，且减小了噪音。

附图说明

图1是本实用新型化学药液储液罐转换连接器的剖面图；

图2是本实用新型化学药液储液罐转换连接器的应用示意图。

图中，1：超压溢流排气孔；2：回液连接口；3：供液连接口；4：补气连接口；5：端盖；6：弹簧；7：密封珠；8：供液连接口外部接头；9：回液连接口接头；10：供液连接口内部接头；11：内部供液管；12：补气连接口接头；13：储液罐。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型化学药液储液罐转换连接器作进一步详细说明。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1所示，本实用新型的化学药液储液罐转换连接器，其设有供液连接口3、补气连接口4、超压溢流排气孔1和回液连接口2。超压溢流排气孔1为二阶圆通孔，包括第一阶排气通孔和第二阶排气通孔，第二阶排气通孔与储液罐13相连。其中，第一阶排气通孔的直径大于第二阶排气通孔的直径。第一阶排气通孔内安装有端盖5、弹簧6和密封珠7，端盖5和密封珠7分别置于弹簧6的两端，密封珠7在弹簧6作用下将第二阶排气通孔活动密封，端盖5上设有通孔。端盖5上设有外螺纹，端盖5通过螺纹与超压溢流排气孔1连接。端盖5上的通孔为内六角型。内六角型通孔用于转动端盖5调整端盖5的高度，兼具排气的功能。调整端盖5的高度可以改变弹簧6的压缩量，即改变超压溢流排气孔1的排气临界压力。当储液罐内气压大于设定压力时，超压溢流排气孔排气，使罐内气压稳定，有利于供液的稳定，并且超压排气的临界压力可调。

回液连接口2为二阶圆通孔，包括第一阶回液通孔和第二阶回液通孔，第二阶回液通孔与储液罐13相连，第一阶回液通孔的直径小于第二阶回液通孔的直径，第二阶回液通孔的端面设有多孔板，多孔板上的孔为通孔。多孔板上的所有孔的横截面积之和大于回液管路的横截面积，能将回流药液减速且分成多股，减小回流药液对罐内药液的冲击，此多孔板的通孔可以为圆形、方形或其他几何形状孔。带有多孔板的回液连接口，可以减小回流药液对储液罐内药液的冲击，有利于供液和药液本身的稳定，且减小了噪音。

化学药液储液罐转换连接器的材质为耐腐蚀性塑料，如聚四氟乙烯（PTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）或四氟乙烯（PFA）等。

如图2所示，供液连接口3和补气连接口4为通孔，供液连接口外部接头8和供液连接口内部接头10设有外螺纹，且分别通过螺纹连接于供液连接口3的两端，供液连接口内部接头10另一端与内部供液管11相连接，回液连接口接头9设有外螺纹且通过螺纹连接于回液连接口2的第一阶回液通孔，补气连接口接头12设有外螺纹且通过螺纹连接于所述补气连接口4。上述螺纹为NPT螺纹，也可以采用R螺纹等。

本实用新型化学药液储液罐转换连接器的工作过程如下：针对于循环型药液供给系统，图2中供液连接口外部接头8与供液管路连接，回液连接口接头9与循环回液管路连接，供液连接口内部接头10连接储液罐内部供液管11，内部供液管11下端接近储液罐13底部，以保证药液的最大利用率，补气连接口接头12与保护性气体（如氮气等）输入管路连接。工作时，药液在压差作用下经供液管路流至工艺设备中，与此同时多余的药液可经由回液管路流回储液罐13，进入储液罐13时通过回液连接口2内带有多孔板减速减压分流，避免回流药液压力或流速过大对储液罐13内药液造成影响。同时通过保护性气体输入管路将保护性气体输入储液罐13内，起到填补已使用的药液的空间，保持储液罐13内外压差平衡的作用。当储液罐13内气压高于超压溢流排气孔1的设定压力时，图1中密封珠7被顶起，弹簧6收缩，超压溢流排气孔1打开排气，使储液罐13内的气压稳定，从而能够实现化学药液的稳定连续供应。

另外，化学药液储液罐转换连接器与外部供液管及内部供液管11、化学药液储液罐转换连接器与回液连接口接头9还可以通过其他方式连接。供液连接口外部接头8和供液连接口内部接头10焊接于供液连接口3的两端，回液连接口接头9焊接于回液连接口2的第一阶回液通孔，补气连接口接头12焊接于补气连接口4。

除此之外，化学药液储液罐转换连接器与外部供液管及内部供液管11还可以通过穿板接头连接。供液连接口3内安装穿板接头，穿板接头两端分别与内部供液管11和外部供液管连接。穿板接头包括中部设有凸缘的外螺纹管和螺母，外螺纹管穿过供液连接口3后，旋紧螺母使化学药液储液罐转换连接器夹紧于外螺纹管上的凸缘与螺母之间。

以上实施方式仅用于说明本实用新型，而并非对本实用新型的限制，有关技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，还可以做出各种变化和变型，因此所有等同的技术方案也属于本实用新型的范畴。

Claims (7)

1.一种化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述化学药液储液罐转换连接器上设有供液连接口（3）、补气连接口（4）、超压溢流排气孔（1）和回液连接口（2）；所述超压溢流排气孔（1）为二阶圆通孔，包括第一阶排气通孔和第二阶排气通孔，所述第二阶排气通孔与储液罐（13）相连，所述第一阶排气通孔的直径大于所述第二阶排气通孔的直径。

2.根据权利要求1所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述第一阶排气通孔内安装有端盖（5）、弹簧（6）和密封珠（7），所述端盖（5）和所述密封珠（7）分别置于所述弹簧（6）的两端，所述密封珠（7）在弹簧（6）作用下将所述第二阶排气通孔活动密封，所述端盖（5）上设有通孔。

3.根据权利要求2所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述端盖（5）上设有外螺纹，所述端盖（5）通过螺纹与超压溢流排气孔（1）连接。

4.根据权利要求3所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述端盖（5）上的通孔为内六角型。

5.根据权利要求1-4任一项所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述回液连接口（2）为二阶圆通孔，包括第一阶回液通孔和第二阶回液通孔，所述第二阶回液通孔与储液罐（13）相连，所述第一阶回液通孔的直径小于所述第二阶回液通孔的直径，所述第二阶回液通孔的端面设有多孔板，所述多孔板上的孔为通孔。

6.根据权利要求5所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述多孔板上的所有孔的横截面积之和大于回液管路的横截面积。

7.根据权利要求6所述的化学药液储液罐转换连接器，其特征在于，所述化学药液储液罐转换连接器的材质为耐腐蚀性塑料。

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