CN104826771B - 减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，所述化学品瓶的开口处通过管路依次连接排泡装置、喷涂泵、第一过滤器、第一电磁阀以及喷头以输出化学品，在现有的管路基础上设有一回路，回路用于将管路中的化学品输送至所述化学品瓶内，从而形成化学品的循环系统。本发明提供的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，在现有的光刻化学品喷涂系统中增加了回路，通过通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，使化学品瓶中化学品在喷涂状态和循环状态中切换，避免了化学品在静置的状态下产生大量的大分子聚合物，减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。
Description
技术领域
本发明属于半导体集成电路制造设备领域，涉及一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法。
背景技术
集成电路(IC)产业经历了迅速的增长。IC材料和设计的技术进步产生了多代IC，每一代都具有比上一代更小并且更复杂的电路。尽管如此，这些进步增加了加工和制造IC的复杂性。由于实现了这些进步，IC的加工和制造也需要类似的发展。在IC的发展过程中，功能密度(即，每个芯片区域所互连的器件数量)大体上随着几何尺寸(即，使用制造工艺所能制造出的最小的部件)的减小而增加。
尽管如此，在半导体制造中实现越来越小的部件和工艺仍存在挑战。例如，在制造半导体器件的过程中，光刻环节通常包括喷涂光刻胶或抗反射材料、曝光和显影三个阶段，部分光刻的缺陷来源于光刻化学品，由于光刻化学品内会形成一些大分子的聚合物，大分子聚合物在后续显影工艺或去胶工艺过程中很难被去除，导致光刻缺陷的出现，而这些大分子聚合物在化学品静置放置时更容易产生，并且随时间的推移，聚合物慢慢变大、变多，因此光刻工艺中需要尽量减少大分子聚合物的形成。
如图1所示，图1为现有光刻化学品喷涂系统，包括通过管路6依次连接的化学品瓶1、排泡装置2、喷涂泵3、过滤器4以及喷头5，通过喷涂泵3将化学品瓶1中的化学品输出，并供给至喷头5中，最后由喷头5射出。
由于化学品瓶在静置时，里面的化学品很容易产生大分子聚合物，并且大分子聚合物越积越多，最终导致光刻缺陷的产生，因此，提供本领域技术人员亟需提供一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，减少光刻化学品中聚合物的产生，进而减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，减少光刻化学品中聚合物的产生，进而减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，包括用于存储化学品的化学品瓶，所述化学品瓶的开口处通过管路依次连接排泡装置、喷涂泵、第一过滤器、第一电磁阀以及喷头以输出化学品，所述化学品瓶的开口处还连接一回路与所述管路连通，所述回路用于将管路中的化学品输送至所述化学品瓶内；所述回路的一端与所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，所述回路上依次设有第二过滤器、压力泵以及第二电磁阀，所述第二过滤器用于过滤出聚合物，所述压力泵为化学品的循环提供动力，所述第二电磁阀用于控制所述回路的启闭；其中，通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，以使化学品瓶中的化学品由管路输送至喷头，或使化学品瓶中的化学品由管路输送至回路中再由管路输出，以形成循环系统。
优选的，所述回路上还设有第三电磁阀，所述第三电磁阀设于所述化学品瓶和第二过滤器之间，用于控制所述回路的启闭。
优选的，所述压力泵的压力在10～100Kpa之间。
优选的，所述压力泵的启闭状态与所述第二电磁阀的启闭状态一致。
优选的，回路的一端伸入所述化学品瓶内，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上。
优选的，所述化学品瓶内具有薄膜塑料层内胆。
优选的，所述回路的一端直接与所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上。
本发明还提供一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统的控制方法，所述控制方法在喷涂状态和循环状态中切换，在喷涂状态时，所述第一电磁阀开启、第二电磁阀关闭，使所述化学品瓶中化学品由管路输出至所述喷头；在循环状态时，关闭所述第一电磁阀，打开所述第二电磁阀，使所述化学品瓶中化学品由管路输出至回路中，再汇合至所述化学品瓶中，再由所述管路输出，以形成化学品循环系统。
优选的，所述第三电磁阀与所述第二电磁阀处于相同的启闭状态。
优选的，所述化学品瓶中的化学品为光刻胶或抗反射材料。
与现有的方案相比，本发明提供的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，在现有的光刻化学品喷涂系统中增加了回路，通过通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，使化学品瓶中化学品在喷涂状态和循环状态中切换，避免了化学品在静置的状态下产生大量的大分子聚合物，减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统的结构示意图；
图2为本发明减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统优选实施例的结构示意图；
图3为本发明减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统另一优选实施例的结构示意图。
图中标号说明如下：
1、化学品瓶；2、排泡装置；3、喷涂泵；4、过滤器；5、喷头；6、管路；10、化学品瓶；20、排泡装置；30、喷涂泵；40、第一过滤器；50、喷头；60、管路；70、压力泵；80、第二过滤器；90、第一电磁阀；100、第二电磁阀；110、第三电磁阀；120、回路；130、第四电磁阀。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
上述及其它技术特征和有益效果，将结合实施例及附图2对本发明的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统进行详细说明。图2为本发明减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统优选实施例的结构示意图；图3为本发明减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统另一优选实施例的结构示意图。
如图2所示，本发明提供了提供了一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，包括用于存储化学品的化学品瓶10，化学品瓶10的开口处通过管路60依次连接排泡装置20、喷涂泵30、第一过滤器40、第一电磁阀90以及喷头50以输出化学品，化学品瓶10的开口处还连接一回路120与管路60连通，回路120用于将管路60中的化学品输送至化学品瓶10内；回路120的一端伸入化学品瓶10内，其另一端连通至第一过滤器40和第一电磁阀90之间的管路60上，回路120上依次设有第二过滤器80、压力泵70以及第二电磁阀100，第二过滤器80用于过滤出聚合物，压力泵70为化学品的循环提供动力，第二电磁阀100用于控制所述回路120的启闭。
通过控制第一电磁阀90和第二电磁阀的启闭，以使化学品瓶10中的化学品由管路60输送至喷头50，或使化学品瓶10中的化学品由管路60输送至回路120中再由管路60输出，以形成循环系统。本发明使化学品瓶10中的化学品一直保持动态运动，避免了化学品在静置的状态下产生大量的大分子聚合物，减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。
优选方案中，回路120上还设有第三电磁阀110，第三电磁阀110设于化学品瓶10和第二过滤器80之间，用于控制回路120的启闭；第三电磁阀110与第二电磁阀100处于相同的启闭状态。
此外，压力泵70的启闭状态与第二电磁阀100的启闭状态一致；压力泵70的压力优选在10～100Kpa之间。
请参阅图2，回路120的一端伸入化学品瓶10内，其另一端连通至第一过滤器40和第一电磁阀90之间的管路上，该情况主要针对化学品瓶10中未设有薄膜塑料内胆层的情况(薄膜塑料内胆层无法支持循环压力)，通常化学品瓶10可为玻璃瓶或塑料瓶。请参阅图3，当化学品瓶10内具有薄膜塑料层内胆时，回路120的一端直接与管路60连通，其另一端连通至第一过滤器40和第一电磁阀90之间的管路上，同时，管路60上可设有第四电磁阀130，以控制整个循环系统的启闭，此时化学品瓶中化学品的循环不受塑料内胆的影响。在实际工艺过程中，工作人员可根据实际情况，选择图2中系统的连接方式或图3中系统的连接方式。
本发明还提供一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统的控制方法，控制方法在喷涂状态和循环状态中切换，在喷涂状态时，第一电磁阀90开启、第二电磁阀100关闭，喷涂泵30保持工作状态，压力泵70处于关闭状态，使化学品瓶10中化学品由管路60输出至喷头50；在循环状态时，关闭第一电磁阀90，打开第二电磁阀100，此时，喷涂泵30和压力泵70都处于工作状态，使化学品瓶10中化学品由管路60输出至回路120中，再汇合至化学品瓶10中，再由管路60输出，以形成化学品循环系统。
本实施例中，化学品瓶10中的化学品为光刻胶或抗反射材料。
综上所述，本发明提供的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统及控制方法，在现有的光刻化学品喷涂系统中增加了回路120，通过通过控制第一电磁阀90和第二电磁阀100的启闭，使化学品瓶10中化学品在喷涂状态和循环状态中切换，避免了化学品在静置的状态下产生大量的大分子聚合物，减少光刻工艺缺陷，提高产品良率。
上述说明示出并描述了本发明的若干优选实施例，但如前所述，应当理解本发明并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述发明构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本发明的精神和范围，则都应在本发明所附权利要求的保护范围内。
Claims (7)
1.一种减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，包括用于存储化学品的化学品瓶，其特征在于，
所述化学品瓶的开口处通过管路依次连接排泡装置、喷涂泵、第一过滤器、第一电磁阀以及喷头以输出化学品，所述化学品瓶的开口处还连接一回路与所述管路连通，所述回路用于将管路中的化学品输送至所述化学品瓶内；所述回路的一端与所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，所述回路上依次设有第二过滤器、压力泵以及第二电磁阀，所述第二过滤器用于过滤出聚合物，所述压力泵为化学品的循环提供动力，所述第二电磁阀用于控制所述回路的启闭；当化学品瓶内具有薄膜塑料层内胆时，所述回路的一端直接和与喷头连通的所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，化学品瓶中化学品的循环不受塑料内胆的影响；其中，
通过控制第一电磁阀和第二电磁阀的启闭，以使化学品瓶中的化学品由管路输送至喷头，或使化学品瓶中的化学品由管路输送至回路中再由管路输出，以形成循环系统。
2.根据权利要求1所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，其特征在于，所述回路上还设有第三电磁阀，所述第三电磁阀设于所述化学品瓶和第二过滤器之间，用于控制所述回路的启闭。
3.根据权利要求1所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，其特征在于，所述压力泵的压力在10～100Kpa之间。
4.根据权利要求1所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统，其特征在于，所述压力泵的启闭状态与所述第二电磁阀的启闭状态一致。
5.一种基于权利要求1-4任一项所述的减少聚合物产生的光刻化学品喷涂系统的控制方法，其特征在于，所述控制方法在喷涂状态和循环状态中切换，在喷涂状态时，所述第一电磁阀开启、第二电磁阀关闭，喷涂泵保持工作状态，压力泵处于关闭状态，使所述化学品瓶中化学品由管路输出至所述喷头；在循环状态时，关闭所述第一电磁阀，打开所述第二电磁阀，喷涂泵和压力泵都处于工作状态，针对化学品瓶内具有薄膜塑料层内胆时，所述回路的一端直接和与喷嘴连通的所述管路连通，其另一端连通至所述第一过滤器和第一电磁阀之间的管路上，使所述化学品瓶中化学品由管路输出至回路中并且经回路输送至管路中，再经管路进入至所述化学品瓶中，再由所述管路输出，以形成化学品循环系统。
6.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，所述第三电磁阀与所述第二电磁阀处于相同的启闭状态。
7.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，所述化学品瓶中的化学品为光刻胶或抗反射材料。
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