CN104821476B - 一种带工作气体回收再利用装置的轴快流co2激光器 - Google Patents

Abstract

一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，本申请工作主体与气体单元输出电磁阀和储气罐二输出电磁阀相连，气体单元输出电磁阀与气体单元相连，气体单元与CO₂高压气瓶、He高压气瓶和N₂高压气瓶相连，储气罐二输出电磁阀接储气罐二，储气罐二接干燥冷却过滤器，干燥冷却过滤器接加热除氧器，加热除氧器接油水分离冷却过滤器，油水分离冷却过滤器接储气罐一，储气罐一接真空泵，真空泵接低压侧抽真空电磁阀和齿轮箱抽真空电磁阀，工作主体内低压侧热交换器与低压侧抽真空电磁阀相连，工作主体内齿轮箱与齿轮箱抽真空电磁阀相连。本发明对现有轴快流CO₂激光器配以相应的回收再利用装置，以实现对工作气体的回收再利用。

Description

一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO2激光器

技术领域

本发明涉及一种轴快流CO₂激光器，特别涉及一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器。

背景技术

轴快流CO₂激光器是一种气体激光器，其工作气体一般是由二氧化碳CO₂、氮气N₂、氦气He三种气体按一定比例混和而成的，其中氦气耗量约占工作气体总耗量的40~60%，由于氦气价格较高，因此，氦气成本约占工作气体总成本的85~90%。目前轴快流CO₂激光器在国内外金属板材切割市场占有率达60~70%。轴快流CO₂激光器要正常工作必须要使用罗茨泵或罗茨风机来维持工作气体的高速流动，如图1所示，罗茨泵或罗茨风机1、高压侧热交换器及管道3、放电管4与低压侧热交换器及管道5共同组成轴快流CO₂激光器工作主体20；由于罗茨泵或罗茨风机在工作中需要使用油润滑，这样就必然会有少量润滑油蒸汽混入工作气体中，这会影响工作气体正常放电，进而影响激光器的正常工作；其次，轴快流CO₂激光器正常工作时，高速流动的工作气体绝对压强约为80~120mbar，处于真空状态，由于系统的密封性问题，轴快流CO₂激光器一般会有少量漏气，即总会有少量空气漏入工作气体内，而空气主要由氮气和氧气组成，其中氮气约占78.09%、氧气约占20.95%，其他气体含量很少，氮气是工作气体的一部分，不过额外氮气的进入会改变工作气体各组份之间的比例，与此同时由于氧气的漏入，工作气体中出现了一种不必要的气体氧气，这会严重影响工作气体放电，进而影响激光器正常工作；另外，在激光器正常工作过程中，工作气体中也会有微量的二氧化碳被离解成一氧化碳CO和氧原子O，而氧会被电极座、放电管等材料所吸收，这样工作气体中二氧化碳就会不断地减少， 一氧化碳就会不断地增加，这也影响激光器的正常工作。因此，要保持放电管中工作气体能够正常放电，就必须对工作气体进行不断地更新，如图1所示，真空泵10不断地从系统中抽取部分工作气体，经真空泵排气口9排出，而与此同时气体单元15又不断地经过电磁阀16向系统中补充新鲜工作气体，以维持工作气体的总量平衡，于是轴快流CO₂激光器就能正常地工作。在这一过程中我们可以看到，含少量氧气、润滑油蒸汽和微量一氧化碳的工作气体被直接排放到大气中，这不仅是一种浪费，也是对局部环境的一种污染，因此需要设计一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器。

发明内容

针对以上问题，要想实现对工作气体的循环再利用，我们必须要去除工作气体中的少量氧气、润滑油蒸汽和微量的一氧化碳气体，并要适当调整因氮气的增加而失去平衡的工作气体配比，本发明提出了一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其对现有轴快流CO₂激光器配以相应的回收再利用装置，以实现对工作气体的回收再利用，为达此目的，本发明提供一种带回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，包括CO₂高压气瓶、He高压气瓶、N₂高压气瓶、气体单元、轴快流CO₂激光器工作主体、真空泵、储气罐一、油水分离冷却过滤器、加热除氧器、干燥冷却过滤器、储气罐二和真空泵排空电磁阀，所述轴快流CO₂激光器工作主体内高压侧热交换器通过管道与气体单元输出电磁阀和储气罐二输出电磁阀相连，所述气体单元输出电磁阀通过管道与气体单元相连，所述气体单元通过管道与CO₂高压气瓶减压阀、He高压气瓶减压阀和N₂高压气瓶减压阀相连，所述CO₂高压气瓶减压阀接CO₂高压气瓶，所述He高压气瓶减压阀接He高压气瓶，所述N₂高压气瓶减压阀接N₂高压气瓶，所述储气罐二输出电磁阀接储气罐二，所述储气罐二通过干燥冷却过滤器输出阀接干燥冷却过滤器，所述干燥冷却过滤器下方有干燥冷却过滤器进水口和干燥冷却过滤器出水口，所述干燥冷却过滤器通过干燥冷却过滤器输入阀接加热除氧器，所述加热除氧器通过加热除氧器输入阀接油水分离冷却过滤器，所述油水分离冷却过滤器下方有油水分离冷却过滤器进水口和油水分离冷却过滤器出水口，所述油水分离冷却过滤器通过油水分离冷却过滤器输入阀接储气罐一，所述储气罐一通过管道与储气罐一输入电磁阀接真空泵，所述储气罐一与储气罐一输入电磁阀相连管道一侧有真空泵排空电磁阀，所述真空泵通过管道接低压侧抽真空电磁阀和齿轮箱抽真空电磁阀，所述轴快流CO₂激光器工作主体内低压侧热交换器通过管道与低压侧抽真空电磁阀相连，所述轴快流CO₂激光器工作主体内齿轮箱通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀相连。

作为本发明进一步改进，所述轴快流CO₂激光器工作主体包括罗茨泵或罗茨风机、高压侧热交换器、放电管、低压侧热交换器和罗茨泵或罗茨风机齿轮箱，所述罗茨泵或罗茨风机的罗茨泵或罗茨风机出风口通过管道与高压侧热交换器相连，所述罗茨泵或罗茨风机的罗茨泵或罗茨风机进风口通过管道与低压侧热交换器相连，所述放电管在高压侧热交换器与低压侧热交换器之间，所述放电管通过管道与高压侧热交换器和低压侧热交换器相连，所述罗茨泵或罗茨风机一侧有罗茨泵或罗茨风机齿轮箱，所述高压侧热交换器通过管道与气体单元输出电磁阀和储气罐二输出电磁阀相连，所述低压侧热交换器通过管道与低压侧抽真空电磁阀相连，所述罗茨泵或罗茨风机齿轮箱通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀相连，本发明轴快流CO₂激光器工作主体主要使用以上常用轴快流CO₂激光器结构主体。

作为本发明进一步改进，所述真空泵为正压输出真空泵，即输出压力比一个大气压高较多，如是大气压的2倍左右，采用此真空泵，其真空泵的输出口压强相对较高，约为0.2MPa。

作为本发明进一步改进，所述储气罐一容积为3-5升，额定工作压强为0.6MPa，所述储气罐二容积为1-2升，额定工作压强为0.6MPa，储气罐一主要用于正压输出真空泵的输出缓冲，储气罐二主要用于净化后工作气体的输出缓冲，因此根据相应情况采用以上规格。

作为本发明进一步改进，所述储气罐一上有压力传感器一，所述储气罐二上有压力传感器二，设置压力传感器可为对应储气罐的工作压强提供实时监控数据。

作为本发明进一步改进，所述储气罐一上设有储气罐一排空取样阀，所述储气罐二设有储气罐二排空取样阀，储气罐一排空取样阀用于抽取工作气体，以对轴快流CO₂激光器工作主体中抽出的工作气体进行取样分析，储气罐二排空取样阀用于抽取净化系统中的工作气体，用于对净化系统中的工作气体进行取样分析。

作为本发明进一步改进，所述油水分离冷却过滤器下方设有油水分离冷却过滤器排气排污阀，所述干燥冷却过滤器下方设有干燥冷却过滤器排气排污阀，设置排气排污阀后可根据实际生产需要进行定期排气排污。

作为本发明进一步改进，所述加热除氧器下方有加热除氧器排气阀，用于更换加热除氧器时进行排气。

作为本发明进一步改进，所述加热除氧器内有铜粉或铜屑，加热维持温度为600℃-700℃，在600℃-700℃温度下会产生以下两个化学反应：2Cu+O₂==2CuO，CO+ CuO== CO₂+Cu其中第一个反应的结果是工作气体中的氧气被铜粉或铜屑吸收生成了固体CuO，第二个反应的结果是工作气体中的CO与CuO反应生成了CO₂气体和固体Cu，由于CO本来就是CO₂分解生成的，故它被氧化生成CO₂气体实际上是恢复了工作气体中原有的CO₂气体数量；另由于CO₂分解生成的CO数量远小于因泄漏而进入系统的氧气，故在这一环节是安全的，氧气与铜反应生成的固体CuO的数量也足够把CO氧化成CO₂。

本发明为一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，该装置在原轴快流CO₂激光器基础上加装气体回收再利用装置，利用轴快流CO₂激光器工作主体的特点，同时也为避免增加系统的内漏点（即外界空气漏向工作气体系统内），在设计氧气、润滑油蒸汽和一氧化碳气体去除净化系统时，以微正压工作，这样即便有个别小漏点，也是从净化系统向外界大气泄漏，从而能够更好地保持净化系统对工作气体的净化效果，进而实现对工作气体的回收再利用。

附图说明

图1原轴快流CO₂激光器工作气体供给示意图；

图2轴快流CO₂激光器工作气体回收再利用装置系统图；

具体部件名称如下：

1、罗茨泵或罗茨风机； 2、罗茨泵或罗茨风机出风口；

3、高压侧热交换器； 4、放电管；

5、低压侧热交换器； 6、罗茨泵或罗茨风机进风口；

7、齿轮箱抽真空电磁阀； 8、低压侧抽真空电磁阀；

9、真空泵排气管； 10、真空泵；

11、罗茨泵或罗茨风机齿轮箱； 12、CO₂高压气瓶；

13、He高压气瓶； 14、N₂高压气瓶；

15、气体单元； 16、气体单元输出电磁阀；

17、CO₂高压气瓶减压阀； 18、He高压气瓶减压阀；

19、N₂高压气瓶减压阀； 20、轴快流CO₂激光器工作主体；

21、正压输出真空泵； 22、储气罐一；

23、压力传感器一； 24、油水分离冷却过滤器；

25、加热除氧器； 26、干燥冷却过滤器；

27、压力传感器二； 28、储气罐二；

29、储气罐一输入电磁阀； 30、油水分离冷却过滤器输入阀；

31、加热除氧器输入阀； 32、干燥冷却过滤器输入阀；

33、干燥冷却过滤器输出阀； 34、储气罐二输出电磁阀；

35、储气罐二排空取样阀； 36、储气罐一排空取样阀；

37、真空泵排空电磁阀； 38、油水分离冷却过滤器排气排污阀；

39、油水分离冷却过滤器进水口； 40、油水分离冷却过滤器出水口；

41、干燥冷却过滤器进水口； 42、干燥冷却过滤器出水口；

43、加热除氧器排气阀； 44、干燥冷却过滤器排气排污阀。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对发明做详细的说明：

本发明提出了一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其对现有轴快流CO₂激光器配以相应的回收再利用装置，以实现对工作气体的回收再利用。

作为本发明一种具体实施例，本发明提供示意图如图2所示的一种带回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，包括CO₂高压气瓶12、He高压气瓶13、N₂高压气瓶14、气体单元15、轴快流CO₂激光器工作主体20、真空泵、储气罐一22、油水分离冷却过滤器24、加热除氧器25、干燥冷却过滤器26、储气罐二28和真空泵排空电磁阀37，所述轴快流CO₂激光器工作主体20内高压侧热交换器3通过管道与气体单元输出电磁阀16和储气罐二输出电磁阀34相连，所述气体单元输出电磁阀16通过管道与气体单元15相连，所述气体单元15通过管道与CO₂高压气瓶减压阀17、He高压气瓶减压阀18和N₂高压气瓶减压阀19相连，所述CO₂高压气瓶减压阀17接CO₂高压气瓶12，所述He高压气瓶减压阀18接He高压气瓶13，所述N₂高压气瓶减压阀19接N₂高压气瓶14，所述储气罐二输出电磁阀34接储气罐二28，所述储气罐二28通过干燥冷却过滤器输出阀33接干燥冷却过滤器26，所述干燥冷却过滤器26下方有干燥冷却过滤器进水口41和干燥冷却过滤器出水口42，所述干燥冷却过滤器26通过干燥冷却过滤器输入阀32接加热除氧器25，所述加热除氧器25通过加热除氧器输入阀31接油水分离冷却过滤器24，所述油水分离冷却过滤器24下方有油水分离冷却过滤器进水口39和油水分离冷却过滤器出水口40，所述油水分离冷却过滤器24通过油水分离冷却过滤器输入阀30接储气罐一22，所述储气罐一22通过管道储气罐一输入电磁阀29接真空泵，所述储气罐一22与储气罐一输入电磁阀29相连管道一侧有真空泵排空电磁阀37，所述真空泵通过管道接低压侧抽真空电磁阀8和齿轮箱抽真空电磁阀7，所述轴快流CO₂激光器工作主体20内低压侧热交换器5通过管道与低压侧抽真空电磁阀8相连，所述轴快流CO₂激光器工作主体20内齿轮箱11通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀7相连。

本发明所述轴快流CO₂激光器工作主体20包括罗茨泵或罗茨风机1、高压侧热交换器3、放电管4、低压侧热交换器5和罗茨泵或罗茨风机齿轮箱11，所述罗茨泵或罗茨风机1的罗茨泵或罗茨风机出风口2通过管道与高压侧热交换器3相连，所述罗茨泵或罗茨风机1的罗茨泵或罗茨风机进风口6通过管道与低压侧热交换器5相连，所述放电管4在高压侧热交换器3与低压侧热交换器5之间，所述放电管4通过管道与高压侧热交换器3和低压侧热交换器5相连，所述罗茨泵或罗茨风机1一侧有罗茨泵或罗茨风机齿轮箱11，所述高压侧热交换器3通过管道与气体单元输出电磁阀16和储气罐二输出电磁阀34相连，所述低压侧热交换器5通过管道与低压侧抽真空电磁阀8相连，所述罗茨泵或罗茨风机齿轮箱11通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀7相连，本发明轴快流CO₂激光器工作主体主要使用以上常用轴快流CO₂激光器结构主体。

本发明所述真空泵为正压输出真空泵21，采用此真空泵，其真空泵的输出口压强相对较高，约为0.2MPa。

本发明所述储气罐一22容积为3-5升，额定工作压强为0.6MPa，所述储气罐二28容积为1-2升，额定工作压强为0.6MPa，储气罐一主要用于正压输出真空泵的输出缓冲，储气罐二主要用于净化后工作气体的输出缓冲，因此根据相应情况采用以上规格，所述储气罐一22上有压力传感器一23，所述储气罐二28上有压力传感器二27，设置压力传感器可为对应储气罐的工作压强提供实时监控数据，所述储气罐一22上设有储气罐一排空取样阀36，所述储气罐二28上设有储气罐二排空取样阀35，储气罐一排空取样阀用于抽取工作气体，以对轴快流CO₂激光器工作主体中抽出的工作气体进行取样分析，储气罐二排空取样阀用于抽取净化系统中的工作气体，用于对净化系统中的工作气体进行取样分析。

本发明所述油水分离冷却过滤器24下方设有油水分离冷却过滤器排气排污阀34，所述干燥冷却过滤器26下方设有干燥冷却过滤器排气排污阀44，设置排气排污阀后可根据实际生产需要进行定期排气排污。

本发明所述加热除氧器25下方有加热除氧器排气阀43，用于加热除氧过程中进行排气，所述加热除氧器25内有铜粉或铜屑，加热维持温度为600℃-700℃，在600℃-700℃温度下会产生以下两个化学反应：2Cu+O₂==2CuO，CO+ CuO== CO₂+Cu其中第一个反应的结果是工作气体中的氧气被铜粉或铜屑吸收生成了固体CuO，第二个反应的结果是工作气体中的CO与CuO反应生成了CO₂气体和固体Cu，由于CO本来就是CO₂分解生成的，故它被氧化生成CO₂气体实际上是恢复了工作气体中原有的CO₂气体数量；另由于CO₂分解生成的CO数量远小于因泄漏而进入系统的氧气，故在这一环节是安全的，氧气与铜反应生成的固体CuO的数量也足够把CO氧化成CO₂。

本发明装置结构及功能说明：

本发明中该轴快流CO₂激光器工作气体回收再利用装置主要包括气体单元、高压气瓶、轴快流CO₂激光器工作主体、正压输出真空泵、储气罐一、油水分离冷却过滤器、加热除氧器、干燥冷却过滤器、储气罐二等几个部分，为保证净化系统保持微正压运行，在这一系统中将原真空泵改用正压输出真空泵，即真空泵的输出口压强相对较高，约为0.2MPa，通过电磁阀将含有少量杂质的工作气体送入储气罐一，储气罐一容积约3~5升，额定工作压强0.6MPa，主要用于正压输出真空泵的输出缓冲，其上有一压力传感器，为净化系统监控储气罐一的工作压强提供实时数据。

再经过缓冲的工作气体通过相应阀门进入油水分离冷却过滤器，在这一环节，工作气体中的油蒸汽经冷却后变成液体而被分离出来，并可经排气排污阀定期排出。

去除油蒸汽的工作气体再经相应阀门进入加热除氧器，在加热除氧器中主要有铜粉或铜屑，加热维持温度约为600℃~700℃，在这一温度下会产生以下两个化学反应：

2Cu+O₂==2CuO；

CO+ CuO== CO₂+Cu；

其中第一个反应的结果是工作气体中的氧气被铜粉或铜屑吸收生成了固体CuO，第二个反应的结果是工作气体中的CO与CuO反应生成了CO₂气体和固体Cu，由于CO本来就是CO₂分解生成的，故它被氧化生成CO₂气体实际上是恢复了工作气体中原有的CO₂气体数量；另由于CO₂分解生成的CO数量远小于因泄漏而进入系统的氧气，故在这一环节，氧气与铜反应生成的固体CuO足够把CO氧化成CO₂。

去除了O₂和CO的工作气体是被加热过的热气体，所以在经过相应阀门后就进入了干燥冷却过滤器，工作气体在这里首先是被冷却，然后是通过硅胶吸湿干燥并过虑输出，经过相应阀门送到储气罐二，储气罐二容积约1~2升，额定工作压强0.6MPa，主要用于净化后工作气体的输出缓冲，其上有一压力传感器，为储气罐二的工作压强提供实时监控数据，储气罐二的实际工作压强一般控制在0.12~0.18MPa，最大不超过0.2MPa，通过电磁阀向轴快流CO₂激光器工作主体供气。

为便于对工作气体成分进行检测，本发明在储气罐一上设有储气罐一排空取样阀，用于对轴快流CO₂激光器工作主体中抽出的工作气体进行取样分析；本发明在储气罐二上设有储气罐二排空取样阀，用于对净化系统中的工作气体进行取样分析。

本发明油水分离冷却过滤器，有冷却水进水口和冷却水出水口，用于对工作气体降温以使润滑油蒸汽充分冷却液化，内部另含有伞状等促进润滑油凝结的装置；设有排气排污阀，可根据实际生产情况确定每天或每周排污时间，另外在更换该部件时只需要关闭其前后阀门即可将其拆卸更换。

本发明加热除氧器，本发明在加热除氧器外部有保温，其上有一排气阀，内部放置适量铜屑或铜粉，采用电加热方式，并自带温度传感器，用于检测反馈加热温度，以保证Cu被氧化（除去氧气）和CO被还原（除去CO₂）的反应条件；加热除氧器上开一观察孔，用厚石英玻璃密封，用于观察铜屑或铜粉的氧化程度，当铜屑或铜粉大部分被氧化时应及时更换，更换该部件时只需要关闭其前后阀门即可将其拆卸更换。

本发明干燥冷却过滤器有冷却水进水口和冷却水出水口，用于对工作气体进行降温，降温目标为20~25℃，并带有温度传感器用于检测冷却后的工作气体温度；设有排气排污阀，在更换该部件时只需要关闭其前后阀门即可将其拆卸更换。由于工作气体中含水极少，故采用硅胶吸水，另为防止CuO等固体小颗粒进入工作气体中，此处需要进行过虑处理。

本发明低压侧抽真空电磁阀，其孔径较大，在刚开机时用于迅速降低轴快流CO₂激光器工作主体的绝对压强，以达到快速启动的目的；罗茨泵或罗茨风机齿轮箱抽真空电磁阀，目的是维持齿轮箱的绝对压强低于循环系统的绝对压强，这样就可以避免大量的润滑油进入循环系统，但它同时也使经过罗茨泵或罗茨风机齿轮箱抽真空电磁阀的工作气体含有大量的润滑油蒸汽；在正常工作时罗茨泵或罗茨风机齿轮箱抽真空电磁阀是常开的，而低压侧抽真空电磁阀根据情况可适当开启或不开。

本发明真空泵排空电磁阀用于真空泵向大气排空，在刚开机前，由于因长时间未开机的系统泄漏而造成的循环系统中含有杂质气体相对较多，故在刚开机时，循环系统应在刚开机的0.5~1小时之内进行适当换气，具体由气体单元输出电磁阀与真空泵排空电磁阀配合进行；一般若循环系统在未开机期间总泄漏在5mbar以内时，可不进行换气，当储气罐一输入电磁阀开启时，工作气体进入储气罐一就开始了工作气体净化流程，并最终经储气罐二输出电磁阀进入轴快流CO₂激光器工作主体；真空泵排空电磁阀与储气罐一输入电磁阀都是通径很大阻力很小的大通径电磁阀，在真空泵开启时必须有一个是开启的，也只能有一个是开启的，当然操作者可根据工作气体情况随时进行切换。

本发明在工作气体净化回收再利用过程中，储气罐二输出电磁阀的开启与关闭是由控制系统根据轴快流CO₂激光器工作主体中的工作压强高低来决定的，这还涉及到齿轮箱抽真空电磁阀和低压侧抽真空电磁阀，它们三者共同配合以保证轴快流CO₂激光器工作主体工作在一稳定压强附近。

本发明在工作气体净化回收再利用过程中，由于泄漏进系统的氮气经过较长时间会使工作气体中氮气含量超过规定比例上限，这时就需要开启特殊工作体更新程序，即先关闭储气罐一输入电磁阀，同时打开真空泵排空电磁阀，系统向外排气，当排气罐二压强低于0.12MPa时，先关闭真空泵排空电磁阀同时打开储气罐一输入电磁阀，再停用储气罐二输出电磁阀同时启用气体单元输出电磁阀，通过气体单元输出电磁阀按比例向系统中送CO₂和He，这样就可以降低工作气体中的氮气含量，直到工作气体中氮气含量降到规定比例下限附近或排气罐二压强达到0.18MPa上限时，再停用气体单元输出电磁阀同时启用储气罐二输出电磁阀；一般当循环系统漏率一定时，开启特殊工作气体更新程序周期也就定下来了。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非是对本发明作任何其他形式的限制，而依据本发明的技术实质所作的任何修改或等同变化，仍属于本发明所要求保护的范围。

Claims (9)

1.一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，包括CO₂高压气瓶（12）、He高压气瓶（13）、N₂高压气瓶（14）、气体单元（15）、轴快流CO₂激光器工作主体（20）、真空泵、储气罐一（22）、油水分离冷却过滤器（24）、加热除氧器（25）、干燥冷却过滤器（26）、储气罐二（28）和真空泵排空电磁阀（37），其特征在于：所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）内高压侧热交换器（3）通过管道与气体单元输出电磁阀（16）和储气罐二输出电磁阀（34）相连，所述气体单元输出电磁阀（16）通过管道与气体单元（15）相连，所述气体单元（15）通过管道与CO₂高压气瓶减压阀（17）、He高压气瓶减压阀（18）和N₂高压气瓶减压阀（19）相连，所述CO₂高压气瓶减压阀（17）接CO₂高压气瓶（12），所述He高压气瓶减压阀（18）接He高压气瓶（13），所述N₂高压气瓶减压阀（19）接N₂高压气瓶（14），所述储气罐二输出电磁阀（34）接储气罐二（28），所述储气罐二（28）通过干燥冷却过滤器输出阀（33）接干燥冷却过滤器（26），所述干燥冷却过滤器（26）下方有干燥冷却过滤器进水口（41）和干燥冷却过滤器出水口（42），所述干燥冷却过滤器（26）通过干燥冷却过滤器输入阀（32）接加热除氧器（25），所述加热除氧器（25）通过加热除氧器输入阀（31）接油水分离冷却过滤器（24），所述油水分离冷却过滤器（24）下方有油水分离冷却过滤器进水口（39）和油水分离冷却过滤器出水口（40），所述油水分离冷却过滤器（24）通过油水分离冷却过滤器输入阀（30）接储气罐一（22），所述储气罐一（22）通过管道储气罐一输入电磁阀（29）接真空泵，所述储气罐一（22）与储气罐一输入电磁阀（29）相连管道一侧有真空泵排空电磁阀（37），所述真空泵通过管道接低压侧抽真空电磁阀（8）和齿轮箱抽真空电磁阀（7），所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）内低压侧热交换器（5）通过管道与低压侧抽真空电磁阀（8）相连，所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）内齿轮箱（11）通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀（7）相连。

2.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述轴快流CO₂激光器工作主体（20）包括罗茨泵或罗茨风机（1）、高压侧热交换器（3）、放电管（4）、低压侧热交换器（5）和罗茨泵或罗茨风机齿轮箱（11），所述罗茨泵或罗茨风机（1）的罗茨泵或罗茨风机出风口（2）通过管道与高压侧热交换器（3）相连，所述罗茨泵或罗茨风机（1）的罗茨泵或罗茨风机进风口（6）通过管道与低压侧热交换器（5）相连，所述放电管（4）在高压侧热交换器（3）与低压侧热交换器（5）之间，所述放电管（4）通过管道与高压侧热交换器（3）和低压侧热交换器（5）相连，所述罗茨泵或罗茨风机（1）一侧有罗茨泵或罗茨风机齿轮箱（11），所述高压侧热交换器（3）通过管道与气体单元输出电磁阀（16）和储气罐二输出电磁阀（34）相连，所述低压侧热交换器（5）通过管道与低压侧抽真空电磁阀（8）相连，所述罗茨泵或罗茨风机齿轮箱（11）通过管道与齿轮箱抽真空电磁阀（7）相连。

3.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述真空泵为正压输出真空泵（21）。

4.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述储气罐一（22）容积为3-5升，额定工作压强为0.6MPa，所述储气罐二（28）容积为1-2升，额定工作压强为0.6MPa。

5.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述储气罐一（22）上有压力传感器一（23），所述储气罐二（28）上有压力传感器二（27）。

6.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述储气罐一（22）上设有储气罐一排空取样阀（36），所述储气罐二（28）上设有储气罐二排空取样阀（35）。

7.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述油水分离冷却过滤器（24）下方设有油水分离冷却过滤器排气排污阀（34），所述干燥冷却过滤器（26）下方设有干燥冷却过滤器排气排污阀（44）。

8.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述加热除氧器（25）下方有加热除氧器排气阀（43）。

9.根据权利要求1所述的一种带工作气体回收再利用装置的轴快流CO₂激光器，其特征在于：所述加热除氧器（25）内有铜粉或铜屑，加热维持温度为600℃-700℃。