CN104798190B - 固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法 - Google Patents

固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法 Download PDF

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Abstract

揭示一种固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法。揭示一种能够固持一个或一个以上工件的承载器。承载器包含沿着承载器中的每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销来对准相应单元内的每一工件，以保证单元中的工件的恰当定位。首先，使工件朝所述单元的一侧边移动。一旦工件已相对于此边对准，工件便接着朝邻近正交边移动，以使得工件与单元的两侧边对准。一旦对准，工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的突起固持于适当位置。另外，对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证罩幕与工件恰当地对准。

Description

固持工件用的系统和承载器及对准承载器内的工件的方法
关于由联邦政府赞助的研究或开发的声明
本发明是由美国政府支持在由能源部授予的合同号DE-EE0004737之下进行的。政府对本发明拥有一定的权利。
技术领域
本发明是有关于一种二维工件的对准，且特别是有关于一种用于固持至少一个工件的技术。
背景技术
例如太阳能电池或半导体晶圆处理等工件处理需要多个步骤来实现成品。在一些实施例中，工件必须从执行这些步骤中的一个的一站移动到执行不同步骤的另一站。在一些状况下，工件置于承载器中，所述承载器在这些转移期间固持并保护工件。
然而，这些承载器常经构造以使得其固持或包封工件的边缘，进而覆盖工件的至少一部分。因此，在一些状况下，工件通常必须从承载器移除以待处理，从而增加处理的时间和复杂性。在对处于承载器中的工件执行处理的那些状况下，常需要额外步骤来确保被承载器阻挡或遮掩的边缘接受与工件的其余部分相同的处理。这些额外步骤再次增加处理的时间和复杂性。此外，在一些状况下，工件在处理期间被覆盖的边缘在另一处理步骤中可能无法被处理，从而降低工件的效率或性能。
另外，在工件处理期间，常有必要在工件前方或顶部放置罩幕以限制工件暴露于能量(通常呈离子或光的形式)。此罩幕必须与工件精确地对准以确保工件被恰当地处理。不幸的是，此临界对准可受各种形式的误差损害，例如在处理期间对于热膨胀系数(coefficient of thermal expansion，CTE)而言，罩幕或其他材料的热膨胀并不热匹配、罩幕与工件的未对准、一般公差堆积、工件不规则性以及其他问题。
因此，将有益的是存在可用以固持工件的承载器，以使得承载器不阻挡或遮掩工件的边缘，进而允许完成对处于承载器中的工件的处理。此外，将有益的是此承载器促进罩幕与工件的对准。另外，将有利的是此承载器能够固持多个工件和多个罩幕，每一罩幕与工件中的一个相关联。
发明内容
揭示一种能够固持多个工件的承载器。所述承载器划分成多个有界区，称作单元，每一单元固持一个工件。所述承载器包含沿着每一单元的边定位的可移动突起。此承载器结合独立对准设备使用多步对准过程相对于若干对准销(alignment pin)来对准相应单元内的每一工件，以保证所述单元中的所述工件的恰当定位。首先，使所述工件朝所述单元的一侧边移动。一旦所述工件已相对于此边对准，所述工件便接着朝邻近正交边移动，以使得所述工件与所述单元的两侧边对准。一旦对准，所述工件便由沿着每一单元的每一侧边定位的所述突起固持于适当位置，这会按压所述工件的边缘。这些突起固持所述工件而不遮掩待处理的所述工件的边缘、顶表面或底表面。另外，工件与其对准的所述对准销还用以对准相关联的罩幕，进而保证所述罩幕与所述工件恰当地对准。
对准设备包含使所述承载器将所述工件中的每一个朝所述单元的一侧边移动的第一组致动器。所述对准设备还包含在所述第一组致动器之后操作的第二组致动器，其使所述承载器朝所述单元的第二邻近正交边对准所述工件。所述对准设备还可包含可用以升起所述工件以及将所述工件下降到所述承载器的另一组致动器。
附图说明
图1示出根据一个实施例的承载器的透视图；
图2示出可与图1的承载器一起使用的罩幕的放大图；
图3示出位于可安装于承载器的单元中的罩幕上的罩幕对准特征中的一个的细节图；
图4示出罩幕被移除的承载器的一个单元的放大图；
图5示出与罩幕对准特征啮合的单元对准销的放大图；
图6示出对准之后的工件；
图7示出对准之前的单元中的工件；
图8示出对准过程期间的工件；
图9示出根据一个实施例的可移动突起的放大图；
图10A到图10C示出致动器与可移动突起之间的交互作用；
图11示出可与图1的承载器一起使用的对准设备；
图12A到图12C示出在各种执行阶段期间的图11的对准设备。
具体实施方式
图1示出承载器100的一个实施例。此实施例示出分组为4×4矩阵的16个单元110。然而，其他配置和单元数量也在本发明的范围内。承载器100包含四个外壁120a到外壁120d以及多个内壁125。这些外壁和内壁以栅格式样布置，其中交叉的壁之间的区域界定单元110。内壁125的数量帮助确定承载器100中的单元110的数量。当然，如果仅需要一个单元110，那么不需要内壁125。
外壁120a到外壁120d以及内壁125的上表面(也称作覆层)优选地由石墨构成，以将由溅镀引起的污染减到最少。承载器100的内部框架、内部框架内的元件以及不暴露于离子植入的任何表面可由不同材料(例如，铝)构成。图1还示出位于单元110中的一个上的罩幕130。
图2为图1所示出的罩幕130的放大图。罩幕130包含肩状物140a到肩状物140e，其搁置在外壁120c、外壁120d以及内壁125(见图1)的顶部。在一些实施例中，罩幕130为整块石墨机械加工的组件。罩幕定位特征145位于肩状物140a、肩状物140d、肩状物140e中的若干个上。这些罩幕定位特征145可由碳化硅构成且压入到位于罩幕130的肩状物140a、肩状物140d、肩状物140e中的对应孔中。基于主要模组布局基准点而对这些罩幕定位特征145机械加工，以便确保每一罩幕130准确地且重复地与每一单元110对准，即使在升高的热环境中也如此。
图3示出图2的罩幕130的仰视图。此图经放大以使得可看见肩状物140d的下表面。一个或一个以上的细长凹陷部150或V形凹槽被设计到此肩状物140d中。可见罩幕定位特征145的底部且其位于相应细长凹陷部150或V形凹槽内。对准销(见图4)配合到这些细长凹陷部150中且与罩幕定位特征145对准。其他肩状物140也可具有一个或一个以上的细长凹槽以及罩幕定位特征。
图4示出未安装罩幕130的单元110的放大图。外壁120a、外壁120b以及内壁125a、内壁125b的部分形成单元110的周边。压板160在单元110的周边内位于单元110的底表面处。压板160可为静电卡盘，如此项技术中已知。压板160可在其中具有一个或一个以上的开口165，所述开口165允许一组升降销(lift pin)延伸穿过压板160以升起工件，如下文更详细地描述。
遮罩层170可沿着压板160的外边缘(即，最靠近周边的那些部分)，遮罩层170确保压板160不会在离子植入期间暴露于离子。此可在被工件占据的区域稍小于由单元110的周边界定的区域的情况下发生。此遮罩层170可为石墨以降低污染的风险。两个对准销180a、对准销180b沿着内壁125b而定位。第三对准销180c沿着外壁120a而定位。这三个对准销180a到对准销180c位于周边上且用以与单元110内的工件对准。这些销也用以经由图2到图3所说明的与这些对准销180a到对准销180c配合的罩幕定位特征145而对准罩幕130。尽管示出了三个对准销180a到对准销180c，但可使用不同数量的对准销。举例来说，两个对准销可沿着外壁120a而定位。
图5示出与罩幕130的肩状物140啮合的对准销180的放大图。罩幕130示出为透明的，因此可示出罩幕130与对准销180之间的交互作用。罩幕定位特征145设置于细长凹陷部150内，如上文所描述。当罩幕与承载器100啮合时，对准销180定位于罩幕定位特征145内。
图6示出移除石墨覆层以实现对承载器100的内部元件的可见性的单元110的放大图。用以对准工件10与单元110的对准销180a到对准销180c的机构位于石墨覆层下方。一个或一个以上的可移动突起190沿着单元110的每一侧边而定位，所述一个或一个以上的可移动突起190操作以在被致动时移动工件10。可移动突起190可为任何合适装置，例如栓或轮子。这些可移动突起190各自通过使用偏置构件(例如，弹簧、松紧带等)而自然地偏置。图6示出位于单元110的每一侧边上的两个此种可移动突起190。在一个实施例中，可移动突起190a、可移动突起190b向内偏置，以便使突起朝单元110的内部移动。类似地，可移动突起190c、可移动突起190d也向内偏置。相比之下，其余可移动突起190e到可移动突起190h都向外偏置，以使得其移动远离单元110。用语“向内”和“向外”相对于所关注单元的内部来说。位于周边的对边上的可移动突起190在相反方向上偏置。在一些实施例中，沿着设置了对准销180的那些边而定位的可移动突起190自然地向外偏置，而其余可移动突起190自然地向内偏置。当然，其他偏置配置也是可能的。
虽然可移动突起190示出为沿着单元110的周边的每一侧边，但其他实施例也是可能的。举例来说，在一些实施例中，可移动突起190仅位于与设置了对准销180的边相对的那些边上。
在一些实施例(例如，图6所示出的实施例)中，沿着内壁125定位的可移动突起190(例如，可移动突起190a到可移动突起190d)可用于两个邻近单元110。换句话说，可移动突起190a到可移动突起190d还将做为邻近单元的可移动突起。在其他实施例中，每一单元110可具有专用可移动突起190。
在操作中，如图7所示，为了将工件10放置在承载器100中，可移动突起190都被致动以便克服其自然偏置位置。换句话说，可移动突起190a到可移动突起190d向外偏置，而可移动突起190e到可移动突起190h向内偏置。这允许将工件放置在压板160上。注意，可移动突起190a、可移动突起190b相对于单元110向外偏置，但相对于邻近单元110将向内偏置。因此，这些可移动突起可在两个邻近单元110中操作。在此位置，工件10不会被朝向对准销180按压。
如图8中所见，接着允许可移动突起190a、可移动突起190b返回到其自然偏置位置，从而使其在单元110的周边内延伸。此动作将工件10推向对准销180a、对准销180b。一旦工件10接触对准销180a、对准销180b，工件10在此方向上的移动便停止。可移动突起190a、可移动突起190b的自然偏置固持工件10使其与对准销180a、对准销180b相抵。
如图6中所见，在可移动突起190a、可移动突起190b停止运动之后，允许可移动突起190c、可移动突起190d返回到其自然偏置位置。此用以将已与对准销180a、对准销180b对准的工件10推向对准销180c。一旦工件10接触对准销180c，工件10在此方向上的移动便停止。可移动突起190c、可移动突起190d的自然偏置固持工件10使其与对准销180c相抵。以此方式，工件10固持于适当位置而不阻挡或遮掩工件10的任何部分。
为了从承载器100移出工件10，可按照相反次序执行这些步骤。在此状况下，可移动突起190c、可移动突起190d经致动以克服其自然偏置位置，且可移动突起190g、可移动突起190h使工件10移动远离对准销180c。随后，可移动突起190a、可移动突起190b经致动以克服其自然偏置位置，且可移动突起190e、可移动突起190f使工件10移动远离对准销180a、对准销180b。
尽管本发明描述工件10首先朝对准销180a、对准销180b移动，且接着朝对准销180c移动的依序操作，但其他实施例也是可能的。举例来说，工件10可同时在两个方向上移动。在另一实施例中，工件10首先朝对准销180c移动，且接着朝对准销180a、对准销180b移动。
类似地，释放工件10的过程可不同。在另一实施例中，可移动突起190a到可移动突起190d同时被致动，以使得工件移动而同时远离所有对准销180a到对准销180c。在另一实施例中，可移动突起190a、可移动突起190b首先被致动，进而推动工件10远离对准销180a、对准销180b。可移动突起190c、可移动突起190d接着被致动，从而使工件10移动远离对准销180c。
换句话说，可移动突起190可按照任何预定序列致动。
可移动突起190可按照多种方式致动。图9示出可移动突起190的一个实施例的放大图。可移动突起190包含可旋转轮子191，其可关于位于突起190的一个末端附近的轴枢转。可移动突起190可关于点192枢转。突起190的相对末端可附接到偏置构件193。偏置构件193使可移动突起190关于点192旋转。偏置构件193可为允许不规则形状的工件10用于承载器100中的顺应性弹簧机构。偏置构件193还允许在处理期间由热生长引起的膨胀，这是因为(例如)在离子植入期间施加于工件10上的能量可为显著的且可使部分的工件10以不同速率生长。偏置构件193也独立于每一可移动突起190，其允许独立地使用每一可移动突起190。此可减少对每一工件10的边缘的赫兹应力。致动器221为上下推动可移动突起190且使可移动突起190关于点192枢转的机械装置。偏置构件193接着做为抗衡机构，从而允许可移动突起190在致动器221从开口194缩回之后返回到自然偏置位置。帮助俘获偏置构件193的弹簧止挡件可位于偏置构件193的背面上。在一些实施例中，偏置构件193可推动可移动突起190，而在其他实施例中，偏置构件193拉动可移动突起190。在一个位置，可移动突起190(且具体地说轮子191)延伸到单元110中。在第二位置，轮子191从单元110缩回。开口194位于可移动突起190中。此开口194与可移动突起190下方的孔隙对准，致动器可延伸穿过所述孔隙。当致动器延伸到此开口194中时，其移动可移动突起190且将可移动突起190固持于与其自然偏置位置不同的固持位置。
虽然图9示出轮子191，但可移动突起190的其他配置也在本发明的范围内。举例来说，轮子191可替换为执行相同功能而不需要旋转的栓或其他刚性构件。此栓或其他机构仍可连接到偏置构件193。轮子191、栓或其他机构的接触工件10的表面可为平坦的、成角度的、弯曲的，或其他形状。
图10A到图10C示出可移动突起190的横截面图，其示出致动器221与开口194之间的交互作用。如图10A中可见，当可移动突起190处于其自然偏置位置时，致动器221不与开口194确切地对准。可移动突起190中的开口194具有侧壁，所述侧壁具有面向下的斜坡195。当致动器221向上移动穿过承载器100中的孔隙时，其沿着此斜坡195行进，从而使可移动突起190移动远离其自然偏置位置，如图10B中所见。当致动器221完全延伸时，如图10C所示出，可移动突起190处于固持位置。
图11示出一种可能的对准设备200。此设备200可用以将工件10降低到承载器100上，按预定序列致动可移动突起190，且稍后从承载器100升起工件。
设备200具有数个板，其中一些为固定的且其他为可移动的。顶板210为固定的且提供可设置承载器100的平台。此顶板210可具有多个孔，升降销231以及致动器221可通过所述孔。在其他实施例中，顶板210的一部分(例如，中间部分)可经移除，让空间可以使这些升降销231以及致动器221通过。顶板210还可具有用以将承载器100固持或紧固到顶板210的机构。在一个实施例中，此机构可为一组磁石，其与位于承载器100的底部的磁性部分对准。
称作致动器板220的可移动板位于顶板210下方。致动器板220耦合到线性致动器280，其使致动器板220沿着中心轴杆290上下移动。多个致动器221位于致动器板220的上表面上且向上延伸。这些致动器221可具有各种高度。在两种不同高度的状况下，一组致动器221a用以致动每一单元110的可移动突起190a、190b和190e、190f(见图6)。这些致动器具有第一高度。第二组致动器221b用以致动每一单元110的可移动突起190c、190d和190g、190h。这些致动器221b具有大于第一高度的第二高度。这些致动器221通过顶板210中的开口，如上文所描述。可采用其他各种高度的致动器以促进将工件移动到具体装载、卸载、钳夹、偏移和旋转位置。可执行此以用于(例如)处理、剪裁改进、为进行重复性和准确性验证而进行的成像或机器人的教示方法。
升降板230位于致动器板220下方。升降板230的顶表面具有多个向上延伸的升降销231，其用以从承载器100升起工件10。这些升降销231经定位以便接触工件10的下侧。如上文所描述，压板160(位于承载器100中)中的每一个可具有允许这些升降销231延伸到承载器100中且升起工件10的开口。此升降板230由线性致动器281控制，所述线性致动器281允许升降板230沿着中心轴杆290垂直地移动。为了容纳这些升降销231，致动器板220可在其中具有允许升降销231通过的开口。
对准设备200还可具有底板240，其为固定的且用于承载且用作支撑锚。
在操作中，如图12A所示出，升降板230朝顶板210升起，这与致动器板220一样。升降销231延伸穿过承载器100。机器人或其他机构接着将工件10装载在与每一相应单元110相关联的所述一组升降销231上。在一些实施例中，存在与每一单元110相关联的四个升降销231，但其他数量的升降销231可延伸穿过每一单元。
升降板230接着按照线性致动器281控制而下降，这允许工件10坐落于其相应单元110中，如图12B所示出。在此视图中，已看不见工件10，这是因为其坐落于承载器100内。此时，致动器板220仍朝顶板210向上定位，以使得致动器221a、致动器221b与可移动突起190中的开口194啮合，如图10C所示出。
当致动器板220向下移动(如图12C中所见)远离顶板210以及承载器100时，含有较短销的第一组致动器221a首先与可移动突起190a、190b和190e、190f(见图6到图8)脱离。这允许这些突起190a、190b和190e、190f移动到其自然偏置位置且使工件10移动而与对准销180a、180b相抵，如图8所示出。
当致动器板220继续移动远离顶板210时，如图12C中所见，较长的第二组致动器221b与其余可移动突起190c、190d和190g、190h脱离。这允许其余可移动突起190c、190d和190g、190h返回到其自然偏置位置。此移动使工件10移动而与对准销180c(见图6)相抵。第一组致动器221a与第二组致动器221b的脱离之间的时间是基于这两组致动器221a、致动器221b之间的高度差以及致动器板220移动的速度(假设致动器板220以恒定速度移动)而确定的。当然，可通过使用致动器板220的非线性速度曲线(speed profile)来调整此时间。此可通过在第一组致动器221a已脱离之后控制线性致动器280以减慢致动器板220的速度来实现。
在一些实施例中，在两个独立步骤中执行双向对准会减少单元中的工件破坏或工件堵塞或未对准。在其他实施例中，可以同时执行两个方向上的对准。
在另一实施例中，致动器板220可实施为两个独立的板，其中一个板具有第一组致动器221a且第二板具有第二组致动器221b。这些板可由独立线性致动器独立地控制，以使得致动器221可按任何所要序列移动。此配置实现不同的啮合与脱离序列。
如上文所提及，其他实施例也是可能的。举例来说，所有致动器221可具有相同高度，这是因为工件10的对准在两个方向上同时发生。
一旦致动器板220和升降板230已降低，工件便都对准且经由可移动突起190(见图9)钳夹到其相应单元。一旦工件被钳夹，便可处理承载器100。工件的处理可包含离子植入、沉积、蚀刻或其他处理步骤，如此项技术中众所周知。在一个实施例中，在处理工件之前将罩幕(例如，图1到图3所示出的罩幕)放置在每一相应单元上。这可使用机器人机构来完成。在另一实施例中，在处理期间不使用罩幕。承载器100可移动到与发生工件对准的位置不同的位置以用于处理(例如，离子植入)。此处理可涉及翻转或旋转承载器100。本文所揭示的实施例可在此移动、翻转、旋转或其他运动期间将工件10保持于单元110中。
本发明在范围上不受本文中描述的具体实施例限制。实际上，除本文中描述的实施例之外，根据上述描述和随附附图，本发明的其他各种实施例和修改对于所属领域的技术人员而言将为明显的。因此，希望这些其他实施例和修改落入本发明的范围内。此外，尽管本文中已在具体实施方案的上下文中在具体环境中针对具体目的描述了本发明，但所属领域的技术人员应认识到，其用处不限于此且本发明可有益地在任何数目个环境中针对任何数目个目的而实施。因此，本文阐述的权利要求应鉴于如本文中描述的本发明的整个范围和精神来解释。

Claims (12)

1.一种用于固持至少一个工件的系统，包括：
承载器，包括
多个壁，布置为栅格，其中所述壁中的四个界定单元的周边，其中所述单元经配置以固持工件；
沿着所述周边的第一侧边定位的一个对准销以及沿着所述周边的第二侧边定位的一个对准销，所述第二侧边邻近且垂直于所述第一侧边；
多个可移动突起，沿着所述单元的所述周边的第三侧边以及第四侧边定位，其中所述第三侧边以及所述第四侧边分别与所述第一侧边以及所述第二侧边相对，且其中所述可移动突起各自包括开口；以及
偏置构件，与所述可移动突起中的每一个连通以使得所述可移动突起自然地偏置到所述周边中；
致动器，经配置以进入所述可移动突起中的每一个中的所述开口，所述致动器使所述可移动突起远离所述周边而移动到固持位置；以及
设备，所述设备包括：
顶板，所述承载器设置在所述顶板上；以及
可移动致动器板，与第一线性致动器连通，包括自其向上延伸的所述致动器，其中第一群组的所述致动器具有第一高度，且第二群组的所述致动器具有小于所述第一高度的第二高度。
2.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统，还包括沿着所述第一侧边以及所述第二侧边定位的多个额外可移动突起，每一所述额外可移动突起与额外偏置构件连通以使得所述额外可移动突起自然地偏置远离所述周边。
3.根据权利要求2所述的用于固持至少一个工件的系统，其中所述额外可移动突起各自包括相应致动器进入所穿过的开口，所述相应致动器使所述额外可移动突起中的一个朝所述周边移动到所述额外可移动突起的固持位置。
4.根据权利要求2所述的用于固持至少一个工件的系统，还包括与所述第一侧边邻近的第二单元，其中沿着所述第一侧边的所述额外可移动突起做为沿着邻近的所述第二单元中的所述第三侧边的所述可移动突起。
5.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统，还包括位于所述单元的底部的压板，所述压板包括至少一个开口，升降销延伸穿过所述开口以从所述单元移出所述工件。
6.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统，所述设备还包括：
可移动升降板，与第二线性致动器连通，包括自其延伸的升降销以从所述承载器升起所述工件。
7.根据权利要求1所述的用于固持至少一个工件的系统，其中所述第一群组的所述致动器中的一个与所述第四侧边的所述可移动突起中的所述开口对准，且所述第二群组的所述致动器中的一个与所述第三侧边上的所述可移动突起中的所述开口对准，以使得当所述可移动致动器板移动远离所述承载器时，在所述第四侧边上的所述可移动突起变得与所述第一群组的所述致动器脱离之前，所述第三侧边上的所述可移动突起变得与所述第二群组的所述致动器脱离。
8.一种用于固持一个或一个以上工件的承载器，包括：
多个壁，布置为栅格，其中所述壁中的四个界定单元的周边，其中所述单元经配置以固持工件；
沿着所述周边的第一侧边定位的一个对准销以及沿着所述周边的第二侧边定位的一个对准销，所述第二侧边邻近且垂直于所述第一侧边；
多个可移动突起，沿着所述单元的所述周边的第三侧边以及第四侧边定位，其中所述第三侧边以及所述第四侧边分别与所述第一侧边以及所述第二侧边相对，且其中所述可移动突起具有固持位置以及自然偏置位置；
偏置构件，与所述可移动突起中的每一个连通以使得所述可移动突起在处于所述自然偏置位置时自然地偏置到所述周边中；
多个额外可移动突起，沿着所述第一侧边以及所述第二侧边定位，每一所述额外可移动突起与额外偏置构件连通以使得所述额外可移动突起在所述自然偏置位置自然地偏置远离所述周边；以及
第二单元，与所述第一侧边邻近，其中沿着所述第一侧边的所述额外可移动突起做为沿着邻近的所述第二单元中的所述第三侧边的所述可移动突起。
9.根据权利要求8所述的用于固持一个或一个以上工件的承载器，其中所述额外可移动突起各自包括致动器进入所穿过的开口，所述致动器使所述额外可移动突起朝所述周边移动到所述额外可移动突起的固持位置。
10.一种对准承载器内的工件的方法，其中所述承载器包括至少一个单元，且所述单元包括在第一侧边上的第一对准销以及在第二侧边上的第二对准销，所述第二侧边邻近且垂直于所述第一侧边，所述对准承载器内的工件的方法包括：
固持位于与所述第一侧边相对的第三侧边上的第一可移动突起，以及位于与所述第二侧边相对的第四侧边上的第二可移动突起，每一可移动突起处于所述单元的周边外部的固持位置；
将工件降低到所述单元中；
从所述固持位置释放所述第一可移动突起，以便允许所述第一可移动突起移动到所述单元的所述周边内的自然偏置位置，进而使所述工件朝所述第一对准销移动；以及
从所述固持位置释放所述第二可移动突起，以便允许所述第二可移动突起移动到所述单元的所述周边内的自然偏置位置，进而使所述工件朝所述第二对准销移动，其中所述第一可移动突起和所述第二可移动突起中的每一个包括致动器进入所穿过的开口，所述致动器使所述第一可移动突起和所述第二可移动突起远离所述周边移动到所述固持位置，所述对准承载器内的工件的方法还包括：
使包括自自身延伸的多个所述致动器的板移动远离所述承载器，其中所述致动器中的每一个与所述开口中的一个对准，以使得当所述致动器中的一个处于所述开口中时，所述第一可移动突起和所述第二可移动突起保持于所述固持位置，且当所述致动器从所述开口移出时，所述第一可移动突起和所述第二可移动突起移动到所述周边内的自然偏置位置。
11.根据权利要求10所述的对准承载器内的工件的方法，其中多个所述致动器包括具有第一高度的第一群组的致动器，以及具有小于所述第一高度的第二高度的第二群组的致动器，且所述第一群组中的一个与所述第二可移动突起中的所述开口对准，且所述第二群组中的一个与所述第一可移动突起中的所述开口对准，以使得当所述板移动远离所述承载器时，在所述第二可移动突起移动到所述自然偏置位置之前，所述第一可移动突起移动到所述自然偏置位置。
12.根据权利要求10所述的对准承载器内的工件的方法，其中降低步骤包括：
将所述工件放置在一个或一个以上的升降销上；以及
使设置在所述承载器下方的包括自自身延伸的所述升降销的板移动远离所述承载器，以使得所述工件降低到所述单元中。
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