CN104798172B - 试样台、带电粒子束装置及试样观察方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。

Description

试样台、带电粒子束装置及试样观察方法

技术领域

本发明涉及能够观察试样内部的带电粒子束装置及其试样台。

背景技术

为了观察物体的微小区域的内部构造，使用扫描式透射电子显微镜(STEM)、透射式电子显微镜(TEM)等。作为使用这样的电子显微镜来用于观察试样内部的一般的观察方法，已知下述方法：在具备多个空孔的网状的试样台上，配置切片成薄至能够透射电子束的程度的试样，利用在相对于试样面与电子源一侧相反侧配置的检测器来取得透射电子束。然而，该方法中形成试样浮在网的空孔上的构成，因此搭载于试样台上的操作非常困难。因此，专利文献1提出了能够直接载置观察用试样的电子检测器。

此外，物体的微小区域不仅能够通过电子显微镜，也能够通过光学显微镜进行观察。通过使用光学显微镜，能够取得采用电子显微镜时原理上无法取得的颜色信息。在光学显微镜中，从某一侧照射白色光或特定的光，利用其相反面侧的光学系统来成像被试样吸收或从试样放出的具有颜色信息的光，从而能够得到透射光学图像。由此，例如通过在生物细胞试样等中加入特定的染色材料，能够仅染上细胞内的特定区域，从而通过观察其颜色，能够观察哪个区域已染上或未染上。特别是，透射光学图像与反射式光学图像相比一般而言分辨率高，因此广泛地用于病理诊断、生命科学的领域。

电子显微镜无法取得颜色信息，另一方面，电子显微镜能够以高分辨率观察采用光学显微镜时无法观察的微小区域。此外，由电子显微镜图像得到的信息为反映试样的密度差的信息，与由光学显微镜得到的信息相比是不同性质的。

现有技术文献

专利文献

专利文献1:日本特开平10-283978号公报

发明内容

发明所要解决的课题

由于如上所述通过电子显微镜和光学显微镜所得到的信息不同，因此近年来要利用电子显微镜和光学显微镜这两者来观察同一试样的要求大量地增加。然而，专利文献1的检测器兼试样台无法透射光，实质上是无法利用光学显微镜进行观察的面向电子显微镜的试样台。因此需要分别制作面向电子显微镜的试样和面向光学显微镜的试样，存在制作试样花费工夫等问题。

本发明鉴于这样的问题而提出，其目的在于，提供利用一个试样就能够进行利用以往的一般的光学显微镜的观察和利用透射带电粒子的观察这两者的试样台、带电粒子束装置及试样观察方法。

用于解决课题的方法

为了解决上述课题，本发明的特征在于，使用下述试样台来取得试样的透射带电粒子显微镜图像及光学显微镜图像，所述试样台在形成试样台的至少一部分且利用透射或散射试样内部的带电粒子而发光的发光部件上，直接或隔着规定的部件配置前述试样，至少在配置有试样的部位和试样台中与配置有前述试样的部位相对的面之间，能够通过特定或全部波长区域的可见光或紫外光或红外光。

此外，本发明的特征在于，对于在形成试样台的至少一部分且利用透射或散射试样的内部的带电粒子而发光的发光部件上配置的试样，照射带电粒子束，检测该发光部件的发光，取得带电粒子显微镜图像，将该试样配置在试样台的状态下，利用光学显微镜取得光学显微镜图像。

发明的效果

根据本发明，可以提供利用一个试样就能够进行利用以往的一般的光学显微镜的观察和利用透射带电粒子的观察这两者的试样台、带电粒子束装置及试样观察方法。

上述以外的课题、构成及效果，通过以下实施方式的说明来明确。

附图说明

图1是光学显微镜观察和带电粒子束显微镜观察的概略说明图。

图2是具备检测元件的试样台的详细图。

图3是具备检测元件的试样台的详细图。

图4是具备检测元件的试样台的详细图。

图5是具备检测元件的试样台的详细图。

图6是具备检测元件的试样台的详细图。

图7是具备检测元件的试样台的详细图。

图8是具备检测元件的试样台的详细图。

图9是具备检测元件的试样台的详细图。

图10是用于检测来自检测元件的透射带电粒子的说明图。

图11是用于实施实施例1中的带电粒子显微镜观察的整体构成图。

图12是用于实施实施例1中的带电粒子显微镜观察的整体构成图。

图13是用于实施实施例1中的光学显微镜观察的构成图。

图14是实施例2中的带电粒子束显微镜和光学显微镜的复合装置的构成图。

图15是用于检测来自检测元件的透射带电粒子束的说明图。

图16是实施例3中的带电粒子束显微镜和光学显微镜的复合装置的构成图。

图17是实施例4中的带电粒子束显微镜和光学显微镜的复合装置的构成图。

图18是实施例5中的带电粒子束显微镜和光学显微镜的复合装置的构成图。

具体实施方式

以下，使用附图对各实施方式进行说明。

以下，对本发明中的试样台的详细内容及应用该试样台的带电粒子束装置进行说明。但是这仅是本发明的一个例子，本发明不限于以下说明的实施方式。本发明也可以适用于扫描电子显微镜、扫描离子显微镜、扫描透射电子显微镜、它们与试样加工装置的复合装置、或应用它们的解析、检查装置。

此外，在本说明书中，“大气压”意味着在大气气氛或规定的气体气氛，并处于大气压或若干负压状态的压力环境。具体而言为约10⁵Pa(大气压)至～10³Pa程度。

实施例1

<概要>

首先，使用图1，关于本实施例的概要进行说明。图1中示出本实施例中的具备能够将带电粒子束转换成光或增幅来发光的检测元件500(也称为发光部件)的试样台600、带电粒子束显微镜601、和光学显微镜602。试样台600上可搭载试样6。

具备该试样台的检测元件由透明的部件制作。以下，本说明书中，“透明”的意思是指特定的波长区域的可见光或紫外光或红外光能够通过，或全部的波长区域的可见光或紫外光或红外光能够通过。作为波长区域，大概为380nm至750nm等区域。例如，即使有些颜色混合存在，若能够透视，则意味着特定的波长区域的可见光能够通过，若是无色透明，则意味着全部的波长区域的可见光能够通过。在此“能够通过”指至少通过利用该波长区域的光能够进行光学显微镜观察的光量的光(例如透射率期望为50％以上)。此外，在此，特定的波长区域为至少将用于光学显微镜的观察的波长区域包含在内的波长区域。因此可以用于一般的光学显微镜(透射式光学显微镜)，所述光学显微镜能够从试样台的另一面侧，检测来自本实施例的试样台的一面侧的光透射试样而得的“光透射信号”。作为光学显微镜，只要是生物显微镜、立体显微镜、倒立式显微镜、金属显微镜、荧光显微镜、激光显微镜等使用光的显微镜，则可以是任何显微镜。此外，在此为了说明而设为“显微镜”，但无论图像的放大率多少，本发明能够普遍地适用于通过对试样照射光来取得信息的装置。

在本实施例中，也可以利用试样台所具备的检测元件，来检测在带电粒子束显微镜内产生的带电粒子束照射试样6后透射或散射试样内部而得的“带电粒子透射信号”，从而取得透射带电粒子显微镜图像。如后所述，为了将来自检测元件500的光转换成电信号及增幅，在带电粒子束显微镜601内具备光检测器503。

本实施例的试样台可以搭载于电子显微镜等带电粒子束显微镜装置，因此可以成为与光学显微镜共用的共同试样台。也就是说，如图中箭头所图示那样，通过使同一个试样台在各显微镜之间移动来进行观察，无需为了应对各显微镜的观察而制作多个试样或将试样转移，就能够在一个试样台上配置试样的状态下进行带电粒子束观察和光学观察。予以说明的是，可以如图1所示利用个别配置的各显微镜搭载同一个试样台，也可以使用如后所述的使光学显微镜和带电粒子显微镜一体化的复合式显微镜装置。以下，关于试样台、试样搭载方法、图像取得原理、装置构成等详细内容进行说明。

<试样台的说明>

使用图2对本实施例中的试样台的详细内容进行说明。本实施例的试样台由将带电粒子束转换成光的透明的检测元件500和支持它的透明部件501(也称为基座)构成。试样6直接搭载在检测元件500上。或也可以如后所述，隔着膜等部件，间接地搭载。透明部件501，理想地为无色透明，但也可以有些颜色混合存在。作为透明部件501，为透明玻璃、透明塑料、透明的结晶等。要利用荧光显微镜等进行观察的情况下，最好荧光不被吸收，因而最好是塑料。在本实施例的试样台中，至少位于配置有试样的部位和试样台中与配置有试样的部位相对的面之间的检测元件和透明部件为“透明”即可。

检测元件500是检测以数keV至数十keV的能量飞来的带电粒子束，如果照射带电粒子束则发出可见光、紫外光、红外光等光的元件。作为检测元件，为例如闪烁体、发光材、YAG(钇铝石榴石)元件、YAP(钇铝钙钛矿)元件等。只要是能够将带电粒子束转换成光的元件，则检测元件500可以是任何材料。予以说明的是，检测元件也可以不是能够装卸的固体，而是将通过照射带电粒子束而发出荧光的荧光剂涂覆了的薄膜、微粒。在本实施例中，也包含它们，将通过在受光面接受带电粒子而发出光的部件统称为发光部件。带电粒子束的固体内平均自由行程取决于带电粒子束的加速电压，为数十nm至数十μm。因此，检测元件500的上表面的发光区域也是距离检测元件表面同程度的厚度的区域。因此，检测元件500的厚度超过该厚度即可。另一方面，如前所述，利用光学显微镜观察时，光透射信号需要尽量能够透射，因此使用有些颜色混合存在的检测元件的情况下，该检测元件最好尽量薄。

作为经常用于光学显微镜中的试样台，有载玻片(或标本)、培养碟(dish)(或培养皿)等透明试样台。也就是说，如果使本实施例中具备能将带电粒子束转换成光的检测元件的试样台成为面向这些光学显微镜的一般的载玻片(例如约25mm×约75mm×约1.2mm)的形状，则用户能够以以往使用的经验、感觉来进行试样搭载、试样观察。因此，能够采用使用光学显微镜进行初次筛选，直接利用带电粒子显微镜对筛出的试样进行详细观察这样的使用方法。或，由于利用一般的高性能透射式带电粒子束显微镜装置调制试样，需要很大的劳力，因此也可以将利用本实施例中的试样台的观察当作进行高性能的透射式带电粒子束显微镜观察之前的筛选。此外，光学显微镜用户所保有的光学显微镜用的载玻片的盒、试样搭载装置等也可以直接利用。在图2中图示如载玻片的截面图那样的形状，但也可以设为如图3那样的培养碟(或培养皿)的形状。图3(a)为截面图，图3(b)为面视图。与图2相比，在配置有试样的部位的周缘部存在侧壁504，因此液体等试样不会漏出。

在图2、图3中，使检测元件500的上表面与透明部件501的上表面的位置一致来图示。为了能够使得光学显微镜用户以与以往使用载玻片、培养皿时相同的感觉、经验来进行试样搭载，期望这样使检测元件500的上表面(即配置试样的部位)与透明部件501的上表面处于相同的高度，且检测元件500和透明部件501之间没有太多的凹凸的状态。图4中示出检测元件500的上表面与透明部件501的上表面一致的试样台的例子。作为制作方法，将检测元件500和透明部件501分别制作，透明部件501为对玻璃、塑料等透明材赋予凹部，将检测元件500嵌入其中来制作即可。如果某一方突出，则也可以进行研磨等光学研磨整平。透明部件501和检测元件500之间通过粘接剂、双面胶带、机械嵌合等来固定。或也可以通过化学结合来结合。或也可以最初埋入检测元件来制作后，进行光学研磨直至检测元件露出试样台的表面。

如果可以使用非常大的检测元件，则能够如图5(a)所示那样将试样台整面作为检测元件。即，也可以将检测元件自身用作试样台，或载置透明部件的试样的一面侧的全部区域作为发光部件。在该情况下，在试样台上的任何位置都可以取得由带电粒子束产生的透射信号。此外，作为另外的方式，也可以如图5(b)所示那样在透明部件上配置多个检测元件。在有多个试样的情况时等，这样安排能够使得易于明白哪个试样在哪个检测元件位置等。

如前所述，带电粒子束的固体内平均自由行程取决于带电粒子束的加速电压，其为数十nm至数十μm，因此可以将与该平均自由行程相比充分薄的膜502配置于检测元件500和试样之间。即，在覆盖检测元件500的薄膜502上载置试样。将该试样台示于图6(a)。其厚度记载于图中A中。该薄膜502需要相对于带电粒子束和光透明。即，需要是带电粒子束的至少一部分能够透射的厚度和材质。配置这样的薄膜502，则能够防止检测元件500的表面的污垢、伤痕等。但是在薄膜502为绝缘物的情况下，有时在真空中将带电粒子束照射至检测元件500时带电，导致试样的观察变难。因此，通过使图6(a)的薄膜502为导电部件，则还能够去除前述带电。此外，如图6(b)所示那样，也可以将薄膜502和透明部件501一体成型而作为同一部件。也就是说，将检测元件500埋入透明部件501内部并制造，然后通过利用光学研磨将检测元件500的上表面和透明部件501的距离研磨至A，从而能够制作图6(b)的试样台。这是因为与图6(a)的试样台相比部件种类少，因此能够以低价来防止将检测元件500的表面的污垢、伤痕等。

此外，如果用户能够以以往的经验、感觉来进行试样搭载，也可以如图7(a)所示那样，检测元件500从试样台600的表面稍微突出。例如，能够通过将具有数百μm以下厚度的检测元件500贴附于透明部件501上这样的方法来制作。在该情况下，透明部件501是非常简单的形状，检测元件500的面积也小，因而能够以低成本制作试样台。此外，检测元件500自身以低成本能够制作或能够得到，则也可以如图7(b)所示那样，将透明部件和检测元件的厚度设为相同，使从试样台上表面至下表面为检测元件500的形状。在该情况下，透明部件501发挥作为用于支持检测元件500的基座的作用。或虽没有图示，但如果能够将检测元件500以非常低的成本制作，则也可以将试样台600整体设为检测元件500。也就是说，透明的部件501成为检测元件500。

如在图8中说明的那样，本实施例的试样台也可以与培养容器一体化。在试样台600上配置容器700(图8(a))。容器700为例如上侧及下侧成为开放面的圆管状部件。接着，在容器700内部搭载细胞等试样6及培养液等培养基701(图8(b))。予以说明的是，为了使培养基701不从试样台600和容器700之间漏出，可以具备橡胶、密封件等防漏部件。然后，在培养后，去除培养液等培养基701(图8(c))。然后，通过将容器700从试样台600剥离，能够形成试样6贴附于检测元件500的状态(图8(d))。图中，只记载一个检测元件500及容器700，但也可以在一个试样台上配置多个。予以说明的是，由于带电粒子束及光必须透射，因此试样需要薄。例如，数十nm至数十μm程度的厚度。因此，前述培养的培养细胞需要在培养后成为前述厚度的程度。作为培养细胞，有培养的神经细胞、血细胞或iPS细胞等。或也可以是细菌、病毒类。通过使用该手段，能够将在试样台600上培养的细胞试样搭载于试样台600上的状态下取得透射带电粒子显微镜图像及光学显微镜图像。

试样台600不仅可以用于带电粒子束显微镜，也可以用于光学显微镜，按照如后所述，利用在与搭载试样的面相反的一侧配置有物镜252的倒立式光学显微镜，也能够观察该试样台上的试样。此时，有要使光学显微镜的物镜252尽量与试样接近的情况。将物镜252与试样6的距离设为L时，有要使L为数百μm程度以下的情况。

可考虑使具备检测元件500的试样台600整体薄至距离L以下的方法，但有时试样台600本身过薄而使强度弱。因此，可以使试样台上载置有试样的部分的透明部件与其他部分相比薄。即，如图9(a)所示那样，通过制作与试样台600的厚度(图中B部)相比使配置有试样的部及检测元件500部的厚度薄的区域，从而能够使试样6和物镜252的距离为L。通过这样，由于试样台的两端厚，因此能够提高试样台600自身的强度。此外，只要用户能够以以往的经验、感觉来搭载试样，则如图9(b)所示那样，两端厚的区域可以在相反侧，厚的区域也可以在试样载置面的上下两侧。

此外，如前所述，检测元件500也可以是将利用照射带电粒子束而产生荧光的荧光剂涂覆了的薄膜、微粒。作为制作方法，可以采用例如将荧光剂溶于水、醇等溶剂，在标本上进行旋涂、浸涂的方法。或也可以用喷雾等来涂覆。

光学显微镜中经常使用的载玻片(或标本)、培养碟(或培养皿)，有时为了使试样与试样台不分离，将用于提高试样与试样台的密合性的物质涂布于试样台。例如，试样为细胞等生物试样的情况下，由于细胞表面处于因脂质双层的磷酸脂而导致的负的带电状态，因此有时通过将正的带电状态的分子(赖氨酸、氨基硅烷等)涂布于载玻片等试样台上，从而防止细胞试样从试样台剥离。试样台600或检测元件500也可以同样地附着有正的带电状态的分子。或为了使大量包含液体的状态的试样易于搭载，也可以涂布具有亲水性的材料。或为了使活的细胞、细菌易于搭载或培养，也可以涂布如胶原蛋白那样与生物试样亲和性高的材料。予以说明的是，在此，涂布广泛地包含散布、浸渍、涂覆等使涂覆材料附着于试样台表面的方法。

此外，也可以在试样台600上具备能将与试样6相关的信息即文字、号码、条形码、图画等记载的纸、贴纸部(seal portion)。在该情况下，搭载于试样台的试样6的管理变得容易。

<方法及原理的说明>

以下，对于使用本实施例的试样台的光检测方法及能够取得透射带电粒子束的原理进行说明。图10中示出在检测元件500上配置有试样6的状态。在试样台下示出光检测器503。光检测器503能够将来自检测元件500的光信号转换或增幅成电信号。被转换或增幅的电信号通过通信线输入至控制部、计算机，由这些控制系统来进行图像化。取得的图像(透射带电粒子束图像)也可以在显示器等上表示。

光检测器503和试样台之间(图中h部分)可以存在空间，但为了将光尽量高效率地检测，该高度h最好尽量短。试样台和光检测器503也可以接触。此外，也可以通过使光检测器503的受光面积增大，将光尽量高效率地检测。或在试样台和光检测器503之间的空间的h部，可以配置将光高效率地传送的光传送路。此外，图中，光检测器503配置在试样台600的下侧，但也可以如后所述配置在横向等。

在此考虑，试样内存在密度高的部位508和密度低的部位509。对试样内密度高的部位508照射一次带电粒子束510的情况下，由于带电粒子束大多数在后方散射，因此带电粒子束达不到检测元件500。另一方面，对试样内密度低的部位509照射一次带电粒子束511的情况下，带电粒子束能够透射直至检测元件500。其结果是能够利用检测元件500检测试样内部的密度差。该透射情况根据带电粒子束的加速能量而变化。因此，通过改变带电粒子束的加速能量，能够改变要观察的内部信息和其区域。

将在试样台上载置试样的方法在以下阐述。由于带电粒子束及光必须透射，因此试样需要薄。例如数十nm至数十μm程度的厚度。作为能够直接搭载在检测元件500上的试样，为例如含有细胞的液体、粘膜，血液、尿等液态生物样本，切成片的细胞，液体中的粒子，如菌、霉、病毒那样的微粒，含有微粒、有机物等的软材料等。试样的搭载方法可以例如在棉签的前端使试样附着，将其涂布于检测器上，也可以用滴管滴加。此外，在微粒的情况下，可以撒在检测器上。可以利用喷雾等涂布，也可以采用将液体高速旋转而涂布于试样台的旋涂法，也可以采用通过将试样台浸渍于液体并取出来进行涂布的浸涂法。无论是什么方法，只要能够使试样厚度为数十nm至数十μm程度的厚度，则可以是任何方法。

<真空的带电粒子束装置观察时的说明>

在此，图11中记载在一般的带电粒子束装置中搭载有本实施例的试样台的装置。带电粒子显微镜主要由带电粒子光学镜筒2、相对于装置设置面支持带电粒子光学镜筒的壳体7(以下，有时也称为真空室)及控制它们的控制系统构成。使用带电粒子显微镜时，带电粒子光学镜筒2和壳体7的内部通过真空泵4进行真空排气。真空泵4的启动及停止动作也通过控制系统来控制。图中，仅示出一个真空泵4，但也可以有二个以上。

带电粒子光学镜筒2由产生一次带电粒子束的带电粒子源8；将产生的带电粒子束集束并引导至镜筒下部，且将一次带电粒子束扫描于试样6上的光学镜头1等要素构成。带电粒子光学镜筒2以向壳体7内部突出的方式设置，介由真空密封部件固定于壳体7。在带电粒子光学镜筒2的端部，配置将通过照射上述一次带电粒子束而得的二次带电粒子(二次电子或反射电子等)进行检测的检测器3。检测器3可以不在图示的位置，而只要是在壳体7内部，就可以在任何位置。

利用到达试样6的带电粒子束，从试样内部或表面，将反射带电粒子、透射带电粒子等二次带电粒子放出。利用检测器3检测该二次带电粒子。检测器3是能够将以数keV至数十keV的能量飞来的带电粒子束检测及增幅的检测元件。例如，是由硅等半导体材料制作的半导体检测器、在玻璃面或其内部能够将带电粒子信号转换成光的闪烁体等。

本实施例的带电粒子显微镜，作为控制系统，具备：装置使用者所使用的计算机35、与计算机35连接并进行通信的上位控制部36、按照从上位控制部36发送的命令控制真空排气系统、带电粒子光学系统等的下位控制部37。计算机35具备：将装置的操作画面(GUI)显示的显示器、和键盘、鼠标等向操作画面输入的手段。上位控制部36、下位控制部37及计算机35分别通过通信线43、44连接。

下位控制部37为将用于控制真空泵4、带电粒子源8、光学镜头1等的控制信号收发的部位，进而将检测器3的输出功率信号转换成数字图像信号，发送至上位控制部36。图中，来自检测器3的输出信号，经由前置放大器等增幅器53与下位控制部37连接。如果不需要增幅器，则可以没有。

在上位控制部36和下位控制部37中，模拟电路、数字电路等可以混合存在，此外上位控制部36和下位控制部37也可以统一成一个。予以说明的是，图11所示的控制系统的构成只是一个例子，只要满足本实施例所打算的功能，控制单元、阀、真空泵或通信用的配线等的变形例，也属于本实施例的带电粒子束显微镜的范畴。

对于壳体7，连接有一端与真空泵4连接的真空管道16，可以将内部维持真空状态。同时，具备用于大气敞开壳体内部的泄漏阀14，将壳体7导入装置内部时可以将壳体7的内部大气敞开。泄漏阀14可以没有，也可以有两个以上。此外，壳体7中的泄漏阀14的配置部位不限于图11所示的位置，也可以配置在壳体7上的另外的位置。

壳体7在侧面具备开口部，该开口部通过盖部件122及真空密封部件124来保持装置内部的真空气密。本实施例的带电粒子显微镜，具备用于将如前所述搭载在试样台的试样放入壳体7内部后将试样与带电粒子光学镜筒的位置关系改变的试样平台5。在试样平台5上能够装卸地配置前述发光部件或具有发光部件的试样台。安装盖部件122所支持的成为底板的支持板107，将平台5固定于支持板107。平台5具备向面内方向的XY驱动机构，和向高度方向的Z轴驱动机构等。支持板107以向盖部件122的相对面且向壳体7内部延伸的方式安装。从Z轴驱动机构及XY驱动机构分别伸出支轴，分别与各盖部件122所具有的操作把手51及操作把手52相连。装置用户通过操作这些操作把手，从而能够调整试样的位置。此外，如后所述，也可以形成在盖部件122上能够具备光学显微镜的构成。

试样平台5上能够搭载具备检测元件500的试样台600。如前所述，检测元件500将带电粒子束转换成光。在试样平台5上或平台附近具备用于将该光检测并转换成电信号及进行信号增幅的光检测器503。如前所述，为了高效率地检测光信号，具备检测元件500的试样台与该光检测器可以接近，也可以接触。或可以在它们之间配置光传送路。图中，试样平台具备光检测器，但也可以将光检测器503固定于壳体7的某处，也可以在壳体7的外部。在壳体7外部的情况下，通过检测元件500转换了的光信号由于玻璃、光纤等用于传送光的光传送路在试样台500附近，并且光信号在该光传送路中传送，因此能够通过光检测器来检测信号。光检测器为例如半导体检测元件、光电倍增管等。无论如何，在本实施例的光检测器中，将通过前述试样台的检测元件而发光且检出通过透明部件的光。

图中示出在平台5的上部具备有光检测器503的情况。在平台5上具备的光检测器503，通过配线与前置放大器基板505连接。前置放大器基板505通过配线507等连接至下位控制部37。图中，前置放大器基板505在壳体7内部，但也可以在壳体7外部。试样平台5上有突起506，在此处配置试样台600。由此可以固定试样台5，能够防止位置偏差。此外，也可以利用双面胶带等将试样台600固定于平台5上。但是如前所述，由于本试样台用于光学显微镜中，因此不优选在试样台600的下表面贴附双面胶带，期望利用双面胶带等在试样台600的侧面等安装位置偏差防止部件。如果将试样台600搭载在光检测器503上，则由于本光检测器503被配置在试样台600的正下方，因此能够将透射试样6并通过检测元件500发光的光高效率地检测。通过这些装置及方法，能够使用带电粒子束装置来取得透射带电粒子图像，同时由于本实施例的试样台由透明部件形成，因此也能够将试样台取出至带电粒子束装置外部后用光学显微镜进行观察。

此外，本实施例的带电粒子束装置具有检测器3和检测元件500这两者，因此能够利用检测器3取得从试样产生或反射过来的二次带电粒子，同时利用检测元件500取得透射或散射试样的透射带电粒子。因此，使用下位控制部37等，能够切换二次带电粒子束图像和透射带电粒子图像在计算机35的显示器上的显示。此外，也能够将前述二种图像同时显示。

<大气压的带电粒子束装置观察时的说明>

其次，使用图12对于将本实施例应用于能够在大气压下进行观察的带电粒子束装置的构成进行说明。本实施例的带电粒子束装置主要由带电粒子光学镜筒2、将带电粒子光学镜筒相对于装置设置面支持的第1壳体(以下，有时也称为真空室)7、插入第1壳体7来使用的第2壳体(以下，有时也称为附件(attachment))121、配置于第2壳体内的试样平台5、及控制它们的控制系统构成。由于控制系统等的基本构成与图11是同等的，因此省略详细的说明。

第2壳体121的长方体形状的侧面中至少一个侧面为开放面。在第2壳体121的长方体形状的侧面中设置有隔膜保持部件155的面以外的面，由第2壳体121的壁构成。或也可以以第2壳体121自身没有壁而组装在第1壳体7中的状态，由第1壳体7的侧壁来构成。第2壳体121通过上述开口部插入至第1壳体7内部，具有以组装在第1壳体7中的状态下将作为观察对象的试样6存放的功能。介由真空密封部件126，将第1壳体7和第2壳体121之间固定于上述侧面侧的外壁面。第2壳体121也可以固定于第1壳体7的侧面或内壁面或带电粒子光学镜筒的任一者。由此，第2壳体121整体嵌合于第1壳体7。利用带电粒子显微镜的真空试样室本来所具备的试样的搬入、搬出用的开口，来制造上述开口部是最简便的。也就是说，如果根据本来已开的孔的大小来制造第2壳体121，在孔的周围安装真空密封部件126，则装置的改造为必要最小限度就可以。此外，第2壳体121也能够从第1壳体7卸下。

第2壳体121的侧面，是与大气空间在至少能够使试样进出的大小的面连通的开放面，在第2壳体121的内部存放的试样6在观察中，被置于大气压状态或若干的负压状态或所期望的气体种类的状态下。予以说明的是，由于图12是与光轴平行的方向的装置截面图，因此仅示出开放面的一面，但如果利用图10中纸面内方向及外方向的第1壳体的侧面来进行真空密封，则第2壳体121的开放面不限于一面。在将第2壳体121组装在第1壳体7中的状态下，开放面至少有一面以上即可。通过第2壳体的开放面，试样能够在第2壳体(附件)内部和外部之间进行搬入和搬出。

在第2壳体121的上表面侧设有带电粒子束能够透射或通过的隔膜10。该隔膜10可以从第2壳体121装卸。真空泵4连接至第1壳体7，能够对由第1壳体7的内壁面和第2壳体的外壁面以及隔膜10构成的封闭空间(以下，设为第1空间)进行真空排气。由此，在本实施例中，通过隔膜10将第1空间11维持于高真空，另一方面，第2空间12维持于大气压或与大气压几乎同等的压力的气体气氛，因此在装置的运行中，能够将带电粒子光学镜筒2侧维持于真空状态，且将试样6及前述试样台维持于大气压或规定的压力的气氛。隔膜10通过隔膜保持部件155来保持，而隔膜10的更换可以通过更换隔膜保持部件155来进行。

本实施例的带电粒子显微镜的情况下，形成第2壳体121的至少一个侧面的开放面可以由盖部件122来覆盖。盖部件122具备试样平台等。

本实施例的带电粒子显微镜，具备向第2壳体121内供给置换气体的功能或能够形成与第一空间不同的气压状态的功能。从带电粒子光学镜筒2的下端放出的带电粒子束通过维持于高真空的第1空间，通过图12所示的隔膜10，进而侵入至维持于大气压或若干负压状态的第2空间。即第2空间是与第1空间相比真空度差(低真空度)的状态。在大气空间中带电粒子束由于气体分子而散射，因而平均自由行程变短。也就是说，如果隔膜10和试样6的距离大，则导致一次带电粒子束或由一次带电粒子束的照射而产生的二次带电粒子、反射带电粒子或透射带电粒子无法到达试样及检测器3、检测元件500。另一方面，带电粒子束的散射概率与气体分子的质量数、密度成比例。因此，如果利用与大气相比质量数轻的气体分子来置换第2空间，或稍微进行抽真空，则带电粒子束的散射概率降低，使得带电粒子束能够到达试样。此外，即使不是第2空间的整体，至少能够将第2空间中的带电粒子束的通过路径，即隔膜和试样之间的空间的大气进行气体置换即可。作为置换气体的种类，有氮气、水蒸气等，如果是与大气相比轻的气体，则可见图像S/N的改善效果，但在质量更轻的氦气、氢气的情况下，图像S/N的改善效果大。

出于以上理由，本实施例的带电粒子显微镜中，在盖部件122设有气体供给管100的安装部(气体导入部)。气体供给管100通过连接部102与储气瓶103连接，由此向第2空间12内导入置换气体。在气体供给管100的中途，配置气体控制用阀101，能够控制在管内流动的置换气体的流量。因此，信号线从气体控制用阀101伸至下位控制部37，装置用户能够利用计算机35的显示器上所显示的操作画面，控制置换气体的流量。此外，气体控制用阀101也可以通过手动操作来进行开关。

由于置换气体是轻元素气体，因此容易在第2空间12的上部留存，下侧则难以置换。因此，在盖部件122与气体供给管100的安装位置相比靠下侧，设置将第2空间的内外连通的开口。例如在图10中，在压力调整阀104的安装位置设置开口。由此，从气体导入部导入的轻元素气体被压入，使大气气体从下侧的开口排出，因此能够高效率地将第2壳体121内用气体置换。予以说明的是，该开口也可以兼用作后述的粗排气端口。

此外，即使是如氦气那样的轻元素气体，也有电子束散射大的情况。在该情况下，使储气瓶103为真空泵即可。并且，通过仅稍微进行抽真空，则能够使第2壳体内部处于极低真空的状态(即接近大气压的压力的气氛)。例如，在第2壳体121或盖部件122设置真空排气端口，一次性将第2壳体121内真空排气。也可以在之后导入置换气体。该情况下的真空排气，只需要将残留在第2壳体121内部的大气气体成分减少至一定量以下即可，不必进行高真空排气，进行粗排气就足够。

但是在观察生物试样等含有水分的试样等的情况下，一次性处于真空状态下的试样，水分蒸发而状态发生变化。因此，优选在完全蒸发前进行观察，或如上所述，从大气气氛直接导入置换气体。上述开口通过在置换气体的导入后利用盖部件关闭，从而能够将置换气体有效地关在第2空间内。

这样，在本实施例中，能够将载置有试样的空间控制在大气压(约10⁵Pa)至约10³Pa的任意的真空度。以往的所谓低真空扫描电子显微镜，由于电子束管与试样室连通了，因此如果将试样室的真空度降低至接近大气压的压力，则电子束管中的压力也会联动地变化，从而难以将试样室控制在大气压(约10⁵Pa)～10³Pa的压力。根据本实施例，利用薄膜将第2空间和第1空间隔离，从而能够将由第2壳体121及盖部件122包围的第2空间中的气氛的压力及气体种类自由地控制。因此，能够将试样室控制在以往难以控制的大气压(约10⁵Pa)～10³Pa的压力。进而，不仅可以在大气压(约10⁵Pa)下进行观察，也能够使其附近的压力连续变化来观察试样的状态。

如果在上述开口的位置安装三通阀，则能够将该开口兼用作粗排气端口及大气泄漏用排气口。即，如果将三通阀的一个口安装于盖部件122，将一个口与粗排气用真空泵连接，对剩余的一个口安装泄漏阀，则可以实现上述的兼用排气口。

可以设置压力调整阀104来代替上述开口。压力调整阀104具有如果第2壳体121的内部压力成为1个大气压以上，则阀自动打开的功能。由于具备具有这样的功能的压力调整阀，从而在轻元素气体的导入时，如果内部压力变成1个大气压以上，则压力调整阀自动打开，将氮气、氧气等大气气体成分排至装置外部，能够使轻元素气体充满装置内部。予以说明的是，图示的储气瓶或真空泵103，有时安装于带电粒子显微镜，有时装置用户事后安装。

在本带电粒子束装置的试样平台5上，可以搭载具备有检测元件500的试样台。在试样平台上载置有前述试样台的状态下，检测元件500处于相对于试样载置于隔膜的相反侧的状态。试样平台附近的光检测器503等的配置构成等与图11同样。本构成的情况下，能够取得将由抽真空等而发生的水分蒸发等引起的形状变化最大限度地减少了的透射带电粒子束信号。此外，由于无需对试样空间进行抽真空至高真空，因此能够以非常高的吞吐量(Through put)取得试样台600上的试样的透射带电粒子束显微镜图像。

<光学显微镜观察时的说明>

图13中示出利用光学显微镜进行观察的情况。首先，关于光学显微镜250进行说明。光学显微镜250具备物镜252等光学镜头。经由光学镜头的显微镜信息被投影到目镜207。或也可以通过CCD摄像机等转换成数字信号，显示在未图示的显示器上。本实施例中的试样台600配置于试样平台258上，所述试样平台具备：能够将试样平台258相对于光学显微镜的光轴251向图中横方向或纸面方向移动的XY驱动机构、能够改变与物镜252的距离的Z轴驱动机构等驱动机构204。在试样平台258上的光学显微镜的光轴251部周边，在开口部259上配置有本发明的试样台600。光学显微镜250具备能够产生白色光、紫外光、波长被控制的光、激光等光子线的光源。光源是用于由图中试样台600的上侧照射光的光源255、或用于由试样台600的下侧照射光的光源256等。予以说明的是，光源也可以是配置有光学显微镜250的房间的光源、太阳光等。予以说明的是，光源通过未图示的通信线、电线等来进行光的光量及关灯开灯用电源的供给、控制。图中，在上述说明的两处配置有光源，但最低有一个即可。以上，例示了两个光源位置，但也可以配置在上述以外的位置。为了将试样台上的试样6的观察放大率或焦点位置改变，光学显微镜250具有光学镜头驱动机构253。通过光学镜头驱动机构253将物镜252向光学显微镜的光轴251方向移动，能够使焦点对准试样台600上的试样6。此外，虽未图示，但也可以不使物镜252移动，而通过光学显微镜250内部的光学镜头向光轴251方向移动来改变焦点。

由光源256发出的光经由光学显微镜250内部的镜子等，从物镜252或其周边部放出，到达试样台600。到达试样台600的光子线通过透明部件501及检测元件500，到达试样。由试样反射过来的反射光再次通过检测元件500及透明部件501，到达物镜252。由此，照射于物镜252的光信号在光学显微镜250内部成像，利用目镜207能够实施试样的光学显微镜观察。此外，光源位置为光源255的情况下，从光源255放出的光子线首先照射至试样。从试样透射过来的光子线能够通过检测元件500及透明部件501，经由物镜等形成光学显微镜像。

予以说明的是，在本图中说明的光学显微镜是光学镜头等配置在试样下侧的倒立式光学显微镜，但也可以是光学系统配置于试样上的正立式光学显微镜。在该情况下，光源也可以在任何位置。

以上，对利用光学显微镜来对本实施例中试样台600上的试样6进行观察的方法及装置进行说明。如前所述，检测元件500及透明部件501对于来自光源的光是透明的，从而能够这样使光透射试样及试样台的光学显微镜观察，同时能够通过如图9、图10所示的带电粒子束显微镜装置来取得真空中或大气中的带电粒子显微镜图像。

实施例2

<基本装置构成的说明>

实施例1中，关于在个别配置的光学显微镜和带电粒子束显微镜中使用相同的试样台600的情况进行说明。以下，关于将光学显微镜和带电粒子束显微镜一体化的复合显微镜装置的构成进行说明。

首先，使用图14，对本构成中的概要进行说明。各要素的工作、功能或对各要素附加的附加要素，与实施例1几乎是同样的，因此省略详细的说明。

本构成中，在带电粒子束显微镜装置的壳体7内部配置有光学显微镜250。光学显微镜250由通过前述试样台的透明部件、特定或全部波长区域的可见光或紫外光或红外光，来成像光学显微镜图像。光学显微镜250配置于支持试样平台5的支持板107上，表示从试样台600的下侧观察的构成。为了使利用带电粒子束显微镜和利用光学显微镜的观察位置一致，需要使带电粒子光学镜筒2的光轴200和光学显微镜250的光轴251分别一致。因此，具备能够将光学显微镜250的位置改变的光轴调整机构260。在此图示盖部件122具备光轴调整机构260的情况。盖部件122具备光轴调整机构260的操作部。通过转动光轴调整机构260等，使光学显微镜250在导向装置、导轨等的底座263上或横侧滑动来改变位置。图中仅图示一个光轴调整机构260，但由于还需要使光学显微镜向图中纸面垂直方向移动，因此也可以有多个光轴调整机构260。

此外，作为另外的方式，虽未图示，但光轴调整机构260可以仅在第2壳体内部。在该情况下，会在将盖部件122抽出的状态下将光学显微镜250的位置改变。利用该构成，能够使各光轴一致，从而可以利用带电粒子光学镜筒2进行试样6的观察，同时能够利用光学显微镜250取得其同一部位的光学显微镜图像。此外，如图所示，试样平台5和光学显微镜250独立地配置，因此即使移动试样平台5，光学显微镜250的位置也不改变。

本构成中，将经由光学显微镜的光学镜头的显微镜信息，传送至在壳体7内部配置的CCD摄像机254。CCD摄像机254承担作为将光学信息转换成电气信息等数字信号的信号形成部的作用。将通过CCD摄像机254转换成电气信息的图像信息，使用配线209、通信线45来传送至控制部等，显示在显示器上。当然，也可以是CCD摄像机以外的摄像装置。在配线209、通信线45之间，配置能够一边进行壳体7与装置外部的气氛分离一边进行信号传送的配线连接部208。也可以将图像摄像部设为如图13所示使用目镜207来直接观察。

予以说明的是，光学显微镜的光源可以如图13所示那样在光学显微镜250中具备，也可以配置于带电粒子光学镜筒2侧。

在本构成的带电粒子束显微镜中，不仅能够通过检测器3取得反射带电粒子显微镜图像，也能够通过检测元件500取得透射带电粒子束显微镜图像。本实施例中的试样台600，从试样平台上具备的观点而言，与图11是同样的。

图15(a)中图示试样台600周边部的第一构成。本构成的情况下，表示光检测器503配置了中心处空出开口部607的光检测器503的构成。由此，光学显微镜的物镜252能够配置在与试样台600接近的位置，由于能够对试样台600上的试样6的至少一部分进行观察，从而能够从图中下侧进行光学显微镜观察。进而，能够将来自试样6的透射带电粒子束照射至光检测器503而产生的光，利用开口部607周边的光检测器503，将光信号转换成电信号或增幅。

图15(b)中图示第二构成。在该情况下，在试样台600的横侧具备有光检测器503，将传送试样台600内部的光从光检测器503横侧检测。在该情况下，如图15(a)所示，光学显微镜与试样台600之间没有光检测器，从而取得宽的视野的光学显微镜图像变得简单。予以说明的是，虽未图示，但为了从试样横侧高效率地聚光，可以进行在试样台600内部光反射那样的处理。例如，将在试样台600的上面、下面、侧面等，安装反射材，或预先进行赋予表面粗糙度等光反射加工等的处理等。例如，对于如图15(b)中单点划线608所示那样的部位进行光反射加工处理。但是也需要利用光学显微镜进行观察的部位等未进行光反射加工处理的观察部位609。

通过设为这样的构成，能够在同一装置内部取得利用带电粒子束装置得到的带电粒子透射信号，以及利用光学显微镜得到的光透射信号。进而，能够取得试样6的同一部位的带电粒子束显微镜像和光学显微镜像。通过设为本构成，能够省略如图1所示，在光学显微镜250和带电粒子显微镜装置601中将试样台600轮流放入的工夫，一次就能进行利用光学显微镜250和带电粒子显微镜装置601的观察。

进而，本实施例的带电粒子束装置还具备检测器3，从而能够利用检测器3取得从试样产生或反射出来的二次带电粒子，利用检测元件500取得透射或散射试样的透射带电粒子，利用光学显微镜取得光学显微镜图像。由于能够将它们的图像同时取得，因此能够使用下位控制部37等，来切换在计算机35的显示器上显示的二次带电粒子图像、透射带电粒子图像和光学显微镜图像。此外，也能够将前述三种图像同时显示。

实施例3

也可以将在大气压下能够观察的大气压带电粒子束显微镜装置和光学显微镜装置复合化而使用本实施例中的试样台。将本构成示于图16中。这些装置基本上是将图12与图14组合的装置构成，将重复的说明省略。

本构成的特征在于，将上述的试样台在大气压下配置于能够在大气压下观察的带电粒子光学显微镜装置和光学显微镜250之间。要对大量含有液体的试样的同一部位取得透射带电粒子显微镜图像和光学显微镜图像时，期望为本实施例的装置构成。

本实施例中的装置无需使试样空间为高真空，因此能够以非常高的吞吐量进行试样的搬入搬出。此外，如前所述，能够将第2壳体121内部设为所期望的气体种类、压力，从而能够在所期望的气体下利用透射带电粒子显微镜和光学显微镜进行观察。

实施例4

在实施例中，与前述的实施例不同，对于没有第2壳体121的情况的例子进行说明。隔膜10周边部、试样平台5及光学显微镜250周边的构成与前述实施例1至3几乎相同，因此以下主要说明不同点。

图17中示出本实施例的带电粒子显微镜的整体构成。本构成中，带电粒子光学镜筒2嵌入在壳体271中，由真空密封部件123真空密封。壳体271由柱269支撑。柱269由基座270支撑。图中仅图示一根柱269，但为了支撑壳体，实际上优选有多根。通过该构成，试样6的气氛状态成为与装置外部同等，从而能够将试样状态暴露于完全的大气状态下。

来自储气瓶103的气体供给通过朝向试样6附近方向的气体喷嘴272来进行。气体喷嘴272例如通过支撑物273连接至壳体271。储气瓶103与气体喷嘴272通过连接部102来连接。上述构成为一个例子，但基于本构成，能够向试样6附近喷射所期望的气体。作为气体种类，为了能够将电子束散射减低，可为与大气相比轻的气体即氮气、水蒸气、氦气、氢气等。气体可以由用户自由地更换。此外，为了将隔膜10和试样6之间抽真空，可以将储气瓶103替换成真空泵。

光学显微镜250配置于壳体271的正下方，即与带电粒子光学镜筒的光轴同轴。由此能够对于在试样平台5上配置的试样台600上的试样6，照射通过隔膜10的带电粒子束，从而取得带电粒子束显微镜像，同时取得利用光学显微镜250得到的光学显微镜像。光轴调整机构260、用于将光学显微镜的内部镜头向光学显微镜250的光轴251方向驱动的光学镜头驱动机构253等的构成如前述的实施例所示。

根据本实施例中的构成，在隔膜10、试样6及光学显微镜250不接触的状态下，能够利用带电粒子束显微镜和光学显微镜进行相同部位的观察。

本构成的情况下，由于试样配置空间没有限制，因此在试样台600的尺寸非常大的情况下有用。

实施例5

其次，示出将能够在大气压下观察的大气压带电粒子束显微镜装置和光学显微镜装置复合化的例子。本实施例中，关于前述实施例的带电粒子光学镜筒2相对于隔膜10位于下方的构成进行说明。

图18示出本实施例的带电粒子显微镜的构成图。将真空泵、控制系统等省略来图示。此外，真空室的壳体7、带电粒子光学镜筒2相对于装置设置面，通过柱、支撑物等来支持。各要素的工作、功能或附加于各要素的附加要素与前述实施例几乎是同样的，因此省略详细的说明。

为了使搭载于试样台600的试样6与隔膜10不接触，在隔膜保持部件或壳体上具备试样平台5。也就是说，带电粒子束照射至图中试样6的下侧部。通过使用用于操作试样平台5的操作部204，能够使试样的图中下侧面接近于隔膜10部。

此外，光学显微镜602配置于带电粒子光学镜筒2及试样台600的上侧，与带电粒子光学镜筒的光轴同轴地配置。由此能够对于配置于试样平台5的试样6，照射通过隔膜10的带电粒子束照射，取得带电粒子束显微镜像，同时从图中上方，取得利用光学显微镜602得到的光学显微镜像。

予以说明的是，本发明不限于上述实施例，而包含各种变形例。例如，上述实施例是为了将本发明说明得浅显易懂而进行了详细说明，不一定限于具备所说明的全部构成的方式。此外，可以将某实施例的构成的一部分与其他实施例的构成置换，此外，也可以在某实施例的构成中加入其他实施例的构成。此外，可以对各实施例的构成的一部分，进行其他构成的追加、删除、置换。此外，上述的各构成、功能、处理部、处理方法等可以通过将它们的一部分或全部利用例如集成电路来设计等，使用硬件来实现。此外，上述的各构成、功能等也可以通过处理器解释实现各个功能的程序，并执行，从而使用软件来实现。

实现各功能的程序、表格、文件等信息可以置于存储器、硬盘、SSD(固态硬盘(Solid State Drive))等记录装置，或IC卡、SD卡、光盘等记录介质。

此外，关于控制线、信息线，示出了认为说明时所必要的部分，而产品中不一定示出全部控制线、信息线。也可认为实际上几乎全部构成相互连接。

符号说明

1：光学镜头，2：带电粒子光学镜筒，3：检测器，4：真空泵，5：试样平台，6：试样，7：壳体，8：带电粒子源，10：隔膜，11：第1空间，12：第2空间，14：泄漏阀，16：真空管道，17：平台支持台，18：支柱，19：盖部件用支持部件，20：底板，35：计算机，36：上位控制部，37：下位控制部，43、44、45：通信线，100：气体供给管，101：气体控制用阀，102：连接部，103：储气瓶或真空泵，104：压力调整阀，107：支持板，108：操作把手，109：操作把手，121：第2壳体，122：盖部件，123、124、125、126：真空密封部件，154：信号增幅器，155：保持部件，200：带电粒子束的光轴，204：驱动机构，207：目镜，208：电气连接部，209：配线，250：光学显微镜，251：光学显微镜的光轴，252：物镜，253：光学镜头驱动机构，254：CCD摄像机，255、256：光源，258：试样平台，259：开口部，260：光学显微镜位置调整机构，263：底座或导轨或导向装置，269：柱，270：基座，271：壳体，272：喷嘴，273：支撑物，274：支撑物，500：检测元件，501：透明部件，502：薄膜，503：光检测器，504：侧壁，505：前置放大器基板，506：突起，507：配线，508：密度高的部分，509：密度低的部分，510：一次带电粒子束，511：一次带电粒子束，600：试样台，601：带电粒子束显微镜，602：光学显微镜，607：开口部，608：光反射部，609：观察部位，700：容器，701：培养基，51、52：操作把手。

Claims (12)

1.一种试样台，是将通过照射带电粒子束来观察的试样进行搭载的试样台，其特征在于，

具有形成所述试样台的至少一部分且利用从所述试样的内部透射或散射的带电粒子而发光的发光部件，

在所述发光部件上，直接或隔着规定的部件配置所述试样，

至少在配置所述试样的部位，和所述试样台中与配置所述试样的部位相对的面之间，特定或全部波长区域的可见光或紫外光或红外光能够通过，

所述试样台能够作为透射式光学显微镜的试样台利用，

所述试样台还具备支持所述发光部件的基座，特定或全部波长区域的可见光或紫外光或红外光能够通过所述基座，配置所述试样的部位与所述基座的载置所述试样一侧的面是相同的高度。

2.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，能够在将所述试样配置于所述试样台的状态下利用所述透射式光学显微镜进行观察。

3.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，在所述基座的周缘部具有侧壁。

4.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，所述基座的载置所述试样的侧面的整面是所述发光部件。

5.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，在所述基座上配置有多个所述发光部件。

6.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，所述规定的部件设置于所述发光部件和所述试样之间，是所述带电粒子束的至少一部分能够透射的厚度。

7.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，所述发光部件的配置试样的侧面和所述基座的载置试样的侧面的距离为数百微米以下。

8.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，所述发光部件具有与所述基座的厚度相同的厚度。

9.如权利要求1所述的试样台，其特征在于，在所述发光部件或所述基座上，具有能够记载所述试样的信息的部位。

10.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有：

带电粒子光学镜筒，其将一次带电粒子束照射至试样、

真空泵，其将所述带电粒子光学镜筒的内部抽真空、

试样平台，其能够装卸地配置具有发光部件的试样台，所述发光部件是利用从所述试样的内部透射或散射的带电粒子而发光的发光部件、和

光转换检测器，将至少通过配置有所述试样的部位和所述试样台中与配置有所述试样的部位相对的面之间的来自所述发光部件的发光转换成电信号，

所述试样台能够作为透射式光学显微镜的试样台利用。

11.如权利要求10所述的带电粒子束装置，其特征在于，

具有光学显微镜，所述光学显微镜利用至少通过配置有所述试样的部位和所述试样台中与配置有所述试样的部位相对的面之间的特定或全部波长区域的可见光或紫外光或红外光来成像光学显微镜图像，并且与所述带电粒子光学镜筒同轴地配置。

12.一种试样观察方法，是由带电粒子束显微镜通过照射带电粒子束来观察试样的试样观察方法，其特征在于，具有下述步骤：

对于在形成试样台的至少一部分且利用从所述试样的内部透射或散射的带电粒子而发光的发光部件上直接或隔着规定的部件而配置的所述试样，照射所述带电粒子束的步骤、

检测所述发光部件的发光，取得带电粒子显微镜图像的步骤、和

在将所述试样配置在所述试样台的状态下利用光学显微镜来取得光学显微镜图像的步骤。