JP5624774B2 - 走査電子顕微鏡の光学条件設定方法、及び走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Description
102 コンデンサレンズ
103 偏向コイル
104 対物レンズ
105 試料
106 反射電子
107 二次電子
108 変換電極
109 検出器
110 信号処理装置
111 画像表示部
115 対向板
Claims (5)
- 電子線で試料表面を走査することによって検出される電子に基づいて、前記試料上のパターンを測定する走査電子顕微鏡であって、
前記試料に到達する電子線を減速するための負電圧が印加される試料台と、前記試料上で発生する電界を制御する対面電極を備え、
前記試料台と対面電極との間の電位差毎に、同一のパターンが形成された複数の測定点の測定を繰り返し行い、前記試料上の複数の測定点の測定値から、前記電位差毎に、測定数に対する測定値の時間的な変化を求め、当該変化の傾斜がゼロ、或いはゼロに近くなるような試料台への印加電圧、及び/又は対面電極への印加電圧を演算する演算装置を備えたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記試料台と対面電極との間の電位差毎に、複数の測定点に対する測定値の変化を求め、当該電位差毎に求められる測定値の変化の傾きに基づいて、当該傾きがゼロ、或いはゼロに近くなるような前記電位差を算出することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記試料から放出される電子のエネルギー分析を行うエネルギフィルタを備え、
前記演算装置は、前記試料に対する測定開始前の試料表面電位と、前記複数の測定を実施することによって、試料表面電位の上昇が飽和したときの試料表面電位との電位差を算出することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記試料の材質に応じて、試料台への印加電圧、及び/又は対面電極への印加電圧を設定することを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 走査電子顕微鏡を用いて、電子線で試料表面を走査することによって検出される電子に基づいて、前記試料上のパターンを測定する走査電子顕微鏡の光学条件設定方法において、
前記試料表面に異なる複数の試料表面電界を形成し、当該複数の試料表面電界毎に、同一のパターンが形成された複数の測定点の測定を繰り返し行い、前記試料上の複数の測定点の測定値から、前記試料表面電界毎に、測定数に対する測定値の時間的な変化を求め、当該変化の傾斜がゼロ、或いはゼロに近くなるように、前記試料表面電界を制御することを特徴とする走査電子顕微鏡の光学条件設定方法。
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