CN104788009B

CN104788009B - 浮法玻璃制造方法及浮法玻璃制造装置

Info

Publication number: CN104788009B
Application number: CN201510023583.4A
Authority: CN
Inventors: 稻井要介; 渡部恵大; 泷口哲史; 多久和茂良
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2014-01-16
Filing date: 2015-01-16
Publication date: 2018-07-17
Anticipated expiration: 2035-01-16
Also published as: CN104788009A; KR20150085781A; JP2015134690A

Abstract

本发明提供一种浮法玻璃制造方法及浮法玻璃制造装置。该浮法玻璃制造方法具有通过使熔融玻璃在浴槽内的熔融金属上流动来成形板状的玻璃带的成形工序。在该成形工序中，通过借助主管、分支管以及喷嘴向上述浴槽的下表面吹送流体来冷却上述浴槽的下壁部，在各上述分支管的中途设有用于调整上述流体的流量的流量调整部，上述下壁部具有利用多个上述流量调整部独立地调整温度的多个温度调整区域，在各上述温度调整区域内设有至少一个上述温度传感器，在上述成形工序中，根据设于相对应的上述温度调整区域的至少一个上述温度传感器的测量温度控制各上述流量调整部。

Description

浮法玻璃制造方法及浮法玻璃制造装置

技术领域

本发明涉及浮法玻璃制造方法及浮法玻璃制造装置。

背景技术

浮法玻璃制造装置具有用于容纳熔融金属的浴槽，向浴槽内的熔融金属上连续地供给熔融玻璃，使熔融玻璃在熔融金属上成形为板状的玻璃带(例如参照专利文献1)。玻璃带在熔融金属的液面上流动的同时逐渐变硬。玻璃带在浴槽的下游区域自熔融金属被拉起，并被送往退火炉。玻璃带在两侧缘部之间具有平坦部。由于玻璃带的两侧缘部相比于玻璃带的平坦部较厚，因此，在退火后被切除。由此，能够获得板厚大致均匀的浮法玻璃。

浴槽含有金属外壳及覆盖在该金属外壳的内侧的多个砖。熔融金属进入到砖彼此之间的接缝内。为了防止金属外壳与熔融金属反应，金属外壳的下壁部被冷却到熔融金属固化的凝固点以下的温度。因此，在砖彼此之间的接缝中形成有熔融金属与固体金属之间的边界。公知有如下内容：当金属外壳的下壁部的温度变动时，上述边界上下移动，在熔融金属内产生气泡，因产生的气泡上浮而导致在玻璃带的下表面形成缺陷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开2012/060197号

以往以来，难以在浴槽的下壁部的多个位置同时降低温度变动幅度，而存在熔融金属与固体金属之间的边界在任一位置上下移动的情况。

发明内容

发明要解决的问题

本发明即是鉴于上述课题而做成的，其目的主要在于提供一种能够在浴槽的下壁部的多个位置同时降低温度变动幅度的浮法玻璃制造方法。

用于解决问题的方案

为了解决上述壳体，根据本发明的一技术方案，

提供一种浮法玻璃制造方法，该浮法玻璃制造方法具有通过使熔融玻璃在浴槽内的熔融金属上流动来成形板状的玻璃带的成形工序，其中，

在该成形工序中，通过借助与上述熔融玻璃的流动方向平行的主管、自该主管分支的分支管以及与该分支管连接的喷嘴向上述浴槽的下表面吹送流体来冷却上述浴槽的下壁部，

上述分支管沿上述主管的长度方向空开间隔地设有多个，在各上述分支管的中途设有用于调整上述流体的流量的流量调整部，

上述下壁部具有多个利用多个上述流量调整部独立地调整温度的温度调整区域，

在各上述温度调整区域设有至少一个温度传感器，

在上述成形工序中，根据设于相对应的上述温度调整区域的至少一个上述温度传感器的测量温度控制各上述流量调整部。

发明的效果

采用本发明的一实施方式，提供一种能够在浴槽的下壁部的多个位置同时降低温度变动幅度的浮法玻璃制造装置。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的浮法玻璃制造装置的剖视图，是沿图2的I－I线的剖视图。

图2是沿图1的II－II线的剖视图。

图3是表示实施例1的浴槽的下壁部的温度变化、及形成于浮法玻璃的下表面的缺陷的数量的变化的图。

图4是比较例1的浴槽的下壁部的温度变化、及形成于浮法玻璃的下表面的缺陷的数量的变化的图。

具体实施方式

以下参照附图说明用于实施本发明的实施方式。在各附图中，对相同的或相对应的结构标注相同或相对应的附图标记并省略说明。在本说明书中，表示数值范围的“～”表示包含其前后的数值的范围。

图1是表示本发明的一实施方式的浮法玻璃制造装置的剖视图，是沿图2的I－I线的剖视图。图2是沿图1的II－II线的剖视图。在图2中，省略了图1所示的控制装置40的图示。

浮法玻璃制造装置10用于向浴槽11内的熔融金属M上连续地供给熔融玻璃G，使熔融玻璃G在熔融金属M上成形为板状的玻璃带。玻璃带在熔融金属M的液面上流动的同时逐渐变硬。玻璃带在浴槽11的下游区域自熔融金属M被拉起，并被送往退火炉。玻璃带在两侧缘部之间具有平坦部。由于玻璃带的两侧缘部相比于玻璃带的平坦部较厚，因此，在退火后被切除。由此，能够获得板厚大致均匀的浮法玻璃。

浮法玻璃制造装置10具有浴槽11、供给部14、温度传感器20、冷却装置30以及控制装置40等。

如图1所示，浴槽11用于容纳熔融金属M。熔融金属M是普通的金属为佳，例如是熔融锡或熔融锡合金为佳。浴槽11具有金属外壳12、及覆盖在金属外壳12的内侧的多个砖13。多个砖13组装为箱状，在内部容纳熔融金属M。浴槽11的下壁部包括金属外壳12的下壁部、及多个砖13的组合体的下壁部。浴槽11的长度方向相对于熔融玻璃的流动方向平行，浴槽11的宽度方向相对于熔融玻璃的流动方向垂直。

供给部14设于浴槽11的靠上游侧的端部，用于向浴槽11内的熔融金属M上连续地供给熔融玻璃G。

温度传感器20用于测量浴槽11的下壁部的温度，并向控制装置40输出表示测量温度的信号。温度传感器20例如安装于金属外壳12的下表面，从下方利用绝热材料覆盖为佳。另外，温度传感器20在浴槽11的长度方向和宽度方向上空开间隔地设置多个为佳。

冷却装置30通过向浴槽11的下表面吹送流体来冷却浴槽11的下壁部。流体可以是空气等气体、水等液体中的任一者，还可以是气体和流体的混合物。流体优选为空气。

例如图1所示，冷却装置30具有主管31、分支管32、喷嘴33、流体供给部34以及流量调整部35。

主管31设为与熔融玻璃G的流动方向、即浴槽11的长度方向(图1中为左右方向，图2中为纸面垂直方向)平行。主管31的内部具有流体的流路。从浴槽11的上方观察，主管31自浴槽11的上游部延伸至浴槽11的下游部为佳。

另外，在从浴槽11的上方观察时，本实施方式的主管31自浴槽11的上游部延伸至浴槽11的下游部，但主管31的长度是多种多样的为佳。例如，在从浴槽11的上方观察时，主管31可以是自浴槽11的上游部延伸至浴槽11的中游部。

分支管32自主管31分支，在该分支管32的内部具有流体的流路。分支管32自主管31向上方突出为佳。分支管32在主管31的长度方向上空开间隔地设有多个。在从浴槽11的上方观察时，多个分支管32自浴槽11的上游部至浴槽11的下游部空开间隔地配置为佳。

另外，在从浴槽11的上方观察时，本实施方式的多个分支管32自浴槽11的上游部至浴槽11的下游部空开间隔地配置，但分支管32的配置是多种多样的为佳。例如，在从浴槽11的上方观察时，分支管32还可以是靠浴槽11的上游部地配置。

分支管32的间距可以是等间距，也可以是不等间距。例如，靠上游侧的分支管32的间距可以小于靠下游侧的分支管32的间距。浴槽11的上游区域的下壁部能够集中冷却。浴槽11的上游区域的熔融金属的温度较高，与熔融金属固化的凝固点之间的温度差较大。

喷嘴33与分支管32连接，向浴槽11的下表面吹送流体。如图2所示，喷嘴33在浴槽11的宽度方向上空开间隔地设置多个为佳，多个喷嘴33与各分支管32连接为佳。能够减少浴槽11的下壁部在宽度方向上的温度变化。

另外，在本实施方式中，各分支管32连接有多个喷嘴33，该多个喷嘴33在浴槽11的宽度方向上空开间隔地配置，但也可以在浴槽11的长度方向上、或在浴槽11的宽度方向和长度方向上空开间隔地配置。另外，在本实施方式中，各分支管32连接有多个喷嘴33，但也可以是各分支管32连接有一个喷嘴33。另外，喷嘴33的连接数量还可以因每个分支管32而不同。

流体供给部34向主管31供给流体。在流体为气体的情况下，流体供给部34由用于吹送气体的风扇构成为佳。与风扇的转速相对应的流量的流体被向主管31供给。另外，在流体为液体的情况下，流体供给部34由用于加压输送流体的泵构成为佳。与泵的排出量相对应的流量的流体被向主管31供给。

流体供给部34与主管31的端部连接。另外，流体供给部34的配置是多种多样的为佳。例如，流体供给部34还可以设于主管31的中途。另外，流体供给部34可以借助相对于浴槽11的长度方向垂直的垂直管与主管31的中途连接。另外，流体供给部34的数量可以是多个。

在此，在本实施方式中，在各分支管32的中途设有流量调整部35。流量调整部35用于调整在分支管32中流动的流体的流量。流量调整部35可以是用于打开或关闭流路的阀，还可以是用于调整作为流体的空气的流量的调节风门，但优选的是调节风门，进一步优选的是对置叶片风门。对置叶片风门具有多个旋转轴和设于各旋转轴的叶片，其相邻的旋转轴向逆向旋转。另一方面，平行叶片风门与对置叶片风门相同地具有多个旋转轴和设于各旋转轴的叶片，但其多个旋转轴向相同朝向旋转。在旋转轴的旋转角相同的情况下、即开度相同的情况下，通过对置叶片风门的流体的流量小于通过平行叶片风门的流体的流量。因此，对置叶片风门相比于平行叶片风门容易对流量进行微调整。

浴槽11的下壁部具有利用多个流量调整部35独立地调整温度的多个温度调整区域Z1～Z5。多个温度调整区域Z1～Z5在浴槽11的长度方向上连续地排列。在图1中，温度调整区域彼此之间没有分隔板，但也可以有分隔板。在各温度调整区域Z1～Z5内设有至少一个温度传感器20。

控制装置40根据温度传感器20的测量温度控制冷却装置30。控制装置40具有存储器等存储部及CPU，通过使CPU执行被存储于存储部的控制程序，而控制冷却装置30。

控制装置40根据设于多个温度调整区域Z1～Z5中的预定的温度调整区域内的温度传感器20的测量温度控制流体供给部34为佳。能够调整被向主管31供给的流体的流量。

例如，控制装置40反馈控制流体供给部34为佳，使得设于上述预定的温度调整区域的至少一个温度传感器20的测量温度与设定温度之间的偏差为零。反馈控制例如是PID控制为佳。能够降低上述预定的温度调整区域的日温度变动幅度。

另外，在上述预定的温度调整区域设有多个温度传感器20的情况下，可以根据多个温度传感器20的测量温度的平均值控制流体供给部34，还可以根据任一个温度传感器20的测量温度控制流体供给部34。

控制装置40具有用于将交流电源的电力进行电力交换从而向流体供给部34供给的变换器为佳。在流体供给部34为用于输送气体的风扇的情况下，能够控制风扇的转速，能够微调整被向主管31供给的气体的流量。

控制装置40根据设于相对应的温度调整区域Z1～Z5的温度传感器20的测量温度控制各流量调整部35。例如，控制装置40根据设于温度调整区域Z1的温度传感器20的测量温度控制用于调整被向温度调整区域Z1吹送的流体的流量的流量调整部35。

例如，控制装置40反馈控制各流量调整部35为佳，使得设于相对应的温度调整区域Z1～Z5的温度传感器20的测量温度与设定温度之间的偏差成为零。反馈控制例如是PID控制为佳。能够独立地调整被向多个温度调整区域Z1～Z5吹送的流体的流量，能够同时调整多个温度调整区域Z1～Z5的日温度变动幅度。

控制装置40控制冷却装置30，使得各温度传感器20的测量温度的日变动幅度在2℃以内。在此，所谓的日变动幅度是指从上午0点到下一个上午0点之间的变动幅度。相比于外界气温的变动幅度，各温度传感器20的测量温度的变动幅度十分小，能够充分地抑制砖13彼此之间的接缝中的熔融金属与固体金属之间的边界的上下移动。

另外，控制装置40还可以根据设于相对应的温度调整区域Z1～Z5的温度传感器20的测量温度、和流体供给部34的操作量(在流体供给部34为风扇的情况下，风扇的转速)控制各流量调整部35。

同样地，控制装置40还可以根据设于上述预定的温度调整区域的温度传感器20的测量温度、和与上述预定的温度调整区域相对应的流量调整部35的操作量(在流量调整部35为对置叶片风门的情况下，其旋转轴的旋转角)控制流体供给部34。

接着，在参照图1和图2，说明使用了上述结构的浮法玻璃制造装置10的浮法玻璃制造方法。

浮法玻璃制造方法具有向浴槽11内的熔融金属M上连续地供给熔融玻璃G、并使熔融玻璃G在熔融金属M上成形为板状的玻璃带的成形工序。玻璃带在熔融金属M的液面上流动的同时逐渐变硬。玻璃带在浴槽11的下游区域自熔融金属M被拉起，并被朝向退火炉输送。由于玻璃带的两侧缘部厚于其内侧的平坦部，因此在退火后被切除。由此，能够获得板厚大致均匀的浮法玻璃。

根据本实施方式，根据设于相对应的温度调整区域Z1～Z5的温度传感器20的测量温度控制各流量调整部35。由此，能够独立地调整被向多个温度调整区域Z1～Z5吹送的流体的流量，而能够同时调整多个温度调整区域Z1～Z5的日温度变动幅度。

所制造的浮法玻璃的板厚例如在1.0mm以下，优选在0.7mm以下。也就是说，玻璃带的平坦部的厚度例如在1.0mm以下、，优选在0.7mm以下。

所制造的浮法玻璃例如能够应用为显示器用玻璃基板、显示器用玻璃盖片、以及窗玻璃。

在应用为显示器用玻璃基板的情况下，所制造的浮法玻璃是无碱玻璃为佳。无碱玻璃为实质上不含Na₂O、K₂O、Li₂O等碱金属氧化物的玻璃。无碱玻璃的碱金属氧化物的含量的总量在0.1质量％以下为佳。

无碱玻璃例如以氧化物标准的质量％表示含有：SiO₂：50％～73％、Al₂O₃：10.5％～24％、B₂O₃：0％～12％、MgO：0％～10％、CaO：0％～14.5％、SrO：0％～24％、BaO：0％～13.5％、MgO+CaO+SrO+BaO：8％～29.5％、ZrO₂：0％～5％。

在兼顾较高的应变点和较高的溶解性的情况下，优选的是，无碱玻璃以氧化物标准的质量％表示含有：SiO₂：58％～66％、Al₂O₃：15％～22％、B₂O₃：5％～12％、MgO：0％～8％、CaO：0％～9％、SrO：3％～12.5％、BaO：0％～2％、MgO+CaO+SrO+BaO：9％～18％。

在欲获得特别高的应变点的情况下，优选的是，无碱玻璃以氧化物标准的质量％表示含有：SiO₂：54％～73％、Al₂O₃：10.5％～22.5％、B₂O₃：0％～5.5％、MgO：0％～10％、CaO：0％～9％、SrO：0％～16％、BaO：0％～2.5％、MgO+CaO+SrO+BaO：8％～26％。

所制造的浮法玻璃在应用为显示器用玻璃盖片的情况下是化学强化用玻璃为佳。对化学强化用玻璃进行化学强化处理而成的玻璃被用作玻璃盖片。化学强化处理通过将玻璃表面所包含的碱离子之中的离子半径较小的离子(例如Li离子、Na离子)替换为离子半径较大的离子(例如K离子)而自玻璃表面形成预定的深度的压缩应力层。

化学强化用玻璃例如以氧化物标准的摩尔％表示含有：SiO₂：62％～68％、Al₂O₃：6％～12％、MgO：7％～13％、Na₂O：9％～17％、K₂O：0％～7％，从Na₂O和K₂O的合计含量中减去Al₂O₃的含量后的差小于10％，在含有ZrO₂的情况下，ZrO₂的含量为0.8％以下。

其他的化学强化用玻璃以氧化物标准的摩尔％表示含有：SiO₂：65％～85％、Al₂O₃：3％～15％、Na₂O：5％～15％、K₂O：0％～不足2％、MgO：0％～15％、ZrO₂：0％～1％，SiO₂和Al₂O₃的合计含量SiO₂+Al₂O₃为88％以下。

所制造的浮法玻璃被用作窗玻璃的情况时是钠钙玻璃为佳。钠钙玻璃例如以氧化物标准的质量％表示含有：SiO₂：65％～75％、Al₂O₃：0％～3％、CaO：5％～15％、MgO：0％～15％、Na₂O：10％～20％、K₂O：0％～3％、Li₂O：0％～5％、Fe₂O₃：0％～3％、TiO₂：0％～5％、CeO₂：0％～3％、BaO：0％～5％、SrO：0％～5％、B₂O₃：0％～5％、ZnO：0％～5％、ZrO₂：0％～5％、SnO₂：0％～3％、SO₃：0％～0.5％。

实施例

在实施例1中，使用图1和图2所示的浮法玻璃制造装置10制造了无碱玻璃的浮法玻璃。使用空气作为流体，使用空气风扇作为流体供给部34，使用对置叶片风门作为流量调整部35。为了使预定的温度传感器的测量温度与设定温度之间的偏差成为零，控制了空气风扇的转速、及各对置叶片风门的旋转轴的旋转角。

另一方面，在比较例1中，除将各对置叶片风门的旋转轴的旋转角设为恒定以外，与实施例1相同地制造了浮法玻璃。也就是说，为了使预定的温度传感器的测量温度与设定温度之间的偏差为零，仅控制了空气风扇的转速。

图3是表示实施例1的浴槽的下壁部的温度变化、及浮法玻璃的底面的缺陷的数量的变化的图。图4是表示比较例1的浴槽的下壁部的温度变化、及浮法玻璃的底面的缺陷的数量的变化的图。

在图3和图4中，横轴表示一日之内的时间点，左侧的纵轴表示温度传感器的测量温度T(℃)，右侧的纵轴表示浮法玻璃的底面的缺陷的数量E(个/m²)。浮法玻璃的底面为在成形时与熔融金属相接触的面。在检查缺陷时，计算直径在20μm以上的大致圆形的缺陷的数量。从使玻璃带自熔融金属拉起到检查浮法玻璃的底面的缺陷为止的时间差为两个小时左右，可以完全忽视。

在图3和图4中，用实线表示的T(3m)、用点划线表示的T(9m)、用双点划线表示的T(18m)分别表示浴槽11的位于向下游侧距浴槽11的上流端3m、9m、18m的位置的下表面的宽度方向中央部的温度。另外，T(3m)、T(9m)、T(18m)分别以日最低温度设为0℃进行了标准化。

如图3中明确的那样，根据实施例1，在各分支管32的中途设有流量调整部35，由于能够独立地控制多个流量调整部35，因此T(3m)、T(9m)、T(18m)的日温度变动幅度能够控制在2℃以内。因此，浮法玻璃的底面的缺陷的数量较少。

另一方面，如图4中明确的那样，根据比较例1，由于仅控制了空气风扇的转速，因此T(3m)、T(9m)、T(18m)的日温度变动幅度超过了2℃。因此，浮法玻璃的底面的缺陷的数量较多。

以上，说明了浮法玻璃制造方法及浮法玻璃制造装置的实施方式等，但本发明并不限定于上述实施方式等，在本发明的主旨的范围内能够进行各种变形、改进。

例如，还可以在浴槽11的宽度方向上空开间隔地排列的多个喷嘴33的各自的中途设有用于调整喷嘴33的流体的流量的喷嘴流量调整部。通过独立地控制多个喷嘴流量调整部，能够降低浴槽11的下壁部的宽度方向上的温度不均匀。同样地，还可以于在浴槽11的长度方向上空开间隔地排列的多个喷嘴33的各自的中途设有用于调整喷嘴33的流体的流量的喷嘴流量调整部。

本申请基于2014年1月16日申请的日本特许申请2014－005702，其内容通过参照编入到本说明书中。

附图标记说明

10、浮法玻璃制造装置；11、浴槽；12、金属外壳；13、砖；14、供给部；20、温度传感器；30、冷却装置；31、主管；32、分支管；33、喷嘴；34、流体供给部；35、流量调整部；40、控制装置；G、熔融玻璃；M、熔融金属。

Claims

1.一种浮法玻璃制造方法，该浮法玻璃制造方法具有通过使熔融玻璃在浴槽内的熔融金属上流动来成形板状的玻璃带的成形工序，其中，

在各上述温度调整区域设有至少一个温度传感器，

在上述成形工序中，根据设于相对应的上述温度调整区域的至少一个上述温度传感器的测量温度控制各上述流量调整部，

对各上述流量调整部进行控制以使得各上述温度传感器的测量温度的日变动幅度在2℃以内。

2.根据权利要求1所述的浮法玻璃制造方法，其中，

上述流体为空气，

各上述流量调整部为用于调整上述空气的流量的调节风门。

3.根据权利要求2所述的浮法玻璃制造方法，其中，

上述调节风门为对置叶片风门。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的浮法玻璃制造方法，其中，

所制造的浮法玻璃为无碱玻璃。

5.根据权利要求4所述的浮法玻璃制造方法，其中，

上述无碱玻璃以氧化物标准的质量％表示含有：SiO₂：50％～73％、Al₂O₃：10.5％～24％、B₂O₃：0％～12％、MgO：0％～10％、CaO：0％～14.5％、SrO：0％～24％、BaO：0％～13.5％、MgO+CaO+SrO+BaO：8％～29.5％、ZrO₂：0％～5％。

6.根据权利要求1～3中任一项所述的浮法玻璃制造方法，其中，

所制造的浮法玻璃为化学强化用玻璃。

7.根据权利要求6所述的浮法玻璃制造方法，其中，

上述化学强化用玻璃以氧化物标准的摩尔％表示含有：SiO₂：62％～68％、Al₂O₃：6％～12％、MgO：7％～13％、Na₂O：9％～17％、K₂O：0％～7％，Na₂O和K₂O的合计含量减去Al₂O₃的含量得到的差小于10％，ZrO₂：0％～0.8％。

8.根据权利要求6所述的浮法玻璃制造方法，其中，

上述化学强化用玻璃以氧化物标准的摩尔％表示含有：SiO₂：65％～85％、Al₂O₃：3％～15％、Na₂O：5％～15％、K₂O：0％～不足2％、MgO：0％～15％、ZrO₂：0％～1％，SiO₂和Al₂O₃的合计含量SiO₂+Al₂O₃为88％以下。

9.根据权利要求1～3中任一项所述的浮法玻璃制造方法，其中，

所制造的浮法玻璃为钠钙玻璃。

10.根据权利要求9所述的浮法玻璃制造方法，其中，

上述钠钙玻璃以氧化物标准的质量％表示含有：SiO₂：65％～75％、Al₂O₃：0％～3％、CaO：5％～15％、MgO：0％～15％、Na₂O：10％～20％、K₂O：0％～3％、Li₂O：0％～5％、Fe₂O₃：0％～3％、TiO₂：0％～5％、CeO₂：0％～3％、BaO：0％～5％、SrO：0％～5％、B₂O₃：0％～5％、ZnO：0％～5％、ZrO₂：0％～5％、SnO₂：0％～3％、SO₃：0％～0.5％。

11.一种浮法玻璃制造装置，该浮法玻璃制造装置包括：

浴槽，其用于容纳使熔融玻璃在液面上流动的熔融金属；

温度传感器，其用于测量该浴槽的下壁部的温度；

冷却装置，其用于通过向上述浴槽的下表面吹送流体来冷却上述下壁部；以及

控制装置，其用于根据上述温度传感器的测量温度控制上述冷却装置，其中，

上述冷却装置具有与上述熔融玻璃的流动方向平行的主管、自该主管分支的分支管以及与分支管连接的喷嘴，该冷却装置借助上述主管、上述分支管以及上述喷嘴向上述浴槽的下表面吹送上述流体，

上述分支管在上述主管的长度方向上空开间隔地设有多个，在各上述分支管的中途设有用于调整上述流体的流量的流量调整部，

在各上述温度调整区域设有至少一个上述温度传感器，

上述控制装置根据设于相对应的上述温度调整区域内的至少一个上述温度传感器的测量温度控制各上述流量调整部，

上述控制装置控制上述冷却装置，使得各上述温度传感器的测量温度的日变动幅度在2℃以内。

12.根据权利要求11所述的浮法玻璃制造装置，其中，

上述流体为空气，

各上述流量调整部为用于调整上述空气的流量的调节风门。

13.根据权利要求12所述的浮法玻璃制造装置，其中，

上述调节风门为对置叶片风门。