KR20130115128A - 글래스판의 제조 방법 - Google Patents

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KR20130115128A
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Abstract

성형체를 이용한 용융 글래스의 성형 시, 용융 글래스에 실투 및 이질 물질이 발생하는 일이 없이, 고품질의 글래스판을 제조할 수 있는 글래스판의 제조 방법을 제공한다. 글래스판의 제조 방법에서는, 글래스 원료를 용해하여 용융 글래스를 만들고, 상기 용융 글래스를, 이송관을 통하여 성형체에 공급하고, 상기 성형체를 이용하여 상기 용융 글래스를 성형하여, 시트 글래스를 만든다. 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상기 용융 글래스가, 상기 홈부의 저면에서 정류하지 않고 상기 성형체로 향하는 속도 성분을 갖도록 상기 용융 글래스를 흘린다.

Description

글래스판의 제조 방법{METHOD FOR MAKING GLASS SHEET}
본 발명은 글래스판을 제조하는 글래스판의 제조 방법에 관한 것이다.
종래부터 글래스판을 제조할 때, 오버 다운드로우법을 이용하여 글래스판을 성형하는 것이 행해지고 있다. 오버 다운드로우법에서는, 글래스 원료를 용해조에서 용융하여 용융 글래스를 만들고, 이 용융 글래스에 청징 처리, 균질화 처리를 실시한 후, 용융 글래스는 이송관을 통하여 장척 형상의 성형체에 공급된다.
장척 형상의 성형체에서는, 성형체의 상부에 길이 방향으로 연장되는 홈부가 형성되어 있고, 이 홈부의 일단에 용융 글래스가 공급된다. 이 홈부는, 용융 글래스의 공급측으로부터 길이 방향의 반대측으로 진행할수록 홈 깊이가 얕게 되어 있기 때문에, 용융 글래스는, 성형체의 홈부로부터 흘러 넘쳐, 성형체의 양측의 측벽을 타고 하방으로 유하한다. 성형체의 양측의 측벽을 하방으로 유하하는 용융 글래스는 성형체의 하단에서 합류하여 하나로 접합되어 시트 글래스로 된다.
그런데, 용융 글래스를 성형체에 공급하는 이송관의 유로(流路) 단면 형상은 일반적으로 원 형상이고, 성형체의 홈부의 유로 단면 형상은, 직사각형 혹은 다각형 형상이다. 이송관의 유로 단면 형상을 원 형상으로 하는 것은, 이송관 내에 고온의 용융 글래스를 충전해도 굴곡하는 부분이 없어, 강도를 유지할 수 있는 것이 바람직하기 때문이다. 한편, 성형체의 홈부의 유로 단면 형상을 직사각형 혹은 다각형 형상으로 하는 것은, 홈부의 가공 용이성 때문이다.
예를 들면, 하기 특허 문헌 1의 도 1, 도 3에는, 유로 단면 형상이 원 형상인 이송관과, 유로 단면 형상이 직사각형 형상인 홈부를 갖는 성형체가 개시되어 있다. 이 경우, 원형 형상의 이송관으로부터, 성형체의 홈부에 용융 글래스가 공급될 때, 용융 글래스의 유로 단면이 단차를 갖고 급격하게 확대된다.
일본 특허 출원 공표 제2008-501609호 공보
이와 같이, 일반적으로, 용융 글래스를 성형체에 공급하는 이송관의 유로 단면 형상은 원 형상이고, 성형체의 홈부의 유로 단면 형상은 직사각형 혹은 다각형 형상이기 때문에, 이송관으로부터, 성형체의 홈부에 용융 글래스가 공급될 때, 용융 글래스의 유로 단면이 단차를 갖고 급격하게 확대된다. 이 때문에, 용융 글래스의 유로의 급격한 확대에 의해, 성형체의 홈부 내에서 용융 글래스의 흐름이 부분적으로 정류하기 쉬워지는 경우가 있다. 용융 글래스의 흐름의 정류는, 용융 글래스의 실투(失透)로 이어지기 쉽다. 또한, 용융 글래스의 흐름의 정류는 이질 물질을 발생시키기 쉬워, 맥리(脈理)의 발생으로도 이어지기 쉽다. 보다 상세하게 설명하면, 용융 글래스의 흐름이 정류하면, 다른 부분의 용융 글래스에 비해 성형체와 접촉하는 시간이 길어지기 때문에, 성형체의 표면으로부터 성형체의 성분이 용출하여, 용융 글래스의 글래스 조성이 부분적으로 변화하기 쉽다. 또한, 성형체의 온도의 영향을 받아, 용융 글래스의 점도가 부분적으로 변화하기 쉽다. 즉, 용융 글래스 중에 이질 물질이 발생하기 쉬워지고, 이 결과, 최종 제품의 글래스판에, 맥리가 발생하기 쉬워지고, 또한 글래스판의 두께가 불균일해지기 쉽다.
또한, 플랫 패널 디스플레이용 글래스판에는, TFT(Thin Film Transistor) 등의 반도체 소자가, 글래스판 상에 형성된다. 최근, 디스플레이 표시의 한층 더한 고정밀화를 실현하기 위해서, 종래부터 이용되어 온 α-SiㆍTFT 대신에, p-Si(저온 폴리실리콘)ㆍTFT나 산화물 반도체를 글래스판에 형성하는 것이 요구되고 있다. p-SiㆍTFT나 산화물 반도체의 형성 공정에서는, α-SiㆍTFT의 형성 공정보다도 고온의 열처리 공정이 존재한다. 그 때문에, p-Si(저온 폴리실리콘) TFT나 산화물 반도체가 형성되는 글래스판에는, 열 수축율이 작은 것이 요구되고 있다. 열 수축율을 작게 하기 위해서는, 글래스의 변형점을 높게 하는 것이 바람직하지만, 변형점이 높은 글래스는, 액상 온도가 높아지는 경향이 있고, 액상 점도(액상 온도에서의 점도)가 낮아지는 경향이 있다. 이 때문에, 시트 글래스의 성형에 필요한 용융 글래스의 점도(성형 점도)와, 액상 점도의 차가 적어지거나, 혹은, 성형 점도가 액상 점도보다 커지는 경우도 있고, 그 결과 글래스가 실투하기 쉬워진다. 따라서, p-Si(저온 폴리실리콘)ㆍTFT 형성용 혹은 산화물 반도체 형성용 등의 특히 액상 점도가 낮은 글래스로 시트 글래스를 제조하는 경우, 성형체의 표면으로부터 성형체의 성분이 용출하여, 액상 점도의 상승(실투의 생성)의 우려가 있는 성형체의 홈부 내에서 용융 글래스의 일부의 흐름이 정류하기 쉬워지는 것은 최대한 피해야만 한다.
따라서, 본 발명은, 종래의 문제점을 해결하기 위해서, 성형체를 이용한 용융 글래스의 성형 시, 성형체의 홈부를 통과하는 용융 글래스의 흐름이 정류하기 어려워, 용융 글래스에 실투 및 이질 물질이 발생하는 일이 없어, 맥리가 없고, 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있는 글래스판의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 양태는, 글래스판을 제조하는 글래스판의 제조 방법이다. 그 제조 방법은,
글래스 원료를 용해하여 용융 글래스를 만드는 공정과,
상기 용융 글래스를, 이송관을 통하여 성형체에 공급하는 공급 공정과,
상기 용융 글래스를, 상기 성형체를 이용하여 성형하여, 시트 글래스를 만드는 성형 공정을 포함한다.
상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상기 용융 글래스가, 상기 홈부의 저면에서 정류하지 않고 상기 성형체로 향하는 속도 성분을 갖도록 상기 용융 글래스를 흘린다.
이 때문에, 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 상기 홈부로의 용융 글래스의 흐름을 원활하게 할 수 있어, 용융 글래스의 상기 홈부에서의 체류 시간을 일정 범위 내로 제한하여 상기 홈부로부터 용융 글래스를 흘러 넘치게 할 수 있다. 이 때문에, 글래스의 실투나 이질 물질이 발생하기 어려워, 맥리가 없고 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
이때, 이하의 바람직한 형태에 의해 상기 공급 공정을 실현할 수 있다.
즉, 상기 이송관이 상기 홈부의 개구단에 접속되고, 상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 면적이, 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되는 것이 바람직하다. 상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 폭이, 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되는 것이 바람직하다. 상기 유로 단면의 면적 혹은 폭이 상기 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대됨으로써, 상기 용융 글래스가, 상기 홈부의 저면에서 정류하지 않고 상기 성형체로 향하는 속도 성분을 갖도록 상기 성형체에 흐른다.
이 경우, 상기 접속 위치에서 홈부의 홈 폭으로 되고, 또한, 상기 접속 위치에서, 상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 상기 이송관의 벽면은 상기 홈부의 상기 저면과 단차없이 접속되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 홈부의 개구단에서의 측면의 가장자리 형상의 일부에 일치하는 형상을 갖는 것이 바람직하다.
상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 또한, 상기 홈부의 개구단에서의 측면의 가장자리 형상의 일부에 일치하는 형상을 가지므로, 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 상기 홈부로의 용융 글래스의 흐름을 보다 원활하게 할 수 있다.
상기 이송관은, 상기 유로 단면의 폭이 상기 접속 위치까지 연속적으로 확대되는 단부를 갖는 것이 바람직하다.
이에 의해, 용융 글래스의 흐름은 보다 정류하기 어려워진다.
상기 성형체의 상기 홈부에서의 용융 글래스의 유로 단면이, 상기 성형체의 상기 홈부가 상기 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 작아져 있는 것이 바람직하다.
이에 의해, 상기 이송관의 유로 단면이 상기 성형체의 상기 홈부의 유로 단면에 비해 매우 작은 경우라도, 상기 이송관으로부터 상기 홈부로의 용융 글래스의 흐름을 원활하게 할 수 있다.
상기 홈부는, 상기 저면을 포함하는 홈 하부에서, 홈 폭이 상기 홈부의 깊이 방향으로 진행함에 따라서 좁아지고, 상기 접속 위치에 접근함에 따라서, 상기 홈 폭이 좁아지는 상기 깊이 방향의 개시 위치가 얕아지는 부분을 갖는 것이 바람직하다.
이에 의해, 상기 홈 하부에서의 용융 글래스의 흐름을 보다 원활하게 할 수 있다.
상기 용융 글래스의 변형점은 655℃ 이상이어도, 상기 글래스판의 제조 방법에 적용할 수 있다.
이와 같은 글래스는, 변형점이 높은 글래스이며, 액상 온도(실투 온도)가 높아지는 경향이 있다. 이 변형점이 655℃ 이상인 글래스를 이용한 경우, 성형 공정에서의 용융 글래스의 적정한 점도(예를 들면, 40000poise 이상)와, 글래스의 액상 점도가 비슷해지므로 실투하기 쉬워진다. 특히, 용융 글래스가 성형 시에 정류하면, 성형체의 표면으로부터 성형체의 성분이 용출하여, 더욱 실투하기 쉬워진다. 상기 제조 방법에서는, 상기 성형체의 상기 홈부에서 용융 글래스의 흐름을 정류시키기 어려우므로, 글래스의 실투를 억제할 수 있다.
상기 용융 글래스의 변형점이 675℃ 이상인 글래스라도, 상기 글래스판의 제조 방법에 적용할 수 있어, 실투가 발생하기 어렵다. 또한, 상기 용융 글래스의 변형점이 680℃ 이상인 글래스라도, 상기 글래스판의 제조 방법에 적용할 수 있어 실투가 발생하기 어렵다. 또한, 상기 용융 글래스의 변형점이 690℃ 이상인 글래스라도, 상기 글래스판의 제조 방법에 적용할 수 있어, 실투가 발생하기 어렵다. 변형점의 상한은 예를 들면 750℃이고, 바람직하게는 730℃이다.
상기 용융 글래스의 액상 점도는 60000poise 이하로 할 수 있고, 50000poise 이하로 할 수도 있다. 또한, 액상 점도는 45000poise 이하로 할 수도 있다. 이와 같은 글래스는, 성형 공정에서의 필요한 용융 글래스의 점도에 가까우므로 실투하기 쉬운 글래스이다. 특히, 성형체에서 용융 글래스가 정류하면, 더욱 실투하기 쉬워지는 글래스이다. 그러나, 상기 글래스판의 제조 방법에서는, 상기 성형체의 상기 홈부에서 용융 글래스의 흐름을 정류시키기 어려우므로, 액상 점도는 60000poise 이하, 50000poise 이하, 나아가서는 45000poise 이하로 해도, 글래스의 실투를 억제하여, 글래스 시트를 제조할 수 있다. 액상 점도의 하한은 예를 들면 40000poise이다.
상기 글래스판은, 예를 들면 플랫 패널 디스플레이용 글래스판이고, 예를 들면 p-Si(저온 폴리실리콘) TFT 형성용 혹은 산화물 반도체 형성용의 글래스판이다.
p-Si(저온 폴리실리콘) TFT 형성용 혹은 산화물 반도체 형성용의 글래스판은 변형점이 높다. 변형점이 높으면 액상 온도는 높아지는 경향이 있고, 액상 점도(액상 온도에서의 점도)가 낮아지는 경향이 있다. 이 때문에, 시트 글래스의 성형에 필요한 용융 글래스의 점도(성형 점도)와, 액상 점도의 차가 적어지거나, 혹은, 성형 점도가 액상 점도보다 커지는 경우도 있고, 그 결과 글래스가 실투하기 쉬워진다. 특히, 성형체에서 용융 글래스가 정류하면, 더욱 실투하기 쉽다. 따라서, 성형체의 홈부에서 정류하기 어려워 원활하게 용융 글래스를 흘릴 수 있는 상술한 형태의 글래스판의 제조 방법을, 플랫 패널 디스플레이용 글래스판, 특히, p-Si(저온 폴리실리콘) TFT 형성용 혹은 산화물 반도체 형성용의 글래스판에 적용해도, 실투는 발생하기 어려워진다.
본 발명의 다른 일 양태는, 글래스판을 제조하는 글래스판의 제조 방법이다. 그 제조 방법은,
글래스 원료를 용해하여 용융 글래스를 만드는 공정과,
상기 용융 글래스를, 이송관을 통하여 성형체에 공급하는 공급 공정과,
상기 용융 글래스를, 상기 성형체를 이용하여 성형하여, 시트 글래스를 만드는 성형 공정을 포함한다.
상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 폭이, 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어, 상기 접속 위치에서 홈부의 홈 폭으로 되고, 또한, 상기 접속 위치에서, 상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 상기 이송관의 벽면은 상기 홈부의 상기 저면과 단차없이 접속되어 있다.
이 때문에, 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 상기 홈부로의 용융 글래스의 흐름을 원활하게 할 수 있어, 용융 글래스의 상기 홈부에서의 체류 시간을 일정 범위 내로 제한하여 상기 홈부로부터 용융 글래스를 흘러 넘치게 할 수 있다. 이 때문에, 글래스의 실투나 이질 물질이 발생하기 어려워, 맥리가 없고 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
상기 양태의 글래스판의 제조 방법에 의하면, 성형체를 이용한 용융 글래스의 성형 시, 성형체의 홈부를 통과하는 용융 글래스의 흐름이 정류하기 어려워, 용융 글래스에 실투 및 이질 물질이 발생하는 일이 없어, 맥리가 없고, 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태의 글래스판의 제조 방법의 공정의 일례를 도시하는 도면.
도 2는 본 실시 형태에서의 용해 공정∼절단 공정을 행하는 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 도면.
도 3의 (a)는 본 실시 형태에서의 성형체와 글래스 공급관의 접속 부분을 도시하는 분해 사시도, (b)는 본 실시 형태의 관 확장부가 홈부와 접속할 때의 접속 영역과 홈부 사이의 상대 위치를 도시하는 도면.
도 4는 본 실시 형태에서의 글래스 공급관 및 성형체의 접속 위치 주변을 상방으로부터 보았을 때의 용융 글래스의 흐름을 설명하는 도면.
도 5의 (a), (b)는 종래의 성형체의 홈부와 글래스 공급관의 접속 상태를 설명하는 도면.
도 6의 (a)는 성형체의 홈부와 관 확장부의 접속을 설명하는 변형예 1의 도면, (b)는 성형체의 홈부와 관 확장부의 접속을 설명하는 변형예 2의 도면.
도 7의 (a), (b)는 변형예 3의 형태를 도시하는 도면.
이하, 본 실시 형태의 글래스판의 제조 방법에 대하여 설명한다. 도 1은 본 실시 형태의 글래스판의 제조 방법의 공정의 일례를 도시하는 도면이다.
(글래스판의 제조 방법의 전체 개요)
글래스판의 제조 방법은, 용해 공정(ST1)과, 청징 공정(ST2)과, 균질화 공정(ST3)과, 공급 공정(ST4)과, 성형 공정(ST5)과, 서냉 공정(ST6)과, 절단 공정(ST7)을 주로 갖는다. 이 밖에, 연삭 공정, 연마 공정, 세정 공정, 검사 공정, 곤포 공정 등을 갖고, 곤포 공정에서 적층된 복수의 글래스판은, 납입처의 업자에게 반송된다.
용해 공정(ST1)은 용해조에서 행해진다. 용해조에서는, 글래스 원료를, 용해조에 축적된 용융 글래스의 액면에 투입하고, 가열함으로써 용융 글래스를 만든다. 또한, 용해조의 내측 측벽의 1개의 저부에 형성된 유출구로부터 하류 공정을 향하여 용융 글래스를 흘린다.
용해조의 용융 글래스의 가열은, 용융 글래스 자체에 전기가 흘러 스스로 발열하여 가열하는 방법 외에, 버너에 의한 화염을 보조적으로 제공하여 글래스 원료를 용해할 수도 있다. 또한, 글래스 원료에는 청징제가 첨가된다. 청징제로서, SnO2, As2O3, Sb2O3 등이 알려져 있지만, 특별히 제한되지 않는다. 그러나, 환경 부하 저감의 점에서, 청징제로서 SnO2(산화주석)를 이용할 수 있다.
청징 공정(ST2)은, 적어도 청징조에서 행해진다. 청징 공정에서는, 청징조 내의 용융 글래스가 승온됨으로써, 용융 글래스 중에 포함되는 O2, CO2 혹은 SO2를 포함한 기포가, 청징제의 환원 반응에 의해 발생한 O2를 흡수하여 성장하고, 용융 글래스의 액면에 기포는 부상하여 방출된다. 또한, 청징 공정에서는, 용융 글래스의 온도를 저하시킴으로써, 청징제의 환원 반응에 의해 얻어진 환원 물질이 산화 반응을 한다. 이에 의해, 용융 글래스에 잔존하는 기포 중의 O2 등의 가스 성분이 용융 글래스 중에 재흡수되어, 기포가 소멸된다. 청징제에 의한 산화 반응 및 환원 반응은, 용융 글래스의 온도를 제어함으로써 행해진다. 또한, 청징 공정은, 감압 분위기의 공간을 청징조에 만들고, 용융 글래스에 존재하는 기포를 감압 분위기에서 성장시켜 탈포시키는 감압 탈포 방식을 이용할 수도 있다. 이 경우, 청징제를 이용하지 않는 점에서 유효하다. 또한, 청징 공정에서는, 산화주석을 청징제로서 이용한 청징 방법을 이용한다.
균질화 공정(ST3)에서는, 청징조로부터 연장되는 배관을 통하여 공급된 교반조 내의 용융 글래스를, 교반기를 이용하여 교반함으로써, 글래스 성분의 균질화를 행한다. 이에 의해, 맥리 등의 원인인 글래스의 조성 불균일을 저감할 수 있다.
공급 공정(ST4)에서는, 교반조로부터 연장되는 배관을 통하여 용융 글래스가 성형 장치에 공급된다.
성형 장치에서는, 성형 공정(ST5) 및 서냉 공정(ST6)이 행해진다.
성형 공정(ST5)에서는, 용융 글래스를 시트 글래스로 성형하고, 시트 글래스의 흐름을 만든다. 성형은 오버플로우 다운드로우법이 이용된다.
서냉 공정(ST6)에서는, 성형되어 흐르는 시트 글래스가 원하는 두께로 되고, 내부 왜곡이 발생하지 않도록, 또한, 휨이 발생하지 않도록 냉각된다.
절단 공정(ST7)에서는, 절단 장치에서, 성형 장치로부터 공급된 시트 글래스를 소정의 길이로 절단함으로써, 판상의 글래스판을 얻는다. 절단된 글래스판은 또한, 소정 사이즈로 절단되어, 목표 사이즈의 글래스판이 만들어진다. 이 후, 글래스판의 단면의 연삭, 연마가 행해지고, 글래스판의 세정이 행해지고, 또한, 기포나 맥리 등의 이상 결함의 유무가 검사된 후, 검사 합격품의 글래스판이 최종 제품으로서 곤포된다.
도 2는 본 실시 형태에서의 용해 공정(ST1)∼절단 공정(ST7)을 행하는 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 도면이다. 그 장치는, 도 2에 도시한 바와 같이, 주로 용해 장치(100)와, 성형 장치(200)와, 절단 장치(300)를 갖는다. 용해 장치(100)는, 용해조(101)와, 청징조(102)와, 교반조(103)와, 글래스 공급관(104, 105, 106)을 갖는다.
도 2에 도시한 용해 장치(101)에서는, 글래스 원료의 투입이 버킷(101d)을 이용하여 행해진다. 청징조(102)에서는, 용융 글래스 MG의 온도를 조정하여, 청징제의 산화 환원 반응을 이용하여 용융 글래스 MG의 청징이 행해진다. 또한, 교반조(103)에서는, 교반기(103a)에 의해 용융 글래스 MG가 교반되어 균질화된다. 성형 장치(200)에서는, 성형체(210)를 이용한 오버플로우 다운드로우법에 의해, 용융 글래스 MG로부터 시트 글래스 SG가 성형된다.
(글래스 공급관과 성형체의 접속)
도 3의 (a)는 성형체(210)와 글래스 공급관(106)의 접속 부분을 도시하는 분해 사시도이다.
성형체(210)는, 그 상부에 홈부(210a)가 형성된 일방향(도면 중 X 방향)으로 연장되는 장척 형상의 구조체이다. 홈부(210a)는, X 방향으로 진행됨에 따라서 홈 깊이가 얕게 되어 있다. 이 때문에, 홈부(210a)에 공급된 용융 글래스 MG는, 홈부(210a)로부터 흘러 넘쳐, 성형체(210)의 양측에 형성된 측벽(210b)을 연직 하방으로 흐른다. 양측의 측벽(210b)을 유하하는 용융 글래스 MG는, 성형체(210)의 연직 하방에 형성된 하방 선단(210c)에서 합류하여, 1개로 접합되어 시트 글래스 SG로 된다.
이와 같은 성형체(210)의 홈부(210a)에는, 용융 글래스 MG가 원활하게 공급되는(용융 글래스 MG의 흐름이 정류하기 어려운) 것이, 실투나 맥리를 발생시키지 않는 점에서 바람직하다. 특히, 액상 온도가 높고, 액상 점도가 성형 공정 시의 용융 글래스의 점도(성형 점도)에 가깝거나, 혹은, 액상 점도가 성형 점도보다 작아지는 실투하기 쉬운 글래스에서는, 글래스 공급관(106)으로부터 홈부(210a)에 공급되는 용융 글래스 MG의 흐름이 정류하는 것을 피해야만 한다.
성형체(210)의 홈부(210a)의 유로 단면은 직사각형 형상을 이루고 있다. 한편, 성형체(210)의 홈부(210a)와 접속하는 글래스 공급관(106)은 이송관으로서, 일정한 유로 단면을 갖는 글래스 공급관 본체(106a)와, 글래스 공급관 본체(106a)의 단부에 형성된 관 확장부(106b)를 포함한다. 글래스 공급관 본체(106a)의 유로 단면은 원 형상을 이루고 있다. 또한, 글래스 공급관 본체(106a)의 유로 단면 형상인 원의 직경은, 홈부(210a)의 홈 폭에 비해 작다.
용융 글래스 MG를 글래스 공급관 본체(106a)로부터 관 확장부(106b)를 통하여 성형체(210)의 홈부(210a)에 공급할 때, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 면적은, 글래스 공급관(106)의 개구단과 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어 있다. 또한, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 가로 폭은, 글래스 공급관(106)의 개구단과 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어 있다. 또한, 유로 단면의 가로 폭은, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 게다가, 이 접속 위치에서, 글래스 공급관(106)의 개구단의 가장자리는, 홈부(210a)의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상(도 3의 (a)의 경우 직선 형상)에 일치하는 형상을 갖고, 글래스 공급관(106)(관 확장부(106b))의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차없이 접속되어 있다. 여기서, 용융 글래스 MG의 유로 단면의 가로 폭이란, 홈부(210a)의 홈 폭 방향에서의 폭을 말한다.
구체적으로는, 관 확장부(106b)의 단면 형상은, 글래스 공급관 본체(106a)의 원 형상의 유로 단면 형상으로부터, 그 단면 형상의 일부가 홈부(210a)의 저면의 가장자리 형상인 직선 형상에 일치하는 형상으로 변화한다. 여기서, 홈부(210a)의 저면이란, 홈부(210a)의 단면 형상이 직사각형 형상인 경우의 홈 바닥에 닿는 평면 부분 외에, 일정한 홈 폭으로 깊이 방향으로 연장되는 부분보다 하방으로서, 홈 폭이 단계적으로 혹은 연속적으로 좁아져 홈이 종료되는 부분의 면도 포함된다. 후술하는 도 6의 (a), (b)에 도시한 예에서는, 경사면(210b, 210c)에 의해 만들어지는 V자 형상이나 원호 형상의 부분도 저면의 가장자리 형상에 해당한다.
또한, 관 확장부(106b)의 개구단에서의 단면 형상은, 홈부(210a)의 개구단에서의 측면(측벽면)의 가장자리 형상(직선 형상)의 일부에 일치하는 형상을 갖고 있다.
또한, 글래스 공급관(106)에서의 용융 글래스 MG의 유로 단면의 폭의 변화는, 연속적으로 혹은 단계적으로 행해져도 되지만, 연속적인 폭의 변화가, 용융 글래스 MG의 흐름을 가능한 한 정류시키지 않는 점에서 바람직하다.
도 3의 (b)는 관 확장부(106b)의 개구단이 홈부(210a)의 개구단과 접속할 때의 접속 영역 Z1과 홈부(210a) 사이의 상대 위치를 도시하는 도면이다. 상술한 바와 같이, 관 확장부(106b)는, 홈(210a)과 접속할 때, 홈부(210a)의 홈 폭과 동일한 폭을 갖고 홈부(210a)와 접속된다. 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 관 확장부(106b)의 개구단의 가장자리는, 홈부(210a)의 저면을 포함하는 홈 하부의 가장자리와 일치하도록 관 확장부(106b)는 형성된다. 이에 의해, 관 확장부(106b)로부터 홈부(210a)에 유입되는 용융 글래스 MG는, 관 확장부(106b)로부터 홈(210a)에 원활하게 흐르므로, 용융 글래스 MG의 흐름은 체류하기 어려워진다. 관 확장부(106b)가 없는 경우, 글래스 공급관 본체로부터 홈부로 진행할 때, 유로 단면이 급확대되므로, 용융 글래스 MG의 흐름의 정류가 발생하는 경우가 있다. 이 경우, 용융 글래스 MG는 특히 저면에 정류하기 쉬워, 실투의 원인, 이질 물질의 생성의 원인으로 되기 쉽다. 이 때문에, 글래스 공급관(106)의 개구부의 가장자리는, 홈부(210a)의 저면을 포함하는 홈 하부의 가장자리의 형상과 일치하도록 관 확장부(106b)가 형성된다.
또한, 도 3의 (b)에 도시한 바와 같이, 성형체(210)의 홈부(210a)에는, 용융 글래스 MG가 홈부(210a)의 저면을 포함하는 홈 하부로부터 공급되고, 접속 위치에서, 홈부(210a) 중 홈 하부의 상방에 위치하는 홈 상부는, 도 3에 도시한 바와 같이 판상 부재를 이용하여 폐색되어 있다. 이 때문에, 용융 글래스 MG는 홈부(210a)의 홈 하부로부터 공급되고, 게다가, 저면에서 용융 글래스 MG가 정류하지 않고 성형체(210)로 향하는 속도 성분을 갖도록 원활하게 흐르므로 홈부(210a)로부터 용융 글래스 MG는 원활하게 흘러 넘친다.
도 4는 글래스 공급관(106), 관 확장부(106b) 및 성형체(210)의 접속 위치 주변을 상방으로부터 보았을 때의 용융 글래스 MG의 흐름을 설명하는 도면이다. 도 4에 도시한 바와 같이, 용융 글래스 MG를 글래스 공급관(106)으로부터 성형체(210)에 공급할 때, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 폭이, 글래스 공급관(106)과 성형체(210)에 접근함에 따라서, 글래스 공급관(106)에서의 유로 단면의 가로 폭이, 글래스 공급관 본체(106b)의 유로 단면의 폭 W1로부터 성형체(210)의 홈부(210a)의 유로 단면의 폭 W2를 향하여 서서히 변화하므로, 용융 글래스 MG는, 체류가 억제되어, 원활하게 성형체(210)의 홈부(210a)에 유입된다.
도 5의 (a), (b)는 종래의 성형체(210)의 홈부(210a)와 글래스 공급관(106)의 접속 상태를 설명하는 도면이다. 도 5의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 글래스 공급관(106)의 접속 위치에서의 유로 단면은, 홈부(210a)의 유로 단면에 비해 작으므로, 용융 글래스 MG의 유로 단면은 접속 위치에서 급확대된다. 이 때문에, 도 5의 (b)에 도시한 바와 같이, 홈부(210a)의 연장되는 방향(X 방향)에 대하여 경사진 방향으로 속도 성분을 갖는 용융 글래스 MG의 흐름이 발생하고, 용융 글래스 MG는, 홈부(210a) 내에서 X 방향으로 원활하게 흐르지 않는다. 특히, 홈부(210a)의 저면은, 글래스 공급관(106)의 벽면과 단차를 갖고 접하므로, 저면 근방을 흐르는 용융 글래스 MG의 흐름의 정류의 정도는 크다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 글래스 공급관(106)은, 그 단부에 관 확장부(106b)를 포함한다. 이때, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 폭이, 글래스 공급관(106)의 개구단과 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 이 접속 위치에서, 글래스 공급관(106)(관 확장부(106b))의 개구단의 가장자리는, 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 글래스 공급관(106)의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차없이 접속되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태는, 글래스 공급관(106)으로부터 성형체(210)의 홈부(210a)로의 용융 글래스 MG의 흐름을 원활하게 할 수 있어, 용융 글래스 MG의 홈부(210a)에서의 체류 시간을 비교적 일정 범위 내로 제한하여 홈부(210a)로부터 용융 글래스 MG를 흘러 넘치게 할 수 있다. 즉, 공급 공정에서 용융 글래스 MG를 글래스 공급관(106)으로부터 성형체(210)의 홈부(210a)에 공급할 때, 용융 글래스 MG가, 홈부(210a)의 저면에서 정류하지 않고 성형체(210)로 향하는 속도 성분을 갖도록 용융 글래스 MG를 흘린다. 이 때문에, 글래스의 실투나 이질 물질이 발생하기 어려워, 맥리가 없고, 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
(변형예 1)
도 6의 (a)는 성형체(210)의 홈부(210a)와 관 확장부(106b)의 접속을 설명하는 변형예 1의 도면이다. 홈부(210a)의 유로 단면은 도시되는 바와 같이 홈부(210a)의 저면이 경사진 2개의 홈 바닥 경사면(210b, 210c)을 이용하여 형성되어 있다. 이 경우에서도, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 폭이, 관 확장부(106b)에 의해, 글래스 공급관(106)의 개구단과 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 게다가, 이 접속 위치에서, 글래스 공급관(106)(관 확장부(106b))의 개구단의 가장자리는, 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 글래스 공급관(106)의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차없이 접속되어 있다. 또한, 관 확장부(106b)의 개구단에서의 단면 형상은, 홈부(210a)의 개구단에서의 측면(측벽면)의 가장자리 형상(직선 형상)의 일부에 일치하는 형상을 갖고 있다. 이 때문에, 성형체(210)의 홈부(210a)로의 용융 글래스 MG의 흐름을 원활하게 할 수 있어, 용융 글래스 MG의 홈부(210a)에서의 체류 시간을 비교적 일정한 범위 내로 제한하여 홈부(210a)로부터 용융 글래스 MG를 흘러 넘치게 할 수 있다. 이 때문에, 글래스의 실투나 이질 물질이 발생하기 어려워, 맥리가 없고 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
(변형예 2)
도 6의 (b)는 성형체(210)의 홈부(210a)와 관 확장부(106b)의 접속을 설명하는 변형예 2의 도면이다.
홈부(210a)의 유로 단면은 도시되는 바와 같이 홈 저면이 원 형상의 곡면을 이룬 저면(210d)으로 형성되어 있다. 이 경우에서도, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 폭(직경)이, 관 확장부(106b)에 의해, 글래스 공급관(106)의 개구단과 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 게다가, 이 접속 위치에서, 글래스 공급관(106)(관 확장부(106b))의 개구단의 가장자리는, 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단에서의 적어도 반원 형상의 저면(210d)의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 글래스 공급관(106)의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차없이 접속되어 있다. 즉, 관 확장부(106b)는, 유로 단면 형상이 원 형상인 글래스 공급관(106)으로부터 원 형상을 유지하면서 유로 단면을 확장하고, 접속 위치에서, 저면(210d)에 대응한 크기의 원 형상으로 되어 있다. 이 때문에, 성형체(210)의 홈부(210a)로의 용융 글래스 MG의 흐름을 원활하게 할 수 있어, 용융 글래스 MG의 홈부(210a)에서의 체류 시간을 비교적 일정한 범위 내로 제한하여 홈부(210a)로부터 용융 글래스 MG를 흘러 넘치게 할 수 있다. 이 때문에, 변형예 2에서는, 글래스의 실투나 이질 소지가 발생하기 어려워, 맥리가 없고 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
(변형예 3)
도 7의 (a), (b)는 변형예 3의 형태를 도시하는 도면이다. 변형예 3은, 성형체(210)의 홈부(210a)에서의 용융 글래스 MG의 유로 단면이, 성형체(210)의 홈부(210a)가 글래스 공급관(106)과 접속하는 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 작아져 있는 구성이다. 즉, 성형체(210)의 홈부(210a)에서의 용융 글래스 MG의 유로 단면은, 성형체(210)의 홈부(210a)가 글래스 공급관(106)과 접속하는 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 작아지도록 용융 글래스 MG가 흐른다.
홈부(210a)의 하방에는 홈 경사면(210e)이 형성되어 있다. 이 홈 경사면(210e)은, 도 7의 (a), (b)에 도시한 예에서는, 일정한 홈 폭으로 깊이 방향으로 연장되는 부분보다 하방으로서, 홈 폭이 연속적으로 좁아져 홈 바닥에서 종료되는 면이며, 저면의 일부이다. 홈 경사면(210e)의 폭 W(도 7의 (b) 참조)는, 홈부(210a)가 글래스 공급관(106)과 접속하는 접속 위치에 접근함에 따라서 커진다(글래스 공급관(106)으로부터 이격됨에 따라서 작아진다). 즉, 홈부(210a)는, 저면을 포함하는 홈 하부에서, 홈 폭이 홈부(210a)의 깊이 방향으로 진행함에 따라서 좁아지고, 글래스 공급관(106)과의 접속 위치에 접근함에 따라서, 홈 폭이 좁아지는 홈부(210a)의 깊이 방향의 개시 위치가 얕아지는 부분을 갖는다. 이 부분에 의해, 홈부(210a)의 유로 단면은, 상기 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 작아진다. 특히, 홈부(210a)의 홈 하부의 유로 단면이 접속 위치에 접근할수록 작아지므로, 글래스 공급관(106)으로부터 용융 글래스 MG가 공급되었을 때, 홈부(210a)의 저면 근방에 위치하는 용융 글래스 MG는 정류가 억제되어 원활하게 흐른다.
또한, 글래스 공급관 본체(106a)에서의 유로 단면이 홈부(210a)에 비해 매우 작은 경우, 관 확장부(106b)의 유로 단면의 확장율은 커진다. 이 경우, 확장율이 큰 관 확장부(106b)에서는, 용융 글래스 MG의 원활한 흐름(용융 글래스 MG의 흐름이 정류하지 않는 흐름)을 유지할 수 없는 경우가 있다. 이 때문에, 변형예 3은, 용융 글래스 MG의 원활한 흐름을 유지하기 위해서, 홈부(210a)의 접속 위치 근방에서 유로 단면을 작게 하고, 이 접속 위치로부터 이격됨에 따라서 유로 단면을 서서히 확대하는 구성으로 한다. 이 홈부(210a)의 유로 단면의 확대는, 연속적인 확대이어도 단계적인 확대이어도 된다. 물론, 관 확장부(106b)의 홈부(210a)와의 접속 위치에서는, 관 확장부(106b)는, 홈부(210a)의 저면이나 홈 경사면(210e)에 대응한 가장자리를 가진 형상이며, 홈부(210a)와 접속된다. 따라서, 변형예 3에서는, 홈부(210a)에서, 용융 글래스 MG는 정류하기 어려우므로, 글래스의 실투나 이질 물질이 발생하기 어려워, 맥리가 없고 균일한 판 두께의 고품질의 글래스판을 제조할 수 있다.
이상과 같이, 본 실시 형태 및 변형예 1∼3에서는, 글래스 공급관(106)은, 그 단부에 관 확장부(106b)를 포함한다. 이때, 글래스 공급관(106)을 흐르는 용융 글래스 MG의 유로 단면의 폭이, 글래스 공급관(106)의 개구단과 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 게다가, 이 접속 위치에서, 글래스 공급관(106)(관 확장부(106b))의 개구단의 가장자리는, 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 글래스 공급관(106)의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차없이 접속되어 있다. 이 때문에, 본 실시 형태는, 글래스 공급관(106)으로부터 성형체(210)의 홈부(210a)로의 용융 글래스 MG의 흐름을 원활하게 할 수 있어, 용융 글래스 MG의 홈부(210a)에서의 체류 시간을 비교적 일정 범위 내로 제한하여 홈부(210a)로부터 용융 글래스 MG를 흘러 넘치게 할 수 있다. 이 때문에, 글래스의 실투나 이질 물질이 발생하기 어렵다.
글래스 공급관(106)의 유로 단면 형상이 글래스 공급관(106)의 일부인 관 확장부(106b)에 의해 연속적으로 변화하지만, 이 유로 단면 형상은, 단계적으로 변화해도 된다. 그러나, 용융 글래스 MG의 원활한 흐름면에서, 용융 글래스 MG의 유로 단면의 가로 폭이, 글래스 공급관(106)의 가로 폭으로부터 홈부(210a)의 홈 폭으로 연속적으로 변화하는 것이 바람직하다.
(글래스판의 특성, 적용)
본 실시 형태의 글래스판을 플랫 패널 디스플레이용 글래스판에 이용하는 경우, 이하의 글래스 조성을 갖도록 글래스 원료를 혼합하는 것이 예시된다.
SiO2 : 50∼70질량％,
Al2O3 : 0∼25질량％,
B2O3 : 1∼15질량％,
MgO : 0∼10질량％,
CaO : 0∼20질량％,
SrO : 0∼20질량％,
BaO : 0∼10질량％,
RO : 5∼30질량％(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba의 합량)
를 함유하는 무알칼리 글래스.
또한, 본 실시 형태에서는 무알칼리 글래스로 하였지만, 글래스판은 알칼리 금속을 미량 포함한 알칼리 미량 함유 글래스이어도 된다. 알칼리 금속을 함유시키는 경우, R'2O의 합계가 0.10질량％ 이상 0.5질량％ 이하, 바람직하게는 0.20질량％ 이상 0.5질량％ 이하(단, R'는 Li, Na 및 K로부터 선택되는 적어도 1종이고, 글래스판이 함유하는 것임) 포함하는 것이 바람직하다. 물론, R'2O의 합계가 0.10질량％보다 낮아도 된다.
또한, 본 발명의 글래스판의 제조 방법을 적용하는 경우는, 글래스 조성물이, 상기 각 성분 외에, SnO2 : 0.01∼1질량％(바람직하게는 0.01∼0.5질량％), Fe2O3 : 0∼0.2질량％(바람직하게는 0.01∼0.08질량％)를 함유하고, 환경 부하를 고려하여, As2O3, Sb2O3 및 PbO를 실질적으로 함유하지 않도록 글래스 원료를 제조해도 된다.
또한, 최근 플랫 패널 디스플레이의 화면 표시의 한층 더한 고정밀화를 실현하기 위해서, α-Si(아몰퍼스 실리콘)ㆍTFT가 아니라, p-Si(저온 폴리실리콘)ㆍTFT나 산화물 반도체를 이용한 디스플레이가 요구되고 있다. 여기서, p-Si(저온 폴리실리콘) TFT나 산화물 반도체의 형성 공정에서는, α-SiㆍTFT의 형성 공정보다도 고온의 열처리 공정이 존재한다. 이 때문에, p-SiㆍTFT나 산화물 반도체가 형성되는 글래스판에는, 열 수축율이 작은 것이 요구되고 있다. 열 수축율을 작게 하기 위해서는, 변형점을 높게 하는 것이 바람직하지만, 변형점이 높은 글래스는, 상술한 바와 같이 액상 온도가 높고, 액상 점도가 낮아지는 경향이 있다. 즉, 상기 액상 점도는, 성형 공정에서의 용융 글래스의 적정한 점도에 가까워진다. 이 때문에, 실투를 억제하기 위해서는, 성형체(210)의 홈부(210a)에서 용융 글래스 MG의 흐름을 정류시키지 않는 것이 보다 강하게 요구된다. 본 실시 형태 및 변형예 1∼3에서는, 용융 글래스 MG의 흐름이 정류하기 어렵다. 따라서, 본 발명의 글래스판의 제조 방법은, 예를 들면 변형점이 655℃ 이상의 글래스를 이용한 글래스판에도 적용할 수 있다. 특히, p-SiㆍTFT나 산화물 반도체에 바람직한 변형점이 655℃ 이상, 변형점이 680℃ 이상, 나아가서는, 변형점이 690℃ 이상의 글래스를 이용한 글래스판에도, 본 발명의 글래스판의 제조 방법은 적용할 수 있어, 실투는 발생하기 어렵다.
또한, 액상 점도가 60000poise 이하의 글래스, 또한, 액상 점도가 50000poise 이하의 글래스, 특히, 액상 점도가 45000poise 이하의 글래스를 이용한 글래스판에도 본 발명의 글래스판의 제조법을 적용할 수 있어, 실투는 발생하기 어렵다.
변형점이 655℃ 이상 혹은 액상 점도가 45000poise 이하의 글래스를 글래스판에 이용하는 경우, 글래스 조성으로서는, 예를 들면 글래스판이 질량％ 표시로, 이하의 성분을 포함하는 것이 예시된다.
SiO2 52∼78질량％,
Al2O3 3∼25질량％,
B2O3 3∼15질량％,
RO(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba로부터 선택되는, 글래스판이 함유하는 모든 성분으로서, 적어도 1종임) 3∼20질량％
를 포함하고,
질량비(SiO2+Al2O3)/B2O3는 7∼20의 범위에 있는 무알칼리 글래스 또는 알칼리 미량 함유 글래스인 것이 바람직하다.
또한, 변형점을 보다 상승시키기 위해서, 질량비(SiO2+Al2O3)/RO는 7.5 이상인 것이 바람직하다. 또한, 변형점을 상승시키기 위해서, β-OH값을 0.1∼0.3㎜-1로 하는 것이 바람직하다. 또한, 높은 변형점을 실현하면서 액상 점도의 저하를 방지하기 위해서 CaO/RO는 0.65 이상으로 하는 것이 바람직하다. 환경 부하를 고려하여, As2O3, Sb2O3 및 PbO를 실질적으로 함유하지 않도록 글래스 원료를 제조해도 된다.
또한, 상술한 성분 외에, 본 실시 형태의 글래스판에 이용하는 글래스는, 글래스의 다양한 물리적, 용융, 청징 및, 성형의 특성을 조절하기 위해서, 다양한 다른 산화물을 함유해도 지장은 없다. 그와 같은 다른 산화물의 예로서는, 이하에 한정되지 않지만, SnO2, TiO2, MnO, ZnO, Nb2O5, MoO3, Ta2O5, WO3, Y2O3 및, La2O3를 들 수 있다. 여기서, 액정 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이용 글래스판은, 기포에 대한 요구가 특히 엄격하므로, 상기 산화물 중에서는 청징 효과가 큰 SnO2를 적어도 함유하는 것이 바람직하다.
상기 RO의 공급원에는, 질산염이나 탄산염을 이용할 수 있다. 또한, 용융 글래스의 산화성을 높이기 위해서는, RO의 공급원으로서 질산염을 공정에 적합한 비율로 이용하는 것이 보다 바람직하다.
이상, 본 발명의 글래스판의 제조 방법에 대하여 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에서, 다양한 개량이나 변경을 해도 되는 것은 물론이다.
100 : 용해 장치
101 : 용해조
101d : 버킷
102 : 청징조
103 : 교반조
103a : 교반기
104, 105, 106 : 글래스 공급관
106a : 글래스 공급관 본체
106b : 관 확장부
200 : 성형 장치
210 : 성형체
210a : 홈부
210b : 측벽
210c : 하방 선단
210d : 저면
210e : 홈 경사면
300 : 절단 장치

Claims (12)

  1. 성형체의 홈부에 용융 글래스를 흘려 글래스판을 제조하는 글래스판의 제조 방법으로서,
    글래스 원료를 용해하여 용융 글래스를 만드는 공정과,
    상기 용융 글래스를, 이송관을 통하여 성형체에 공급하는 공급 공정과,
    상기 용융 글래스를, 상기 성형체를 이용하여 성형하여, 시트 글래스를 만드는 성형 공정을 포함하고,
    상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상기 용융 글래스가, 상기 홈부의 저면에서 정류하지 않고 상기 성형체로 향하는 속도 성분을 갖도록 상기 용융 글래스를 흘리는 것을 특징으로 하는 글래스판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 이송관이 상기 홈부의 개구단에 접속되고,
    상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 면적이, 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되는 글래스판의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 상기 홈부에 공급할 때, 상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 폭이, 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되는 글래스판의 제조 방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 상기 홈부에 공급할 때, 상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 폭이, 상기 접속 위치에서 홈부의 홈 폭으로 되고, 또한, 상기 접속 위치에서, 상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 상기 이송관의 벽면은 상기 홈부의 상기 저면과 단차없이 접속되어 있는 글래스판의 제조 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용융 글래스는, 상기 홈부의 저면을 포함하는 홈 하부로부터 상기 성형체에 공급되는 글래스판의 제조 방법.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 홈부의 개구단에서의 측면의 가장자리 형상의 일부에 일치하는 형상을 갖는 글래스판의 제조 방법.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유로 단면의 폭이 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치까지 연속적으로 확대되는 단부를, 상기 이송관은 갖는 글래스판의 제조 방법.
  8. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 성형체의 상기 홈부가 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서, 상기 성형체의 상기 홈부에서의 용융 글래스의 유로 단면이 서서히 작아져 있는 글래스판의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 홈부는, 상기 저면을 포함하는 홈 하부에서, 홈 폭이 상기 홈부의 깊이 방향으로 진행함에 따라서 좁아지고, 상기 접속 위치에 접근함에 따라서, 상기 홈 폭이 좁아지는 상기 깊이 방향의 개시 위치가 얕아지는 부분을 갖는 글래스판의 제조 방법.
  10. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 용융 글래스의 변형점은 655℃ 이상인 글래스판의 제조 방법.
  11. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 글래스판은, 플랫 패널 디스플레이용 글래스판인 글래스판의 제조 방법.
  12. 글래스판을 제조하는 글래스판의 제조 방법으로서,
    글래스 원료를 용해하여 용융 글래스를 만드는 공정과,
    상기 용융 글래스를, 이송관을 통하여 성형체에 공급하는 공급 공정과,
    상기 용융 글래스를, 상기 성형체를 이용하여 성형하여, 시트 글래스를 만드는 성형 공정을 포함하고,
    상기 공급 공정에서 상기 용융 글래스를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상기 이송관을 흐르는 용융 글래스의 유로 단면의 폭이, 상기 이송관의 개구단과 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단의 접속 위치에 접근함에 따라서 서서히 확대되어, 상기 접속 위치에서 홈부의 홈 폭으로 되고, 또한, 상기 접속 위치에서, 상기 이송관의 개구단의 가장자리는, 상기 성형체의 상기 홈부의 개구단에서의 적어도 저면의 가장자리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 상기 이송관의 벽면은 상기 홈부의 상기 저면과 단차없이 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 글래스판의 제조 방법.
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