CN104731405B - 一种触控显示装置及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种触控显示装置及其制造方法，包括：显示区和非显示区，其中，所述显示区包括栅极金属层、源漏极金属层、转换层和公共电极层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线，所述转换层包括多条转换线，所述公共电极层包括多个相互独立的公共电极，所述栅极线上设置有第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线，所述公共电极上设置有第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述公共电极，所述多条栅极线和所述多条源极线彼此交叉，并且所述多条转换线的延伸方向与所述多条源极线的延伸方向平行，所述多条转换线包括多条第一转换线和多条第二转换线，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接，所述多条第二转换线通过所述第二过孔与所述多个公共电极电连接。

Description

一种触控显示装置及其制造方法
技术领域
本发明涉及触控领域，特别涉及一种触控显示装置及其制造方法。
背景技术
在现有技术中，液晶显示器通常包括显示面板，其具有多条数据线(data line)、与这些数据线交错设置的多条栅极线(或称为扫描线)、和以矩阵形式排列的像素单元。并且，在数据线和栅极线的交叉位置还包括一薄膜晶体管(Thin Film Transistor，TFT)，其中，TFT的栅极电性连接至栅极线，TFT的源极电性连接至数据线，以及TFT的漏极电性连接至像素电极。此外，显示面板还会配置栅驱动器(gate driver)，以顺序地向栅极线提供栅极驱动信号，以及配置源驱动器(source driver)，以便向数据线提供数据电压信号。传统液晶显示器的有效显示区(Active area)一般为矩形，栅极驱动信号和源极驱动信号分别由不同的驱动器或者利用整合型的驱动芯片来进行驱动，但是，接收来自该驱动芯片信号的栅极移位寄存器一般放置于显示面板的有效显示区两侧的非有效显示区，并分别经由该栅极移位寄存器的有效显示区中的栅极线传输栅极扫描信号，这种结构设计显然无法更好的实现窄边框设计。
触摸显示屏作为一种输入媒介,是目前最简单、方便的一种人机交互方式，因此，越来越多的产品将触摸显示功能集成到液晶显示器中。但是，用于提供触控电极触控信号的引线仍然需要从显示面板两侧的非有效显示区域经过，这样就进一步的增加显示面板的边框区域，导致结合触控功能的液晶显示器的边框区域很难做的很窄。
发明内容
鉴于现有技术存在的不足，本发明提供了如下技术方案，具体包括：
提供一种触控显示装置，包括：
显示区和非显示区，其中，所述显示区包括栅极金属层、源漏极金属层、转换层和公共电极层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线，所述转换层包括多条转换线，所述公共电极层包括多个相互独立的公共电极，
所述栅极线上设置有第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线，所述公共电极上设置有第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述公共电极，
所述多条栅极线和所述多条源极线彼此交叉，并且所述多条转换线的延伸方向与所述多条源极线的延伸方向平行，
所述多条转换线包括多条第一转换线和多条第二转换线，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接，所述多条第二转换线通过所述第二过孔与所述多个公共电极电连接。
本发明的实施例提还提出了一种触控显示装置的制造方法，包括如下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成薄膜晶体管元件层，所述薄膜晶体管元件层包括栅极金属层和源漏极金属层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线；
在所述薄膜晶体管元件层上形成公共电极层，图案化所述公共电极层，形成多个相互独立的公共电极；
在所述公共电极和所述薄膜晶体管元件层上形成第三绝缘层；
在所述第三绝缘层上形成转换层，图案化所述转换层，形成多条转换线，所述转换线包括第一转换线和多条第二转换线；
其中，在所述栅极线上形成有第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线，在所述公共电极上形成有第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述公共电极，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接，所述多条第二转换线通过所述第二过孔与所述多个公共电极电连接。
本发明的实施例提还提出了另一种触控显示装置的制造方法，包括如下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成薄膜晶体管元件层，所述薄膜晶体管元件层包括栅极金属层和源漏极金属层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线；
图案化所述薄膜晶体管元件层，在所述栅极线上形成第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线；
在所述薄膜晶体管元件层上形成像素电极层和转换层；
图案化所述转换层和所述像素电极层，形成像素电极、多条第一转换线和多条第二转换线，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接；
在所述第一转换线、所述第二转换线和所述像素电极上形成第三绝缘层；
图案化所述第三绝缘层，在所述第二转换线上形成第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述第二转换线；
在所述第三绝缘层上形成公共电极层，图案化所述公共电极层，形成多个相互独立的公共电极，所述公共电极通过所述第二过孔与所述第二转换线电连接。
相比于现有技术，本发明提出了一种触控显示装置及其制造方法，该触控显示装置共用了触控信号的连接线作为其栅极扫描信号的传输线，同时，将该连接线设置于显示区内，能够实现触控显示装置的窄边框，最大程度的降低了成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种触控显示装置的平面图；
图2是图1中A区域的局部放大图；
图3是本发明实施例提供的一种触控显示装置的剖视图；
图4是本发明实施例提供的另一种触控显示装置的剖视图；
图5是本发明实施例提供的另一种触控显示装置的剖视图；
图6是本发明实施例提供的另一种触控显示装置的剖视图；
图7A至图7I是本发明实施例提供的一种触控显示装置的制造方法；
图8A至图8B是本发明实施例提供的另一种触控显示装置的制造方法；
图9A至图9J是本发明实施例提供的另一种触控显示装置的制造方法。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
图1所示为本发明实施例提供的一种触控显示装置平面图，其包括显示区101(图1中虚线框所框出的区域)和非显示区(图1中除虚线框以外的区域)。在显示区101中包括：栅极金属层、源漏极金属层、转换层和公共电极层(图中未示出)。
栅极金属层包括栅电极(图中未示出)和多条栅极线103，源漏极金属层包括源极(图中未示出)、漏极(图中未示出)和多条源极线(图中未示出)，转换层包括多条转换线(107和109)，公共电极层包括多个相互独立的公共电极105。栅极线103上设置有第一过孔1031，第一过孔1031暴露至少部分栅极线103。公共电极105上设置有第二过孔1052，第二过孔1052暴露至少部分公共电极105。多条栅极线103和多条源极线彼此交叉，并且多条转换线的延伸方向与所述多条源极线的延伸方向大致上平行，其中，多条转换线包括多条第一转换线107和多条第二转换线109，多条第一转换线107通过第一过孔1031与多条栅极线103电连接，多条第二转换线109通过第二过孔1052与多个公共电极105电连接。
需要说明的是，在图1所示的实施例中，显示区101仅以9个公共电极105、6条栅极线103、8条第一转换线107和9条第二转换线109为例进行说明，在实际产品中不局限于以上所给出的情况，可以根据产品的需求而任意设定。
在图1中的非显示区还包括移位寄存单元111和显示触控驱动单元113，移位寄存单元111通过多条第一转换线107向多条栅极线103提供栅极驱动信号。显示触控驱动单元113通过多条第二转换线109向多个公共电极105提供触控驱动信号和/或通过多条第二转换线109感测公共电极105上的触控检测信号，这是因为公共电极105在图1所示的触控显示装置中既可以复用作为触控驱动电极又可以复用作为触控检测电极。
需要说明的是，在图1所示的触控显示装置中，移位寄存单元111和显示触控驱动单元113位于显示区101的下方，但并不局限于该种设计方案，移位寄存单元111和显示触控驱动单元113也都可以设置在显示区101的上方，移位寄存单元111和显示触控驱动单元113可以位于显示区101的相同一侧，或者，移位寄存单元111和显示触控驱动单元113也可以分别位于显示区101的相对两侧，例如，当移位寄存单元111位于显示区101上侧、显示触控驱动单元113位于显示区101下侧，在这种情况下，移位寄存单元111也仍然通过第一转换线107向多条栅极线103提供栅极驱动信号，通过第二转换线109向多个公共电极105提供触控驱动信号和/或通过多条第二转换线109感测公共电极105上的触控检测信号，并且，显示触控驱动单元113通过多条控制线为移位寄存单元111提供控制信号，在这种情况下，电连接移位寄存单元111和显示触控驱动单元113的多条控制线位于显示区101的两侧。优选的，移位寄存单元111和显示触控驱动单元113位于显示区101的相同一侧或相对两侧，这样设计能够最大限度的实现窄边框。
图2所示为图1中A区域的局部放大图，以任意相邻四个公共电极105A、105B、105C和105D所占的区域为例进行说明。结合图1所示，触控显示装置包括衬底基板11，同时还包括多条与栅极线103A、103B、103C和103D交叉设置的源极线104，需要说明的是，图2只是示意性的给出四条栅极线，但并不做限定，同样的，在图2中仅以4条源极线104进行说明，但并不局限于此。栅极线103与源极线104交叉处界定出一个子像素(图2未示出)，多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)与多条源极线104的延伸方向平行。需要说明的是，尽管在图2中，源极线104与多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)在平面上是相互平行的位置关系，二者在衬底基板11垂直方向上的投影不存在重叠区域，但并不局限于图2所示的技术方案，可选的，多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)与多条源极线104在衬底基板11垂直方向上的投影至少部分重合，或者多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)与黑矩阵(图中未示出)在衬底基板11垂直方向上的投影至少部分重合,这样设计的好处是可以进一步提高开口率。
需要说明的是，在图2所示局部放大图中，任一第一转换线仅与一条栅极线电连接，例如：第一转换线107与栅极线103C电连接的同时则不能与其它栅极线103A、103B和103D电连接；反之，任一栅极线至少与一个第一转换线电连接，例如：栅极线103C可以同时与三条第一转换线107分别通过第一过孔1031电连接(在此处仅以三条第一转换线107举例说明，但不局限于三条，可以根据产品需要而任意设计，不做限定)，这样设计的好处在于：采用多条第一转换线同时为相同的栅极线传输栅极扫描信号，增强信号传输稳定性。
需要说明的是，在图2所示局部放大图中，任一第二转换线仅与一个公共电极电连接，例如：第二转换线109与公共电极105A电连接的同时则不能与其它公共电极105B、105C和105D电连接；反之，任一公共电极至少与一个第二转换线电连接，例如：公共电极105A可以同时与三条第二转换线109分别通过第二过孔1052电连接，在此处仅以三条第二转换线109举例说明，但不局限于三条，可以根据产品需要而任意设计，不做限定，这样设计的好处在于：采用多条第二转换线同时为相同的公共电极传输触控驱动信号或感测触控检测信号，增强信号传输和感测的稳定性。
需要说明的是，在图2所示局部放大图中，还包括多条冗余引线，多条冗余引线与多条转换线大致上平行，任一冗余引线仅与一个所述公共电极电连接，例如，在图2中包括3条冗余引线108，冗余引线108与第一转换线107和第二转换线109大致上平行设置，并且，冗余引线108在与公共电极105D电连接的同时不能与其它公共电极105A、105B和105C电连接；任一公共电极至少与一条冗余引线电连接，冗余引线的电阻率小于所述公共电极，例如，在图2中，公共电极105D可以同时与三条冗余引线108通过过孔电连接，在此处仅以三条冗余引线108举例说明，但不局限于三条，可以根据产品需要而任意设计，不做限定，并且冗余引线108的电阻率要小于公共电极的电阻率。冗余引线108与第一转换线107、第二转换线109都是由转换层图案化所得到的，第一转换线107和第二转换线109一般采用金属等低电阻率的材料，将每块独立的公共电极分别电连接了多条冗余引线的好处在于：进一步降低公共电极的电阻，提高公共电极的触控性能。
需要进一步说明的是，在图2所示的局部放大图中，仅在栅极线103C上示意性的画出了三条与栅极线103C电连接的第一转换线107，实际上对于其它每一条栅极线，例如栅极线103A、103B和103D都会有任意数量的第一转换线107与对应的栅极线电连接，图2中为了清楚的说明而没有完全画出，在此不做限定。同样的，仅在公共电极105A上示意性的画出了三条与之电连接的第二转换线109，实际上对于其它每一块公共电极105B、105C和105D，都会有任意数量的第二转换线109与对应的公共电极电连接，在图2中为了清楚的说明而没有完全画出，在此不做限定。同样的，仅在公共电极105D上示意性的画出了三条与之电连接的冗余引线108，实际上对于其它每一块公共电极105A、105B和105C，都会有任意数量的冗余引线108与对应的公共电极电连接，图2中为了清楚的说明而没有完全画出，在此不做限定。
图3所示为本发明实施例提供的触控显示装置的局部剖视图，具体的，图3中给出了两个相邻子像素的剖视结构图，包括：衬底基板11，位于衬底基板上11的半导体层13，半导体层13包括源极区和漏极区，位于半导体层上层间绝缘层12，位于层间绝缘层12上的栅极金属层，栅极金属层包括栅电极104和多条栅极线103，位于栅极金属层上的第一绝缘层15，位于第一绝缘层15上的源漏极金属层，源漏极金属层包括源极17、漏极19和多条源极线(图3未示出)，位于源漏极金属层上的第二绝缘层21，第二绝缘层21覆盖源极17和漏极19，位于第二绝缘层21上的公共电极层，公共电极层包括多个相互之间独立的公共电极105，位于公共电极105和第二绝缘层21上的第三绝缘层23，位于第三绝缘层23上的转换层，转换层包括第一转换线107和第二转换线109，以及贯穿第一绝缘层15、第二绝缘层21和第三绝缘层23的第一过孔1031，贯穿第三绝缘层23的第二过孔1052，第一转换线107通过第一过孔1031与栅极线103电连接，第二转换线109通过第二过孔1052与公共电极105电连接。
具体的，对于图3所示的一种触控显示装置的剖视结构，进一步还包括位于第三绝缘层23上的像素电极层，像素电极层包括多个像素电极25，以及设置于源极17或漏极19上的的第三过孔1033，第三过孔1033贯穿二绝缘层21和第三绝缘层23，暴露至少部分源极17或漏极19，像素电极25通过第三过孔1033与源极17或漏极19电连接。通过采用这样的设计，移位寄存单元111通过多条第一转换线107向多条栅极线103提供栅极驱动信号，显示触控驱动单元113通过多条第二转换线109向多个公共电极105提供触控驱动信号和/或通过多条第二转换线109感测公共电极105上的触控检测信号，由于第一转换线107和第二转换线109都设置在显示区101内而没有设置在显示区101左右两侧的边框区，在保证完成显示及触控功能的基础上，进一步实现了窄边框。
图4所示为本发明提供的另一种触控显示装置的剖视图，具体的，图4中给出了两个相邻子像素的剖视结构图，包括：衬底基板11，位于衬底基板上11的半导体层13，半导体层13包括源极区和漏极区，位于半导体层上的层间绝缘层12，位于层间绝缘层12上的栅极金属层，栅极金属层包括栅电极104和多条栅极线103，位于栅极金属层上的第一绝缘层15，位于第一绝缘层15上的源漏极金属层，源漏极金属层包括源极17、漏极19和多条源极线(图3未示出)，位于源漏极金属层上的第二绝缘层21，第二绝缘层21覆盖源极17和漏极19，位于第二绝缘层21上的公共电极层，公共电极层包括多个相互之间独立的公共电极105，位于公共电极105和第二绝缘层21上的第三绝缘层23，位于第三绝缘层23上的转换层，转换层包括第一转换线107和第二转换线109，以及贯穿第一绝缘层15、第二绝缘层21和第三绝缘层23的第一过孔1031，贯穿第三绝缘层的第二过孔1052，第一转换线107通过第一过孔1031与栅极线103电连接，第二转换线109通过第二过孔1052与公共电极105电连接。还包括位于第三绝缘层23和多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)上的保护层27，保护层27的材料优选的是绝缘材料，保护层27覆盖多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)，以及设置于保护层27上的像素电极25。与图3所提供的触控显示装置的不同之处还在于：在图4所提供的触控显示装置中，第三过孔1033贯穿第二绝缘层21、第三绝缘层23和保护层27，暴露至少部分源极17或漏极19，像素电极25通过第三过孔1033与源极17或漏极19电连接。通过采用这样的设计，结合图1，移位寄存单元111通过多条第一转换线107向多条栅极线103提供栅极驱动信号，显示触控驱动单元113通过多条第二转换线109向多个公共电极105提供触控驱动信号和/或通过多条第二转换线109感测公共电极105上的触控检测信号，由于第一转换线107和第二转换线109都设置在显示区101内而没有设置在显示区101左右两侧的边框区，在保证完成显示及触控功能的基础上，进一步实现了窄边框。并且，在图4所提供触控显示装置中，由于在多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)上设置了保护层27，这样更有利于多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)的保护，防止其裸露在触控显示装置的表面。
图5所示为本发明提供的另一种触控显示装置的剖视结构，具体的，图5中给出了两个相邻子像素的剖视结构图，包括：衬底基板11，位于衬底基板上11的半导体层13，半导体层13包括源极区和漏极区，位于半导体层13上的栅极金属层，栅极金属层包括栅电极104和多条栅极线103，位于栅极金属层上的第一绝缘层15，位于第一绝缘层15上的源漏极金属层，源漏极金属层包括源极17、漏极19和多条源极线(图3未示出)，位于源漏极金属层上的第二绝缘层21，第二绝缘层21覆盖源极17和漏极19，位于第二绝缘层21上的转换层，转换层包括多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)，位于多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)上的第三绝缘层23，第三绝缘层23覆盖多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)和第二绝缘层21，位于第三绝缘层23上的公共电极层，公共电极层包括多个相互之间独立的公共电极105，以及贯穿第一绝缘层15和第二绝缘层21的第一过孔1031，第一过孔1031暴露至少部分栅极线103，以及贯穿第三绝缘层23的第二过孔1052，多条第一转换线107通过第一过孔1031与多条栅极线103电连接，多条第二转换线109通过第二过孔1052与多个公共电极105电连接。相较于图4所给出的触控显示装置，采用如图5所给出的触控显示装置的设计方案的优势在于，其不用额外设置一层覆盖于多条转换线(第一转换线107和第二转换线109)上的保护层，更加节省制作工艺成本。
具体的，对于图5所示的触控显示装置，进一步的还包括设置于转换线(第一转换线107和第二转换线109)和第三绝缘层23之间的像素电极25，以及设置于源极17或漏极19上的第三过孔1033，第三过孔1033贯穿第二绝缘层21，暴露至少部分源极17或漏极19，像素电极25通过第三过孔1033与源极17或漏极19电连接。
需要说明的是，对于以上图3、图4和图5所给出的触控显示装置而言，第二转换线109和公共电极105均通过贯穿第三绝缘层23的第二过孔1052电连接，但第二转换线109和公共电极105的电连接方式也并不仅局限于此种技术方案，也可以如图6所示实施例所提供的一种触控显示装置所给出的膜层结构，即第二转换线109和公共电极105并不是直接通过过孔接触并实现电连接，而是通过一种中间电介质，例如图6中的与像素电极同层的中间电介质26实现电连接，具体的，第二转换线109首先通过一贯穿保护层27的第四过孔1091与中间电介质26电连接，中间电介质通过贯穿保护层27、第三绝缘层23的第五过孔1092与公共电极105电连接，以此实现第二转换线109与公共电极105的电连接。
诚然，图6所示实施例所提供的一种触控显示装置也只是作为一种举例来描述第二转换线109和公共电极105之间的电连接关系，也不纯粹局限于图6所示的技术方案，不必局限于图6中所画出的形状，也可以采用其它膜层作为第二转换线109和公共电极105实现电连接的中间电介质层，在此不再赘述。
需要说明的是，对于以上图3、图4、图5和图6所提供的触控显示装置中的薄膜晶体管均为顶栅结构，但对于本发明而言并不局限于顶栅结构，也同样适用于底栅结构或其它结构，在本发明说明书中均以顶栅结构为例进行说明，不做限定。
还需要说明的是，对于以上图3、图4、图5和图6所提供的触控显示装置而言，第一转换线107与栅极线103的电连接方式(接触方式)是完全利用图案化的转换层(即与第一转换线107、第二转换线109为同层材料)贯穿第一过孔1031,但也不局限于此种技术方案，例如，第一转换线107与栅极线103的电连接方式(接触方式)可以分别利用图案化的转换层、图案化的源漏电极层分别填充第一过孔1031。同理，对于像素电极25通过第三过孔1033与源极17或漏极19电连接的方式也不局限于以上图3、图4、图5和图6所示出的那样，可以利用多层导电层作分别填充第三过孔1033实现电连接的方式，在此不再赘述。
图7A至图7I所示为本发明实施例提供的一种触控显示装置的制造方法，以两个相邻子像素为例，具体的分为如下步骤：
如图7A所示，提供一衬底基板11；
如图7B所示，在衬底基板11上形成半导体层13，半导体层13包括源极区和漏极区；
如图7C所示，在半导体层13上形成层间绝缘层12，在层间绝缘层上形成栅极金属层，图案化所述栅极金属层，在层间绝缘层12上形成栅电极104和栅极线103；
如图7D所示，在栅电极104和栅极线103上形成第一绝缘层15，第一绝缘层覆盖栅电极104和栅极线103；
如图7E所示，图案化层间绝缘层和第一绝缘层15，在半导体层的源极区和漏极区上分别形成暴露漏极区的漏极过孔131和暴露源极区的源极过孔132；
如图7F所示，在第一绝缘层上形成源漏极金属层，图案化源漏极金属层以形成源极17、漏极19和源极线(图中未示出)，源极17通过源极过孔132与源极区域接触，漏极19通过漏极过孔131与漏极接触；
如图7G所示，在源极17、漏极19和源极线(图中未示出)上形成第二绝缘层21，第二绝缘层21覆盖源极17、漏极19和源极线(图中未示出)；
如图7H所示，在第二绝缘层21上形成公共电极层，图案化公共电极层，形成多个相互独立的公共电极105，公共电极层一般采用透明金属材料，如氧化铟锡等；
如图7I所示，在第二绝缘层21和公共电极105上形成第三绝缘层23，图案化第一绝缘层15、第二绝缘层21和第三绝缘层23，在栅极线103上形成第一过孔1031，第一过孔1031暴露至少部分栅极线103，图案化第三绝缘层23，在公共电极105上形成第二过孔1052，第二过孔1052暴露至少部分公共电极105，以及图案化第二绝缘层21和第三绝缘层23，在漏极19上形成第三过孔1033，第三过孔1033暴露至少部分漏极19，在第三绝缘层23上形成像素电极层和转换层，图案化像素电极层和转换层，在第三绝缘层23上形成像素电极25、第一转换线107和第二转换线109，其中，第一转换线107通过第一过孔1031与栅极线103电连接，第二转换线109通过第二过孔与公共电极105电连接，像素电极25通过第三过孔1033与漏极19电连接。
通过采用如图7A至图7I所提供的触控显示装置的制造方法，结合图1，移位寄存单元111通过多条第一转换线107向多条栅极线103提供栅极驱动信号，显示触控驱动单元113通过多条第二转换线109向多个公共电极105提供触控驱动信号和/或通过多条第二转换线109感测公共电极105上的触控检测信号，由于第一转换线107和第二转换线109都设置在显示区101内而没有设置在显示区101左右两侧的边框区，在保证完成显示及触控功能的基础上，进一步实现了窄边框。
需要说明的是，在图7A至图7I所提供的触控显示装置的制造方法中，如图7H所示，在第二绝缘层21上形成公共电极层，图案化公共电极层，形成多个相互独立的公共电极105的步骤之后，还可以为如图8A至图8B所示的步骤，具体为：
如图8A所示，在第二绝缘层21和公共电极105上形成第三绝缘层23，图案化第一绝缘层15、第二绝缘层21和第三绝缘层23，在栅极线103上形成第一过孔1031，第一过孔1031暴露至少部分栅极线103，图案化第三绝缘层23，在公共电极105上形成第二过孔1052，第二过孔1052暴露至少部分公共电极105，在第三绝缘层23上形成转换层，图案化转换层，在第三绝缘层23上形成第一转换线107和第二转换线109，其中，第一转换线107通过第一过孔1031与栅极线103电连接，第二转换线109通过第二过孔与公共电极105电连接，在第三绝缘层23、第一转换线107和第二转换线109上形成保护层27，保护层27覆盖第一转换线107和第二转换线109；
如图8B所示，图案化保护层27、第三绝缘层23、第二绝缘层21，在漏极19上形成第三过孔1033，第三过孔1033暴露至少部分漏极19，在保护层27上形成像素电极层，图案化像素电极层，形成像素电极25，像素电极25通过第三过孔1033与漏极19电连接。其中，保护层27的材料为绝缘材料，如氮化硅等。由于在第一转换线107和第二转换线109上设置了保护层27，这样更有利于第一转换线107和第二转换线109的保护，防止其裸露在触控显示装置的表面。
图9A至图9I所示为本发明实施例提供的一种触控显示装置的制造方法，以两个相邻子像素为例，具体的分为如下步骤：
如图9A所示，提供一衬底基板11；
如图9B所示，在衬底基板11上形成半导体层13，半导体层13包括源极区和漏极区；
如图9C所示，在半导体层13上形成层间绝缘层12，在层间绝缘层上形成栅极金属层，图案化所述栅极金属层，在层间绝缘层12上形成栅电极104和栅极线103；
如图9D所示，在栅电极104和栅极线103上形成第一绝缘层15，第一绝缘层覆盖栅电极104和栅极线103；
如图9E所示，图案化层间绝缘层和第一绝缘层15，在半导体层的源极区和漏极区上分别形成暴露漏极区的漏极过孔131和暴露源极区的源极过孔132；
如图9F所示，在第一绝缘层上形成源漏极金属层，图案化源漏极金属层以形成源极17、漏极19和源极线(图中未示出)，源极17通过源极过孔132与源极区域接触，漏极19通过漏极过孔131与漏极接触；
如图9G所示，在源极17、漏极19和源极线(图中未示出)上形成第二绝缘层21，第二绝缘层21覆盖源极17、漏极19和源极线(图中未示出)；
如图9H所示，图案化第一绝缘层15和第二绝缘层21，在栅极线103上形成第一过孔1031，第一过孔1031暴露至少部分栅极线103，图案化第二绝缘层21，在漏极19上形成第三过孔1033，第三过孔1033暴露至少部分漏极19，在第二绝缘层21上形成像素电极层和转换层，图案化像素电极层和转换层，在第二绝缘层21上形成像素电极25、第一转换线107和第二转换线109，其中，第一转换线107通过第一过孔1031与栅极线103电连接，像素电极25通过第三过孔1033与漏极19电连接；
如图9I所示，在像素电极25、第一转换线107和第二转换线109上形成第三绝缘层23；
如图9J所示，图案化第三绝缘层23，在第二转换线109上形成第二过孔1052，在第三绝缘层23上形成公共电极层，图案化公共电极层，在第三绝缘层上形成多个相互独立的公共电极105,并且公共电极105通过第二过孔1052与第二转换线109电连接。
通过采用如图9A至图9J所提供的触控显示装置的制造方法，结合图1，移位寄存单元111通过多条第一转换线107向多条栅极线103提供栅极驱动信号，显示触控驱动单元113通过多条第二转换线109向多个公共电极105提供触控驱动信号和/或通过多条第二转换线109感测公共电极105上的触控检测信号，由于第一转换线107和第二转换线109都设置在显示区101内而没有设置在显示区101左右两侧的边框区，在保证完成显示及触控功能的基础上，进一步实现了窄边框。
需要说明的是，对于图7A至图7I所提供的一种触控显示装置的制造方法中，由于第一过孔1031贯穿第一绝缘层15、第二绝缘层21和第三绝缘层23，因此在栅极线103上形成第一过孔1031采用一次性图案化第一绝缘层15、第二绝缘层21和第三绝缘层23的技术方案，但并不局限于此种方案，也可以是先图案化第一绝缘层15，然后图案化第二绝缘层21，再图案化第三绝缘层23以形成第一过孔1031的方式，同理，对于形成第二过孔1052和第三过孔1033，此种技术方案也同样适用。也就是所，同样对于图8A至图8B以及图9A至图9J图所提供的发明实施例中形成第一过孔1031、第二过孔1052和第三过孔1033的技术方案不做限定，只要保证，第一过孔1031形成在栅极线103上，暴露至少部分栅极线103,并且第一转换线107通过第一过孔1031与栅极线103电连接即可；第二过孔1052形成在公共电极105上，暴露至少部分公共电极105，并且第二转换线109通过第二过孔1052与公共电极105电连接；第三过孔1033形成在漏极19上，暴露至少部分漏极19，并且像素电极25通过第三过孔1033与漏极19电连接。
以上对本发明实施例所提供的触控显示装置及其制造方法进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (19)

1.一种触控显示装置，包括：显示区和非显示区，其中，所述显示区包括栅极金属层、源漏极金属层、转换层和公共电极层，所述转换层与所述栅极金属层、所述源漏极金属层均不同层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线，所述转换层包括多条转换线，所述公共电极层包括多个相互独立的公共电极，
所述栅极线上设置有第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线，所述公共电极上设置有第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述公共电极，
所述多条栅极线和所述多条源极线彼此交叉，并且所述多条转换线的延伸方向与所述多条源极线的延伸方向平行，
所述多条转换线包括多条第一转换线和多条第二转换线，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接，任一所述第一转换线仅与一个所述栅极线电连接，所述多条第二转换线通过所述第二过孔与所述多个公共电极电连接。
2.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，还包括移位寄存单元和显示触控驱动单元，所述移位寄存单元通过所述多条第一转换线向所述多条栅极线提供栅极驱动信号，所述显示触控驱动单元通过所述多条第二转换线向所述多个公共电极提供触控驱动信号，和/或通过所述多条第二转换线感测所述公共电极上的触控检测信号。
3.根据权利要求2所述的触控显示装置，其特征在于，所述移位寄存单元和所述显示触控驱动单元位于所述显示区的相同一侧或相对两侧。
4.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，所述触控显示装置包括衬底基板，所述多条转换线的延伸方向与所述多条源极线在所述衬底基板垂直方向上的投影至少部分重合。
5.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，所述栅极线上覆盖有第一绝缘层，所述源极和漏极设置于所述第一绝缘层上，第二绝缘层覆盖所述源极和漏极，所述公共电极设置于所述第二绝缘层上，第三绝缘层覆盖所述第二绝缘层和所述公共电极，所述第一过孔贯穿所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层，所述第二过孔贯穿所述第三绝缘层。
6.根据权利要求5所述的触控显示装置，其特征在于，还包括设置于所述第三绝缘层上的像素电极，以及设置于所述源极或所述漏极上的的第三过孔，所述第三过孔贯穿所述第二绝缘层和所述第三绝缘层，暴露至少部分所述源极或所述漏极，所述像素电极通过所述第三过孔与所述源极或所述漏极电连接。
7.根据权利要求5所述的触控显示装置，其特征在于，还包括位于所述第三绝缘层上方和所述多条转换线上的保护层，所述保护层覆盖所述多条转换线，以及设置于所述保护层上的像素电极，设置于所述源极或所述漏极上的的第三过孔，所述第三过孔贯穿所述第二绝缘层、所述第三绝缘层和所述保护层，暴露至少部分所述源极或所述漏极，所述像素电极通过所述第三过孔与所述源极或所述漏极电连接。
8.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，所述栅极线上覆盖有第一绝缘层，所述源极和漏极设置于所述第一绝缘层上，第二绝缘层覆盖所述源极和漏极，所述转换线设置于所述第二绝缘层上，第三绝缘层覆盖所述转换线和所述第二绝缘层，所述第三绝缘层上设置有所述公共电极，所述第一过孔贯穿所述第一绝缘层和所述第二绝缘层，所述第二过孔贯穿所述第三绝缘层。
9.根据权利要求8所述的触控显示装置，其特征在于，还包括设置于所述转换线和所述第三绝缘层之间的像素电极，以及设置于所述源极或所述漏极上的第三过孔，所述第三过孔贯穿所述第二绝缘层，暴露至少部分所述源极或所述漏极，所述像素电极通过所述第三过孔与所述源极或所述漏极电连接。
10.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，任一所述栅极线至少与一个所述第一转换线电连接。
11.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，任一所述第二转换线仅与一个所述公共电极电连接。
12.根据权利要求11所述的触控显示装置，其特征在于，任一所述公共电极至少与一个所述第二转换线电连接。
13.根据权利要求1所述的触控显示装置，其特征在于，所述转换层还包括多条冗余引线，所述多条冗余引线与所述多条转换线平行，任一所述冗余引线仅与一个所述公共电极电连接。
14.根据权利要求13所述的触控显示装置，其特征在于，任一所述公共电极至少与一条所述冗余引线电连接，所述冗余引线的电阻率小于所述公共电极。
15.一种触控显示装置的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成薄膜晶体管元件层，所述薄膜晶体管元件层包括栅极金属层和源漏极金属层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线；
在所述薄膜晶体管元件层上形成公共电极层，图案化所述公共电极层，形成多个相互独立的公共电极；
在所述公共电极和所述薄膜晶体管元件层上形成第三绝缘层；
在所述第三绝缘层上形成转换层，所述转换层与所述栅极金属层、所述源漏极金属层均不同层，图案化所述转换层，形成多条转换线，所述转换线包括第一转换线和多条第二转换线；
在所述栅极线上形成有第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线，在所述公共电极上形成有第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述公共电极，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接，所述多条第二转换线通过所述第二过孔与所述多个公共电极电连接，任一所述第一转换线仅与一个所述栅极线电连接。
16.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于，在所述第三绝缘层上形成转换层，图案化所述转换层，形成多条转换线的步骤之后还包括：在所述第三绝缘层和所述多条转换线上形成保护层，所述保护层覆盖所述多条转换线。
17.根据权利要求15所述的制造方法，其特征在于，所述薄膜晶体管元件层还包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层覆盖所述栅电极和所述多条栅极线，所述第二绝缘层覆盖所述源极、所述漏极和所述多条源极线，在所述栅极线上形成有第一过孔的步骤具体包括：
图案化所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层，在所述栅极线上形成第一过孔，所述第一过孔贯穿所述第一绝缘层、所述第二绝缘层和所述第三绝缘层，并且所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线。
18.一种触控显示装置的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：
提供一衬底基板；
在所述衬底基板上形成薄膜晶体管元件层，所述薄膜晶体管元件层包括栅极金属层和源漏极金属层，所述栅极金属层包括栅电极和多条栅极线，所述源漏极金属层包括源极、漏极和多条源极线；
图案化所述薄膜晶体管元件层，在所述栅极线上形成第一过孔，所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线；
在所述薄膜晶体管元件层上形成像素电极层和转换层，所述转换层与所述栅极金属层、所述源漏极金属层均不同层；
图案化所述转换层和所述像素电极层，形成像素电极、多条第一转换线和多条第二转换线，所述多条第一转换线通过所述第一过孔与所述多条栅极线电连接；
在所述第一转换线、所述第二转换线和所述像素电极上形成第三绝缘层；
图案化所述第三绝缘层，在所述第二转换线上形成第二过孔，所述第二过孔暴露至少部分所述第二转换线；
在所述第三绝缘层上形成公共电极层，图案化所述公共电极层，形成多个相互独立的公共电极，所述公共电极通过所述第二过孔与所述第二转换线电连接，任一所述第一转换线仅与一个所述栅极线电连接。
19.根据权利要求18所述的制造方法，其特征在于，所述薄膜晶体管元件层还包括第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层覆盖所述栅电极和所述多条栅极线，所述第二绝缘层覆盖所述源极、所述漏极和所述多条源极线，图案化所述薄膜晶体管元件层，在所述栅极线上形成第一过孔的步骤具体包括：
图案化所述第一绝缘层和所述第二绝缘层，在所述栅极线上形成第一过孔，所述第一过孔贯穿所述第一绝缘层和所属第二绝缘层，并且所述第一过孔暴露至少部分所述栅极线。
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