CN104700198A - 用于控制工件货批制程的方法、储存媒体和系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及用于控制工件货批制程的方法、储存媒体和系统，提供一种方法，包含以至少一个第一设备处理多个货批的各者并将一部份的该多个货批移动到第一储存设备。对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间。以至少所判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者，并将该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者。对该多个第二设备的各者，将在关联于该第二设备的该第二储存设备中的该些货批的各者移动到该第二设备，并以该第二设备来处理。

Description

用于控制工件货批制程的方法、储存媒体和系统

技术领域

一般而言，本发明关于产品制造，且尤其是关于利用半导体机台制造半导体装置。

背景技术

在具有高复杂度的产品制造中，举例而言，譬如集成电路的半导体装置，各种不同的制程利用多个机台来实行。可以用于集成电路的制造的机台的范例包含用于实行微影制程的步进机；用于沉积材料层在半导体结构上的沉积机台，譬如化学气相沉积反应器、电浆强化化学气相沉积反应器、用于实行物理气相沉积、原子层沉积及/或旋转涂布的设备；用于实行蚀刻制程的蚀刻机台，譬如干式蚀刻及湿式蚀刻；用于实行譬如氧化、退火和各种清洁制程的制程的机台；以及用于监控制程和在制程的各个阶段检测半导体装置的缺陷的量测机台。

在制程中，数个工件可以被结合成货批(lot)，该工件在半导体装置的制造中典型地包含半导体晶圆，在制程的特定阶段，各个晶圆包含数个半导体装置。货批中的工件实质地用相同的方式处理并且典型地是利用相同的机台。对于操控货批，可以使用载具。货批中的工件被插入载具中以在机台间移动工件，该些机台被用来执行货批中的工件的制程。

对于传输该载具，可以使用自动化物料传输系统，其中，自动化物料传输系统以自动的方式移动载具，举例而言，利用由计算器系统所控制的载运工具(vehicle)及/或机器人。该计算器系统可以接收来自各种机台的数据，以及来自自动化物料传输系统的数据，并且可以将货批的工件指派到特定机台。将货批的工件指派到机台的工作可以基于特定机台的可用性(availability)、制程的限制、以及该货批的先后次序来实行。制程的限制可包含最大可允许的停伫时间(queuetime)，必须观察该停伫时间以避免在一些特定关键制程之间过长的等待时间对所制造的产品的质量的不良影响。需要被更快速处理的货批，举例而言，以完成的最后时限的观点来看，可以得到较优先的次序。

美国专利第5,980,183号揭露一种用于传输和储存半导体晶圆的系统，其可以用在半导体装置的制造中。该系统包括多个储存位置，其沿着含有制程机台的机台群组(tool bay)的墙来设置。多个储存位置中的储存位置可以以彼此的顶端垂直对齐。该系统复包括传送机构。该传送机构能够从该多个储存位置的上方及/或侧面在该多个储存位置之间来回地传输多个晶圆盒(Pod)，以及从该多个制程机台的上方及/或侧面在该多个制程机台之间来回地传输多个晶圆盒，而不需要在该多个储存位置之间以及该多个储存位置和该多个制程机台之间的传输过程中切换该晶圆盒。

传统上，货批的工件可以被尽快的指派给特定机台，举例而言，一旦在由另一个机台所执行的制程的先前步骤完成之后。一旦工件货批被指派给机台，该货批可以被移动到该机台并被包含到将被该机台处理的货批的队列中。该货批会停留在该队列中直到该机台准备好处理它。在需要用比已经在队列中的货批更高顺位被处理的工件货批抵达时，使用这个策略会导致问题。重新排序在队列中的货批可需要取消目前的队列正在进行的动作，例如传送，或其可能关系到需要由该自动化物料传输系统执行的额外动作，并且可以关系到该机台的生产率的损失。

有鉴于上述的情形，本发明提供可以有助于实质避免或至少减低部分或全部上述问题的方法、系统以及数据储存媒体。

发明内容

以下呈现了本发明的简化概要以便提供对本发明的一些态样的基本理解。此概要并非本发明的详尽综述。此概要并非意在标识本发明的关键要件，也并非意在描绘本发明的范围。该概要的唯一目的是以简化的形式呈现本发明的一些概念，以作为稍后呈现的更详细描述的前序。

本文所揭露的一种例示方法包含以各别的至少一个第一设备处理多个货批的各者。至少一部份的该多个货批从该各别的该至少一个第一设备被移动到第一储存设备。对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间。以至少所判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者。在该第一储存设备中的该些货批的各者被移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者。对多个第二设备的各者，在关联于该第二设备的该第二储存设备中的该些货批的各者被移动到该第二设备，并以该第二设备处理来自关联于该第二设备的该第二储存设备的该些货批。

本文所揭露的另一例示方法包含提供第一模型。该第一模型将来自一机台的至少数据关联于将由该机台处理的一个或多个接续的货批的预期派送时间。接收来自该机台的该至少数据，且该第一模型和该接收到的数据被使用来判定该预期派送时间。以该判定的预期派送时间为基础指派一个或多个货批的工件到该机台，移动该一个或多个货批的工件到该机台，以及利用该机台处理一个或多个货批的工件。判定该预期派送时间的精确度，以及以该判定的精确度为基础更新该第一模型。

本文所揭露的一种例示系统包含数据处理配置，包含至少一个第一设备、多个第二设备、自动化物料传输系统、第一储存设备、以及多个第二储存设备。该多个第二设备的各者关联于各别的该多个第二储存设备中的一者。该自动化物料传输系统将多个货批中的至少一部分从各别的该至少一个第一设备移动到该第一储存设备。该数据处理配置对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间，以至少所判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者，并传送一个或多个第一讯号以及一个或多个第二讯号到该自动化物料传输系统。响应来自该数据处理配置的该一个或多个第一讯号，该自动化物料传输系统将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者。响应来自该数据处理配置的该一个或多个第二讯号，该自动化物料传输系统将在该第二储存设备中的该些货批的各者移动到关联于该第二储存设备的该第二设备。该多个第二设备的各者处理从该自动化物料传输系统所接收的该些货批。

本文所揭露的另一例示系统包含用于以各别的至少一个第一设备的一者处理多个货批的各者的装置；用于将多个货批中的至少一部分从各别的该至少一个第一设备移动到该第一储存设备的装置；用于对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间的装置；用于以至少所判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的装置；用于将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者的装置，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者；以及用于对多个第二设备的各者，将在关联于该第二设备的该第二储存设备中的该些货批的各者移动该第二设备，并以该第二设备处理来自关联于该第二设备的该第二储存设备的该些货批。

本文所揭露的一种例示计算机可读储存媒体包含用于构成数据处理配置的编码以提供模型，该模型将来自一机台的至少数据关联于将由该机台处理的一个或多个接续的货批的预期派送时间；通过网络连接，接收来自该机台的该至少数据；使用该模型和该接收到的数据来判定该预期派送时间；以该判定的预期派送时间为基础指派一个或多个货批的工件到该机台；通过该网络连接，传送第一讯号到自动化物料传输系统，该第一讯号造成该自动化物料传输系统移动该一个或多个货批的工件到该机台；通过该网络连接，传送第二讯号到机台，该第二讯号造成该机台处理一个或多个货批的工件；判定该预期派送时间的精确度；以及以该判定的精确度为基础更新该模型。

附图说明

藉由参考以下叙述结合附图可以更了解本揭露，其中类似的参考编号意指类似的组件，且其中：

图1显示依据具体实施例的系统的示意方块图；

图2示意地显示包含半导体晶圆的货批的载具；

图3示意地显示机台；

图4示意地显示缓冲储存设备；

图5示意地显示批量储存设备；

图6显示流程图以例示依据具体实施例的方法的步骤；

图7显示流程图以例示依据具体实施例的方法的步骤；

图8显示流程图以例示依据具体实施例的方法的步骤；以及

图9显示流程图以例示依据具体实施例的方法的步骤。

虽然本文所揭露的标的容许各种的修改及替代形式，但其特定的实施例已通过附图中的例子来显示，并在本文中详细描述。然而，应该了解的是，本文中特定实施例的描述不是为了要限制本发明所披露的特定形式，相反地，本发明欲涵盖落入本发明的精神与范畴内的所有修改物、相等物、以及替代物，其将如附加的权利要求书所定义。

符号说明

100            系统

101            数据处理配置

102,103,104    设备

102a,102b,102c 机台

103a,103b,103c 机台

104a,104b,104c 机台

105,106,107    主机

108,109,110    缓冲储存设备

111            批量储存设备

112,113,114,115,116,117 工件货批

122            自动化物料传输系统

123            实时模块

124            实时调度模块

125            网络

201至208       工件

209            载具

301            载具机械手

302            预载室

303            晶圆储存升降机

304            晶圆机械手

305至308       腔室

401至416       货架

417,423        机械搬运梭

418            水平方向

419            垂直方向

420a,420b,420c 输入/输出接口

421a,421b,421c 输入/输出接口

501,502        货架

503            机械搬运梭

504            水平方向

505            垂直方向

601至608       步骤

701至708       步骤

801至804       步骤

901至903       步骤。

具体实施方式

下面将说明本发明的各种例示性实施例。为了清楚起见，本说明书中并不记载实际实施方式中的所有特征。当然，应该理解，在研发任何这种实际实施例的过程中，必须考虑许多具体的实施因素来达到研发人员的特定目的，诸如符合系统相关以及商业相关的约束，这些约束在各个实施方式中都是不同的。而且，应该理解，这种研发的努力可能是复杂并且耗时的，虽然如此，本领域技术人员受益于本公开内容也能正常地实现。

现在参照附图描述本发明主题。附图中示意的各种结构、系统及装置只是出于解释目的并用以避免由本领域技术人员已知的细节模糊本揭露。但是，该些附图被包括来描述并解释本揭露的实施例。这里所用的词语和词组的意思应当解释为与相关领域技术人员对该些词语及词组的理解一致。在本文中的连贯使用的术语或词组并不意图隐含特别的定义，亦即与本领域技术人员所理解的通常惯用意思不同的定义。若术语或词组意图具有特定意义，亦即不同于本领域技术人员所理解的意思，则此类特别定义会以直接明确地提供该术语或词组的特定定义的定义方式明确表示于说明书中。

本文所揭露的例示实施例提供结合数据挖掘的通用、广泛且可达成的启发性方法，用于无生产率损失的在制品(work-in-process)的实时派送和收取。特别是，该在制品可包含将由其形成产品的未完成工件，其中，该工件可以群集在货批中。在一些具体实施例中，该工件可包含半导体晶圆。

对于在制品的实时派送，可以对各机台及/或设备(各设备包含一个或多个机台)计算大约的最后保留时间，其在本文中某些时候会称为「决定时间」，其中，在该最后保留时间将货批指派给机台或设备仍然允许足够早地提供该货批给机台以实质地避免在开始处理该货批之前该机台或设备的空闲时间。可以基于预测下一个生产率最大化的货批派送时间的各种机台及/或设备的模型来计算该最后保留时间。此外，在计算该最后保留时间时，可以考虑该货批的传输时间。该生产率最大化货批派送时间以及预估的传输时间可以结合成一个或多个接续货批到该机台或设备的派送时间，且该最后保留时间可以被设定成和该派送时间大约相等的时间点。

实时派送可以帮助实质避免或至少降低不足的派送决定的可能性，其可能发生在货批被立即指派到下一个空闲的机台或设备且其它比该被派送的货批具有更高优先次序的货批在等待时间中出现时，如上所述。如果该货批在该工件货批上的前一个制程步骤被执行完成后立即指派给下一个空闲的机台及/或设备，可能在该机台及/或设备发生相对长的等待时间。

货批收取方法可以基于用在该机台及/或设备的类似模型，其预测下一个生产率最大化或周期时间最小化的货批收取时间。因此，实时方法可以用在派送或收取货批，其可以有助于提供较长的级联(cascade)及/或减低对于高顺位的货批的周期时间。

在一些具体实施例中，可以实行三个或更多的动作来将已经由第一设备处理过的货批传输到用于该货批的后续制程的第二设备。在第一动作中，该货批从该第一设备被移动到第一储存设备，其可以是，举例而言，批量储存设备(bulkstorage)。在第二动作中，该货批从该第一储存设备移动到第二储存设备，举例而言，缓冲储存设备(buffer storage)，且在第三动作中，该货批从该第二储存设备移动到第二设备。该第一储存设备可以是相对接近该第一设备的储存器并将保存大量材料(bulk of material)。该第二储存设备可以是相对接近该第二设备的另一储存器，且可以具有恰好在货批的供给有延迟时提供足够的货批供给给该第二设备的尺寸。举例而言，该自动化物料传输系统相对高的负载及/或包含有将被该第二设备处理的货批的载具广泛的散布在工厂中的时候可以造成该货批供给的延迟。

因此，当在指派该第一储存设备中的货批给设备时，可能需要考虑变动的货批先后次序。因为在该货批被该第二设备处理之前，从该第一储存设备到该第二储存设备的传输可以在相对短的时间中实行，该货批到设备的指派可以在相对晚的时间点考虑该变动的先后次序。同时，使用该第二储存设备可以帮助缓冲货批供应的延迟，藉此可以降低由自动化物料传输系统造成的货批供应延迟。再者，可以考虑像是设备的停机时间或是未预期的货批的情境改变。在一些具体实施例中，该第二储存设备可以恰恰设置在该第二设备的装载埠的上方。

在一些具体实施例中，外部在制品优化系统，举例而言，实时派送系统，可以允许实质上且立即地在该第一储存设备中的货批被送到该第二储存设备之前，或是实质上且立即地在货批从该第二储存设备被送到设备之前提供输入。因此，可以重新排序包含工件货批的队列。该队列可以是在上述的第一储存设备或第二储存设备中。

在一些具体实施例中，可以基于货批的优先次序、以及第一储存设备及/或第二储存设备的使用率和状态、还有接续货批将被派送到该第二设备的预期派送时间，来判定货批何时要从第一储存设备送到第二储存设备。因此，可以平衡货批先后次序、两个不同的储存设备之间的传输时间；以及下一次该第二设备需要货批的时间。

在一些具体实施例中，可以使用资料挖掘来自动识别来自在工厂中的各种种类的机台及/或设备的实时动态数据的统计模式(statistical pattern)。这可以在实质不需要依赖内部机台行为的详细知识下完成。该模式可以被处理而产生模型，该模型可以用来对在制品的实时派送及/或收取实质地实时做出决定。举例而言，该模型可以用来判定预期派送时间及/或预期收取时间。数据挖掘可以结合学习程序，其中，对统计模式的识别可以持续的自适调整(adapted)及/或改善。

因此，可以获得相对精准的实时派送和实时收取。这可以允许延后派送在制品的决定，特别是派送包含半导体晶圆的工件货批，使得具有较高优先权的工件货批可以被照顾到，即使工件货批的优先权持续的变动。可以对于派送和收取使用不同的模型。在决定时间时，依据具体实施例的方法可以和全局的在制品优化系统沟通，在其中在制品将随后被派送。这可以完成在若有对于指派货批到特定机台及/或设备有不同的机率，及/或若是在做出决定的最后时间，有货批的队列的改变的时间。

在一些具体实施例中，当在机台或设备及/或关联于该机台或设备的缓冲储存设备准备好接收在制品之前，在制品已经就绪时，可以前置一个在过程中在线能够处理它的机台的最短路径的中间步骤，举例而言，在适当选择的批量储存设备中，如上所述。在制品的前置可以造成自动化物料传输系统更高度的优化，并加速在制品的传送。

图1显示依据一具体实施例的系统100的示意方块图。举例而言，该系统100可以是用于制造半导体装置的工厂。该系统100包含多个设备102、103、104。

在一些具体实施例中，该设备102、103、104的各者可以包含多个机台。在图1中，参考编号102a、102b、102c表示设备102的机台，参考编号103a、103b、103c表示设备103的机台，且参考编号104a、104b、104c表示设备104的机台。在各该设备102、103、104中的机台数目不一定必须是三个，如图1所示。再者，在各该设备102、103、104中的机台数目不一定要相等。

本发明并不限于各该设备102、103、104包含多于一个机台的具体实施例，如图1所示。在其它具体实施例中，一个或多个该设备102、103、104可包含单一机台。因此，该名词「设备」应通用地理解成一个或多个机台的集合。

该设备102、103、104可包含不同种类的机台。在一些具体实施例中，该设备102可以是第一设备，是第一设备种类。举例而言，该第一设备可以包含一个或多个离子植入机台，其可以用来植入离子掺杂物到半导体结构中。举例而言，该第一设备102可以用来掺杂延伸源极和汲极区域，其邻接着场效晶体管的闸极电极而设置。

该设备103、104可以是第二设备种类的第二设备。举例而言，该设备103、104的各者可包含一个或多个用来在半导体结构之上沉积材料层的电浆强化化学气相沉积反应器。在一些具体实施例中，举例而言，在植入掺杂物到该延伸源极和汲极区域之后，该第二设备103、104可以用来沉积侧壁间隔物材料层到半导体结构之上。

该设备102、103、104的机台不需要是相同种类。在一些具体实施例中，该设备102、103、104的各者的机台可以适用于执行制程的不同步骤，其可以在制程中连续地执行。

举例而言，在该设备102用来执行离子植入制程的具体实施例中，该机台102a、102b、102c中的一者可以是离子植入机台。该设备102的其它机台，例如机台102b、102c，可以是用来执行在该离子植入之前及/或之后执行的步骤的机台，举例而言，用来形成使用在选择性地植入离子到仅仅一部份的半导体结构中的屏蔽的微影机台，或是用来在离子植入后移除屏蔽的光阻剥离机台。

在该设备103、104用来执行电浆强化化学气相沉积制程的具体实施例中，该设备103、104的各者可包含电浆强化化学气相沉积反应器。举例而言，机台103a、104a可以是电浆强化化学气相沉积反应器。其它机台，例如机台103b、103c、104b、104c可以是用来执行在该电浆强化化学气相沉积之前及/或之后执行的制程的机台，举例而言，一个或多个湿式或干式蚀刻制程。

本发明并不限于在该设备102、103、104中所有的机台都是不同机台的具体实施例。在一些具体实施例中，一个或多个该设备102、103、104可包含多个相同种类的机台。

本发明并不限于该第一设备102包含一个或多个离子植入机台且该第二设备103、104包含一个或多个电浆强化化学气相沉积反应器的具体实施例。在其它具体实施例中，该第一设备102和该第二设备103、104可以是不同种类的设备，该第二设备103、104可以是相同种类或至少是类似的种类的设备，且该第二设备103、104的各者适用于执行在由该第一设备102所执行的一个或多个步骤之后的一个或多个半导体制程的下一步骤。

在一些具体实施例中，该第一设备102及/或该第二设备103、104可包含选自机台群组中的一个或多个机台，该机台群组包含用于实行微影制程的步进机；用于沉积材料层在半导体结构上的沉积机台，譬如化学气相沉积反应器、电浆强化化学气相沉积反应器、用于实行物理气相沉积、原子层沉积及/或旋转涂布的设备；用于实行蚀刻制程的蚀刻机台，譬如干式蚀刻及湿式蚀刻；用于实行譬如氧化、退火和各种清洁制程的制程的机台；以及用于监控制程和在制程的各个阶段检测半导体装置的缺陷的量测机台。

此外，本发明并不限于一个第一设备102和二个第二设备103、104的具体实施例，如图1所示。在其它具体实施例中，可以有二个或更多第一设备，以及多于二个的第二设备，且该系统可包含多个在该第一和第二设备之外的更多设备。

该设备102、103、104的各者可包含主机，作为连接各个设备的计算器，并控制该设备的机台的运作。在图1中，参考编号105表示该设备102的主机，参考编号106表示该设备103的主机，且参考编号107表示该设备104的主机。该主机105、106、107的各者可连接到网络125且可提供用来接收数据的设备接口，举例而言，关于控制该设备102、103、104的一者的机台运作的数据，其中，各别的主机是透过该网络125设置并用于提供关于该设备102、103、104的一者及/或透过该网络125的各别的设备的机台的目前或历史状态。

该系统100还包括数据处理配置101，其可以连接到该网络125。该数据处理配置101可包含一个或多个计算器。该数据处理配置101的计算器的各者可包含处理器和内存，其中，该内存可包含挥发性和非挥发性内存。在该数据处理配置101的计算器的各者的内存中，可设有用于控制该设备102、103、104的运作的编码和传送讯号给该设备102、103、104的其它组件以及连接该网络125的该系统100的其它组件，其将在以下详细叙述。

在一些具体实施例中，该数据处理配置101可包含实时(Just-in-time)模块123和实时调度(real-time dispatcher)模块124，其中，在一些具体实施例中，该实时模块123和实时调度模块124的各者可以设置成由该数据处理配置的一个或多个计算器来执行的计算器程序的形式。该实时模块123可配置成用来判定将工件货批派送给该设备102、103、104给该设备102、103、104处理的派送时间，以及将已经处理好的货批从该设备102、103、104移除的收取时间。该实时调度模块124可配置成用来管理货批优先权，并且在如果有二个货批要求的制程步骤需要由相同的设备执行时，用来判定货批被处理的顺序。

该数据处理配置101可以透过该网络传送数据给该设备102、103、104的该主机105、106、107的各者，并且可以透过该网络125从该主机105、106、107的各者接收数据。

该系统100还可包含多个缓冲储存设备108、109、110。该缓冲储存设备108、109、110的各者是关联于该设备102、103、104的一者。特别是，该缓冲储存设备108是关联于该设备102，该缓冲储存设备109是关联于该设备103，且该缓冲储存设备110是关联于该设备104。

该缓冲储存设备108可用来储存将被该设备102处理的工件货批。在图1中，参考编号112、113示意地表示放置在该缓冲储存设备108中并将被该设备102处理的工件货批。该缓冲储存设备109可用来储存将被该设备103处理的工件货批。在图1中，参考编号114示意地表示将被该设备103处理的工件货批。该缓冲储存设备110可用来储存将被该设备104处理的工件货批，其以参考编号115、116、117示意地表示。在图1所示的该缓冲储存设备108、109、110中的货批编号仅是为了例示说明。

该系统100还可包含批量储存设备111。该批量储存设备111可以用来储存在该货批被该设备102、103、104的一者或多者处理之后的工件货批。在图1中，参考编号118到121示意地表示在该批量储存设备111中的工件货批，其中，在该批量储存设备111中的例示编号仅是为了例示说明。

该系统100还可包含自动化物料传输系统122。该自动化物料传输系统122可以适用于在该批量储存设备111、该缓冲储存设备108、109、110和该设备102、103、104之间移动工件货批。特别是，该自动化物料传输系统122可用于将已经被该设备102、103、104的任一者处理过的工件货批移动到该批量储存设备111、用于将工件货批从该批量储存设备111移动到该缓冲储存设备108、109、110的任一者、以及将工件货批从该缓冲储存设备108、109、110的任一者移动到与各别的缓冲储存设备108、109、110相关的该设备102、103、104的一者。

该自动化物料传输系统122可包含用来移动工件货批的装置，譬如，举例而言，具有抓取器的机械搬运梭(robotic shuttle)、传输载具及/或其它传输方式，譬如，举例而言，输送带。

该自动化物料传输系统122可以通过该网络125连接到该数据处理配置101。该数据处理配置101可包含一个或多个计算器，配置成用来藉由传送信号给该自动化物料传输系统122以控制该工件货批在该设备102、103、104、该缓冲储存设备108、109、110和该批量储存设备111之间的移动。

在一些具体实施例中，该自动化物料传输系统122的部分可以被主机105、106、107控制。举例而言，该主机105可以控制将工件货批在该缓冲储存设备108和该设备102的机台102a、102b、102c之间移动的该自动化物料传输系统122的部分，该主机106可以控制将工件货批在该缓冲储存设备109和该设备103的机台103a、103b、103c之间移动的该自动化物料传输系统122的部分，且该主机107可以控制将工件货批在该缓冲储存设备110和该设备104的机台104a、104b、104c之间移动的该自动化物料传输系统122的部分。

对于利用该自动化物料传输系统122移动工件货批，可以将工件插入载具，如将于以下参考图2所解释的，其中，将以货批112的传输来叙述。对于该系统100中的其它货批113至121的传输，可以使用类似的载具，且该货批113至121的特征可至少部分地对应于该货批112的特征。

图2显示该货批112的示意透视图。货批112包含多个工件201至208，其中，该工件201至208的各者可以是在半导体制程的阶段中包含数个半导体装置的半导体晶圆。在一些具体实施例中，可以从在半导体制程中的晶圆201至208上的装置形成集成电路。然而，本发明并不限于此具体实施例。在其它具体实施例中，依据本发明的系统跟方法可以用于不同于集成电路的其它半导体装置的形成，譬如，举例而言，发光二极管和雷射二极管。

该晶圆201至208可以被插入载具209中，该载具209是配置成由该自动化物料传输系统122进行传输。在一些具体实施例中，该载具209可以是使用传统标准机械接口晶圆盒(SMIF pod)或是传统的前端开口晶圆盒(FOUP)。在一些具体实施例中，该载具可以是晶圆盒的一部分。该晶圆载具209不需要适用于接收八片晶圆，如图2所示。在其它具体实施例中，该晶圆载具209可以适用于接收更少或更多的晶圆，举例而言，二十五片晶圆。

图3显示机台103a的示意图，作为范例具体实施例中的该系统100的多个第二设备的一者中的机台的代表，其中，该机台103a是电浆强化化学气相沉积反应器。该机台103a可包含载具机械手301，其可以用来掌控具有对应上述的载具209的特征的载具。该载具机械手301可以通过一个或多个输入/输出接口接收一个或多个载具。在图4中，参考编号420a代表该机台103a的一个输入/输出接口。然而，本发明并不限于该机台103a具有一个输入/输出接口的具体实施例。在其它具体实施例中，该机台103a可具有二个或更多输入/输出接口。该机台103a还包含晶圆储存升降机303和晶圆机械手304，其可以设置在预载室(load lock)302上。该晶圆储存升降机303可从由该载具机械手301控制的载具接收晶圆，并可将该晶圆移动到该预载室302内。该晶圆机械手304可在多个腔室305、306、307、308之间移动晶圆。该腔室305至308可用于实行电浆强化化学气相沉积制程及/或可在电浆强化化学气相沉积制程之前或之后实行的制程，譬如，举例而言，清洁、蚀刻、氧化及/或退火制程。

设备104，如上所述，可以是和设备103实质上相同或类似种类的设备，而且在该系统100中选择性地更多第二设备可包含一个或多个和机台103a相同或类似种类的机台，其可具有对应以上参考图3所述的特征。

在一些具体实施例中，设备103、104以及选择性的更多和设备103相同种类的第二设备可以设置的彼此相对靠近，举例而言，彼此邻接。该第一设备102，作为和该第二设备103、104不同种类的设备，可能设置在较远的位置。然而，本发明并不限于本具体实施例。在其它具体实施例中，该第二设备103、104可以设置成相对远离彼此，且该第一设备102可以设置成相对靠近该第二设备103、104的一者。

图4显示相关于该第二设备103、104设置成彼此邻接的具体实施例中的该第二设备103、104的该缓冲储存设备109、110的示意图。

该缓冲储存设备109、110，以及该第二设备103、104的机台可以设在半导体工厂的机台群组422中。该缓冲储存设备109、110的各者可包含多个货架。在图4中，参考编号401到408示意地表示关联于该设备103的该缓冲储存设备109的货架，且参考编号409到416示意地表示关联于该设备104的该缓冲储存设备110的货架。

该缓冲储存设备109的货架401到408可以设置在该设备103的机台103a、103b、103c的输入/输出接口420a、420b、420c上方，且该缓冲储存设备110的货架409到416可以设置在该设备104的机台104a、104b、104c的输入/输出接口421a、421b、421c上方。该缓冲储存设备108可被接置在天花板上。另外，其可以是接置在墙上或是独立式的(free-standing)。

该缓冲储存设备109、110的货架401到416的各者可支撑一个或多个包含经该机台103、104处理后的工件货批的载具。举例而言，货批114(见图1)可以放置在该货架401至408的一者上，且货批115、116、117(见图1)可以放置在货架409至410的一者或多者上。

参考编号417代表机械搬运梭，其是该自动化物料传输系统122的一部分。该搬运梭417可以在水平方向418和垂直方向419上移动。该搬运梭417可移动到该缓冲储存设备109、110的该货架401至416的各者，以及移动到该机台103a、103b、103c、104a、104b、104c的输入/输出接口420a、420b、420c、421a、421b、421c，选择性地还有该机台103a、103b、103c的更多的输入/输出接口(在该机台具有多于一个输入输出接口的具体实施例中)。该搬运梭417可适用于将放置在该缓冲储存设备109的该货架401至408的任何一者上的载具移动到该机台103a、103b、103c的输入/输出接口420a、420b、420c，并将将放置在该缓冲储存设备110的该货架409至416的任何一者上的载具移动到该机台104a、104b、104c的输入/输出接口421a、421b、421c。此外，该自动化物料传输系统122可包含另一搬运梭423，其可以从该货架401至416的任何一者将包含工件的载具移动到该系统100的其它位置。再者，在一些具体实施例中，可以设置类似该搬运梭417的分别的搬运梭用于该缓冲储存设备109和该缓冲储存设备110。

对于搬运该载具，该搬运梭417、423的各者可包含抓取器。可以藉由该主机106、107和该数据处理配置101控制该搬运梭417、423的运作。

该设备102的该缓冲储存设备108可包含和上述的缓冲储存设备109、110类似的货架，且类似搬运梭417的机械搬运梭及/或类似搬运梭423的另一机械搬运梭可以用来将包含工件货批的载具从该缓冲储存设备108的货架移动到该设备102的机台102a、102b、102c的输入/输出接口，并将包含工件货批的载具从该设备102的机台102a、102b、102c的输入/输出接口移动到该系统100的其它位置。

图5显示在一具体实施例中的该批量储存设备111的示意图。该批量储存设备111可包含多个货架501，其中，该多个货架501中的一个示范用的货架是以参考编号502代表。该批量储存设备111的该货架501的特征可以对应于该缓冲储存设备109、110的该货架401至416的特征。具有对应于该搬运梭417的特征的机械搬运梭503可以用来将包含工件货批的载具放入该批量储存设备111的该货架501，并且可以从该货架501移除包含工件货批的载具。该搬运梭503可以沿着该批量储存设备111在水平方向504以及垂直方向505上移动。

该批量储存设备111的储存空间可以大于该缓冲储存设备108、109、110的各者的储存空间，所以该批量储存设备111可以储存比该缓冲储存设备108、109、110的各者更多的包含工件货批的载具。在一些具体实施例中，该缓冲储存设备108、109、110的各者的储存空间可以小于该批量储存设备111的储存空间的一半、小于该批量储存设备111的储存空间的五分之一、及/或在该批量储存设备111的储存空间的十分之一到该批量储存设备111的储存空间的五分之一的范围内。因此，在该系统100的运作中，全部工件货批的大部份，包括目前未被该系统的该设备102、103、104的任何一者处理的，以及目前未由该自动化物料传输系统122传输中的，可以储存在该批量储存设备111中，而只有少部分的不是目前处理或运输中的工件货批被放置在该缓冲储存设备108、109、110中。

该缓冲储存设备108、109、110的各者的储存空间可以适用于足够储存一货批数量，该货批数量相同于或大于在预定的延迟缓冲时间内可以由相对于该缓冲储存设备108、109、110的一者的该设备102、103、104的一者处理的最大货批数量。可以依据利用该自动化物料传输系统122传输该工件货批可能发生的典型延迟来选择该延迟缓冲时间，从而能够实质避免或至少减低因为将被该设备102、103、104处理的工件货批的逾时送达所引起的该设备102、103、104的空闲时间的可能性。在一些具体实施例中，该延迟缓冲时间可以在约5分钟到约1小时的范围内。本发明并不限于该缓冲储存设备108、109、110的各者设置成工件货批是储存在设在该设备102、103、104的输入/输出接口上方的该缓冲储存设备108、109、110中的具体实施例。在其它具体实施例中，可以提供不同的该缓冲储存设备108、109、110相对于该设备102、103、104的配置。举例而言，缓冲储存设备108可以设在该设备102的机台的侧面，缓冲储存设备109可以设在该设备103的机台的侧面，且缓冲储存设备110可以设在该设备104的机台的侧面。

一般而言，该缓冲储存设备108可以设置的比该批量储存设备111更靠近该设备102，该缓冲储存设备109可以设置的比该批量储存设备111更靠近该设备103，且该缓冲储存设备110可以设置的比该批量储存设备111更靠近该设备104。

该批量储存设备111可以设置的比关联于该第二设备103、104的该缓冲储存设备109、110更靠近该第一设备102。举例而言，该批量储存设备111可以关联于该第一设备102所在的群组，该第二设备103、104则设置在该系统100的不同群组中。

以下，可用于上述关于图1至5的该系统100的运作的方法将参考图6至9详细叙述。

图6显示依据一具体实施例的方法的流程图。对于实行该方法，该数据处理配置101藉由透过该网络125传送信号给该设备102、103、104的主机105、106、107和该自动化物料传输系统122以及从其接收讯号，可控制该设备102、103、104以及该自动化物料传输系统122。

在步骤601中，一工件货批，特别是半导体晶圆的货批，可以由第一设备102处理。为了这个目的，在关联于该第一设备102的该缓冲储存设备108中的工件货批，例如货批112，可以由该自动化物料传输系统122移动到该设备102的机台的输入/输出接口。然后，可以对该货批112的该些晶圆的各者实行一个或多个制程步骤，举例而言，一个或多个半导体制程的制程步骤。举例而言，在该第一设备适用于实行离子植入制程的具体实施例中，可以植入离子到该货批112的晶圆中。之后，从该设备102的机台的输入/输出接口输出该货批112。

然后，在步骤602中，该货批112可以被移动到该批量储存设备111。这可以由该自动化物料传输系统122完成，此运作可以由该数据处理配置101控制。

此外，更多任务件货批可以由该第一设备102处理。举例而言，该货批113可以从该缓冲储存设备108移动到该第一设备102的输入/输出接口。然后，可以对该货批113的该些晶圆的各者实行一个或多个制程步骤。之后，从该设备102透过其输入/输出接口输出该货批113，且该货批113可以由该自动化物料传输系统122移动到该批量储存设备111。

本发明并不限于全部货批由该第一设备102处理并移动到该批量储存设备111的具体实施例。在一些具体实施例中，部分由该第一设备102处理的货批可以直接移动到该第二设备103、104的该缓冲储存设备109、110的一者。

在步骤603中，可以判定将由该第二设备103处理的一个或多个接续货批的预期派送时间，该预期派送时间是一个未来的时间点，在该时间点，如果该第二设备103将在实质上没有该第二设备103的空闲时间(在该空闲时间，该第二设备103在等待货批抵达)的情形下处理该一个或多个货批，该一个或多个货批将被派送到该第二设备103。举例而言，该预期派送时间是该自动化物料传输系统122会开始将一个或多个货批从该批量储存设备111移动到关联于该第二设备103的该缓冲储存设备109的时间点，或是该自动化物料传输系统122会被启动以将一个或多个货批从该批量储存设备111移动到该缓冲储存设备109的时间点。此外，可以判定将由该第二设备104处理的一个或多个接续货批的预期派送时间。将由该第二设备104处理的一个或多个接续货批的预期派送时间的特征可以对应于将由该第二设备103处理的一个或多个接续货批的预期派送时间的特征。

在一些具体实施例中，可以用该第二设备103、104的预期制程结束时间为基础来判定该预期派送时间。可以基于该一个或多个货批从该批量储存设备到各别的缓冲储存设备的大约传送时间，以及在关于该第二设备的缓冲储存设备中的接续货批的缓冲时间(其可以用目前在该缓冲储存设备中的货批数量为基础来判定)，来选择该预期派送时间和该预期制程结束时间之间的时间间隔的长度。在一些具体实施例中，该预期派送时间和该预期制程结束时间之间的时间间隔的长度可是在约0秒到约6小时的范围内，对应于全负载的机台的处理时间。

依据具体实施例来判定该预期派送时间的进一步方法将在以下叙述。可以由该实时模块123实行该预期派送时间的判定。在步骤604中，对于该第二设备103、104的各者，可以基于针对各别的该第二设备103、104的派送时间来判定决定时间，在该决定时间在该批量储存设备111中的货批中的至少一者被指派给各别的该第二设备103、104。这可以由该实时模块123来完成。可以选择该第二设备103的决定时间，使得其大约相等于将被派送给该第二设备103的接续货批的预期派送时间。

相同地，可以判定用于指派一个或多个货批给该第二设备104的决定时间。可以基于将派送给该第二设备104的一个或多个接续货批的预期派送时间来判定用于指派一个或多个接续货批给该第二设备104的决定时间，类似判定用于指派一个或多个货批给该设备103的决定时间。

货批到该第二设备103、104的预期派送时间的判定以及用于指派货批给该第二设备103、104的决定时间的判定，不需要在以该第一设备102处理货批以及将货批从该第一设备102移动到该批量储存设备111之后才实行。在其它具体实施例中，该预期派送时间的判定以及该决定时间的判定，可以在以该第一设备102处理货批之前，及/或将货批从该第一设备102移动到该批量储存设备111之前、及/或和用该第一设备102处理货批及/或将货批从该第一设备102移动到该批量储存设备111实质上同时地实行。

在步骤605中，可以藉由该实时模块123将在该批量储存设备111中的一个或多个货批，其可包含由该第一设备102处理的该货批112及/或该货批113，指派给该第二设备103、104。指派该一个或多个货批给该第二设备103、104可以在步骤604中所判定的该各别的第二设备的决定时间上实行。特别是，指派该一个或多个货批给该第二设备103可以实质地实行在对该第二设备103所判定的决定时间上，且指派该一个或多个货批给该第二设备104可以实质地实行在对该第二设备104所判定的决定时间上。

因此，指派该一个或多个货批给该第二设备103和指派该一个或多个货批给该第二设备104不需要实质上同时实行。可以基于将被派送给该第二设备103、104的接续货批的预期派送时间来指派货批给该第二设备103、104。此外，可以基于该货批的先后顺序、该批量储存设备111的使用率和状态、以及该第二设备103、104的该缓冲储存设备109、110的使用率，来指派货批给该第二设备103、104。举例而言，若在该缓冲储存设备109、110的一者的货批数量少于预定的阀值，货批可以优先地的指派给关联于此缓冲储存设备的该第二设备，以降低该对应的设备变成闲置的可能性。

在一些具体实施例中的可能考虑如何指派在该批量储存设备111中的货批给第二设备103、104的进一步标准可以包含停伫时间需求。停伫时间需求可以定义成半导体制程的两个连续步骤之间的最大时间间隔。举例而言，在一些具体实施例中，停伫时间需求可以定义成在形成闸极绝缘层和在该闸极绝缘层上形成闸极电极之间不能超过预定时间限制的时间间隔。

此外，在一些具体实施例中，在工件货批到该第二设备103、104的指派中，可以考虑在该批量储存设备111中及/或在该缓冲储存设备109、110中的清洁穴巢(purge nest)的可得性。清洁穴巢可以设置在该批量储存设备111中及/或在该缓冲储存设备109、110中，用于供应清洁气体给包含其中放置有工件货批的载具的晶圆盒，用以从该晶圆盒移除湿气。在其它具体实施例中，除了清洁穴巢之外，可以设置用于创造在该晶圆盒中的真空的真空来源。在工件货批到该第二设备103、104的指派中，可以考虑真空来源的可得性。

再者，在一些具体实施例中，制程的进一步限制，例如关于瓶颈机台的可得性及/或货批的优先性的限制，可以在工件货批到该第二设备103、104的指派中考虑。在工件货批到该第二设备103、104的指派中考虑到的进一步制程限制可对应于在半导体装置的制造中指派半导体晶圆的货批到设备的方法的限制。

在一些具体实施例中，该数据处理装置101可对于在该批量储存设备111中的工件货批保持一队列。在该数据处理装置101中的该队列可以是设置在该数据处理装置101的内存中的数据结构，其定义在该批量储存设备111中的工件货批的顺序。在一些具体实施例中，可以由实时模块123提供用于在该批量储存设备111中的工件货批的队列。

当工件货批被移动到该批量储存设备111时，藉由将代表该货批的数据包含到代表该队列的数据结构中，该货批可以附加在该队列的末端。当一个或多个货批从该批量储存设备111被指派到该第二设备103及/或第二设备104时，可以读取在该队列开头的代表在该批量储存设备111中的货批的数据，且由该数据所代表的该工件货批可以被指派到第二设备103及/或第二设备104。之后，可以从该队列移除代表被指派到第二设备103及/或第二设备104的货批的数据。因此，一般来说，在该批量储存设备111中的工件货批可以在队列中向前移动，直到他们到达该队列的开头并且被指派到该第二设备103、104的一者，其适合用来执行该工件货批的制程的下一步骤。

然而，该队列不需要以严格的先进先出的方式控制。在一些具体实施例中，可以实行队列重新排序的程序。在一个或多个货批被指派给一个或多个第二设备103、104的决定时间，该实时模块123可以查询该实时调度模块124是否需要重新排序在该批量储存设备111中的工件货批的队列。可以基于在该队列中的工件货批的优先权来做决定。举例而言，具有较高优先权的工件货批可以在队列中向前移动，反之，具有较低优先权的工件货批可向后移动。再者，可以基于停伫时间需求来重新排序该队列。举例而言，已经在该批量储存设备111中储存最大可容许停伫时间中的可观数量的工件货批，例如，多于三分之二、多于四分之三及/或多于百分之九十的最大可容许停伫时间，或是到达超过该最大可容许停伫时间的时间小于一预定值(例如三十分钟)的货批，可以在队列中向前移动。此外，可以基于如上所述的清洁穴巢的可得性和进一步限制来实行重新排序在该队列中的工件货批。

在对该队列重新排序之后，一个或多个工件货批可以被指派给该第二设备103及/或该第二设备104。

如上所详述，指派工件货批给该第二设备103、104的一者可以在决定时间实行，该决定时间是在该货批被派送的派送时间之前的一个相对短的时间。藉由在该决定时间重新排序该工件货批的队列，对于在该批量储存设备111中的工件货批的何者会被指派给该第二设备103及/或该第二设备104可能考虑情境的改变，譬如，举例而言，已经发生在该批量储存设备111中被该第一设备102处理过并移动到该批量储存设备111的时间和工件货批，被派送到该第二设备103及/或该第二设备104的时间点之间的货批优先权变更。

在步骤606中，在步骤605中被指派给该第二设备103的工件货批可以被派送并移动到关联于该第二设备103的该缓冲储存设备109、及/或在步骤605中被指派给该第二设备104的工件货批可以被派送并移动到关联于该第二设备104的该缓冲储存设备110。

该工件货批从该批量储存设备111到关联于该第二设备103、104的该缓冲储存设备109、110的移动，可以由该自动化物料传输系统122实行，其中，可以藉由该数据处理配置101来控制该自动化物料传输系统122的运作。

在步骤607中，在关联于该第二设备103的该缓冲储存设备109中的一个或多个工件货批，可以被移动到该第二设备103，并且由该第二设备103的机台103a、103b、103c的一者或多者处理(步骤608)。在关联于该第二设备104的该缓冲储存设备110中的一个或多个工件货批，可以被移动到该第二设备104，并且由该第二设备104的机台104a、104b、104c的一者或多者处理。在一些具体实施例中，该货批的移动可以由该自动化物料传输系统122在关联于该第二设备103、104的各别一者的该主机106、107的一者的控制下实行。当该缓冲储存设备109的货批中的一者被移动到该第二设备103的机台103a、103b、103c的一者已由各别的机台处理时，可以从在该缓冲储存设备109中的全部货批里选出该工件货批。可以利用包含代表在该缓冲储存设备109中的货批的数据的队列来实行此选择，类似如上所述包含代表在该批量储存设备111中的工件货批的数据的队列，可以用于指派工件货批给该第二设备103、104。可以实行队列的重新排序，类似上述的重新排序该批量储存设备111中的工件货批的队列。因此，可以考虑在该缓冲储存设备109中的工件货批的优先权改变以及其它情境的改变。可以由该数据处理配置101的实时模块123或是该设备103的主机106来实行保持在该缓冲储存设备109中的工件货批的队列、重新排序该队列、以及基于该队列选择工件货批。在一些具体实施例中，可以查询该实时调度模块124用以重新排序该队列。

相同地，可以对于在关联于该设备104的该缓冲储存设备110中的工件货批提供队列，并且可以实行重新排序该队列以及选择用于将由该设备104处理的工件货批。

以下，将参考图7至9续述具体实施例，其可以用于，特别是，对分别在该缓冲储存设备109、110中的将分别利用该第二设备103的机台103a、103b、103c或是该第二设备104的机台104a、104b、104c处理的工件货批进行排程，且其可以用于实行上述的步骤607、608。

如将于以下详述者，以下所述的方法的特征，其包含判定预期派送时间，在一些具体实施例中，可以对应的应用于如上参考图6所述的步骤603中的判定预期派送时间。

然而，以下的述叙并不限于使用批量储存设备以及关联于各别机台的缓冲储存设备，且其中已经由该第一设备处理之后且将被该第二设备处理的工件货批是先移动到该批量储存设备，然后到关联于该第二设备的该缓冲储存设备，之后再从该缓冲储存设备移动到关联于该缓冲储存设备的第二机台的具体实施例。

在一些具体实施例中，可以省略该批量储存设备111或是该缓冲储存设备108、109、110，且可以从第一设备(其中，实行半导体制程的第一步骤，例如如上参考图1所述的设备102)移动到第二设备(其中，实行半导体制程的第二步骤，例如如上参考图1所述的设备103、104中的一者)，仅利用该自动化物料运输系统122的两个动作。

举例而言，在省略该缓冲储存设备108、109、110的具体实施例中，已经由该第一设备102处理过的工件货批可以移动到该批量储存设备111，而且，在指派给该第二设备103、104中的一者之后，该工件货批可以直接从该批量储存设备111移动到该第二设备103、104中对应的一者。

在省略该批量储存设备111的具体实施例中，关联于该第一设备102的该缓冲储存设备108可以用于储存已经由该第一设备102处理过的工件货批。当已经由该第一设备102处理过的工件货批的一者被指派给该第二设备103、104中的一者以实行进一步的制程步骤时，该一个或多个货批可以从该缓冲储存设备108移动到该一个或多个货批被指派的该第二设备103、104中的一者。在工件货批被该第二设备103、104中的一者处理之后，他们可以被移动到关联于各别的第二设备的该缓冲储存设备109、110的一者，直到他们被派送到第三设备用于后续的制程步骤。在此具体实施例中，该缓冲储存设备108、109、110可具有相对高的储存容量，所以即使省略了该批量储存设备111，该缓冲储存设备108、109、110仍提供了足够的储存容量。

一般而言，将由机台处理的一个或多个接续货批的该预期派送时间是一个未来的时间点，在该时间点，如果该机台将在实质上没有该机台的空闲时间的情形下处理该一个或多个货批，则该一个或多个货批将开始被移动到该机台。

在图7所示的步骤701中，提供关于至少来自机台到将由该机台处理的一个或多个接续货批的预期派送时间的数据的第一模型。该机台可以是以上参考图1所述的该机台102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c中的一者，特别是该机台103a、103b、103c、104a、104b、104c中的一者。以下，为了解简洁，参考编号将为机台103a，其中，应了解到相同的想法可以应用到该机台102a、102b、102c、103b、103c、104a、104b、104c。该模型可以由关联于各别机台的主机105、106、107的一者提供，举例而言，在机台103a的例子中的主机106。

该机台103a可包含一个或多个站点。在各该站点，可以实行一个或多个制程步骤，特别是一个或多个半导体制程的步骤。

举例而言，在以上参考图3所示的具体实施例中，其中，该机台103a是电浆强化化学气相沉积反应器，该机台103a的腔室305到308的各者可以提供该机台的站点的一者。在腔室305到308的各者中，可以实行一个或多个制程步骤，如上所述。

在其它具体实施例中，二个或更多的该机台103a的腔室305到308可以合并成该机台的一个站点。在此具体实施例中，一个站点的各个腔室可以用于实行相同的一个或多个制程步骤，且由该机台103a处理的货批中的工件可以散布到该站点的该些腔室中以实行其一个或多个制程步骤。

本发明并不限于该机台102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c的各者具有多个站点的具体实施例。在一些具体实施例中，一个或多个该机台102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c可以只具有单一站点。

来自该机台103a由该第一模型所使用的数据可以由该机台103a的主机106提供。可以从目前正在被该机台103a处理的工件货批的制程中及/或其已经由该机台103a处理完成的工件货批的制程中获得该资料。因此，在获得来自该机台103a的数据的制程过程中的工件货批可以和在该批量储存设备111及/或该缓冲储存设备109中的工件货批，其可能会被指派给机台103a在未来进行处理，或是已经被指派给该机台103a。

在一些具体实施例中，来自该机台103a的资料可包含一个或多个货批的多个晶圆的各者从至少一个载具移动到该机台的站点的一者所花费的时间。举例而言，在参考图3所述的具体实施例中，这个时间可以是该晶圆的各者从在载具机械手301中的载具209移动到该腔室305至308的第一者(例如腔室305)所花费的时间。

该数据可以进一步包含该一个或多个货批的该些晶圆的各者从该多个站点的最后一者移动回该至少一个载具所花费的时间。在参考图3所述的具体实施例中，这个时间可以是从该腔室305至308的最后一者，例如腔室308，将晶圆移动回该载具209所花费的时间。

此外，该资料可包含目前在该机台103a中的晶圆数量。在该机台103a是博深机台(deep tool)的具体实施例中，上述的数据可以被处理以建立该机台103a何时空的、半满及/或全满的时间特征。博深机台应理解为具有相对大的腔室数量，但其中在各腔室中的制程花费相对短的时间。一个博深机台的例子是具有60个腔室的机台，其中，在一个腔室中的制程时间大约是20秒，但全部的腔室加总起来是20分钟。在博深机台中，可以同时在不同站点处理多个货批。

该制程可以由该主机106及/或该实时模块123来实行。

该数据还可包含在该机台103a中的晶圆负载的分布，举例而言，其可以用目前在该腔室305至308的各者中的晶圆数量及/或过去在该腔室305至308的各者中的晶圆数量的形式来提供。

来自该机台103a的数据还可包含关于制程步骤的该一个或多个货批每片晶圆的处理时间。这个时间可不同于上述该一个或多个货批的晶圆的各者在该站点的各者所花费的时间，特别是在一个站点实行不同制程配方的步骤的具体实施例及/或该些站点中的一者被用来执行不同的制程步骤的具体实施例中。举例而言，在上述参考图3所述的该机台103a是电浆强化化学气相沉积反应器的具体实施例中，举例而言，这个时间可以是用于特定电浆强化化学气相沉积步骤的每片晶圆的处理时间，其中，使用特定的参数组合，譬如反应气体流、在该机台103a的该腔室305至308的各别一者中的压力、温度及/或电浆功率。

该数据复包含该至少一个载具的各者用于传输一个或多个货批所花费的时间，例如在图2和3所示的该载具209，执行对接该载具209、断接该载具209、扫描该载具209的晶圆图、接受处理该一个或多个货批的一者的制程配方(例如从储存在该数据处理配置101中的数据库)、以及在该机台103a的主机106中建立一个用于处理该一个或多个货批的工作。

该数据还可包含该至少一个载具的各者完成关联于该载具，例如在图2和3所示的该载具209，完成关联于该载具的该一个或多个货批的该些晶圆的最后一片已经在制程之后回到该载具之后所花费的时间。

该数据还可包含关于晶圆由该机台103a在不同时间处理的相关性的信息。举例而言，该信息可包含关于在该晶圆由该机台103a处理之前、之后或是和其结合处理的材料的相关性的信息。该信息可以标明是否由该机台103a在不同时间处理的晶圆在制程的相同阶段包含相同种类的半导体装置，或是是否该机台已经用于处理包含不同种类的半导体装置及/或不同的制程步骤。

再者，来自该机台103a的资料可包含该机台103a的历史状态，譬如，举例而言，包含最后一次预防性维护至今的待机时间、最后一次预防性维护至今的生产时间、以及最后一次预防性维护至今的全部时间。

再者，来自该机台103a的资料可包含该一个或多个货批的该些晶圆通过相关于制程配方的该机台103a的该多个站点的一个或多个路径。该路径可以是由该机台103a处理或已经处理的晶圆经过的在该机台103a中的连续的位置。举例而言，该晶圆的路径可以起始于在该载具机械手301中的该载具209。然后，该晶圆可以移动到晶圆机械手304，可实行在该晶圆机械手304和该腔室305至308的一者或多者之间连续的移动，可以移动回该晶圆储存升降机303，并且可以移动回该载具209。

经过该机台103a的晶圆的路径可以依据由该机台103a处理的特定制程配方而定。举例而言，如果该晶圆是货批的一部分，其中，该机台103a是用来实行用于沉积二氧化硅层的制程步骤，则经过该机台103a的晶圆的路径可以和其中该机台103a是用来沉积氮化硅层的路径不同。相对于制成配方的经过该机台103a的晶圆的路径可以从具体指定当该配方被执行时该晶圆通过该机台103a的顺序的配方的晶圆流主体(wafer flow body)获得，又或是关于制程配方的路径可以由配对制程配方的名称和在该机台103a中的晶圆的路径来获得。

可用于该模型的来自机台103a的进一步资料可包含在关于该机台103a的该缓冲储存设备109中的该一个或多个货批的状态，例如制程的中间步骤，该制程是实行在该缓冲储存设备109中的货批的晶圆上，用于从该晶圆制造集成电路。

来自该机台103a的资料并未包含上述的全部资料。在一些具体实施例中，可以仅提供部分的上述资料及/或可以提供其它资料。

本发明并不限于用于该第一模型的数据仅包含来自该机台103a的资料的具体实施例。在一些具体实施例中，除了来自该机台103a的资料，可以使用来自该自动化物料运输系统122的数据。

来自该自动化物料运输系统122的数据可包含该自动化物料传输系统122将包含目前由该机台103a处理或先前已经由该机台103a处理的工件货批的载具从第一位置移动到第二位置所花费的时间。举例而言，该资料可包含用于将包含工件货批的载具从该批量储存设备111移动到该缓冲储存设备109的时间，以及将包含工件货批的载具从该缓冲储存设备109移动到该机台103a的时间。该时间可包含移动一个或多个该自动化物料运输系统122的搬运车及/或机器人，譬如，举例而言，如上参考图4和5所述的搬运梭417、503用于传输该载具的时间，及/或用于移动空的搬运车及/或机器人到一位置去接收载具的时间。

此外，来自该自动化物料运输系统122的数据可包含该自动化物料传输系统122，特别是该自动化物料传输系统122的搬运车及/或机器人，收取包含工件货批的载具所花费的时间及/或递送包含工件货批的载具所花费的时间，其中，该工件货批是目前由该机台103a处理或先前已经由该机台103a处理。

此外，自该机台103a的该数据可包含传统由半导体制造机台提供的化学、温度、压力、晶圆数目、警告或更多资料。

除了来自该机台103a及/或该自动化物料运输系统122的数据，由该第一模型使用的数据可包含来自该系统100的其它组件的数据，举例而言，来自和机台103a实质上相同或类似种类的其它机台的数据，譬如机台104。从其它机台接收到的数据可以具有对应于上述来自该机台103a的特征。

在一些具体实施例中，该第一模型可以是数据挖掘模型，其是以来自机台103a及/或该系统100的其它组件，譬如该自动化物料运输系统122及/或其它机台的上述资料中识别出来的统计模式为基础来形成的。

对于形成数据挖掘模型，须收集包含上述数据的多个数据集合。在一些具体实施例中，各个数据集合可包含如上所述的数据，其是在多个时间点中的一个上收集的。举例而言，该数据处理配置的实时模块123可以在规定的时间间隔中接收上述的数据。

统计技巧，例如来自多变量统计学的技巧，可以被使用来识别来自多个数据集合的不同数据集合之间的相关性。可以基于所识别的相关性来提供该第一模型，以便至少大约预测该预期派送时间，在该预期派送时间，藉由匹配从该机台103a及/或该系统100的其它组件，譬如该自动化物料运输系统122及/或其它不同于机台103a的机台，所接收的当前数据的模式，并以及已经在过去得到的相关性数据，一个或多个接续货批被送到从该机台103a。

对于提供该第一模型，可以使用分类、分群、联想学习及/或多变量回归的技术，其用于从该机台103a及/或实质上相同或类似的譬如机台104的机台所得到的累积资料。

在一些具体实施例中，对于提供该第一模型，从来自该机台103a的上述模型，可以识别特别关于用于判定预期派送时间的参数或参数的组合。这可以利用譬如分类、分群、联想学习及/或主成分分析的统计技术来完成。因此，可以降低参数的数目。

在降低参数的数目之后，可以在数据层位上，例如滚动数据层位，计算一个或多个多变量回归，例如一个或多个多元线性回归，以最小化计算所得的和货批实际处理时间及/或传输时间之间的差异。基于所计算的处理和传送时间，随后可获得该预期派送时间，举例而言，藉由从预期制程结束时间(其可以从一个或多个计算所得的制程时间和目前时间获得)减去计算所得的传输时间。

在其它具体实施例中，该第一模型可以是状态机模型。状态机(有时也称为有限状态机)是一种抽象的机器的数学模型，其可以是在有限数目的状态的一者。典型地，该机器在一个时间上是只在一个状态中，其中，在任何给定时间的状态称为目前状态。该状态机可以从一个状态变为另一个，当藉由触发事件或条件而起始时，其称为转换。可以由状态的一个清单和各个转换的触发条件来定义状态机。

对于使用状态机模型用来关联来自该机台103a的数据到由该机台103a处理的一个或多个接续货批的预期派送时间，可以用在该机台103a的不同部份中、在该机台103a的特定站点中的晶圆位置(其是当晶圆在其路径上通过该机台103a并依据特定的制程配方来处理时，被晶圆通过的位置)来识别该抽象的机器的状态。在一些具体实施例中，可以使用相关于上述判定的通过该机台103a的晶圆路径的上述数据来提供状态机模型。

此外，该状态机模型可以考虑机台状态，譬如处理中、闲置、最后配方、晶圆通过该机台103a、警报、或如上所述的从该机台103a所获得的其它数据，来回答是否现在派送的问题。在一些具体实施例中，该第一模型可以包含数据挖掘模型和状态机模型的组合。该组合的数据挖掘模型可具有对应于上述的数据挖掘模型的特征，且该组合的状态机模型可具有对应上述的状态机模型的特征。对于提供该数据挖掘模型和该状态机模型，可以使用上述的技巧。

进一步参考图7，在步骤702，是从该机台103a及/或该系统100的其它组件，譬如该自动化物料运输系统122及/或不同于该机台103a的机台，接收如上所述的数据。这可以由该主机106来完成，举例而言，由设置在该主机106中的本地实时模块。

该主机106可以传送信号给该机台103a，且选择性地给其它机台，并可以要求资料的传送。响应该信号，该机台传送包含上述数据的信号给该主机106。在一些具体实施例中，该主机106可以实质上实时的接收该数据。

此外，该主机106可以传送信号给该自动化物料运输系统122，例如传送给配置用来控制该自动化物料运输系统122的运作的计算器，并且，响应该信号的接收，该自动化物料运输系统122可以传送如上所述的数据给该主机106。

在步骤703中，该主机106可以使用该第一模型和所接收到的数据来判定将由该机台处理的一个或多个接续货批的预期派送时间。在该第一模型是数据挖掘模型的具体实施例中，可以判定在所接收到的数据和相关历史数据的匹配模式，且可以基于该历史数据来判定该预期派送时间。

在该第一模型是状态机模型的具体实施例中，可以实时的利用所接收到的数据来估算通过该机台103a的晶圆的流动，并从而预测何时该机台能够接收接续货批。该预期派送时间可以从这个时间计算，或是从由该自动化物料运输系统要求移动接续货批到该机台103a的估算时间来计算。

在该第一模型是包含数据挖掘模型和状态机模型的组合模型的具体实施例中，可以依据图8所示的流程图实行该预期派送时间的判定。

在一些具体实施例中，在步骤801，判定通过该机台103a的工件的可能流程的数目。可以从由该机台103a所实行的制程的步骤及/或子步骤的组合及/或排列的数目来判定工件的可能流程的数目。

举例而言，在以上参考图3的机台103a的具体实施例中，对于实行电浆强化化学气相沉积制程的步骤、沉积材料层在半导体晶圆上的步骤、或是其它利用该机台103a实行的步骤，譬如可以一个或多个不同方式实行的清洁、蚀刻及/或退火的步骤，可能有不同的机率。举例而言，一个或多个该腔室305至308可以是可用于实行对应的个别步骤。再者，首先在该腔室305至308中的第一个处理，然后在该腔室305至308中的第二个处理的晶圆可以由该晶圆机械手304直接从该第一腔室移动到该第二腔室，或者该晶圆机械手304可以先将该晶圆放到该机台103a内的储存位置，例如预载室302或是其它该腔室305至308中未使用者，并在之后的时间点收取该晶圆，以将其移动到该第二腔室。可以基于利用该机台103a实行特定种类的工作的组合及/或排列数目来判定工件的可能流程的数目。

在步骤802，判定决定标准是否被满足。在一些具体实施例中，判定决定标准是否被满足可包含经过该机台103a而被该机台103a处理的货批的工件的可能流程的数目是否小于阀值。

若工件的可能流程的数目小于该阀值，则决定标准被满足，且制程继续到步骤803，其中，使用组合模型的状态机模型来判定该预期派送时间。若经过该机台103a的工件的可能流程的数目大于该阀值，则制程继续到步骤804，且使用数据挖掘模型来判定该预期派送时间。可以依据利用状态机模型来判定该预期派送时间所需要的计算功率来选择该阀值。虽然使用状态机模型可以提供估算派送时间较佳的准确度，但如果经过该机台103a的工件的可能流程的数目是大的，则使用状态机模型可能要求较高计算功率。因此，如果经过该机台103a的工件的可能流程的数目是大的，则使用数据挖掘模型有助于降低计算该预期派送时间所需要的计算功率。

在其它具体实施例中，可以省略步骤801，且该决定标准可以基于该状态机模型和该数据挖掘模型的预测准确度。在一些具体实施例中，可以监控该状态机模型和该数据挖掘模型是否提供正确的结果，举例而言，基于以下所述的准确度的量度，且可以使用该状态机模型和该数据挖掘模型中提供较佳准确度的一者。

再度参考图7，在步骤703判定该预期派送时间之后，在步骤704，一个或多个工件货批基于所判定的预期派送时间被指派给该机台103a。这可以如上述的参考图6来完成。特别是，可以从该预期派送时间来判定决定时间。在该决定时间，可以选择要由该机台103a处理的工件货批，举例而言，藉由先重新排序该工件货批的队列，然后将在队列的开头的工件货批指派给该机台103a。

之后，被指派给该机台103a的一个或多个货批可以被移动到该机台103a，在步骤705，且该一个或多个货批可以由该机台103a处理，在步骤706，如图7所示。在利用该机台103a处理该一个或多个货批之后，或是在利用该机台103a处理该一个或多个货批的过程中，在步骤707，可以判定所决定的预期派送时间的准确度量度。在一些具体实施例中，该预期派送时间的准确度量度可以设置成在由该机台103a处理该一个或多个货批的制程开始前，机台103a闲置的时间；在由该机台103a处理该一个或多个货批的制程开始前，用于将该一个或多个货批传输到该机台103a的该一个或多个载具的空闲时间，举例而言，在该载具中的工件货批由该机台103a处理之前，该载具的时间是储存在关联于该机台103a的缓冲存储器109中；或者，以该一个或多个工件货批是实时派送给该机台103a为准确度的量度，举例而言，在该一个或多个工件货批派送给该机台103a的时间点和由该机台103a处理该一个或多个货批的制程实际开始的时间点之间的差异。

在一些具体实施例中，一个或多个该机台103a闲置的时间、一个或多个该载具闲置的时间、以及实时派送的准确度可以彼此合并，用以提供该预期派送时间的准确度的量度，举例而言，利用其加总，譬如加权加总。

之后，在步骤708，可以基于所判定的准确度量度更新该第一模型。为了这个目的，可使使用习知的机器学习程序。在该第一模型包含数据挖掘模型的具体实施例中，更新该第一模型可包含该多变量回归的重新触发及/或分类的重新触发。在一些具体实施例中，如果该回归不再符合，可以重新触发分类，且如果该数据挖掘模型的准确度已经衰退太多，可以重新触发该回归分析。

在该第一模型包含状态机模型的具体实施例中，如果该状态机模型的准确度已经衰退太多，该状态机模型的参数，譬如状态之间的触发条件，可以自适性调整。

依据一具体实施例的方法的进一步步骤将参考图9详述。在一些具体实施例中，该些步骤可以由该主机106执行，举例而言，由该主机106的本地实时模块。此外，依据图9的方法可以使用上述参考图7和8的方法的组合。

在步骤901中，可以提供将来自该系统100的机台的数据关联于当制程完成时的预期收取时间的第二模型。以下，将以机台103a为参考，然而，其中，以下所述的方法也可以应用到其它机台，譬如，举例而言，机台102a、102b、102c、103b、103c、104a、104b、104c。来自该机台103a的数据可以对应于以上参考图7所述的来自该机台103a的资料。类似以上参考图7所述的第一模型，该第二模型可以包含数据挖掘模型、状态机模型或数据挖掘模型和状态机模型的组合。

和第一模型不同，该第一模型将来自该机台103a的资料关联于一个或多个工件货批在该时间被移动到该机台103a以由该机台103a处理该一个或多个工件货批的预期派送时间，该第二模型将来自该机台103a的数据关联于预期收取时间，在该预期收取时间，一个或多个工件货批在该机台103a处理该一个或多个工件货批之后从该机台103a移除。该一个或多个工件货批之后从该机台103a移除可以由该自动化物料运输系统122来实行，其中，搬运载具，例如以上参考图4所述的搬运梭417，可以被送到该机台103a的输入/输出接口420。

可以实行类似以上参考图7所述的提供第一模型来提供该第二模型，其中，使用收取时间来取代派送时间。特别是，该第二模型可包含数据挖掘模型、状态机模型或数据挖掘模型和状态机模型的组合。

在步骤902，可以使用该第二模型以及接收自该机台103a的数据来判定该收取时间。在一些具体实施例中，如上所述的获得来用于判定该预期派送时间的数据可以用在步骤902中。在其它具体实施例中，对于使用在步骤902中的资料，可以是如上述从该机台103a及/或该系统100的其它组件所接收的分开的数据。

之后，在步骤903中，该自动化物料运输系统122可以基于所判定的预期收取时间，运作用于移除已经由该机台103a处理的一个或多个工件货批。在一些具体实施例中，来自该自动化物料运输系统122的搬运载具及/或机器人，例如以上参考图4所述的搬运梭417，可以被送到该机台103a，使其实质上在所判定的该预期收取时间到达该机台103a。然后，该自动化物料运输系统122的搬运载具及/或机器人可以从该机台103a收取该一个或多个工件货批，然后将其移动到该系统100的其它位置。

因此，由该机台103a处理过的一个或多个工件货批可以相对快速地从该机台103a移除，使得可以实质避免由该机台103a处理过的工件货批阻挡了该机台103a的输入/输出接口420。

如上已经提过的，在一些具体实施例中，以上参考第7至9图所述的模型也可以用来判定一个或多个货批到多个第二机台103、104的预期派送时间。在这种具体实施例中，可以提供一个或多个模型，其可包含数据挖掘模型、状态机模型或数据挖掘模型和状态机模型的组合，其中，该一个或多个模型将来自该第二设备103、104的数据关联于该预期派送时间。该一个或多个模型可以由该数据处理配置101的实时模块123提供。在一些具体实施例中，可以提供独立的模型给该第二设备103、104的各者。在其它具体实施例中，可以提供一个模型给二个或更多相同种类的第二设备，例如，包含特定机台集合的第二设备。

将来自该第二设备103、104的数据和该预期派送时间关联的该一个或多个模型的特征，以及用于提供该一个或多个模型的方法的特征可以对应于以上参考图7至9所述的该第一模型的特征，然而，其中，使用来自该第二设备103、104的数据取代来自独立的机台的数据。可以由关联于各别的该第二设备的该主机106和该主机107分别提供来自该第二设备103和104的数据。

来自该第二设备103、104的数据可以比上述来自该机台102a、102b、102c、103a、103b、103c、104a、104b、104c的数据更抽象。举例而言，来自该第二设备的数据可包含在该缓冲储存设备中的多个货批的各者在被移动到用于处理该货批的第二设备的机台的第一者之前所花费的时间、由该第二设备处理该货批的各者所需要的全部时间、及/或每台机台处理该货批的各者所需要的时间。此外，该数据可包含关于在关联于该第二设备的该缓冲储存设备和该第二设备的机台之间的路径，以及和该第二设备的独立的机台之间的路径的信息。

此外，该一个或多个模型可以将该自动化物料运输系统122关联于该预期派送时间，举例而言，该多个工件货批的各者从该批量储存设备111移动到关联于各别的第二设备的缓冲储存设备所花费的时间，以及从该第案设备移动已经处理过的货批到该批量储存设备111或直接到另一个设备所需花费的时间。

对于判定该预期派送时间，该实时模块123能够接收来自从该第二设备103、104及/或该自动化物料运输系统122，且能够使用该一个或多个模型来判定用于该第二设备103、104的各者的预期派送时间。在以该第二设备处理该货批之后(图6中的步骤608)，可以判定精确度的量度，举例而言，该第二设备的机台闲置的时间，且可基于所判定的精确度量度来更新部分或全部的该一个或多个模型。

利用该一个或多个模型判定该预期派送时间的特征，以及更新该一个或多个模型的特征可以对应于以上参考图7至9所述的更新该第一模型的特征。

如上所详述，上述的技术可以使用从该系统100的组件以实时的方式所获得的数据来实行数个任务，并以实时的方式主动预测该在制品的配送或收取的。可以用相对通用的方式来对各种设备种类使用上述的技术。特别是，上述技术可以应用在使用于半导体制造工具的实质上任何制程机台或量测机台。除了传输半导体晶圆的货批的应用，当用于半导体工具时，上述技术可以应用于传输在微影设备和其它关于光罩(reticle，又称为”photomask”)的使用的设备(譬如，举例而言，光罩储存设备及/或光罩检查机台)之间传输该光罩。

此外，上述技术并不限于半导体制造的技术领域，也可以应用在工件是由自动化物料运输系统所传输的其它技术领域。

本文所揭露的具体实施例包含计算机储存媒体，譬如，举例而言，硬盘、固态硬盘、闪存装置譬如USB及/或快闪记忆卡、CD和DVD，该计算器储存媒体包含用于形成数据处理配置(譬如上述的数据处理配置101)的编码，以实行本文所述的方法。可以用设置在该实时模块123及/或设置在该主机105、106、107中的本地实时模块中的软件模块的形式提供该编码，且同时和多种设备种类工作，且其可扩展来工作在一系列的自动化物料运输系统和设备种类中。

在一些具体实施例中，上述的技术可以应用于如第5,980,183号美国专利所述的物料运输系统，该专利所揭露者结合于本文中做为参考，及/或应用在其它传统的自动化物料运输系统。

在一些具体实施例中，本文中所述的技术可以被用于以在实际派送时间或收取时间之前约五分钟或更多到约三十分钟或更多的范围内有±10秒的准确度来预测在制品的派送或收取，且该准确度可以基于该第一和第二模型的适应而随时间改进。除了预测接续工件货批的收取或派送，可以基于同时发生的能潜在影响该系统的多个需求来建立整个收取和派送的时程。

在进一步的具体实施例中，当多于一个动作需要在大约相同时间由该自动化运输系统122完成以改善该系统100的生产率时，可以基于旅行时间的历史数据和该自动化运输系统122的速度来实行地理优化。

本发明并不限于工件固定指派给载具的具体实施例。在其它具体实施例中，载具可以和货批分开，使得当工作正在进行中时，该载具可以移动越过许多机台。例如，可以利用不同的机台来处理二个货批，虽然他们已经抵达相同的载具。

以上所述的具体实施例仅是说明性的，因为本发明可以以不同的但等效的方式修改和实施，这些方式对于获得这里讲授的益处的本领域的技术人员是显然的。举例而言，可以不同的顺序实行所阐述的制程步骤。此外，除在下面的权利要求中描述的之外，不打算限制这里表示的构造或设计的细节。因此证实，以上公开的具体实施例可以改变或修改，并且所有这样的变化认为在本发明的范围和精神内。因而，这里寻求的保护在上述的权利要求书中叙述。

Claims (35)

1.一种方法，包括：

以各别的至少一个第一设备处理多个货批的各者；

将至少一部份的该多个货批从该各别别的该至少一个第一设备移动到第一储存设备；

对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间；

至少以判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者；

将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的一者；以及

对该多个第二设备的各者，将该第二储存设备中关联于该第二设备的该一者的该些货批的各者移动到该第二设备，并以该第二设备处理来自关联于该第二设备的该第二储存设备的该些货批。

2.如权利要求1所述的方法，其中，该多个货批的各者包含多个半导体晶圆，其中，该至少一个第一设备的各者对由各别的该第一设备处理的该多个货批的各者中的各晶圆实行半导体制程的一个或多个第一步骤，且其中，该多个第二设备的各者对由各别的该第二设备处理的该多个货批的各者中的各晶圆实行半导体制程的一个或多个第二步骤。

3.如权利要求2所述的方法，其中，该至少一个第一设备以及该多个第二设备中的至少一者包含多个机台。

4.如权利要求3所述的方法，其中，该多个机台包含第一机台和第二机台，其连续地实行该半导体制程的不同步骤。

5.如权利要求3所述的方法，其中，将该些货批的各者从各别的该至少一个第一设备的一者移动到该第一储存设备以及将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到该多个第二储存设备的一者是藉由自动化物料传输系统实行，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的该一者。

6.如权利要求5所述的方法，其中，该第一储存设备比任何该多个第二储存设备更靠近该至少一个第一设备的各者。

7.如权利要求5所述的方法，其中，该多个第二储存设备的各者比该第一储存设备更靠近该多个第二设备中关联于该第二储存设备的该一者。

8.如权利要求7所述的方法，其中，该第一储存设备的储存空间大于任何该多个第二储存设备的储存空间。

9.如权利要求8所述的方法，其中，该多个第二储存设备的各者的储存空间是下列的至少一者：小于大约一半的该第一储存设备的该储存空间、小于大约五分之一的该第一储存设备的该储存空间、以及介于大约十分之一到大约五分之一的该第一储存设备的该储存空间的范围内。

10.如权利要求8所述的方法，其中，该多个第二储存设备的各者的储存空间足够储存一定数量的货批，该数量是等于及大于在一个预定延迟缓冲时间内能够被关联于该第二储存设备的该第二设备处理的最大货批数量中的至少一者。

11.如权利要求9所述的方法，其中，该指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的步骤额外地在下列的基础上实行，该基础包含该些货批的各者的优先次序、目前在该多个第二储存设备的各者中的货批数量、以及该第二储存设备的各者的状态。

12.如权利要求11所述的方法，其中，在该第一储存设备中的该些货批的各者是在各别的该货批被插入该第一储存设备的时间点之后被指派到该多个第二设备的一者。

13.如权利要求12所述的方法，还包括判定一决定时间，在该决定时间，在该第一储存设备中的该些货批中的至少一者，至少以该判定预期派送时间为基础，将被指派到该多个第二设备的一者，其中，在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的该指派是在该判定的决定时间。

14.如权利要求13所述的方法，其中，该预期派送时间是在下列的基础上判定，该基础包含该第二设备的可用性的预期时间、该第一储存设备和该多个第二储存设备的各者之间的预估传送时间、以及该多个第二储存设备和与其相关联的该多个第二设备的各别的各者之间的预估传送时间。

15.如权利要求1所述的方法，其中，该方法还包括：

设置一个或多个模型，该一个或多个模型将来自至少该多个第二设备的至少数据关联到该预期派送时间；

其中，该预期派送时间的判定包含：

接收来自至少该多个第二设备的数据；以及

使用该一个或多个模型以及该接收到的数据来对该多个第二设备的各者判定该预期派送时间。

16.如权利要求15所述的方法，还包括：

对于至少一部分该多个第二设备，判定对该第二设备所判定的该预期派送时间的准确度；以及

以该判定的准确度为基础，更新至少一部分该一个或多个模型。

17.如权利要求16所述的方法，其中，更新至少一部分该一个或多个模型包含实行机器学习算法。

18.一种方法，包括：

提供第一模型，该第一模型将来自一机台的至少数据关联到由该机台处理的一个或多个接续货批的预期派送时间；

接收来自该机台的至少该数据；

使用该第一模型和该接收到的数据来判定该预期派送时间；

以该判定的预期派送时间为基础，指派一个或多个第一货批的工件到该机台、移动该一个或多个第一货批的工件到该机台、以及利用该机台处理该一个或多个第一货批的工件；

判定该预期派送时间的精确度；以及

以该判定的精确度为基础，更新该第一模型。

19.如权利要求18所述的方法，其中，更新该第一模型包含实行机器学习算法。

20.如权利要求18所述的方法，其中，该一个或多个第一货批的该些工件的各者包含半导体晶圆，其中，该机台是半导体机台，且其中，处理该一个或多个第一货批的该些工件包含实行用于形成半导体装置的制程的一个或多个步骤。

21.如权利要求20所述的方法，其中，该机台包含多个站点，且其中来自该机台的该资料包含下列至少一者：

一个或多个第二货批的多个晶圆的各者从至少一个载具移动到该多个站点的第一者所花费的时间；

该一个或多个第二货批的该些晶圆的各者从该多个站点的最后一者移动回该至少一个载具所花费的时间；

该一个或多个第二货批的该些晶圆的各者在该多个站点的各者所花费的时间；

目前在该机台中的晶圆数量；

该一个或多个第二货批中关于制程步骤的每片晶圆的处理时间；

该至少一个载具的各者实行下列至少一者所花费的时间：对接该载具、断接该载具、扫描该载具的晶圆图、接受关联于该载具的该一个或多个第二货批的该一者的该处理的制程配方、以及建立用于处理该一个或多个第二货批的工作；

该至少一个载具的各者完成关联于该载具的该一个或多个第二货批的该些晶圆的最后一片已经在处理之后回到该载具之后所花费的时间；

关于该机台在不同时间处理的晶圆之间的相关性的信息；

该机台的历史状态，包含待机时间、生产时间、以及最后一次预防性维护至今的时间中的至少一者；

该一个或多个第二货批通过该机台与制程配方相关的该多个站点的该些晶圆的一个或多个路径。

22.如权利要求21所述的方法，其中，该机台包含多个处理腔室，且其中，来自该机台的该资料包含晶圆加载到该多个腔室的分布。

23.如权利要求21所述的方法，其中，该机台具有与其相关的储存设备，且其中，来自该机台的该数据还包含在该储存设备中的该一个或多个储存的货批的状态。

24.如权利要求21所述的方法，其中，该第一模型额外将来自自动化物料传输系统的数据关联到该预期派送时间。

25.如权利要求24所述的方法，其中，来自该自动化物料传输系统的该数据包含下列至少一者：

该自动化物料传输系统将该至少一个载具从第一位置移动到第二位置所花费的时间；

该自动化物料传输系统收取该至少一个载具所花费的时间；以及

该自动化物料传输系统递送该至少一个载具所花费的时间。

26.如权利要求21所述的方法，其中，该第一模型包含数据挖掘模型。

27.如权利要求21所述的方法，其中，该第一模型包含状态机模型。

28.如权利要求21所述的方法，其中，该第一模型包含数据挖掘模型和状态机模型的组合。

29.如权利要求28所述的方法，还包括：

判定决定标准是否被满足；

利用该状态机模型判定该预期派送时间是否满足该决定标准；以及

利用该数据挖掘模型判定该预期派送时间是否满足该决定标准。

30.如权利要求24所述的方法，还包括：

提供第二模型，该第二模型将来自该机台的至少该数据关联于预期收取时间，在该预期收取时间，在该机台的多个工作中的工件的处理已完成；

使用该第二模型和从该机台接收到的该数据来判定预期收起时间；以及

操作该自动化物料传输系统以该判定的预期收取时间为基础来从该机台移除该工作中的工件。

31.如权利要求24所述的方法，还包括保持包含多个将被处理的工件货批的队列，该多个工件货批包含该一个或多个第一货批的工作，且其中，指派该一个或多个第一货批的工作到该机台还包含重新安排该队列。

32.如权利要求18所述的方法，其中，当该一个或多个第一货批的工件移动到该机台时，该一个或多个第一货批的工作的各者是放置在至少一个载具中，其中，二个或更多货批的工作被放置在该至少一个载具的各者中。

33.一种系统，包括：

数据处理配置，包含至少一个第一设备、多个第二设备、自动化物料传输系统、第一储存设备以及多个第二储存设备，该多个第二设备的各者关联于各别的该多个第二储存设备中的一者；

其中，该自动化物料传输系统将多个货批中的至少一部分从各别的该至少一个第一设备中的一者移动到该第一储存设备；

其中，该数据处理配置对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间，以至少该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者，并传送一个或多个第一讯号以及一个或多个第二讯号到该自动化物料传输系统；

其中，该自动化物料传输系统响应来自该数据处理配置的该一个或多个第一讯号，将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到该多个第二储存设备的一者，该第二储存设备的该一者是关联于该多个第二设备的该一者，而该多个第二设备的该一者是各别的该货批所指派的；

其中，该自动化物料传输系统响应来自该数据处理配置的该一个或多个第二讯号，将在该第二储存设备的各者中的该些货批的各者移动到该第二设备的该一者，该第二设备的该一者关联于各别的该第二储存设备；以及

其中，该多个第二设备的各者处理从该自动化物料传输系统所接收的该些货批。

34.一种系统，包括：

用于以各别的至少一个第一设备的一者处理多个货批的各者的装置；

用于将该多个货批中的至少一部分从各别的该至少一个第一设备的该一者移动到第一储存设备的装置；

用于对多个第二设备的各者，判定将由该第二设备处理的一个或多个接续货批的预期派送时间的装置；

用于以至少所判定的该预期派送时间为基础，指派在该第一储存设备中的该些货批的各者到该多个第二设备的一者的装置；

用于将在该第一储存设备中的该些货批的各者移动到多个第二储存设备的一者的装置，该第二储存设备的该一者是关联于各别的该货批所指派的该多个第二设备的该一者；以及

用于对多个第二设备的各者，将在关联于该第二设备的该第二储存设备中的该些货批的各者移动该第二设备，并以该第二设备处理来自关联于该第二设备的该第二储存设备的该些货批的装置。

35.一种计算机可读储存媒体，包括用于构成数据处理配置的编码以：

提供模型，该模型将来自一机台的至少数据关联于将由该机台处理的一个或多个接续的货批的预期派送时间；

通过网络连接，接收来自该机台的至少该数据；

使用该模型和该接收到的数据来判定该预期派送时间；

以该判定的预期派送时间为基础，指派一个或多个货批的工作到该机台；

通过该网络连接，传送第一讯号到自动化物料传输系统，该第一讯号造成该自动化物料传输系统移动该一个或多个货批的工作到该机台；

通过该网络连接，传送第二讯号到机台，该第二讯号造成该机台处理一个或多个货批的工件；

判定该判定的预期派送时间的精确度；以及

以该判定的精确度为基础，更新该模型。