CN116976866B - 存储设备保养调度方法及装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种存储设备保养调度方法及装置，存储设备保养调度方法包括获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，其中第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间。当确定第一时间阈值达到时，触发第一搬运指令。依据第一搬运指令分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。通过将待保养存储设备中所有的存放产品分批、分时逐步移出至其他未移出产品的存储设备中，这样避免了一次性移出存储设备中的产品耗费大量保养时间。

Description

存储设备保养调度方法及装置

技术领域

本申请涉及半导体搬运技术领域，具体涉及一种存储设备保养调度方法及装置。

背景技术

晶圆厂长期运行过程中需对MCS(Management Control System，管理控制系统)管控的存储设备进行定期的维护和保养，由于存储设备中存储放着在制产品，当设备维护保养时需将存储设备中的产品全部移出后进行保养。

具体地，在保养时间到期时一次性搬运所有存储的产品，由于将产品一次性移出的工作需要大量的时间，因此造成存储设备的维护和保养周期长，使得保养和维护效率低，且在将产品全部移出过程中增加存放空间，以及运送成本等。

因此，需要一种新的存储设备保养调度方案。

发明内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种存储设备保养调度方法及装置，应用于存储设备的维护保养过程。

本说明书实施例提供以下技术方案：

本说明书实施例提供一种存储设备保养调度方法，所述存储设备保养调度方法包括：

获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于所述第一保养周期的起始时间与终止时间之间；

当确定所述第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令；

依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。

本说明书实施例还提供一种存储设备保养调度装置，包括：

获取模块，用于获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间；

指令生成模块，用于当确定所述第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令；

搬运控制模块，用于依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

通过将保养周期到来的存储设备中所有的产品分批、分时逐步搬运至保养周期未达到的存储设备中，这样避免了一次性搬运存储设备中的产品耗费大量保养时间，通过将待保养存储设备的产品分时、分区转移至其他保养周期未达到的存储设备中，不仅缩短了保养周期，还节省了存储设备中所有产品一次性移出的放置空间和成本等。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本申请中存储设备保养调度的场景图；

图2是本申请区别与现有技术存储设备保养调度的示意图；

图3是本申请中存储设备保养调度的示意图；

图4是本申请中存储设备保养周期的示意图；

图5是本申请中设备保养调度方法的流程图。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

参考图1晶圆厂各设备，长期运行过程中需对MCS管控下的存储设备进行定期的维护和保养。由于存储设备中还存放在制产品，当设备维护保养时需将存放的产品移出后进行保养。然而现有技术只能在保养时间到期时一次性移出所有存储设备中的产品，这样耗费大量的保养时间，造成设备维护保养周期长等问题。

基于此，本说明书实施例提出了一种新的存储设备保养调度方案：MCS系统为每个存储设备(如STK)设定一个保养周期，如图4所示的TS和TE为一个保养周期的开始时间和结束时间。本说明书实施例为避免存储设备中产品一次性搬运移出，在保养周期TS和TE之间设定Tt，Tt对应为时间阈值，在Tt至TE之间实现存储设备中所有产品的分时、分区逐步搬运移出至其他存储设备。在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，待保养的存储设备实现其中所有产品的搬运移出。其他存储设备为保养周期未达到的空闲存储设备。

相比于现有技术本说明书实施例避免了待保养存储设备一次性搬运移出所有产品耗费大量保养时间，提升了存储设备保养的效率，节约产品移出的空间及时间成本。

一些实施例中第一存储设备或第二存储设备包括晶圆盒存储柜Foup Stocker、设备缓冲存储柜NTB以及空中缓存单元格OHB。存储设备中存放晶圆制造过程对应的各种制成类晶圆产品。存储设备中的产品包括半制成晶圆产品和制成晶圆产品。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

本说明书实施例的执行主体为MCS。

如图5所示存储设备保养调度方法包括步骤S510-步骤S530，其中步骤S510、获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，其中第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间。步骤S520、当确定第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令。步骤S530、依据第一搬运指令分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。

具体地，步骤S510、获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间。

具体地，为避免现有技术存储设备中存放的所有产品一次性移出耗费大量时间，本说明书实施例对每个存储设备设定保养周期及保养周期内的时间阈值，如图4所示，设置保养周期的开始时间TS和结束时间TE，在保养周期TS和TE之间设定Tt，Tt对应为时间阈值，在Tt至TE之间实现存储设备中存放所有产品的分时、分区逐步搬运移出，且将正在搬运移出的产品转移至其他还未搬运移出产品的存储设备，这样在到达保养周期的结束时间时，待保养存储设备实现所有产品的搬运移出。

步骤S520、当确定第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令。其中第一搬运指令指代当确定第一时间阈值达到时，针对第一存储设备触发生成的第一搬运指令，该第一搬运指令不同于现有技术中待保养存储设备一次性移出产品的指令。一些实施例中，第一搬运指令可以包括搬运过程全程的指令，或者搬运过程部分阶段的指令(如还可以包括第二、第三搬运指令等)，具体可以根据实际搬运产品的需求设计。

结合上述实施例，对第一存储设备进行产品的搬运移出，并将产品移出至其他未到保养周期的第二存储设备。当确定第一时间阈值Tt到来时，触发生成第一搬运指令。其中第一搬运指令根据生产场景情况生成，如根据空闲的存储设备、空载天车以及待保养存储设备之间的远近等生成第一搬运指令，以便根据第一搬运指令分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备。第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。

步骤S530、依据第一搬运指令分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。

根据具体的保养过程根据到达第一时间阈值与未达到保养周期将存储设备设置为第一存储设备和第二存储设备。第一存储设备为即将将其中存放产品搬运移出的存储设备，第二存储设备为第一存储设备中搬运移出产品放置的存储设备，其保养周期未达到、其中放置的产品还未搬运移出。总的来说第二存储设备为空闲设备。

其中第一、第二仅表示指代，不表示顺序及数量等限定。一些实施例中，随着待保养存储设备中产品的搬运移出，第一存储设备可以转变为第二存储设备，第二存储设备也可以转变为第一存储设备。例如第一存储设备如A、B、C进行其中产品的搬运移出，第二存储设备如D、E、F、G接收并存放第一存储设备中搬运移出的产品。当第一存储设备A中所有产品搬运移出后，确定达到第二存储设备如E的保养周期对应的第一时间阈值，此时A为空闲，E作为第一存储设备，A作为第二存储设备接收第一存储设备E中搬运移出的产品。

结合上述实施例，通过设置保养周期内的时间阈值，当到达时间阈值时实现不同第一存储设备中存放产品的分时分批移出，并将移出的产品放置于保养周期未达到的第二存储设备，根据时间阈值与保养周期终止时间之间第一存储设备和第二存储设备的实时动态划分，实现到达保养周期终止时间时，第一存储设备中存放的所有产品搬运移出至第二存储设备。其中第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。这样避免待保养存储设备保养过程中所有产品一次性移出耗费大量时间，造成设备维护保养周期长。

具体结合图1和图4所示，为每个存储设备设定保养周期及保养周期内的时间阈值，存储设备参数如表1为例进行说明。如STK首次保养时间为xxx/01/01，其保养周期为30天，则在xxx/01/30时需再次保养，系统设定时间阈值为5，即在xxx/01/25这个时间阈值时启动设备保养策略。

表1

表1所示存储设备以STK为例，如STK-1～STK-6，将这些存储设备划分为第一存储设备和第二存储设备，如STK-1～STK-3为第一存储设备，STK-4～STK-6为第二存储设备。

当确定第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令。一些实施例中第一搬运指令包括第一存储设备和对应的第二存储设备等。根据第一搬运指令分批次地将第一存储设备中的所有产品搬运至第二存储设备。如图1所示第一存储设备如STK-1～STK-3分批次地在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备。

不同第一存储设备可以同批次搬运移出产品，也可以不同批次搬运移出产品，但所有第一存储设备不会同时一次性搬运移出产品，这样实现存储设备中所有产品的分区分时搬运移出，避免待保养存储设备一次性搬运移出所有产品耗费大量时间，导致保养周期长等，甚至相比与现有技术所有存储设备中产品的一次性搬运移出使得生产被迫停滞，影响晶圆制造整个生产工作进程，本说明书实施例分时分区地搬运移出产品提升晶圆制造的效率等。

例如STK-1和STK-2同批次搬运移出其中产品，STK-3为一批次搬运移出其中产品。又如，STK-1～STK-3分为3个不同批次搬运移出产品。再例如，STK-1～STK-3作为待保养存储设备的一部分，也可以为同一批次搬运移出产品。

一些实施例中，STK-4～STK-5优先作为第二存储设备。

一些实施例中，第一存储设备搬运移出产品时不再搬运产品进入，即对应第一存储设备的STK IN口禁用,如表1所示，IN-01或IN-02禁用。

这样在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间如5天的时间内将待保养存储设备中的所有产品进行分时、分区搬运转移，刚好到达保养周期的终止时间时，实现第一存储设备中存放的所有产品搬运至其保养周期未达到的存储设备。避免了待保养存储设备一次性搬运移出所有产品造成耗费大量时间，以及搬运移出产品增加放置成本的问题。

在一些实施例中，存储设备保养调度方法还包括根据第二存储设备的空闲情况，获取第一存储设备的第一权重或待搬运产品的第二权重；其中空闲情况包括以下一项或多项：第二存储设备的空位、运输天车的空载以及运输天车对应轨道的路况；触发生成第一搬运指令包括根据第一权重或第二权重触发生成第一搬运指令。待搬运产品包括各种制成晶圆产品，还包括前后工序之间对应的半制成晶圆产品。如该待搬运产品为工序1与工序2之间的半制成晶圆产品。

如图3所示，存储设备保养调度方法还包括根据第二存储设备的空闲情况获取第一存储设备的第一权重或待搬运产品的第二权重。根据第一权重或第二权重自动产生搬运指令，将优先搬运移出产品的存储设备设定搬运指令作为第一存储设备，其他保养周期未达到的存储设备作为第二存储设备。或者将第一存储设备中需尽快搬运移出的产品优先搬运移出。

一些实施例中第一存储设备和第二存储设备可根据工作场景设定。其中空闲情况包括以下一项或多项：第二存储设备的空位、运输天车的空载以及运输天车对应轨道的路况等。第二存储设备的空位代表第二存储设备还可以适当负载产品。运输天车的空载包括运输天车当前空闲未负载任何产品的空载状态，还包括随着运输天车的运行将负载产品运输至目标地后处于空载状态，运输天车的空载状态可以根据生产实际需要转变为负载状态。运输天车对应轨道的路况包括多个运输天车运行时对应轨道是否拥堵，每个运输天车在对应轨道是否顺畅等。

一些实施例中根据第二存储设备空闲情况中占比较高的对应项来获取第一存储设备的第一权重或待搬运产品的第二权重。若其中一项占比大于等于预设占比如0.7则根据该项获取第一储存设备的第一权重或者待搬运产品的第二权重。否则根据第二存储设备空闲情况中至少两项占比较高对应项的均值来获取第一权重或第二权重。

具体地，根据第二存储设备的空闲情况，获取第一存储设备的第一权重。或者根据第二存储设备的空闲情况，获取待搬运产品的第二权重。根据第一权重或第二权重触发生成第一搬运指令。

如图2所示，存储设备保养调度过程确定保养周期内的第一存储设备如A，进而根据第二存储设备如D中第二存储设备的空位占比为80％，在各项空闲情况中占比最高，从而获得第一存储设备如A的第一权重为0.8。此时在所有待保养第一存储设备中第一存储设备A的权重为0.8，作为优先搬运移出产品的第一存储设备。并根据该第一权重触发生成第一搬运指令。

又如，存储设备保养调度过程确定保养周期内的第一存储设备如A，根据第二存储设备E对应运输天车的空载占比50％，第二存储设备的空位占比60％，获取第一存储设备A的第一权重为0.55(如(50％+60％)/2)，并根据第一权重触发生成第一搬运指令。

一些实施例中，存储设备保养过程移出产品时会首先判断产品的优先级，对于优先级较高的产品则不进行保养性搬运，优先等待系统下发正常的搬运指令。其中产品的优先级指示产品由一个存储设备搬运至另一个存储设备的紧急程度，如产品的优先级高则搬运的紧急程度低，或者产品的优先级低则搬运的紧急程度高。

具体通过第二权重表示产品的优先级高低，如第二权重越大则代表产品需搬运的紧急程度低，如第二权重越小，则代表产品需搬运的紧急程度越高。

一些实施例中，根据第二存储设备的空闲情况获取待搬运产品的第二权重，如第二存储设备的各项空闲情况(尤其指代有利搬运的情况)占比越高，则确定待搬运产品的第二权重越低。

具体地，如图2和图3所示，存在满足保养阈值(如第一时间阈值)内的第一存储设备，优先在保养阈值确定第一存储设备的第一权重。移出产品时还需判断产品的优先级，对于优先级很高的产品则不进行保养性搬运。

例如，根据第二存储设备E的空闲情况，获取待搬运产品的第二权重，如根据运输天车对应轨道的路况拥堵等占比为20％(不利于搬运)，获取待搬运产品的第二权重为0.8(1-0.2)，并根据第二权重触发生成第一搬运指令。

又如，根据第二存储设备E的空闲情况，获取待搬运产品的第二权重，如根据各项空闲情况对应占比为33.3％，获取第二权重为0.67(1-0.33)，并根据第二权重触发生成第一搬运指令。

再例如，根据第二存储设备G的空闲情况，获取待搬运产品的第二权重，根据第二存储设备的空位对应占比70％(有利于搬运)。获取待搬运产品的第二权重为0.3(1-0.7)，并根据第二权重触发生成第一搬运指令。

在一些实施例中，存储设备保养调度方法还包括：根据第二权重大小，依次获取第一存储设备中产品的移出时间。其中产品包括半制成晶圆产品或制成晶圆产品。

结合上述实施例，根据第二权重触发生成第一搬运指令，如图1中STK-1优先作为第一存储设备将其中存放的产品搬运移出，其中待搬运移出产品a、b、c的第二权重分别为0.7、0.33及0.55。根据这些第二权重的大小，依次设置a、b、c产品对应的移出时间。如图4所示，在第一时间阈值Tt与TE之间设置Tr，根据a的第二权重0.7获取产品的移出时间如Tr1，进而根据b的第二权重0.5获取产品的移出时间如Tr2，最终根据c的第二权重0.33获取产品的移出时间如Tr3。

一些实施例中第一搬运指令还包括产品的移出时间。其中STK-1搬运移出产品时不再搬运产品进入，即STK-1的IN-01或IN-02口禁用。

一些实施例中，当按照第一存储设备的第一权重将各个第一存储设备中的待搬运产品进行移出时，可根据待搬运移出产品的第二权重依次获取第一存储设备中产品的移出时间。第一存储设备如A、B和C需将待搬运产品移出时，具体根据各个第一存储设备中每个待搬运产品的第二权重来依次获取产品的移出时间。如A中的待搬运产品的第二权重为0.8，B中的待搬运产品的第二权重为0.6，C中的待搬运产品的第二权重为0.5，则根据0.8、0.6和0.5依次获取产品的移出时间分别为Tr4、Tr5和Tr6等。

在一些实施例中，在第一存储设备中的产品搬至第二存储设备后，适应性的调整第一存储设备对应的第一权重。

结合上述实施例，如将STK-1～STK-3第一存储设备中的产品搬运至第二存储设备后，适应性调低当前移出产品第一存储设备在整个MCS调度中的权重。如STK-1～STK-3搬运之前对应的第一权重分别为0.7、0.6、0.5，产品搬运完成后的适应性调整第一权重分别为0、0.1及0.2等。当前第一存储设备完成产品搬运移出后该第一存储设备对应的权重调低以利于其他未搬运移出产品的存储设备进行产品移出。

在一些实施例中，存储设备保养调度方法还包括：将产品的移出时间进行排序，并按照排序逐步完成每个第一存储设备产品的移出。其中产品包括半制成晶圆产品和制成晶圆产品。

结合上述实施例，根据第二权重大小依次获取第一存储设备中产品的移出时间。多个产品的移出时间如Tr1、Tr2……Trn。如根据STK-1中待搬运产品a、b、c的第二权重大小(如0.7、0.33及0.55)分别设置对应的产品移出时间为Tr1～Tr3。在第一时间阈值Tt与TE之间对各个第一存储设备的产品移出时间进行排序，如Tr1＜Tr2＜Tr3，即Tr1更靠近保养周期的终止时间，Tr3更靠近第一时间阈值；并按照排序逐步完成STK-1第一存储设备中产品a、b、c的移出。按照排序针对不同产品的移出时间逐步完成对应第一存储设备中产品的搬运移出。当然产品的移出时间相同时可实现同一批多个第一存储设备中产品的搬运移出，且产品移出后均设置有对应的第二存储设备、以及运输天车等接收该搬运移出产品。

在一些实施例中，存储设备保养调度方法还包括根据第一存储设备中产品的移出时间，确定同一批次的多个产品的移出过程中不发生冲突；其中移出过程中不发生冲突包括以下至少一项：用于移出产品的运输天车不冲突；用于暂存产品的第二存储设备中的空位不冲突；用于移出产品的运输天车所运行的天车轨道不冲突。为确保第一存储设备在第一时间阈值与第一保养周期终止时间之间将待保养存储设备的产品分区分时搬运移出，在同一批次多个产品移出过程中每个待搬运产品均对应有运输天车以及第二存储设备接收。

结合上述实施例如图1所示，根据第一存储设备中产品的移出时间，确定同一批次的多个产品的移出过程不发生冲突，即确保每个第一存储设备的待搬运产品移出过程中对应有运输天车搬运、第二存储设备中有空闲位置可放置，或者运输天车对应有运行路径。

如图1所示STK-2和STK-3在相同的产品移出时间进行产品转移时，分别选择就近原则对应的运输天车来将产品移出，实现有运输天车进行产品的搬运移出，以免发生冲突。又如STK-2和STK-3为避免第二存储设备如STK-6中放置产品的空位发生冲突，如将STK-2和STK-3的移出产品放置于不同的空位，确保每个搬运移出的产片对应有第二存储设备中的暂存位置。其中暂存位置包括相同第二存储设备中分别对应的不同空位，或不同第二存储设备中对应的不同空位。再例如，为避免STK-1、STK-2和STK-3运输天车轨道发生冲突，在相同移出时间设定搬运过程中移出产品的运输天车轨道不发生冲突，即确保每个移出产品运输天车存在对应的天车轨道，运行过程中顺畅，不会发生拥堵等，实现运输天车路径顺畅。

一些实施例中存储设备维护保养过程中采用运输天车如OHT(Overhead HoistTransport)来搬运移出存储设备中的产品。

在一些实施例中，将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备包括：检测第一存储设备移出产品时的目标任务量与作业搬运任务量是否满足匹配条件，若是，则进行第一存储设备中产品的移出；若否，则判断第二存储设备中的初始待放区域是否处于空闲状态；若是则将初始待放区域作为目标待放区域，若否则按照选取条件确定第二存储设备中的目标待放区域；将第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备中的目标待放区域。

其中，匹配条件包括目标任务量N等于作业搬运任务量M，(即N＝M)，或者若目标任务量N大于作业搬运任务量M，则只需要完成作业搬运任务量M即可。作业搬运任务量可根据运输天车及各存储设备的存储产品量进行自动设置，也可根据历史数据信息进行设置。

结合上述实施例，针对当前第一存储设备移出产品时需判断每个移出产品第一存储设备的目标任务量是否与存储设备产品移出场景对应的作业搬运任务量适配，如运输天车及存储设备存储产品量的适配等，故检测第一存储设备的目标任务量N与作业搬运任务量M是否满足匹配条件，若是，即N≥M，只需对当前第一存储设备完成作业搬运任务量M即可，则进行第一存储设备中产品的移出。如图1所示，例如STK-1当前的目标任务量与作业搬运任务量满足匹配条件，则将搬运移出产品放置于STK-4中。

若否，即N＜M，进一步判断第二存储设备中初始待放区域是否处于空闲状态，若是则将第一存储设备中的产品移出至第二存储设备中空闲状态的初始待放区域。例如图1中STK-6中的初始待放区域为空闲状态，则STK-2将产品移出至STK-6中。若否则需重新确定第二存储设备中空闲状态的目标待放区域。具体地，选取条件包括每个区域存放制品类型、产品属性以及各设备之间的距离(如第一存储设备与各个第二存储设备之间的距离等)综合选择条件重新确定第一存储设备移出产品放置第二存储设备中的目标待放区域。如图1中，STK-6中的初始待放区域为非空闲状态，则STK-3将产品搬运移出至STK-5中空闲状态的目标待放区域(虚线框表示)，而不能放置于STK-6中非空闲状态的初始待放区域。其中目标待放区域包括初始待放区域对应第二存储设备中的其他空闲待放区域，或者其他第二存储设备中的空闲状态待放区域。

在一些实施例中按照选取条件确定第二存储设备中的目标待放区域包括：获取第二存储设备对应的配置数据，配置数据包括以下至少一种：每个区域存放制品类型、每个区域存放产品属性、每个区域与所述第一存储设备之间的距离、每个区域取放方式、每个区域取放时间；根据所述配置数据确定第二存储设备中的目标待放区域。

具体地第二存储设备的配置数据包括以下至少一种，每个区域存放制品类型、每个区域存放产品属性、每个区域与第一存储设备之间的距离、每个区域取放方式、每个区域取放时间。如图1所示根据配置数据确定第二存储设备中的目标待放区域。如根据区域存放制品的类型确定第二存储设备STK-5中的目标待放区域。又如根据区域存放产品属性确定第二存储设备STK-6中的目标待放区域。再例如根据每个区域与第一存储设备之间的距离确定第二存储设备STK-4中的目标待放区域。类似地，根据每个区域取放方式、每个区域取放时间，以及配置数据的多项来确定第二存储设备目标待放区域的原理和实施方式如前举例说明，此处不再赘述。

在一些实施例中，在第一时间阈值至第一保养周期的终止时间之间，关闭第一存储设备的产品入口。例如STK-1～STK-3搬运移出产品时不再搬运产品进入，即STK-1～STK-3的IN-01或IN-02口禁用。

结合上述实施例，本说明书实施例还提供一种存储设备保养调度装置，该存储设备保养调度装置包括：

获取模块，用于获取第一存储设备对应的第一保养周期和第一保养周期对应的第一时间阈值，其中第一时间阈值位于第一保养周期的起始时间与终止时间之间；

指令生成模块，用于当确定第一时间阈值达到时，触发生成第一搬运指令；

搬运控制模块，用于依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备。

要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”“第四”等(如果存在)是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本说明书中的各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种存储设备保养调度方法，其特征在于，包括：

获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于所述第一保养周期的起始时间与终止时间之间；

当确定所述第一时间阈值达到时，根据第二存储设备的空闲情况，获取所述第一存储设备的第一权重或待搬运产品的第二权重；

根据第一权重或第二权重触发生成第一搬运指令；其中第一搬运指令不同于待保养存储设备一次性移出产品的指令；第一搬运指令中还包括产品的移出时间，在第一时间阈值与终止时间之间，根据第二权重获取产品的所述移出时间；第二权重表示产品的优先级高低，其中产品的优先级指示产品由一个存储设备搬运至另一个存储设备的紧急程度；产品的优先级高则搬运的紧急程度低，或者产品的优先级低则搬运的紧急程度高；第二权重越大则代表产品需搬运的紧急程度低；第二权重越小，则代表产品需搬运的紧急程度越高；存储保养过程移出产品会判断产品的优先级，对于优先级较高的产品则不进行保养性搬运，等待下发正常的搬运指令；

依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备，第一存储设备或第二存储设备包括晶圆盒存储柜FoupStocker、设备缓冲存储柜NTB以及空中缓存单元格OHB；第二存储设备为多个。

2.根据权利要求1所述的存储设备保养调度方法，其特征在于空闲情况包括以下一项或多项：第二存储设备的空位、运输天车的空载以及运输天车对应轨道的路况。

3.根据权利要求2所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：

根据所述第二权重的大小，依次获取第一存储设备中产品的移出时间。

4.根据权利要求3所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：

将所述产品的移出时间进行排序，并按照排序逐步完成每个第一存储设备中产品的移出。

5.根据权利要求3所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：

根据所述第一存储设备中产品的移出时间，确定同一批次的多个所述产品的移出过程不发生冲突；其中，移出过程不发生冲突，包括以下至少一项：

用于移出所述产品的运输天车不冲突；

用于暂存所述产品的所述第二存储设备中的空位不冲突；

用于移出所述产品的运输天车所运行的天车轨道不冲突。

6.根据权利要求2所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，在第一存储设备中的产品搬至第二存储设备后，调整第一存储设备对应的第一权重。

7.根据权利要求1所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备包括：

检测第一存储设备移出产品时的目标任务量与作业搬运任务量是否满足匹配条件；

若是，则进行第一存储设备中产品的移出；

若否，则判断第二存储设备中的初始待放区域是否处于空闲状态，若是则将初始待放区域作为目标待放区域，若否则按照选取条件确定第二存储设备中的目标待放区域；

将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备中的目标待放区域。

8.根据权利要求7所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，按照选取条件确定第二存储设备中的目标待放区域包括：

获取第二存储设备对应的配置数据，所述配置数据包括以下至少一种数据：每个区域存放制品类型、每个区域存放产品属性、每个区域与所述第一存储设备之间的距离、每个区域取放方式、每个区域取放时间；

根据所述配置数据确定第二存储设备中的目标待放区域。

9.根据权利要求1-8中任意一项所述的存储设备保养调度方法，其特征在于，所述存储设备保养调度方法还包括：在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，关闭所述第一存储设备的产品入口。

10.一种存储设备保养调度装置，其特征在于，包括：

获取模块，用于获取第一存储设备对应的第一保养周期和所述第一保养周期对应的第一时间阈值，其中所述第一时间阈值位于所述第一保养周期的起始时间与终止时间之间；

指令生成模块，用于当确定所述第一时间阈值达到时，根据第二存储设备的空闲情况，获取所述第一存储设备的第一权重或待搬运产品的第二权重；

根据第一权重或第二权重触发生成第一搬运指令；

其中第一搬运指令不同于待保养存储设备一次性移出产品的指令；第一搬运指令中还包括产品的移出时间，在第一时间阈值与终止时间之间，根据第二权重获取产品的所述移出时间；第二权重表示产品的优先级高低，其中产品的优先级指示产品由一个存储设备搬运至另一个存储设备的紧急程度；产品的优先级高则搬运的紧急程度低，或者产品的优先级低则搬运的紧急程度高；第二权重越大则代表产品需搬运的紧急程度低；第二权重越小，则代表产品需搬运的紧急程度越高；存储保养过程移出产品会判断产品的优先级，对于优先级较高的产品则不进行保养性搬运，等待下发正常的搬运指令；

搬运控制模块，用于依据所述第一搬运指令分批次地在所述第一时间阈值至所述第一保养周期的终止时间之间，将所述第一存储设备中存放的所有产品搬运至第二存储设备，其中所述第二存储设备为保养周期未达到的存储设备，第一存储设备或第二存储设备包括晶圆盒存储柜Foup Stocker、设备缓冲存储柜NTB以及空中缓存单元格OHB；第二存储设备为多个。