CN104662306A

CN104662306A - 离心压缩机

Info

Publication number: CN104662306A
Application number: CN201380050068.4A
Authority: CN
Inventors: 三浦治雄; 高桥直彦; 成田光裕
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 2012-10-04
Filing date: 2013-09-20
Publication date: 2015-05-27
Anticipated expiration: 2033-09-20
Also published as: RU2015111993A; JP6049385B2; JP2014074360A; RU2605546C2; CN104662306B; WO2014054440A1; SA515360227B1; BR112015007508A2; RU2605546C9

Abstract

本发明实现兼顾从离心压缩机的密封部的泄漏减少和在密封部的阻尼特性的提高。因此，离心压缩机具备外壳、转子和迷宫式密封；该转子能旋转地被保持于该外壳，并安装了叶轮；该迷宫式密封被安装于外壳，与转子相向地配置；叶轮进行旋转，对气体进行压缩。迷宫式密封至少设置于最终级叶轮的吸入部或使转子的推力平衡的平衡活塞的任意一个，使与该迷宫式密封相向的转子的直径以阶梯状增加或减少。另外，迷宫式密封在轴向上由多个槽形成，各槽都在周向上形成多个凹部。

Description

离心压缩机

技术领域

本发明涉及离心压缩机，特别是涉及适于在高速、高压下运转的离心压缩机适合的阻尼密封。

背景技术

由离心压缩机的叶轮进行了压缩的气体在被称为扩散器的静止流路中被进一步压缩，并形成为多级的情况下，由返回通道使气流角转向，并且成为朝内的轴向流动，被吸入到下一级叶轮。在这里，当由叶轮压缩了的气体通过形成于叶轮的侧板侧的侧面的空间再次返回到该叶轮的吸入侧时，内部压缩功增加，不是有效的压缩功，而是产生能量损失。因此，为了减少该泄漏量，在叶轮吸入部的侧板与外壳之间设置迷宫式密封。

另外，在最终级的叶轮中，压缩气体的一部分经心板的侧面空间流入到平衡活塞迷宫，其后形成向压缩机吸入部泄漏的流动。此向吸入侧返回的流动的泄漏量是由全部叶轮再压缩的内部循环气体，成为能量损失。因此，通过迷宫式密封尽可能地减少泄漏量。

然而，由于流入到迷宫式密封的泄流随旋转轴一起回转，所以，具有旋转方向的圆周成分流速。因此，当包含旋转轴的转子向径向位移时，在转子与迷宫式密封之间产生体积变化，在迷宫式密封内的泄漏气体的圆周方向压力分布产生不平衡。此不平衡产生引起转子的不稳定振动的流体力(以下也称为不稳定流体力)。

特别是在转子进行高速旋转的情况下、迷宫式密封的入口与出口的差压大的情况下、叶轮的处理气体的密度大的情况下等，泄漏气体的不稳定流体力增大。于是，在最坏的情况下，会引起转子的不稳定振动。因此，为了减少该不稳定流体力，以前提出有各种各样的的方案。

在专利文献1中，如在其图1中特征性地表示的那样，在迷宫式密封的槽间在周向上配置扇形体，减少流入到迷宫式密封的泄漏气体的圆周方向成分。另外，在此专利文献1中，在周向上对扇形体进行分割，组合栉齿高度不同的扇形体，减少回旋流动，也对转子的不稳定振动进行防止。另外，在专利文献2中，通过使与迷宫密封梳齿相当的密封片(シールブレード)与旋转体的间隙在下游侧相对于上游侧扩大，增加阻尼效果。

在专利文献3中记载了以下内容，即，将旋转轴做成大直径部和小直径部的阶梯形状，在大直径部配置蜂窝构造或多孔构造的低磨损的阻尼器，在小直径部配置迷宫密封梳齿。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-7611号公报

专利文献2：美国专利第5，794，942号说明书

专利文献3：美国专利申请公开第2007/0069477号说明书

发明内容

发明所要解决的课题

由于存在在离心压缩机的内部的密封部产生流体不稳定力的可能性，所以，在离心压缩机用密封要求以下记载的那样的特性。即，

(1)作为密封本来的作用，泄漏量尽可能少。

(2)不稳定流体力少，或可将不稳定流体力转变成稳定力。

(3)即使万一与转子接触，也可使转子侧的损伤轻微。

(4)制作性高，容易制作。

因此，在记载于上述专利文献1的以往的迷宫式密封中，在周向上分割成许多地形成扇形体，防止流入到迷宫中的泄流在周向上流出。然而，迷宫式密封的轴向形状是以往多用的形状，没有考虑为了兼顾阻尼和泄漏量减少而使转子直径阶梯状地减小。而且，分割成许多的扇形体的结果，为了确保微小的密封间隙、以良好的精度进行制作，工时增加。

在专利文献2中记载了以下内容，即，为了对周向流动进行抑制，在周向上划分迷宫密封梳齿。然而，在此专利文献2中，因为是以使阻尼效果提高为目的，所以，没有考虑为了使泄漏量降低而使转子直径以阶梯状减小。另外，与专利文献1同样，制作需要大量的工时。

在记载于专利文献3的复合密封中，为了使迷宫式密封的阻尼性能提高，在迷宫密封梳齿间的底部(梳齿间槽)形成阻尼构造，梳齿间节距变宽。即，与记载于上述专利文献1等的迷宫式密封相比，梳齿数变少，牺牲了作为迷宫式密封本来的目的的泄漏量的减少。

本发明是鉴于上述现有技术的问题而做出的，其目的在于实现兼顾从离心压缩机的密封部的泄漏的减少和在密封部的阻尼特性的提高。本发明的另一目的除了上述目的外，还在于使得即使万一转子接触，也没有转子的损伤或损伤轻微，和使密封部的制作性提高。

为了解决课题的手段

达到上述目的的本发明的离心压缩机具备外壳、转子和迷宫式密封；该转子能旋转地被保持于该外壳，并安装了叶轮；该迷宫式密封被安装于上述外壳，与上述转子相向地配置；上述叶轮进行旋转，对气体进行压缩；上述迷宫式密封至少设置于最终级叶轮的吸入部或使上述转子的推力平衡的平衡活塞的任意一个，使与该迷宫式密封相向的上述转子的直径呈阶梯状增加或减少，上述迷宫式密封在轴向上由多个槽形成，各槽都在周向上形成多个凹部。

而且，在此特征中，可以使形成于上述迷宫式密封的多个槽的凹部的周向位置按每个槽不同；也可使得上述迷宫式密封的槽形状在子午面截面中呈梯形，形成于各槽的凹部是使车削用刀具在该槽的周向上移动进行车削加工来制作的。另外，最好在上述迷宫式密封的上游侧的端面形成放射状的突起。

并且，在上述特征中，最好上述迷宫式密封由多个大体平行地形成的迷宫密封梳齿形成上述多个槽，该多个迷宫密封梳齿的最内径比上述凹部的内径侧端部直径形成得小，多个上述凹部具有随着往半径方向外侧去其周向宽度变窄的形状。

另外，可使上述迷宫式密封尖端直径与上述凹部的内径侧端部的直径的差是在该迷宫式密封与相向的上述转子之间形成的密封间隙的10倍以内，上述凹部的深度是该密封间隙的10～30倍左右，上述迷宫式密封的迷宫密封梳齿高度是密封间隙的10～30倍左右。

发明的效果

根据本发明，由于使与迷宫式密封相向的转子部分的直径以阶梯状变化，在迷宫式密封的槽部构成多个凹部，所以，使迷宫式密封与转子的半径方向间隙大体一定，减少来自迷宫式密封的泄漏量，并且，减少转子位移时流入到凹部内的气体在周向上逃逸的量，迷宫式密封的阻尼特性提高。

另外，由于将构成凹部的突起部的前端做成比迷宫密封梳齿的直径大的直径，所以，迷宫密封梳齿先与转子接触，所以，可防止转子的损伤。并且，凹部可由与迷宫内径相比小得多的直径的车削用刀具进行车削加工，所以，可减少凹部的制作所需要的费用及工时。

附图说明

图1是本发明的离心压缩机的一实施例的要部剖切纵剖视图。

图2是图1的离心压缩机具备的阻尼密封的部分立体图。

图3是图1的离心压缩机具备的阻尼密封的部分纵剖视图。

图4是说明阻尼密封的横剖视图。

图5是说明阻尼密封的转子振动稳定化效果的图表。

图6是说明以往的平衡活塞迷宫式密封的转子振动特性的图表。

图7是本发明的离心压缩机的另一实施例的要部的纵剖视图。

图8是图7所示的离心压缩机具备的阻尼密封的纵剖视图。

图9是用于制作本发明的阻尼密封的切削用刀具的例的俯视图。

具体实施方式

下面，使用附图说明本发明的离心压缩机的一实施例。图1是用要部剖切纵剖视图表示一轴多级型的离心压缩机20的图。离心压缩机20具备形成其机体的外廓的静止体的外壳1和可旋转地设置在外壳1内的转子4。转子4具有旋转轴2和安装在旋转轴2上、通过旋转对气体进行压缩的多级的叶轮3(在本图的例中为7级，3a～3g)。

外壳1具备如用箭头α1所示的那样将工作气体导入到第1级的叶轮3a的吸入流路5和将从最终级的叶轮3g通过离心力流出的工作气体如用箭头α2所示的那样排出的排出流路8。在外壳1，设置将由各级的叶轮3(3a～3g)压缩、从叶轮3(3a～3g)的外周部流出的工作气体向下游侧引导的扩散器6及返回流路7。扩散器6将通过叶轮3(3a～3g)的旋转来施加给工作气体的运动能量变换成压力能量。返回流路7将从扩散器6流出的工作气体平滑地向下一级的叶轮3的吸入侧引导。

转子4由配置于旋转轴2的吸入侧端部及排出侧端部、保持于外壳1的对径向载荷进行支承的径向轴承9可旋转地支承。在旋转轴2的吸入侧端部，设置对轴向载荷进行支承的推力轴承10。在作为旋转轴2的轴向相反端的排出侧端部，设置由端面对最终级的压力进行支承，抵消轴向载荷的平衡活塞11。未图示的马达等驱动机由联轴器与旋转轴2的排出侧端连结，由驱动机驱动转子4旋转。

在这样构成的离心压缩机20中，当转子4旋转时，工作气体如用箭头α1所示的那样被从吸入流路5吸入，最初通过第1级叶轮3a的旋转进行压缩。接着，工作气体在扩散器6中运动能量被变换成压力能量，静压上升，经返回流路7被吸入到下一级叶轮3b的内部。气体这样依次由多级的叶轮3a～3g及扩散器6压缩，最终从排出流路8如用箭头α2所示的那样向机外排出。

下面使用图2～图4对平衡活塞11部的迷宫式密封30详细地进行说明。图2是表示图1所示的离心压缩机20具有的平衡活塞11部的迷宫式密封30的一部分的立体图。图3是图2所示的迷宫式密封30部的子午面剖视图(纵剖视图)。图4是迷宫式密封30部的轴直角剖视(軸直角断面)(横剖视)图。在图2、3中，左侧是泄流的上游侧，右侧是泄流的下游侧。

迷宫式密封30与转子4的平衡活塞11相向地与旋转轴2同心状地配置。与迷宫式密封30相向的平衡活塞11的部分使其外径阶梯状地变化为3级。即，上游侧的平衡活塞径d1最大，下游侧的平衡活塞径d3最小，中间的平衡活塞径d2成为其中间的值。

与平衡活塞11的直径一定的部分(例如d1)对应地形成迷宫式密封段、例如L1。在各迷宫式密封段L1～L3中，由环状的平行齿(迷宫密封梳齿)31形成多个槽。例如在迷宫式密封段L1中，在轴向上以等间隔形成8个迷宫密封梳齿31，由此在轴向上形成7个迷宫槽。

形成在迷宫密封梳齿31之间的槽如图4所示的那样在周向上使其深度变化，由分隔部33形成多个凹部32。另外，虽然在此图4中以多个分割形状表示迷宫式密封30，但也可一体地形成为圆筒形状。

返回到图2，迷宫式密封梳齿31的最内径与形成凹部32的分隔部33的内径侧端部相比稍向内径侧突出。另外，凹部32随着向半径方向外侧去，周向距离变窄。并且，迷宫密封梳齿31形成的槽在轴向上每移动一列，凹部32的轴向位置在周向上错开约1/2节距。

如图3所示的那样，凹部32的子午面截面形状呈梯形。在这里，在以迷宫式密封段L1为例进行说明时，在与迷宫式密封段L1相向的平衡活塞11部中，平衡活塞11的外径是d1。另一方面，构成迷宫式密封段L1的迷宫密封梳齿31的内径是D1。因此，密封间隙Δc成为Δc＝(D1-d1)/2。

在本实施例中，将凹部32的深度设为此密封间隙Δc的10～30倍左右。即，将凹部32的最大直径设为D3，设为(D3-D1)/2≈(10～30)×Δc。其理由是，对流入到凹部32的泄漏气体的量进行抑制，并且使得一旦进入到凹部32内的气体不在周向上流动，而是留在凹部32内，与转子4的半径方向位移对应地被压缩，可发挥阻尼效果。

另外，将形成凹部32的分隔部33的内径D2设为密封间隙Δc的1～5倍以内，即(D2-D1)/2＝(1～5)×Δc。这是因为，通过将迷宫密封梳齿31的子午面截面形状形成为三角形状，设置迷宫密封梳齿31的强度低的部分，万一即使迷宫密封梳齿31与平衡活塞11接触，也仅迷宫密封梳齿31消耗，不对凹部32、分隔部33产生影响，并且，不对转子4带来损伤。在进一步增大分隔部33的内径时，凹部32间的连通区域增大，产生阻尼效果减小的危险。

并且，设置3级迷宫式密封级L1～L3，随着往泄流的下游侧去，减小相向的平衡活塞11的直径。而且，迷宫密封梳齿31与平衡活塞11之间的密封间隙Δc在哪个迷宫级L1～L3都大体相同。由此，随着往下游侧的迷宫级去，密封间隙Δc乘以平衡活塞11的总周长(πd)得到的密封面积随着往下游侧去而变小，所以，产生对泄漏量进行抑制的效果和使流体稳定力增加的效果。

参照图4说明凹部32。如上述的那样，凹部32的深度(D3-D2)/2大致是密封间隙Δc的10～30倍，分隔部33的内径与迷宫密封梳齿31的前端部的差(D2-D1)/2大致是密封间隙Δc的1～5倍。凹部32的圆周方向长度以周向角度表示是θ，凹部32将分隔部33的内径侧前端周向长度B夹在其间，并在周向上大体等分配置。

在这里，凹部32如在图4中用一点点划线所示的那样，通过使车削用刀具50的旋转轴51旋转，并且在迷宫式密封30的周向移动来形成。因为车削用刀具50的半径是R，所以，凹部32的周向两侧的形状具有与车削用刀具50的半径大体相同的曲率半径R。如果做成这样的凹部32的形状，则通过在数控机床安装车削用刀具50，可利用机械加工制作在周向上具有多个凹部32的迷宫式密封30。在此图4中用虚线表示的是形成在与现在表示的槽相比在轴向上往跟前去或往后侧去1个槽的位置的槽的凹部32的形状。凹部32的位置大体在周向上相差半个节距。

另外，在图3所示的实施例中，将放射状的肋34设置在迷宫式密封30的上游侧。这是因为，由于工作气体在叶轮出口具有强的回旋速度成分，所以，当该工作气体的一部分作为泄流流入到迷宫式密封30时，可防止在保持残留了回旋速度成分的状态下流入到迷宫式密封。如果在流入到迷宫式密封的泄流中回旋速度成分多，则变得容易产生被通称为超前振动(前回り振動)的不稳定振动。为了抑制该不稳定振动，减小流入到迷宫式密封的泄流的周向速度成分，尽可能使其为零。

用于凹部32的加工的车削用刀具50的各种的例子在图9中由俯视图表示。图9(a)是用于按每一个槽对迷宫式密封30进行加工的车削用刀具50，在左右的倾斜面52、53之间形成平坦部54。左右的倾斜面52、53成为与迷宫式密封30的槽的子午面截面形状对应的倾斜。另一方面，平坦部54成为与相同的槽的子午面形状的凹部32的底部的形状对应的平行面。

图9(b)是为了使制作性提高，能够同时地加工2条槽的车削用刀具50a的例子。在轴向上相邻的槽中，因为凹部32的位置在周向上不同，所以，形成槽间部55，以使与加工的槽相邻的槽的部分为未加工。图9(c)是使制作性提高的另一例，是可同时地加工2条槽的车削用刀具50b的例子。就该刀具而言，对相邻的2条槽同时地进行加工。因此，能够仅以2条槽为单位使凹部32的周向位置变化。

在使用图9(b)所示的车削用刀具50a时，与图9(a)所示的车削用刀具50的情况相比，加工负荷成为2倍，而且，从车削用刀具50a的卡紧位置到加工位置变长，在车削用刀具50a作用大的悬臂载荷。在本实施例的情况下，由于不需要槽间部，所以，施加在车削用刀具50b上的悬臂载荷与使用了图9(b)的车削刀具50a的情况相比可减少。

接下来说明对如上述的那样构成的本发明的迷宫式密封的特性进行实验的结果。图5是在高压离心压缩机中将上述迷宫式密封30组入平衡活塞11部，对转子4的振动进行测量的结果。在此图5中，通过衰减率对转子4的振动稳定性进行评价。在横轴表示运转转速，在纵轴表示相对于转子固有振动(弯曲一阶)的衰减率δ。

为了表示本发明的迷宫式密封30的效果，作为比较例，在图6中表示在平衡活塞部中组入了以往多用的没有凹部的迷宫式密封时的衰减率。

试验用离心压缩机的额定旋转速度是14100min^-1。相对于在额定旋转速度下的弯曲一阶转子固有振动的衰减率，本发明的迷宫式密封30是约1.4，与此相对，以往的迷宫式密封是约0.6。可以得知，通过使用本发明的迷宫式密封，衰减率提高，因此，阻尼特性提高。另外，从迷宫式密封的泄漏，由于在现有技术型及本发明的迷宫式密封中都将密封间隙Δc设定为相同值，所以，泄漏量在本发明的情况下变少与使轴径分3级进行变化对应的量。

在图7及图8中，用子午面剖视图(纵剖视图)表示图1所示的一轴多级型离心压缩机20所具备的另一迷宫式密封具备多个凹部的情况。在上述实施例中，虽然安装于平衡活塞11部的迷宫式密封具有多个凹部，但在本实施例中，不仅是平衡活塞部，而且在设置于在图1的A部表示的最终级叶轮3g的吸入部的阿意迷宫式密封(アイラビリンスシール)12也具有多个凹部。

如图7所示的那样，在最终级的叶轮3g的侧板入口接头(入口口金)C2与外壳1之间，设置具有多个环状的迷宫密封梳齿12h和由此环状的迷宫密封梳齿12h形成的环状并行槽12m的阿意迷宫式密封12。由此，对从叶轮3g如箭头β1的那样流出的压缩气体的一部分通过间隙(空隙)c1向低压侧的叶轮3g的入口侧的返回进行抑制。

另外，通过在与叶轮3g相向的那一侧设置如图8所示那样在周向上隔开间隔地形成的多个放射状突起12R，在叶轮出口3g可除去或减少压缩气体所具有的回旋速度成分。另外，此侧板入口接头c2的子午面截面形状也是朝向入口侧直径变小的阶梯状台阶形状。由此，可使得密封面积(Δc×πd)越往下游侧越小，可增大密封效果。

在最终级的叶轮3g的上游侧配置前级的叶轮3f(参照图1)，在前级的叶轮3f与最终级的叶轮3g的级间设置级间迷宫式密封13。级间迷宫式密封13被保持在外壳1上，隔开密封间隙Δc的间隔与转子4相向。级间迷宫式密封13由多个环状梳齿13h和多个环状槽13m构成，多个环状槽13m由该多个环状梳齿13h形成，对在返回流路7中流通的气体通过级间迷宫式密封13的间隙c3向前级的叶轮3f的出口侧3f2的返回进行抑制。

并且，与由图1表示的实施例同样，在平衡活塞11与外壳1之间配置了具有许多环状迷宫密封梳齿14h的迷宫式密封14。对自最终级的叶轮3g排出的压缩气体从外壳1与平衡活塞11之间向低压部的泄漏进行抑制。

另外，在迷宫式密封14设置从外壳1那一侧连通的分流孔27。分流孔27在设置于平衡活塞11部的迷宫式密封14中向与靠近压缩机内部的迷宫密封梳齿间24连通的周向槽25吹入比叶轮出口的静压高的压力。由此，可产生向平衡迷宫间24～叶轮3g的出口的流动，可使在迷宫式密封14内产生的流体力稳定化，所以，是使转子4的超前振动稳定化的结构。即使在具有这样的分流孔的迷宫式密封14的情况下，也可采用凹部32的构造及平衡活塞直径的阶梯状减小构造，对迷宫式密封的阻尼增加及泄漏减少有效。

在上述各实施例中，虽然关于平衡活塞部的迷宫式密封、最终级叶轮的吸入侧的迷宫式密封例示了应用本发明的情况，但对于各级的叶轮的吸入侧、级间密封13也可应用本发明的密封构造。在任一种情况下都可同时地实现泄流的减少和阻尼效果的增大。

如以上说明的那样根据本发明的各实施例，迷宫式密封设置向内径侧突出子午面形状是前端窄的形状的梳齿，所以，即使万一转子与迷宫式密封接触，也可使转子的损伤轻微。另外，由于仅密封损耗，所以，在转子产生了最大位移时可将密封间隙减小到接触的程度，所以，与以往相比可显著地减少压缩气体的泄漏。

并且，由于在迷宫式密封形成多个凹部，将它们以单独或多列配置成交错状，所以，可提高阻尼效果。即，由于在周向上配置的多个凹部的分隔部分以抑制或减少泄漏流体从凹部朝周向的漏出的方式发挥作用，所以，当转子向半径方向位移时留在凹部的泄漏气体被压缩，作为阻尼器发挥作用。其结果，可获得对转子的旋转方向的位移进行抑制的效果，在迷宫式密封部产生流体稳定力。

并且，由于多个凹部随着往半径方向外侧去其周向宽度变窄，而且轴向纵截面形状被做成大直径形状，所以，可提高凹部的半径方向共振频率，所以，可极力地排除频率特性对密封常数产生的影响。

根据上述各实施例，由于将凹部的子午面截面形状(纵截面形状)形成为与迷宫式密封的槽相同的梯形形状，所以，准备截面形状为梯形的车削用刀具，由数控加工设备等进行加工，所以，仅通过车削加工即可制作凹部，凹部的加工性提高。

另外，由于将迷宫式密封做成级构造(段構造)，与迷宫式密封的各级对应地越是泄流的下游侧，将转子侧的直径做得越小，所以，不仅可减少泄漏量，而且如果朝向下游缩小流路面积，则可使流体稳定力增加。

如以上说明的那样根据本发明，可实现一种离心压缩机，该离心压缩机可对密封的泄漏进行抑制，并且防止转子的不稳定振动，即使在高速、高压条件下也可进行稳定的运转。

符号说明：

1…外壳、2…旋转轴、3、3a～3g…叶轮、4…转子、11…平衡活塞、12…阿意迷宫式密封(叶轮接头迷宫式密封)、13…级间迷宫式密封、14…平衡活塞(部)迷宫式密封、30…平衡活塞迷宫、31…平行齿(迷宫密封梳齿)、32…凹部、33…分隔部、34…径向肋(突起)、35…分隔部、50…车削用刀具、51…轴部、52、53…倾斜面、54…平坦部、55…槽间部。

Claims

1.一种离心压缩机，具备外壳、转子和迷宫式密封；该转子能旋转地被保持于该外壳，并安装了叶轮；该迷宫式密封被安装于上述外壳，与上述转子相向地配置；上述叶轮进行旋转，对气体进行压缩；该离心压缩机的特征在于，

上述迷宫式密封至少设置于叶轮的吸入部或使上述转子的推力平衡的平衡活塞的任意一个，使与该迷宫式密封相向的上述转子的直径呈阶梯状增加或减少，上述迷宫式密封在轴向上由多个槽形成，各槽都在周向上形成多个凹部。

2.根据权利要求1所述的离心压缩机，其特征在于，使形成于上述迷宫式密封的多个槽的凹部的周向位置按每个槽不同。

3.根据权利要求1或2所述的离心压缩机，其特征在于，上述迷宫式密封的槽形状在子午面截面中呈梯形，形成于各槽的凹部是使车削用刀具在该槽的周向上移动进行车削加工来制作的。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的离心压缩机，其特征在于，在上述迷宫式密封的上游侧的端面形成放射状的突起。

5.根据权利要求1所述的离心压缩机，其特征在于，上述迷宫式密封由多个大体平行地形成的迷宫密封梳齿形成上述多个槽，该多个迷宫密封梳齿的最内径比上述凹部的内径侧端部直径形成得小，多个上述凹部具有随着往半径方向外侧去其周向宽度变窄的形状。

6.根据权利要求5所述的离心压缩机，其特征在于，上述迷宫式密封尖端直径与上述凹部的内径侧端部的直径的差是在该迷宫式密封与相向的上述转子之间形成的密封间隙的10倍以内，上述凹部的深度是该密封间隙的10～30倍左右，上述迷宫式密封的迷宫密封梳齿高度是密封间隙的10～30倍左右。