CN104603610A - 电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法 - Google Patents

电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明的电子枪异常检测装置(1)，检测具备多个电子枪(3a)、(3b)、(3c)、(3d)的电磁钢板的磁畴细化装置(2)的电子枪(3)的异常，其具备：磁光元件(5)，与以包括多个电子枪(3a)、(3b)、(3c)、(3d)在电磁钢板表面照射电子束而产的生磁畴不连续部(L)的边界的方式设定的检查区域(R1)、(R2)、(R3)接触或脱离而检测检查区域(R1)、(R2)、(R3)中的钢板(S)的磁畴构造作为光学特性；光源(7)，在磁光元件照射直线偏振光；检测器(12)，利用被磁光元件(5)转印的钢板(S)的磁畴构造，检测被旋转的偏振光。

Description

电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法
技术领域
本发明涉及一种电子枪(electron gun)异常检测装置以及电子枪异常检测方法。
背景技术
电磁钢板(electrical steel sheet)是一种透磁率(magneticpermeability)高、铁损少的磁特性优异的钢板。例如，多将方向性电磁钢板(grain oriented electrical steel sheet)使用于变压器的磁芯。在卷绕于变压器的磁芯的电线中流动的交流电流，在磁芯的内部产生交流磁场。通常，在钢板内施加有交流磁场的情况下，产生涡流损耗(eddycurrent loss)和磁滞损耗(hysteresis loss)。要求在电磁钢板中减少这些涡流损耗以及磁滞损耗。
在钢板施加有交流磁场时产生涡流损耗是不可避免的，频率越高，涡流损耗越大。另一方面，钢板的磁畴(magnetic domain)的宽度是一个对该涡流损耗给予影响的因素，该宽度越窄，则越能够减少涡流损耗。这样，公知钢板的磁特性与磁畴的形状有非常紧密的联系。
因此，在方向性电磁钢板的制造工序中，为了减少涡流损耗，实施细化磁畴的手法(磁畴细化(magnetic domain refining)处理)。方向性电磁钢板的磁畴沿滚轧方向延伸，在横切该磁畴的方向加入形变、形成槽，由此能够细化磁畴(例如参照专利文献1)。作为加入形变的方法，例如公知有沿横切磁畴的方向照射激光、电子束等给予热形变的方法。为了检查是否适当实施了该磁畴细化处理，而公知有观察磁畴构造(magnetic domain structure)的技术(参照专利文献2)。
专利文献1：日本特开2012－52230号公报
专利文献2：日本特开2007－101519号公报
然而，在磁畴细化处理中，由于产生电子束的电子枪的灯丝劣化等的重要因素，存在没有实施规定的磁畴细化处理的情况。另外，在现有的检查技术中，在磁畴细化处理之后无法立即对实施了磁畴细化处理的钢板的磁畴构造进行检测，需要另外取样钢板，进行离线检查。例如，在专利文献2所记载的检查技术中，磁粉在溶液中移动而形成反映磁畴构造的影像是需要时间的。因此，在磁畴细化处理中产生了不良的情况下，也由于检测该不良情况需要很长时间，而持续制造不合格品导致产生成品率的降低。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而产生的，其目的在于提供一种通过相比磁畴细化装置的电子枪的设置台数更少的检查点中的检查，能够检测电子枪的异常的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法。
为解决上述课题，实现目的，本发明所涉及的电子枪异常检测装置检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的电磁钢板的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，具备：磁光元件(magnetooptic device)，其与检查区域接触或脱离，而检测上述检查区域中的钢板的磁畴构造作为光学特性，上述检查区域以包括上述第1电子枪向上述电磁钢板表面照射电子束而产生的磁畴不连续部与上述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式被设定；光源，其向上述磁光元件照射直线偏振光；以及检测器，其检测由于转印于上述磁光元件的上述钢板的磁畴构造而旋转的偏振光。
为解决上述课题，实现目的，本发明所涉及一种电子枪异常检测方法检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，包括：接触步骤，在该步骤中，使磁光元件与上述钢板接触，上述磁光元件在以包括上述第1电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部与上述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式设定的检查区域中检测钢板的磁畴构造作为光学特性的磁光元件；照射步骤，在该步骤中，向上述磁光元件照射直线偏振光；检测步骤，在该步骤中，检测由上述磁光元件反射的直线偏振光的偏振光面的旋转；测定步骤，在该步骤中，根据上述偏振光面的旋转测定上述钢板的磁畴构造；以及脱离步骤，在该步骤中，使上述磁光元件从上述钢板脱离。
本发明所涉及的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法起到如下效果，即、通过相比磁畴细化装置的电子枪的设置台数更少的检查点中的检查，能够检测电子枪的异常。
附图说明
图1是表示本发明的实施方式所涉及的组装有电子枪异常检测装置的生产线的结构图。
图2是对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测的结构进行说明的示意图。
图3是在检查区域检测出电子枪的异常时的检查图像的示意图。
图4是在检查区域检测出电子枪的异常时的检查图像的示意图。
图5是表示电子枪异常检测装置的检查单元的内部构成例的示意图。
图6是表示磁光元件的构成例的剖视图。
图7是电子枪异常检测装置的驱动机构的侧视图。
图8是电子枪异常检测装置的驱动机构的俯视图。
图9是表示本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法的流程图。
图10是通过本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法检测的磁畴不连续部的宽度的最小值的图表。
图11是通过本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法检测的磁畴不连续部的宽度的最小值的图表。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法进行详细说明。此外，以下说明的实施方式并不限定本发明。
电子枪异常检测装置
图1是表示组装有本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1的生产线的结构图。如图1所示，本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1被配置于进行钢板S的磁畴细化处理的磁畴细化装置2的后段。磁畴细化装置2是在内部具备电子枪3，并通过从电子枪3向钢板S照射电子束，而在横切钢板S的磁畴的方向给予形变的装置。
磁畴细化装置2对钢板S的表面实施磁畴细化处理，电子枪异常检测装置1对通过磁畴细化装置2被实施磁畴细化处理后的钢板S的表面进行检查。然后，控制机构1b基于电子枪异常检测装置1的检查结果，判定磁畴细化装置2的电子枪3的异常，并根据需要进行对电子枪3的控制。此外，控制机构1b可为PLC等自动控制装置或者操作人员手动控制的任何一种。
图2是对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测的结构进行说明的示意图。如图2所示，磁畴细化装置2具备多个电子枪3a、3b、3c、3d。此外，图2所示的磁畴细化装置2虽然具备4个电子枪3a、3b、3c、3d，但是本发明也可以适用于具备更多电子枪的磁畴细化装置2。本发明可以适用于具备至少两个以上电子枪的磁畴细化装置2。
多个电子枪3a、3b、3c、3d相互配合地向钢板S的表面在宽度方向照射直线状的电子束B。即，对于多个电子枪3a、3b、3c、3d而言，在钢板S的宽度方向加入横切直线状的磁畴的形变时，划分该宽度方向的直线，各电子枪3a、3b、3c、3d向被划分的直线照射电子束B。此外，图2所示的磁畴细化装置2虽然直线状地具备4个电子枪3a、3b、3c、3d，但是还能够构成为对4个电子枪3a、3b、3c、3d进行所谓的交错配置，通过控制照射电子束B的时机，相互配合地向钢板S的表面在宽度方向照射直线状的电子束B。
在这样照射有电子束或者激光的钢板S的表面，以断开朝向滚轧方向的主磁畴的方式形成有回流磁畴(closure domain)。以下，将形成于照射有电子束或者激光的钢板S的表面的回流磁畴称为磁畴不连续部L。
利用后段的电子枪异常检测装置1对如上所述利用多个电子枪3a、3b、3c、3d实施处理后的钢板S进行检查。即，电子枪异常检测装置1检查由多个电子枪3a、3b、3c、3d形成的磁畴不连续部L是否形成为所希望的处理结果。
如上所述，磁畴不连续部L以在钢板S的宽度方向被分割为多个的方式被照射电子束。因此，电子枪异常检测装置1在磁畴不连续部L的各划分的边界进行检查。
在图2所示的示意图中，将由电子枪3a生成的磁畴不连续部L与由电子枪3b生成的磁畴不连续部L之间的边界处的电子枪异常检测装置1的检查区域设为R1；将由电子枪3b生成的磁畴不连续部L与由电子枪3c生成的磁畴不连续部L之间的边界处的电子枪异常检测装置1的检查区域设为R2；将由电子枪3c生成的磁畴不连续部L与由电子枪3d生成的磁畴不连续部L之间的边界处的电子枪异常检测装置1的检查区域设为R3。
图3以及图4是在检查区域R检测出电子枪3的异常时的检查图像的示意图。如图3以及图4所示，在利用磁畴细化装置2实施磁畴细化处理后的钢板S的表面形成有磁畴不连续部L。另外，在磁畴不连续部L之间，形成有沿着滚轧方向排列的主磁畴M。
如图3所示，电子枪异常检测装置1得到了在检查区域R的上半部分的磁畴不连续部L与检查区域R的下半部分的磁畴不连续部L宽度不同的检查结果。在得到了图3所示的检查结果的情况下，可以认为向宽度变窄的磁畴不连续部L照射电子束的电子枪3的灯丝劣化。
另一方面，如图4所示，电子枪异常检测装置1得到了在检查区域R的上半部分的磁畴不连续部L与检查区域R的下半部分的磁畴不连续部L位置偏移的检查结果。在得到了图4所示的检查结果的情况下，可以认为产生了电子枪3的机械位置的偏移、或者从电子枪3照射电子束的时机的偏移。
如图3以及图4所示，由于本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1在磁畴不连续部L的各划分的边界进行检查，所以能够同时检查磁畴细化装置2的电子枪3中的两个电子枪3的异常。因此，本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1能够通过相比磁畴细化装置2的电子枪3的设置台数更少的检查点处的检查，来检测电子枪3的异常。
以下，参照图5～图8对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1的具体结构进行说明。
图5是表示电子枪异常检测装置1的检查单元4的内部构成例的示意图。电子枪异常检测装置1在生产线暂时停止时，通过驱动检查单元4，而与钢板S接触来检查电子枪3的异常。
如图5所示，检查单元4具备：磁光元件5，其将钢板S的磁畴构造转换为光学特性；支架6，其经由弹性体将磁光元件5固定于检查单元4；以及反射光学系统，其向磁光元件5照射直线偏振光来检测由磁光元件5反射的反射偏振光。即，作为反射光学系统，检查单元4具备光源7、准直透镜8、偏光镜(偏振滤光器)9、半透半反镜10、检光镜(偏振滤光器)11、以及检测器12。
磁光元件5是一种通过被称为法拉第效应的磁光学效应将钢板S的磁畴构造转换为光学特性的元件。所谓法拉第效应是一种在使直线偏振光透过物质时，偏振光面由于该物质所感应到的磁场而旋转的效应，列举有磁性石榴石(magnetic garnet)作为起到该法拉第效应的代表物质。更具体而言，能够利用Bi置换出的钆铁石榴石等。
通过驱动检查单元4，从而磁光元件5与钢板S的检查区域R接触，将钢板S的磁畴构造转印至磁光元件5，从而照射于磁光元件5的偏振光的偏振光面旋转。此外，支架6为了缓和驱动检查单元4而使磁光元件5与钢板S接触时的冲击，经由弹性体将磁光元件5固定于检查单元4。
光源7用于向磁光元件5照射直线偏振光，例如使用半导体激光光源或者LED光源等一般光源。光源7并非一定是直接射出偏振光的光源，而与偏光镜(偏振滤光器)9组合地产生照射磁光元件5的直线偏振光。另外，光源7为了能够将偏振光作为平行光射出，而与准直透镜8等光学元件组合使用。例如使用绿色LED光源(波长505nm)，则对比度提高。
偏光镜9是将从光源7射出的光线转换为直线偏振光的偏振滤光器。偏光镜9通过调整与检光镜11的相对角度，来进行由检测器12检测的偏振光的调整。即，偏光镜9具有旋转机构，能够调整直线偏振光的偏振光面的角度。此外，当在检光镜11具有旋转机构的情况下，能够省略偏光镜9中的旋转机构。
半透半反镜10是一种光路分割机构，其将透过偏光镜9的直线偏振光导入磁光元件5，将由磁光元件5反射的反射偏振光导入检测器12。检光镜11通过调整与上述的偏光镜9的相对角度，来进行由检测器12检测的偏振光的调整。检测器12是一种所谓的CCD照相机或者CMOS照相机等通常的二维图像取得装置。通过PC等其他的图像处理机构13对由检测器12检测出的图像实施适当的图像处理。
此外，通过在图5中未图示的透镜等光学元件，以照射于磁光元件5时的光束直径与磁光元件5的大小一致的方式进行调整。并且，从磁光元件5到检测器12的光学系统形成为远心光学系统。
图6是表示磁光元件5的构成例的剖视图。如图6所示，磁光元件5从面向钢板S的方向按顺序由保护膜5a、反射膜5b、磁光学膜(magnetooptic film)5c、以及基板5d构成。此外，磁光学膜5c优选在组成中包含磁性石榴石。照射于该磁光元件5的偏振光射入基板5d，透过磁光学膜5c，被反射膜5b反射后，再次透过磁光学膜5c以及基板5d，并从磁光元件5射出。
图7以及图8是对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1的驱动方式进行说明的概略结构图。图7是电子枪异常检测装置1的驱动机构的侧视图，图8是电子枪异常检测装置1的驱动机构的俯视图。
如图7以及图8所示，在本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1中，检查单元4能够沿着垂置于钢板S的生产线的两侧的导轨14上下移动。检查单元4被设置为能够通过车轮15而在导轨14上移动，在车轮15的车轴16上分别设置有马达17。检查单元4通过马达17的旋转驱动而沿着导轨14上下移动。
如图7以及图8所示，检查单元4具备接近传感器18。接近传感器18是用于测定检查单元4与钢板S的表面之间的距离的传感器。本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1，在检查单元4下降使磁光元件5与钢板S的表面接触时，以钢板S的表面以及磁光元件5不会由于碰撞而受到损伤的方式在钢板S的附近以低速下降。接近传感器18检测应将检查单元4的下降速度变更为低速的高度。
此外，图7以及图8所示的驱动机构只不过是一个能够用于本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置1的例子。因此，并不局限于图7以及图8所示的驱动机构，还能够采用绞盘式等其他机构。另外，图7以及图8所示的驱动机构虽将检查单元4作为整体而进行驱动，但还能够构成为仅驱动检查单元4所包括的一部分的构成要素，例如仅驱动磁光元件5以及支架6。
电子枪异常检测方法
以下，对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法进行说明。此外，在以下的说明中，虽然参照本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测装置的构成的附图等对本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法进行说明，但本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法并不被这些附图所表示的结构所限定。
图9是表示本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法的流程图。如图9所示，本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法是在钢板S的生产线停止的状态下进行的(步骤S1)。虽该生产线停止的时机例如为连接钢板S的线圈时的停止时是有效率的，但也可以为另外设定电子枪异常检测用的停止时。
接下来，电子枪异常检测装置1的检查单元4向钢板S的表面下降(步骤S2)。通过检查单元4向钢板S的表面下降，从而磁光元件5与钢板S的检查区域R接触，将钢板S的磁畴构造转印至磁光元件5的磁光学膜5c。
之后，取得钢板S的磁特性(步骤S3)。即，通过向磁光元件5照射直线偏振光，直线偏振光通过磁光元件5的磁光学膜5c，从而产生基于法拉第效应的偏振光面的旋转，检查单元4借助该偏振光面的旋转，检测钢板S的磁畴构造。
此外，利用PC等其他图像处理机构13对检测出的钢板S的磁畴构造实施适当的图像处理(步骤S4)。图像处理机构13对于可视化的钢板S的磁畴构造的图像进行磁畴不连续部评价，检测磁畴与磁畴不连续部之间的边界。并且，图像处理机构13基于磁光元件5的大小、测定光学系统的倍率、到钢板S的距离等，进行磁畴不连续部的宽度评价(步骤S5)。
之后，控制机构1b进行磁畴不连续部的宽度的判定(步骤S6)。该磁畴不连续部的宽度的判定不仅是判定磁畴不连续部的宽度是否在规定宽度范围内，还判定是否产生磁畴不连续部的偏移。即，如图3以及图4所示，电子枪3的异常出现在检查区域R的磁畴不连续部L的出现方式存在多种。因此，控制机构1b在检查区域R的上半部分的磁畴不连续部L与检查区域R的下半部分的磁畴不连续部L宽度不同的情况下，推断为电子枪3的灯丝劣化，在检查区域R的上半部分的磁畴不连续部L与检查区域R的下半部分的磁畴不连续部L位置偏移的情况下，推断为产生了电子枪3的机械位置的偏移、或者从电子枪3照射电子束的时机的偏移。
然后，在基于控制机构1b进行的磁畴不连续部的宽度的判定显示出电子枪3的异常(步骤S6；NG)的情况下，进行电子枪3的灯丝的更换或者其他的原因调查以及修理(步骤S7)，钢板S的生产线重新开启(步骤S8)。
另一方面，在基于控制机构1b进行的磁畴不连续部的宽度的判定未显示出电子枪3的异常的情况下(步骤S6；OK)，停止的钢板S的生产线重新开启(步骤S8)。
此外，控制机构1b具有如下控制工序，即、在磁畴不连续部的宽度不在规定范围内的情况下，通过发出增加或者减少磁畴细化装置2的电子枪3的电子束功率的指令，不进行灯丝更换，优选设法减少电子枪3的灯丝的更换次数。
实施例
接下来，对通过本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法，实施磁畴细化装置2的电子枪3的异常检测处理的生产线的操业例进行说明。图10以及图11是利用本发明的实施方式所涉及的电子枪异常检测方法所检测的磁畴不连续部的宽度的最小值的图表。
图10表示某生产线的两天的检查结果，图11是表示从图10的检测开始3个月后的生产线的两天的检查结果。在生产线中的更换钢板S的线圈时的停止时进行检查。另外，图10以及图11的图表的凡例结合图2中附图标记的分配，用●表示检查区域R1的上半部分中的磁畴不连续部的宽度的最小值，用□表示检查区域R1的下半部分中的磁畴不连续部的宽度的最小值，用◇表示检查区域R2的上半部分中的磁畴不连续部的宽度的最小值，用▲表示检查区域R2的下半部分中的磁畴不连续部的宽度的最小值，用▼表示检查区域R3的上半部分中的磁畴不连续部的宽度的最小值，用×表示检查区域R3的下半部分中的磁畴不连续部的宽度的最小值。
如图10所示，在磁畴细化装置2的电子枪3正常的情况下，在全部检查区域R1的上半部分以及下半部分中，磁畴不连续部的宽度的最小值为200μm左右。另一方面，在图11所示的第5次检查中，检查区域R2的下半部分的磁畴不连续部的宽度的最小值▲以及检查区域R3的上半部分的磁畴不连续部的宽度的最小值▼降低到100μm程度。因此，根据图11所示的第5次检查结果，检测出在磁畴细化装置2的电子枪3c产生了异常的情况。特别是根据该检查结果，辨别出磁畴细化装置2的电子枪3c的灯丝劣化的情况。
此外，在上述实施例中，虽然根据检查区域中的磁畴不连续部的宽度的最小值判定异常产生，但还能够使用磁畴不连续部的宽度的平均值、方差等判定异常产生。
以上，本发明的电子枪异常检测装置1检测具备多个电子枪3a、3b、3c、3d的电磁钢板的磁畴细化装置2的电子枪3的异常，电子枪异常检测装置1具备：磁光元件，其能够与以包括多个电子枪3a、3b、3c、3d向电磁钢板表面照射电子束而产生的磁畴不连续部L的边界的方式设定的检查区域R1、R2、R3接触或脱离，而检测检查区域R1、R2、R3中的钢板S的磁畴构造作为光学特性；光源7，其向磁光元件5照射直线偏振光；以及检测器12，其检测由于转印至磁光元件5的钢板S的磁畴构造而旋转的偏振光，通过相比磁畴细化装置2的电子枪3a、3b、3c、3d的设置台数更少的检查区域R1、R2、R3中的检查，能够检测电子枪3a、3b、3c、3d的异常。
另外，本发明的实施方式所涉及的磁光元件5从面向钢板S的方向开始按顺序由保护膜5a、反射膜5b、磁光学膜5c、以及基板5d构成，由于直线偏振光从基板5d侧射入，并被反射膜5b反射，所以通过射入的直线偏振光在磁光学膜5c中往返，能够得到2倍的法拉第效应。另外，磁光学膜5c优选在组成中包括磁性石榴石。
产业上的可利用性
如上所述，本发明所涉及的电子枪异常检测装置以及电子枪异常检测方法可用于检测产生磁畴细化装置的电子束的电子枪的异常的处理。
附图符号说明：
1…电子枪异常检测装置；1b…控制机构；2…磁畴细化装置；3、3a、3b、3c、3d…电子枪；4…检查单元；5…磁光元件；5a…保护膜；5b…反射膜；5c…磁光学膜；5d…基板；6…支架；7…光源；8…准直透镜；9…偏光镜；10…半透半反镜；11…检光镜；12…检测器；13…图像处理机构；14…导轨；15…车轮；16…车轴；17…马达；18…接近传感器。

Claims (9)

1.一种电子枪异常检测装置，其检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的电磁钢板的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，具备：
磁光元件，其与检查区域接触或脱离，而检测所述检查区域中的钢板的磁畴构造作为光学特性，所述检查区域以包括所述第1电子枪向所述电磁钢板表面照射电子束而产生的磁畴不连续部与所述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式被设定；
光源，其向所述磁光元件照射直线偏振光；
检测器，其检测由于转印于所述磁光元件的所述钢板的磁畴构造而旋转的偏振光。
2.根据权利要求1所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，
所述磁光元件从面向所述钢板的方向按顺序由保护膜、反射膜、磁光学膜、以及基板构成，
所述直线偏振光从所述基板侧射入，并被所述反射膜反射。
3.根据权利要求2所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，
所述磁光学膜在组成中包括磁性石榴石。
4.根据权利要求1～3中的任一项所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，
还具备偏光镜、半透半反镜、以及检光镜，
从所述光源射出的光线按照所述偏光镜、所述半透半反镜、所述磁光元件、所述半透半反镜、所述检光镜、以及所述检测器的顺序进行传播。
5.根据权利要求1～4中的任一项所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，
通过还具备驱动收容所述光源、所述偏光镜、所述半透半反镜、所述磁光元件、所述检光镜、以及所述检测器的检查单元的驱动机构，而使所述钢板的检查区域与所述磁光元件接触或脱离。
6.根据权利要求1～5中的任一项所述的电子枪异常检测装置，其特征在于，
所述钢板的宽度方向的所述检查区域的配置数目，比所述磁畴细化装置所具备的电子枪的台数少一个。
7.一种电子枪异常检测方法，其检测至少具备第1电子枪与第2电子枪的磁畴细化装置的电子枪的异常，其特征在于，包括：
接触步骤，在该步骤中，使磁光元件与所述钢板接触，所述磁光元件是在以包括所述第1电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部与所述第2电子枪照射电子束而产生的磁畴不连续部之间的边界的方式设定的检查区域中检测钢板的磁畴构造作为光学特性的磁光元件；
照射步骤，在该步骤中，向所述磁光元件照射直线偏振光；
检测步骤，在该步骤中，检测由所述磁光元件反射的直线偏振光的偏振光面的旋转；
测定步骤，在该步骤中，根据所述偏振光面的旋转测定所述钢板的磁畴构造；以及
脱离步骤，在该步骤中，使所述磁光元件从所述钢板脱离。
8.根据权利要求7所述的电子枪异常检测方法，其特征在于，
所述磁光元件从面向所述钢板的方向按顺序由保护膜、反射膜、磁光学膜、以及基板构成，
所述直线偏振光从所述基板侧射入，并被所述反射膜反射。
9.根据权利要求8所述的电子枪异常检测方法，其特征在于，
所述磁光学膜在组成中包括磁性石榴石。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019189857A1 (ja) 2018-03-30 2019-10-03 Ｊｆｅスチール株式会社 変圧器用鉄心
US11961647B2 (en) * 2018-03-30 2024-04-16 Jfe Steel Corporation Iron core for transformer
EP3761020A1 (en) * 2019-07-03 2021-01-06 ABB Power Grids Switzerland AG Non-destructive analysis of electrical steel using a trained algorithm for material property estimation

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180355A (ja) * 1983-03-31 1984-10-13 Nippon Steel Corp 電磁鋼板のオンライン結晶粒度測定装置
JPS62102103A (ja) * 1985-10-30 1987-05-12 Hitachi Ltd 微細磁化パタ−ン計測装置
JPH05119130A (ja) * 1991-02-04 1993-05-18 Japan Aircraft Mfg Co Ltd 磁場顕微鏡装置
CN1291287A (zh) * 1998-10-21 2001-04-11 保尔·G·邓肯 用稀土铁石榴石的光波前极化旋转的光学测量方法和装置
JP2002257718A (ja) * 2001-02-28 2002-09-11 Nippon Steel Corp 光ビーム走査磁区検出装置
CN1400319A (zh) * 2001-07-24 2003-03-05 川崎制铁株式会社 方向性电磁钢板的制造方法
JP2012031519A (ja) * 2010-06-30 2012-02-16 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法
JP2012035288A (ja) * 2010-08-05 2012-02-23 Jfe Steel Corp 電子ビーム照射方法
JP2012052230A (ja) * 2010-08-06 2012-03-15 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SU1620247A1 (ru) * 1988-02-15 1991-01-15 Институт Электросварки Им.Е.О.Патона Способ контрол времени работы катода и подогревател сварочной электронной пушки и устройство дл его осуществлени
RU2008737C1 (ru) * 1991-07-09 1994-02-28 Сумский физико-технологический институт Способ определения статических характеристик электронных пучков малого сечения и устройство для его осуществления
JPH0711941B2 (ja) * 1992-02-04 1995-02-08 日電アネルバ株式会社 電子銃制御装置
US5382802A (en) * 1992-08-20 1995-01-17 Kawasaki Steel Corporation Method of irradiating running strip with energy beams
JP2002267623A (ja) * 2001-03-12 2002-09-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd 電子ビーム欠陥検査装置
US6934068B2 (en) * 2003-02-10 2005-08-23 Lake Shore Cryotronics, Inc. Magnetic field and electrical current visualization system
JP4764199B2 (ja) 2005-09-07 2011-08-31 新日本製鐵株式会社 磁性体の粒形状観察装置
JP5987610B2 (ja) * 2012-09-28 2016-09-07 Ｊｆｅスチール株式会社 鋼板検査装置、鋼板検査方法、および鋼板製造方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59180355A (ja) * 1983-03-31 1984-10-13 Nippon Steel Corp 電磁鋼板のオンライン結晶粒度測定装置
JPS62102103A (ja) * 1985-10-30 1987-05-12 Hitachi Ltd 微細磁化パタ−ン計測装置
JPH05119130A (ja) * 1991-02-04 1993-05-18 Japan Aircraft Mfg Co Ltd 磁場顕微鏡装置
CN1291287A (zh) * 1998-10-21 2001-04-11 保尔·G·邓肯 用稀土铁石榴石的光波前极化旋转的光学测量方法和装置
JP2002257718A (ja) * 2001-02-28 2002-09-11 Nippon Steel Corp 光ビーム走査磁区検出装置
CN1400319A (zh) * 2001-07-24 2003-03-05 川崎制铁株式会社 方向性电磁钢板的制造方法
JP2012031519A (ja) * 2010-06-30 2012-02-16 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法
JP2012035288A (ja) * 2010-08-05 2012-02-23 Jfe Steel Corp 電子ビーム照射方法
JP2012052230A (ja) * 2010-08-06 2012-03-15 Jfe Steel Corp 方向性電磁鋼板およびその製造方法

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