CN104582428A - 散热薄膜、和其制造方法以及装置 - Google Patents

散热薄膜、和其制造方法以及装置 Download PDF

Info

Publication number
CN104582428A
CN104582428A CN201410575563.3A CN201410575563A CN104582428A CN 104582428 A CN104582428 A CN 104582428A CN 201410575563 A CN201410575563 A CN 201410575563A CN 104582428 A CN104582428 A CN 104582428A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
tube
carbon nano
heat transfer
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410575563.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104582428B (zh
Inventor
加川清二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN201810125452.0A priority Critical patent/CN108189490B/zh
Publication of CN104582428A publication Critical patent/CN104582428A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104582428B publication Critical patent/CN104582428B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
    • C09K5/00—Heat-transfer, heat-exchange or heat-storage materials, e.g. refrigerants; Materials for the production of heat or cold by chemical reactions other than by combustion
    • C09K5/08—Materials not undergoing a change of physical state when used
    • C09K5/14—Solid materials, e.g. powdery or granular
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C65/00—Joining or sealing of preformed parts, e.g. welding of plastics materials; Apparatus therefor
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C66/00—General aspects of processes or apparatus for joining preformed parts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
    • B29C70/003—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts characterised by the matrix material, e.g. material composition or physical properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C70/00—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts
    • B29C70/003—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts characterised by the matrix material, e.g. material composition or physical properties
    • B29C70/0035—Shaping composites, i.e. plastics material comprising reinforcements, fillers or preformed parts, e.g. inserts characterised by the matrix material, e.g. material composition or physical properties comprising two or more matrix materials
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/06—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material
    • B32B27/08—Layered products comprising a layer of synthetic resin as the main or only constituent of a layer, which is next to another layer of the same or of a different material of synthetic resin
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
    • B32B27/20—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives using fillers, pigments, thixotroping agents
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/30—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers
    • B32B27/308—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising vinyl (co)polymers; comprising acrylic (co)polymers comprising acrylic (co)polymers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
    • B32B27/36—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising polyesters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
    • B32B37/14—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers
    • B32B37/24—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the properties of the layers with at least one layer not being coherent before laminating, e.g. made up from granular material sprinkled onto a substrate
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F21/00—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials
    • F28F21/02—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials of carbon, e.g. graphite
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F21/00—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials
    • F28F21/06—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials of plastics material
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
    • H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
    • H05K7/2039—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
    • H05K7/20436—Inner thermal coupling elements in heat dissipating housings, e.g. protrusions or depressions integrally formed in the housing
    • H05K7/20445—Inner thermal coupling elements in heat dissipating housings, e.g. protrusions or depressions integrally formed in the housing the coupling element being an additional piece, e.g. thermal standoff
    • H05K7/20472—Sheet interfaces
    • H05K7/20481—Sheet interfaces characterised by the material composition exhibiting specific thermal properties
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2250/00—Layers arrangement
    • B32B2250/03—3 layers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2264/00—Composition or properties of particles which form a particulate layer or are present as additives
    • B32B2264/10—Inorganic particles
    • B32B2264/107—Ceramic
    • B32B2264/108—Carbon, e.g. graphite particles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
    • B32B2307/30—Properties of the layers or laminate having particular thermal properties
    • B32B2307/302—Conductive
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2313/00—Elements other than metals
    • B32B2313/04—Carbon
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2333/00—Polymers of unsaturated acids or derivatives thereof
    • B32B2333/04—Polymers of esters
    • B32B2333/12—Polymers of methacrylic acid esters, e.g. PMMA, i.e. polymethylmethacrylate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2367/00—Polyesters, e.g. PET, i.e. polyethylene terephthalate
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B2457/00—Electrical equipment
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/25—Web or sheet containing structurally defined element or component and including a second component containing structurally defined particles
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/27—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified weight per unit area [e.g., gms/sq cm, lbs/sq ft, etc.]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)

Abstract

本发明涉及散热薄膜、和其制造方法以及装置。在具有石墨烯微粒以及碳纳米管均匀分散而成的传热层的散热薄膜中，所述碳纳米管相对于所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管的合计的质量比为0.05～0.2，所述石墨烯微粒在所述传热层的面方向上实质平行地排列，且所述传热层具有1.9g/cm3以上的密度以及600W/mK以上的热传导率。

Description

散热薄膜、和其制造方法以及装置
技术领域
本发明涉及为了将从笔记本型个人计算机、智能手机、平板终端、便携式电话等小型的电子设备中的电子部件等产生的热高效率地散热到外部而使用的散热薄膜、和其制造方法以及装置。
背景技术
在高性能化以及多功能化进步的笔记本型个人计算机、智能手机、平板终端、便携式电话等小型的电子设备中，由于不得不密集安装微处理器、图像处理芯片、存储器等的电子部件，因此，为了防止热所引起的故障，这些电子部件的散热变得日益重要。
在电子部件的散热用途中，过去提出石墨散热薄片。例如，JP特开2006-306068号公开了一种热传导薄片，至少包含石墨薄膜和粘着性树脂组成物，粘着性树脂组成物是反应硬化型乙烯系聚合体。石墨薄膜是(a)通过膨胀法制作的膨胀石墨、或(b)通过以2400℃以上的温度对聚酰亚胺薄膜等进行热处理而得到的石墨薄膜。将石墨浸渍在硫酸等的酸中来制作石墨层间化合物，通过热处理使之发泡来剥离石墨层间，将得到的石墨粉末洗净来除去酸，对得到的薄膜状的石墨粉末进行辊压延，由此得到由膨胀石墨构成的石墨薄膜。但是，由膨胀石墨构成的石墨薄膜的膜强度不充分。另外，通过聚酰亚胺薄膜等的热处理得到的石墨薄膜虽然有高的散热性，但高价。
JP特开2012-211259号公开了一种热传导薄片，是含有石墨片的热传导薄片，石墨片由将热分解石墨薄片细长地切断而得到的多个第一石墨片、和比第一石墨片的短边长度小的第二石墨片构成，至少第一石墨片将热传导薄片的两面连结。在例如丙烯酸系聚合物以及溶媒的混合物中混合第一以及第二石墨片，通过挤出成形得到该热传导薄片。但是，在挤出成形而成的热传导薄片中，由于树脂的体积分数较大，因此得不到充分的散热性。
JP特开2012-140308号公开了一种石墨烯膜的转印方法，具有：用挥发成分的含有量不足1重量％且具有粘着性的树脂层来粘合形成在第一基板(例如在铜基板上形成镍催化剂层的基板)上的一层或多层的石墨烯膜和第二基板(塑料等)的工序；和除去上述第一基板的工序。但是，石墨烯膜通过CVD法形成，为了成为充分的膜厚需要花费非常多的时间。其结果，石墨烯膜不得不变得高价。
虽然由石墨烯微粒构成的传热层有良好的热传导率，但存在耐弯折断裂性(弯折时不易出现裂纹或断裂的性质)差的问题。碳纳米管由于具有细长的形状，因此作为提升树脂的机械强度的添加材料使用，但在作为碳纳米管分散液进行涂布的情况下，由于微细而无论如何都会在涂膜中出现凝集。为此，用碳纳米管形成传热层的尝试未获成功。
发明内容
因此，本发明的第一目的在于，提供配置在小型的电子设备内时能发挥卓越的散热性能、并且具有良好的耐弯折断裂性的廉价的散热薄膜。
本发明的第二目的在于，提供以低成本制造这种散热薄膜的方法以及装置。
鉴于上述目的，进行潜心研究的结果，本发明的发明者发现，若首先使石墨烯微粒以及碳纳米管均匀分散在少量的粘合剂树脂中而形成复合层，并在对复合层中的粘合剂树脂进行烧成后进行压制，则能消除烧损的粘合剂树脂的空间，得到高密度、具有高热传导率并具有良好的耐弯折断裂性的散热薄膜，由此想到本发明。
即，本发明的散热薄膜具有石墨烯微粒以及碳纳米管均匀分散而成的传热层，其特征在于，所述碳纳米管相对于所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管的合计的质量比为0.05～0.2，所述石墨烯微粒在所述传热层的面方向上实质平行地排列，且所述传热层具有1.9g/cm3以上的密度以及600W/mK以上的热传导率。
优选所述传热层的厚度为50～250g/m2(以每1m2的石墨烯微粒以及碳纳米管的合计重量来表征)。
优选所述散热薄膜的表面电阻为20Ω/□以下。优选所述散热薄膜的电磁波屏蔽率(反射率)为90％以上。
优选所述传热层被塑料薄膜包覆。
制造上述散热薄膜的本发明的方法的特征在于，(1)用一对第一塑料薄膜夹着混合物层，形成层叠薄膜，所述混合物层以所述质量比含有所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管且含有相对于所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管的合计量为0.01～0.1的质量比的粘合剂树脂；(2)通过对所述层叠薄膜进行热压来使所述混合物层致密化；(3)对通过所述第一塑料薄膜的剥离而露出的所述混合物层进行烧成；(4)通过对得到的烧成层进行压制来得到致密化的传热层；(5)用第二塑料薄膜或绝缘性树脂包覆所述致密化的传热层。
优选在将含有合计5～25质量％的石墨烯微粒以及碳纳米管、和0.05～2.5质量％的粘合剂树脂，且粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比为0.01～0.1的有机溶媒分散液涂布在第一塑料薄膜的一面后进行干燥，通过将该工序反复多次来形成所述混合物层。
优选将所述分散液的一次的涂布量设为5～30g/m2(以每1m2的石墨烯微粒以及碳纳米管的合计重量来表征)。
优选所述粘合剂树脂是丙烯酸树脂、聚苯乙烯树脂或聚乙烯醇。
优选所述有机溶媒是从由酮类、芳香族碳氢化合物类以及醇类构成的群中选择的至少一种。
优选通过喷射法来进行所述分散液的涂布。
优选所述第一塑料薄膜在涂布所述分散液的面具有脱模层。优选所述脱模层为铝蒸镀层。
优选具有铝蒸镀层的所述第一塑料薄膜具有大量的微细的贯通孔，以具有50秒以下的透气度(100cc的空气通过直径1英寸的截面所需要的时间，Gurley式透气度试验法JIS P 8117)。
优选在30～100℃下进行所述干燥工序。
优选所述层叠薄膜的热压通过使所述层叠薄膜通过至少一对加热辊间来进行。优选热压温度为150～250℃。另外，优选热压压力为20MPa以上。
优选所述混合物层的烧成通过对所述混合物层照射火炎来进行，或通过在大气中、真空中或惰性气体中暴露在500℃以上的高温下来进行。
优选烧成层的压制在拘束所述烧成层的至少一对对置边的金属模内进行。
优选在将所述烧成层载置在下模的空腔内后，使具有凸部的上模以所述凸部进入所述空腔内的方式卡合于所述下模，使组合后的所述上模以及所述下模多次通过一对加压辊间，由此使所述烧成层致密化。
优选一边使含有所述烧成层的金属模振动一边进行加压。
优选使所述第二塑料薄膜薄于所述第一塑料薄膜。优选所述传热层通过所述第二塑料薄膜进行的密封是热封。优选进行热封的所述第二塑料薄膜在粘贴在所述传热层的一侧具有密封剂层。
优选在将所述传热层裁断为所期望的形状后以所述第二塑料薄膜进行密封。
制造上述散热薄膜的本发明的装置的特征在于，具备：(a)输送一对第一塑料薄膜的单元；(b)分散液涂布单元，其针对各第一塑料薄膜被配置至少1个，以便分多次在所述第一塑料薄膜上涂布含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液；(c)使所述分散液在每次涂布时干燥的单元；(d)使所述石墨烯微粒、所述碳纳米管和所述粘合剂树脂的混合物层为内侧来层叠所得到的具有所述混合物层的一对所述第一塑料薄膜的单元；(e)对得到的层叠薄膜进行热压的单元；(f)从所述层叠薄膜剥离所述第一塑料薄膜的单元；(g)对露出的所述混合物层进行烧成的单元；(h)使得到的烧成层致密化来得到传热层的压制单元；和(i)用第二塑料薄膜或绝缘性树脂来包覆所述传热层的单元。
本发明的装置优选具备沿各第一塑料薄膜的行进方向以给定的间隔配置的多个分散液涂布单元。
优选在腔室内配置一对分散液涂布单元以及层叠用辊，所述腔室具备各第一塑料薄膜进入的第一开口部、设于所述第一开口部的近邻的一对热风供给口、排气口、和取出所述层叠薄膜的第二开口部。优选在具有多对分散液涂布单元的情况下，将全部分散液涂布单元配置在所述腔室内。
优选由所述手段(a)在所述层叠用辊的两侧水平地输送各第一塑料薄膜。
优选分散液涂布单元为喷射喷嘴。
优选所述层叠单元以及所述热压单元都是加热辊。
优选对所述混合物层进行烧成的单元是对所述混合物层照射火炎的燃烧器，或在大气中、真空中或惰性气体中将所述混合物层暴露在500℃C以上的高温下的炉。
优选使烧成层致密化的压制单元具备：(a)由具有空腔的下模、和具有与所述空腔卡合的凸部的上模构成的金属模；(b)从上下按压所述金属模的一对加压辊；(c)在辊间隙的上游侧以及下游侧延伸存在的引导板；和(d)使所述金属模沿所述引导板通过一对所述加压辊的间隙地往复移动的单元。
优选所述压制单元具有对所述加压辊的一方赋予振动的单元，由此通过对所述烧成层振动加压而使其致密化。
附图说明
图1是表示本发明的散热薄膜的截面图。
图2是表示求取石墨烯微粒的粒径的方法的概略图。
图3是表示在塑料薄膜较厚地涂布含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液，结果石墨烯微粒发生了凝集的状态的截面图。
图4是概略表示在塑料薄膜较薄地涂布分散液，结果维持了石墨烯微粒以及碳纳米管的均匀的分散的状态的截面图。
图5是表示在塑料薄膜上的干燥的分散液层上形成的含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的薄的分散液层的截面图。
图6是表示制造本发明的散热薄膜的装置的截面图。
图7是表示切除混合物层的缘部的切断线的俯视图。
图8(a)是表示混合物层的烧成方法的一例的概略截面图。
图8(b)是表示混合物层的烧成方法的其它示例的概略截面图。
图9(a)是表示对烧成层进行压制的装置中的下模的俯视图。
图9(b)是表示对烧成层进行压制的装置中的上模以及下模的分解截面图。
图10是表示用由上模以及下模构成的金属模来对烧成层进行压制的样子的截面图。
图11(a)是表示用一对加压辊来对图10的金属模进行加压的样子的部分截面图。
图11(b)是表示用一对加压辊对图10的金属模反复加压的样子的部分截面图。
图12(a)是表示对烧成层进行压制的金属模的俯视图。
图12(b)是表示对烧成层进行压制的金属模的截面图。
图13是表示用于切除通过压制而得到的传热层的缘部来使其成为给定的尺寸的切断线的俯视图。
图14是表示用于将通过压制而得到的传热层分割为最终形状的切断线的俯视图。
图15是表示在粘贴了图13所示的传热层的一方的第二塑料薄膜上层叠另一方的第二塑料薄膜的方法的截面图
图16(a)是表示粘贴在第二塑料薄膜上的最终形状的传热层的俯视图。
图16(b)是表示在粘贴了最终形状的传热层的一方的第二塑料薄膜上层叠另一方的第二塑料薄膜而成的层叠薄膜的俯视图。
图17是表示在粘贴了最终形状的传热层的一方的第二塑料薄膜上层叠另一方的第二塑料薄膜的方法的截面图。
图18是表示用于将具有最终形状的传热层的层叠薄膜分割为各个散热薄膜的切断线的俯视图。
图19是表示由被一对第二塑料薄膜密封的传热层构成的散热薄膜的截面图。
图20是表示碳纳米管/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比与传热层的面内方向的热传导率的关系的图表。
图21是表示传热层的密度与面内方向的热传导率的关系的图表。
具体实施方式
参考附图来详细说明本发明的实施方式，只要没有特别告知，与1个实施方式相关的说明也能运用在其它实施方式中。另外，下述说明并非限定，可以在本发明的技术思想的范围内进行各种变更。
[1]散热薄膜
如图1所示，本发明的一个实施方式的散热薄膜1由传热层10、和按照密封传热层10的方式粘接在其两面的一对塑料薄膜2、2构成。
(1)传热层
传热层10含有石墨烯微粒以及碳纳米管。作为传热层10的前体的混合物层中所含有的粘合剂树脂烧损或碳化。即使残留有碳化后的粘合剂树脂，也会因碳化而体积显著减少，由此石墨烯微粒以及碳纳米管的含有率增大，因此传热层10具有高的热传导率。
(a)石墨烯微粒
石墨烯微粒具有苯环二维连结而成的薄片状或板状的多层结构。石墨烯微粒由于具有苯环状的晶格结构，因此各碳原子与3个碳原子耦合，化学耦合中所用的4个外层电子中的1个处于自由的状态(成为自由电子)。由于自由电子能沿晶格移动，因此石墨烯微粒具有高的热传导率。
如图2所示，由于薄片状的石墨烯微粒31的板面部的轮廓是异常形状，因此将石墨烯微粒31的直径定义为具有相同面积S的圆的直径d。由于各石墨烯微粒31的尺寸用直径d以及厚度t来表征，因此所使用的石墨烯微粒31的平均直径用(∑d)/n[其中n为测定出的石墨烯微粒31的个数]来表征，平均厚度用(∑t)/n来表征。石墨烯微粒31的直径d以及厚度t能通过对石墨烯微粒31的显微镜照片进行图像处理来求得。
薄片状的石墨烯微粒的平均直径只要在5～100μm的范围内均可。在石墨烯微粒的平均直径不足5μm时，由于耦合的碳原子的长度不充分，因此，得到的传热层10的热传导率过小。另一方面，在石墨烯微粒的平均直径超过100μm时，通过喷射进行涂布就会变得困难。石墨烯微粒的优选的平均直径为5～50μm，更优选为10～30μm。石墨烯微粒的平均厚度只要在5～50nm的范围内均可。在石墨烯微粒的平均厚度不足5nm时，由于介于石墨烯微粒间的粘合剂树脂而导致传热层10的电阻变大。另一方面，在石墨烯微粒的平均厚度超过50nm超时，在使石墨烯微粒均匀分散于溶媒时石墨烯微粒易于破坏。石墨烯微粒的平均厚度优选为5～30nm，更优选为10～25nm。
(b)碳纳米管
碳纳米管是碳的六元环(苯环)的网络(石墨烯薄片)为单层或多层的同轴管状的物质，将单层的称作单壁纳米管，将多层的称作多壁纳米管。在本发明都能使用。碳纳米管一般具有0.4～50nm的直径。适于本发明的碳纳米管的长度一般为1～数十μm。细长的形状的碳纳米管通过均匀地分散在石墨烯微粒中而具有提升传热层的机械强度的作用。
碳纳米管相对于(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比为0.05～0.2。在碳纳米管的质量比不足0.05时，提升石墨烯微粒层的机械强度的效果不充分。另一方面，在碳纳米管的质量比超过0.2时，碳纳米管的均匀的分散变得困难，会部分出现凝集。碳纳米管的质量比优选为0.075～0.15。
(c)粘合剂树脂
粘合剂树脂只要在有机溶媒中可溶并能均匀地分散石墨烯微粒以及碳纳米管，就没有特别的限定，能举出聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯等的丙烯酸树脂、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯、ABS树脂、低立体规整性聚丙烯、无规立构聚丙烯等，但在这当中优选聚甲基丙烯酸甲酯、聚苯乙烯以及低立体规整性聚丙烯。
粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比越小，就越能实现传热层的高密度化以及高热传导率化。但是，在粘合剂树脂的比例过低时，传热层中的石墨烯微粒以及碳纳米管的紧贴强度不充分，传热层易于断裂。为了具有高的热传导率以及强度，优选将粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比设为0.01～0.1。粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比的上限更优选为0.08，最优选为0.06。粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比的下限只要能确保石墨烯微粒以及碳纳米管的粘结性就最好尽可能小，作为技术极限为0.01，在实用上为0.03。
(d)石墨烯微粒以及碳纳米管的均匀分布
在混合物层中的石墨烯微粒以及碳纳米管的分布不均匀时，产生如下问题：(a)由于石墨烯微粒以及碳纳米管的凝集而产生石墨烯微粒以及碳纳米管不充分的区域，散热薄膜没有所期望的热传导率；而且(b)热传导率的分布变得不均匀，在对应于各个电子设备或部件分割使用散热薄膜的情况下，做出热传导率不充分的分割片。为了得到热传导率的分布均匀的传热层，在各涂布工序都必须形成石墨烯微粒以及碳纳米管的分布均匀的混合物层。
如图3所示，若在混合物层中发生石墨烯微粒31以及碳纳米管32的凝集，则产生石墨烯微粒31以及碳纳米管32的凝集域35、和石墨烯微粒31以及碳纳米管32不存在或稀薄的区域。由于若存在石墨烯微粒31以及碳纳米管32不存在或稀薄的区域，则传热层10整体的热传导率降低，因此必须尽可能均匀地分散石墨烯微粒31以及碳纳米管32。
(e)表面电阻
本发明的散热薄膜还能作为电磁波屏蔽薄膜发挥功能。为了发挥充分的电磁波屏蔽功能，传热层10的表面电阻优选为20Ω/□以下，更优选为10Ω/□以下。用直流二端子法对切出为10cm×10cm的正方形状的传热层10的试验片测定表面电阻。
(f)厚度
传热层10的热传导率依赖于传热层10的厚度，但由于传热层10中对热传导率做出较大贡献的是石墨烯微粒以及碳纳米管，因此优选以每单位面积的石墨烯微粒以及碳纳米管的合计量来表征传热层10的厚度。以石墨烯微粒以及碳纳米管的每单位面积的合计量表征的传热层10的厚度优选为50～250g/m2，更优选为70～220g/m2，最优选为80～200g/m2。
(2)塑料薄膜
形成塑料薄膜的树脂只要具有绝缘性并且还有充分的强度、挠性以及可加工性，就没有特别的限定，例如能举出聚酯(聚对苯二甲酸乙二醇酯等)、聚芳撑硫醚(聚苯硫醚等)、聚醚砜、聚醚醚酮、聚酰胺、聚酰亚胺、聚烯烃(聚丙烯等)等。塑料薄膜的厚度可以为5～20μm程度。
(3)散热薄片的切断
由于考虑量产性而将散热薄片形成得比较大型的情况较多，因此在装备于小型的电子设备的情况下有时还必须切断成适当的尺寸。这种情况下，为了不使传热层10的切断面露出，优选使用在刀片的两侧有平坦部的切割器进行切断，并通过加热或超声波熔接塑料薄膜2的切断部。另外，如后述那样，也可以在将传热层10切断为给定的尺寸后层叠塑料薄膜2，在塑料薄膜2的部分进行切断。
[2]散热薄膜的制造装置以及方法
图6概略地表示制造散热薄膜的装置100。在图示的示例中具有左右一对分散液涂布单元。制造装置100具备：(a)具备第一塑料薄膜12a、12b的供给口41a、41b、热风供给口42a、42b、和排气口43的腔室4；(b)为了在第一塑料薄膜12a、12b形成混合物层11a、11b而设于腔室4的顶板以喷射含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液的一对喷嘴45a、45b；(c)用于以混合物层11a、11b为内侧来层叠形成有混合物层11a、11b的第一塑料薄膜12a、12b的一对辊46a、46b；(d)用于对得到的层叠薄膜1’进行热压的至少一对加热辊(图示的示例中为两对加热辊47a、47b、48a、48b)；(e)输送层叠薄膜1’的引导辊49；(f)用于从层叠薄膜1’剥离第一塑料薄膜12a、12b的一对辊101a、101b；(g)用于对露出的混合物层11进行烧成的单元(未图示)；(h)对通过烧成得到的烧成层110进行压制的单元120；(i)用于以一对第二塑料薄膜13a、13b包覆(密封)所得到的传热层10的一对辊102a、102b；和(j)用于卷绕所得到的散热薄膜1的卷轴60。从卷轴70a、70b回卷的第一塑料薄膜12a、12b经过多个引导辊供给到腔室4的左右的开口部41a、41b。
为了撑得住层叠工序以及热压工序，第一塑料薄膜12a、12b必须具有充分的机械强度以及耐热性。为此，第一塑料薄膜12a、12b优选设为比较的厚的耐热性树脂制的薄膜。作为耐热性树脂，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺等。第一塑料薄膜12a、12b的厚度优选10～50μm。第一塑料薄膜12能在剥离后再利用。
优选在涂布所述分散液的第一塑料薄膜12a、12b的表面预先形成脱模层。脱模层优选是铝蒸镀层。为了促进从分散液蒸发有机溶媒，优选在具有铝蒸镀层的第一塑料薄膜12a、12b形成大量的微细的贯通孔。贯通孔的平均直径优选为5～20μm程度，优选将贯通孔的数量设定为具有50秒以下的透气度(Gurley式透气度试验法JIS P 8117)。这样的贯通孔能通过利用金刚石辊进行的压制而形成。
但是，若覆盖传热层10的两面的低热传导率的塑料薄膜变厚，则散热薄片1的热传导率变低。为此，需要使覆盖传热层10的两面的塑料薄膜尽可能薄。如上述那样，第二塑料薄膜13a、13b的厚度优选为5～15μm。第二塑料薄膜13a、13b优选具有密封剂层，以便通过热层压法等牢固地热熔接在传热层10上。第二塑料薄膜13a、13b的材质可以与第一塑料薄膜12a、12b相同，但由于非常薄的聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜有出售，因此在实用上优选使用其。
在腔室4，在排气口43的左右设置一对开口垂直壁4a、4b，被各开口垂直壁4a、4b划分的区域是具有各喷嘴45a、45b的分散液涂布域14a、14b。在层叠用辊46a、46b的左右配置支承各第一塑料薄膜12a、12b的水平片44a、44b，各第一塑料薄膜12a、12b在各水平片44a、44b上水平移动。
(1)含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液的调制
含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的有机溶媒的分散液优选通过在石墨烯微粒以及碳纳米管的有机溶媒分散液中混合粘合剂树脂的有机溶媒溶液来调制。这是因为，由于石墨烯微粒以及碳纳米管易于凝集，因此若将石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂同时混合在有机溶媒中，则石墨烯微粒以及碳纳米管就有可能会凝集。在通过混合两溶液而得到的含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液中，石墨烯微粒的浓度优选为1～10质量％，更优选为2～7质量％。另外，碳纳米管的浓度优选为0.06～2.5质量％，更优选为0.1～1质量％。进而，粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比为0.01～0.1。碳纳米管/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比、以及粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比在混合物层也维持不变。
作为在分散液中所用的有机溶媒，优选易蒸发的有机溶媒，以使石墨烯微粒以及碳纳米管良好地分散，溶解粘合剂树脂，并使干燥时间较短。作为这样的有机溶媒的示例，能举出丁酮那样的酮类、己烷那样的脂肪族碳氢化合物类、二甲苯那样的芳香族碳氢化合物类、异丙醇那样的醇类。这当中，优选丁酮、二甲苯以及异丙醇。它们既可以单独使用，也可以混合使用。
(2)分散液的涂布、干燥
若一次将所期望的浓度的分散液涂布在塑料薄膜上，则如图3概略示出那样，可知在干燥过程中，分散液3中的石墨烯微粒31以及碳纳米管32会凝集。在图3中，35表示石墨烯微粒31以及碳纳米管32凝集的区域，33表示有机溶媒。潜心研究的结果，若分多次、每次尽可能少量地涂布分散液3，就能防止石墨烯微粒31以及碳纳米管32的凝集。在图4所示的第1次的涂布中，由于分散液的量较少，因此得到的分散液层3a的厚度相对于石墨烯微粒31以及碳纳米管32充分小，即使使分散液层3a干燥，石墨烯微粒31以及碳纳米管32也不会凝集，维持分散的状态。因此，在使分散液层3a干燥而成的混合物层3a’中，通过极少量的粘合剂树脂而耦合的石墨烯微粒31以及碳纳米管32大致均匀地分布。
一次涂布的分散液的量，作为石墨烯微粒以及碳纳米管的每单位面积的合计重量，优选为5～30g/m2，更优选为7～20g/m2。若分散液的涂布量不足5g/m2，则混合物层的形成过分花时间，另外，若超过30g/m2，则易于发生石墨烯微粒以及碳纳米管的凝集。为了均匀涂布这样的少量的分散液，优选喷射法。
在使分散液层3a干燥后进行下一次涂布。分散液层3a的干燥可以是自然干燥，但为了缩短涂布工序的时间，也可以加热到塑料薄膜不发生变形的程度。加热温度根据所使用的有机溶媒的沸点来决定。例如，在使用丁酮的情况下，加热温度优选为30～100℃，更优选为50～80℃。干燥不需要进行到涂布的分散液层3a中的有机溶媒完全蒸发，只要干燥到在下一次涂布中石墨烯微粒以及碳纳米管不发生游离的程度即可。
若在干燥后的第一混合物层3a’上进行第2次的分散液的涂布，则如图5中概略示出的那样，不使第一混合物层3a’实质溶解地形成新的分散液层3b。若使分散液层3b干燥，则成为与第一混合物层3a’一体的第二混合物层。若如此反复多次分散液的涂布以及干燥的循环，就得到了石墨烯微粒平行排列、碳纳米管均匀分散的比较厚的一体的混合物层。分散液的涂布以及干燥的循环的次数根据要形成的混合物层的厚度来决定。
为了在图6所示的装置100中进行上述分散液的涂布、干燥工序，首先使从卷轴70a、70b回卷的各第一塑料薄膜12a、12b在腔室4内停止。在该状态下，通过各喷嘴45a、45b对位于分散液涂布域14a、14b的各第一塑料薄膜12a、12b的部分均匀地喷射分散液。为了达成分散液的均匀的涂布，各喷嘴45a、45b能自由移动。通过热风来使形成在各第一塑料薄膜12a、12b上的分散液层干燥。反复多次该分散液的涂布以及干燥的工序，在各第一塑料薄膜12a、12b上形成给定的厚度的混合物层11a、11b。
(3)混合物层的层叠以及热压
通过以混合物层11a、11b为内侧用一对辊46a、46b来层叠形成有混合物层11a、11b的第一塑料薄膜12a、12b，从而混合物层11a、11b彼此粘接，成为一体的混合物层11。
为了通过层叠使混合物层11a、11b彼此完全熔接，优选将层叠用辊46a、46b加热到高温。层叠用辊46a、46b的温度根据粘合剂树脂的种类不同而改变，一般优选100～250℃，更优选150～200℃。层叠用辊对46a、46b的压接压力也可以不用较大，例如可以为1～10MPa。
另一方面，对间歇到达分散液涂布域14a、14b的各第一塑料薄膜12a、12b的新的部分反复多次分散液的涂布以及干燥的工序，形成给定的厚度的混合物层11a、11b。如此，通过在反复多次分散液的涂布以及干燥的工序后，间歇地放出各第一塑料薄膜12a、12b，从而形成在一对第一塑料薄膜12a、12b间间歇地具有混合物层11的层叠薄膜1’。
如图4以及图5所示那样，由于在分散液层3a中大致均匀地分散有石墨烯微粒31以及碳纳米管32，因此若使分散液层3a干燥，则仅石墨烯微粒31以及碳纳米管32间的有机溶媒蒸发，在通过极少量的粘合剂树脂而耦合的石墨烯微粒31以及碳纳米管32间残留有缝隙。由于将在石墨烯微粒31以及碳纳米管32间有缝隙的混合物层3a’层叠多层而得到的混合物层11a、11b也是多孔质，因此仅层叠具有混合物层11a、11b的第一塑料薄膜12a、12b得不到致密的混合物层11。
为此，需要用设于下游的多个热压辊对47a、47b、48a、48b对通过层叠用辊对46a、46b而得到的层叠薄膜1’进行热压。热压条件根据粘合剂树脂的种类而不同，但优选为100～250℃的温度以及20MPa(约200kgf/cm2)以上的压力。若热压温度不足100℃，则不能达成传热层10的充分的致密化。另外，使热压温度超过250℃，也由于粘合剂树脂的流动化效果已经达到极限，因此并不经济的。热压温度优选为120～200℃，更优选为150～180℃。在热压压力不足20MPa时，不能达成混合物层11的充分的致密化。
热压用辊对47a、47b、48a、48b既可以是一级，也可以是多级，但为了制造具有充分致密的混合物层11的层叠薄膜1’，优选设为多级。能对应于压下率来适宜设定热压用辊47a、47b、48a、48b的级数。
(4)混合物层的烧成
热压后的混合物层11因粘合剂树脂的流动而缘部有些不规则，因此也可以在烧成前，例如如图7那样沿虚线111切断为给定的形状以及尺寸。混合物层11的烧成优选通过(a)照射火炎、或(b)在大气中、真空中或惰性气体中暴露在500℃以上的高温中来进行。
在通过火炎照射来进行烧成的情况下，例如如图8(a)所示那样，将切断后的混合物层112载置于金属网113上，用从燃烧器114喷出的约900～1200℃的火炎进行烧成。烧成可以在混合物层112的单面进行，但优选在两面进行。暴露于燃烧器114的火炎的混合物层112中的粘合剂树脂烧损。为了防止石墨烯微粒以及碳纳米管的过剩的烧损，优选使火炎照射时间尽可能短，短到数秒程度。
图8(b)表示烧成混合物层112的另外方法。在该方法中，使用由具有空腔的下模121和比空腔稍大的上模122构成的金属模，在将混合物层112放入下模121后，将上模122载置在混合物层112上，并放置在一对加热器123a、123b间，来进行混合物层112的加热。加热器123a、123b的温度可以是约500～1000℃，另外，将加热时间设定为不会使粘合剂树脂的碳化过度进行。在该方法中，由于热处理中混合物层112几乎不与大气接触，因此能防止石墨烯微粒以及碳纳米管的燃烧。
在将混合物层暴露于大气中500℃以上的高温下的情况下，为了防止石墨烯微粒以及碳纳米管的过剩的烧损，优选使加热温度为500～700℃，更优选500～650℃。因混合物层的烧成而粘合剂树脂发生烧损或碳化。由于因粘合剂树脂的烧损或碳化而体积减少，因此，若通过压制而使所产生的空隙消失，则石墨烯微粒以及碳纳米管成为更高密度，由此得到具有高的热传导率的传热层10。
在真空中或惰性气体中暴露于500℃以上的高温下的情况下，优选将制作的多个混合物层放入电炉等中，使内部的气氛为真空或惰性气体，并暴露在500℃以上的高温下。该方法有不仅能防止石墨烯微粒以及碳纳米管的燃烧，还能同时处理大量的混合物层的好处。由于在气氛中没有氧，因此可以使加热温度的上限为约1000℃。在真空中或惰性气体中暴露在高温下的粘合剂树脂不燃烧地发生碳化。如上述那样，粘合剂树脂通过在混合物层的烧成处理中使用的方法而燃烧或碳化，但在本申请说明书中，在任何情况下都仅称作“烧成”。
(5)烧成层的压制
为了使通过混合物层112的烧成而得到的烧成层131致密化，如图9(a)以及图9(b)所示那样，使用由具有空腔141a的下模141、和具有与空腔141a卡合的凸部142a的上模142构成的金属模140。在图示的示例中，空腔141a在长边方向上贯通下模141，具有与烧成层131相同的宽度。如图10所示那样，在将烧成层131载置在空腔141a内后，将上模142置于下模141上，使得凸部142a覆盖烧成层131。此时，由于烧成层131的厚度充分小于空腔141a的深度，因此上模142的凸部142a进入到空腔141a内。由此，能使上模142相对于下模141正确地定位。
如图10、图11(a)以及图11(b)所示那样，使烧成层131致密化的压制单元具备：(a)由夹着烧成层131而组合的下模141以及上模142构成的金属模140；(b)用于对金属模140加压的一对辊103a、103b；(c)在辊103a、103b的间隙的上游侧以及下游侧延伸存在的引导板143a、143b；和(d)使金属模140沿引导板143a、143b通过一对加压辊103a、103b的间隙地往复移动的单元(未图示)。
一对加压辊103a、103b中的下方的加压辊103a是驱动辊，上方的加压辊103b是从动辊。若使从动辊103b的直径稍小于驱动辊103a的直径，则能防止因加压而上模142翘曲。将金属模140的往复移动的范围设为充分长于烧成层131的范围。往复移动可以是1次～多次。也可以每当通过加压辊103a、103b的间隙就加大施加于金属模140的加压力。烧成层131通过使用了金属模140的压制而成为传热层10。
若通过振动电动机(未图示)对下方的加压辊103a赋予振动，则烧成层131的致密化得到促进。振动频率优选为50～500Hz，更优选为100～300Hz。
图12(a)以及图12(b)是用在使烧成层致密化的压制单元中的金属模的另外示例。该金属模150由具有上下贯通的空腔151a的模主体151、从上方进入空腔151a的上冲头152a、和从下方进入空腔151a的下冲头152b。在使下冲头152b进入到空腔151a后，在下冲头152b上载置烧成层131，使从上方进入空腔151a的上冲头152a下降，对烧成层131加压来使其致密化。若对上冲头152a赋予与上述相同的振动，就能得到更大的加压效果。
(6)传热层的密封
得到的传热层10由于压制而缘部有些不规则，因此，有如下情况：(1)如图13所示那样沿虚线161切除传热层10的缘部，使其成为给定的尺寸的传热层10a；或者(2)如图14所示那样，沿虚线162将传热层10分割为最终大小的传热层10b。在图14所示的情况下，能任意设定传热层10b的尺寸、形状以及数量。
在图13所示的大的传热层10a的情况下，用一对辊102a、102b如图15所示那样层叠以给定的间隔粘贴了传热层10a的一方的第二塑料薄膜13a、和另一方的第二塑料薄膜13b，将得到的层叠薄膜按每个传热层10a而切断，得到各个散热薄膜。若在第二塑料薄膜13a形成粘着层，粘贴的传热层10a的位置就不会偏离。另外，优选通过热层压法来进行隔着传热层10a的第二塑料薄膜13a、13b的层叠。
在图14所示那样切断为最终大小的传热层10b的情况下，首先用一对辊102a、102b如图17所示那样层叠如图16(a)所示那样以给定的间隔粘贴了多个传热层10b的一方的第二塑料薄膜13a、和另一方的第二塑料薄膜13b，得到图18所示的层叠薄膜。如图18所示那样，沿虚线163分割层叠薄膜，得到各个散热薄膜。
如图19所示那样，各个传热层10a(10b)被一对第二塑料薄膜13a、13b夹着，第二塑料薄膜13a、13b的缘部被热封。
通过以下的实施例进一步详细说明本发明，但本发明并不限定于这些实施例。
实施例1～5、以及比较例1以及2
将以表1所示的比例含有薄片状的石墨烯微粒(XG Sciences公司制的“H-25”、平均直径：25μm、平均厚度：约15nm)、碳纳米管(CNT、平均直径：10～50nm、平均长度：约25μm)、和聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)的有机溶媒(二甲苯和异丙醇的6/4的质量比的混合溶媒)的分散液涂布到厚度30μm的2片铝蒸镀聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)薄膜(第一塑料薄膜)12a、12b的各自的铝蒸镀面，在40℃下干燥2分钟，形成厚度20g/m2(以每1m2的石墨烯微粒+碳纳米管的克数表征)的石墨烯微粒/碳纳米管/PMMA的涂布层。合计反复5次该步骤，在各PET薄膜12a、12b形成石墨烯微粒/碳纳米管/PMMA的混合物层11a、11b(厚度100g/m2)。另外，用金刚石辊在上述铝蒸镀PET薄膜形成贯通孔，以使得具有50秒以下的透气度(Gurley式透气度试验法JIS P 8117)。
[表1]
注：(1)石墨烯微粒H-25。
(2)碳纳米管。
(3)聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)。
(4)二甲苯和异丙醇的混合溶媒(二甲苯/异丙醇的质量比＝6/4)。
如图6所示那样使混合物层11a、11b成为内侧地用一对辊46a、46b在120℃下层叠具有混合物层11a、11b的一对各PET薄膜12a、12b，接下来，用150℃的多对加热辊47a、47b、48a、48b以20MPa进行热压，形成具有混合物层11的层叠薄膜1’。
在从层叠薄膜1’剥离了两方的PET薄膜12a、12b后，在650℃的大气气氛的炉中保持30分钟，进行了混合物层11的烧成。将得到的烧成层放入图9所示的金属模140的空腔141a，一边赋予200Hz的振动一边如图11(a)以及图11(b)所示那样用一对辊103a、103b以6吨的荷重反复加压。
在将得到的传热层10切断为给定的尺寸后，测定其密度、比热以及面内方向及厚度方向的热扩散率(m2/s)。根据热扩散率与热容量(密度×比热)之积来求取热传导率(W/mK)。在表2示出传热层10的密度以及面内方向及厚度方向的热扩散率及热传导率。另外，在图20示出碳纳米管/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比、和传热层的面内方向的热传导率的关系。
[表2]
如根据表1及表2以及图20所明确的那样，与不含碳纳米管的比较例1的传热层以及过剩含有碳纳米管的比较例2的传热层相比，碳纳米管/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比处于0.05～0.2的范围内的实施例1～5的传热层具有显著高的热传导率。比较例2的传热层的热传导率特别低认为是在过剩的碳纳米管中发生了凝集。
进行90°的折弯试验的结果，在实施例1～5的传热层未产生裂纹或断裂。由此可知，实施例1～5的传热层具有充分的耐弯折断裂性。与此相对，比较例1以及2的传热层因90°的折弯试验而断裂。其原因认为是，比较例1的传热层不含碳纳米管，另外在比较例2的传热层中过剩的碳纳米管发生了凝集。
另外，如图15所示那样，将传热层10a粘贴在一方的PET薄膜13a上，通过一对辊102a、102b与另一方的PET薄膜13b层叠。将得到的层叠薄膜1’切断，得到各个散热薄膜。
实施例6
对与实施例5相同的组成的烧成层的压制压力进行变更，制作了密度不同的传热层。在图21示出传热层的密度和面内方向的热传导率的关系。从图21可知，若密度增大，则面内方向的热传导率也增大。
实施例7
将分散液中的PMMA的浓度分别变更为0.2质量％、0.5质量％以及1.0质量％，除此以外与实施例3相同地形成传热层。测定各传热层的热传导率的结果，与实施例3没有不同。据此可知，只要碳纳米管/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比相同，即使在本发明的范围内变更粘合剂树脂的比例，也能得到相同的热传导率。
本发明的散热薄膜由于具有含有石墨烯微粒以及碳纳米管的传热层，因此具有高的热传导率，并且即使弯折也不易断裂。另外，本发明的方法以及装置在通过热压使由石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂构成的混合物层致密化后进行烧成，通过对得到的烧成层进行压制来形成致密的传热层，因此传热层不仅高密度、具有高的热传导率，还有良好的耐弯折断裂性，另外在性能上没有偏差。进而，由于通过在塑料薄膜上涂布石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液来形成混合物层，因此能将制造成本抑制得较低。具有这样的特征的本发明的散热薄膜适于使用在笔记本型个人计算机、智能手机、平板终端、便携式电话等小型的电子设备中。

Claims (11)

1.一种散热薄膜，具有石墨烯微粒以及碳纳米管均匀分散而成的传热层，所述散热薄膜的特征在于，
所述碳纳米管相对于所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管的合计的质量比为0.05～0.2，所述石墨烯微粒在所述传热层的面方向上实质平行地排列，并且所述传热层具有1.9g/cm3以上的密度以及600W/mK以上的热传导率。
2.根据权利要求1所述的散热薄膜，其特征在于，
在以每1m2的石墨烯微粒以及碳纳米管的合计重量来表征所述传热层的厚度时，所述传热层的厚度为50～250g/m2。
3.根据权利要求1或2所述的散热薄膜，其特征在于，
所述传热层被塑料薄膜包覆。
4.一种散热薄膜的制造方法，是制造散热薄膜的方法，所述散热薄膜具有石墨烯微粒以及碳纳米管均匀分散而成的传热层，所述碳纳米管相对于所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管的合计的质量比为0.05～0.2，所述石墨烯微粒在所述传热层的面方向上实质平行地排列，所述散热薄膜的制造方法的特征在于，
(1)以一对第一塑料薄膜夹着混合物层，形成层叠薄膜，所述混合物层以所述质量比含有所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管、并含有相对于所述石墨烯微粒以及所述碳纳米管的合计量为0.01～0.1的质量比的粘合剂树脂，
(2)通过对所述层叠薄膜进行热压来使所述混合物层致密化，
(3)对通过所述第一塑料薄膜的剥离而露出的所述混合物层进行烧成，
(4)通过对得到的烧成层进行压制，来得到致密化的传热层，
(5)用第二塑料薄膜或绝缘性树脂包覆所述致密化的传热层。
5.根据权利要求4所述的散热薄膜的制造方法，其特征在于，
在将含有合计5～25质量％的石墨烯微粒以及碳纳米管、和0.05～2.5质量％的粘合剂树脂，且粘合剂树脂/(石墨烯微粒+碳纳米管)的质量比为0.01～0.1的有机溶媒分散液涂布在第一塑料薄膜的一面后进行干燥，通过将该工序反复多次来形成所述混合物层。
6.根据权利要求4所述的散热薄膜的制造方法，其特征在于，
在以每1m2的石墨烯微粒以及碳纳米管的合计重量来表征所述分散液的1次的涂布量时，将所述分散液的1次的涂布量设为5～30g/m2。
7.根据权利要求4所述的散热薄膜的制造方法，其特征在于，
所述第一塑料薄膜在涂布所述分散液的面具有脱模层。
8.根据权利要求4～7中任一项所述的散热薄膜的制造方法，其特征在于，
通过使所述层叠薄膜通过至少一对加热辊间来对所述层叠薄膜进行热压。
9.一种散热薄膜的制造装置，其特征在于，具备：
(a)输送一对第一塑料薄膜的单元；
(b)分散液涂布单元，其针对各第一塑料薄膜被配置至少1个，分多次在所述第一塑料薄膜涂布含有石墨烯微粒、碳纳米管以及粘合剂树脂的分散液；
(c)使所述分散液在每次涂布时干燥的单元；
(d)使所述石墨烯微粒、所述碳纳米管和所述粘合剂树脂的混合物层为内侧来层叠所得到的具有所述混合物层的一对所述第一塑料薄膜的单元；
(e)对得到的层叠薄膜进行热压的单元；
(f)从所述层叠薄膜剥离所述第一塑料薄膜的单元；
(g)对露出的所述混合物层进行烧成的单元；
(h)使得到的烧成层致密化来得到传热层的压制单元；和
(i)用第二塑料薄膜或绝缘性树脂包覆所述传热层的单元。
10.根据权利要求9所述的散热薄膜的制造装置，其特征在于，
所述散热薄膜的制造装置具备：
沿各第一塑料薄膜的行进方向以给定的间隔配置的多个分散液涂布单元。
11.根据权利要求9或10所述的散热薄膜的制造装置，其特征在于，
在腔室内配置一对分散液涂布单元以及层叠用辊，所述腔室具备：
各第一塑料薄膜进入的第一开口部；
设置在所述第一开口部的近邻的一对热风供给口；
排气口；和
取出所述层叠薄膜的第二开口部。
CN201410575563.3A 2013-10-25 2014-10-24 散热薄膜和其制造方法 Active CN104582428B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810125452.0A CN108189490B (zh) 2013-10-25 2014-10-24 散热薄膜的制造装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013222128A JP5490957B1 (ja) 2013-10-25 2013-10-25 放熱フィルム、並びにその製造方法及び装置
JP2013-222128 2013-10-25

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810125452.0A Division CN108189490B (zh) 2013-10-25 2014-10-24 散热薄膜的制造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104582428A true CN104582428A (zh) 2015-04-29
CN104582428B CN104582428B (zh) 2019-03-19

Family

ID=50792270

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810125452.0A Active CN108189490B (zh) 2013-10-25 2014-10-24 散热薄膜的制造装置
CN201410575563.3A Active CN104582428B (zh) 2013-10-25 2014-10-24 散热薄膜和其制造方法

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810125452.0A Active CN108189490B (zh) 2013-10-25 2014-10-24 散热薄膜的制造装置

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20150118482A1 (zh)
EP (1) EP2865729B1 (zh)
JP (1) JP5490957B1 (zh)
KR (1) KR20150048074A (zh)
CN (2) CN108189490B (zh)
TW (1) TWI637049B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105802589A (zh) * 2016-05-09 2016-07-27 中国石油大学(北京) 一种高强度导热膜及其制备方法
CN105899053A (zh) * 2016-06-23 2016-08-24 柯良节 一种石墨烯散热薄膜
CN106802106A (zh) * 2017-02-21 2017-06-06 广东万家乐燃气具有限公司 一种换热高效防腐蚀的带石墨烯保护膜的换热器制备方法
CN107531488A (zh) * 2015-05-13 2018-01-02 昭和电工株式会社 碳纳米管复合片的制造方法
CN108235670A (zh) * 2016-12-15 2018-06-29 台虹科技股份有限公司 电磁干扰屏蔽膜
CN108910863A (zh) * 2018-06-26 2018-11-30 中科钢研节能科技有限公司 一种智能石墨烯导热膜及其制备方法
CN110832050A (zh) * 2017-07-13 2020-02-21 惠普发展公司，有限责任合伙企业 一种或多种涂料组合物

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015076098A1 (ja) * 2013-11-19 2015-05-28 日本碍子株式会社 断熱膜、および断熱膜構造
WO2015115667A1 (ja) * 2014-01-31 2015-08-06 日本碍子株式会社 多孔質板状フィラー
JP6448558B2 (ja) * 2014-02-10 2019-01-09 日本碍子株式会社 多孔質板状フィラー集合体及びその製造方法、並びに多孔質板状フィラー集合体を含む断熱膜
EP3135737B1 (en) * 2014-04-23 2019-12-04 NGK Insulators, Ltd. Porous plate-shaped filler, method for producing same, and heat insulation film
JP5582553B1 (ja) * 2014-05-02 2014-09-03 清二 加川 高熱伝導率の放熱シート及びその製造方法
US9713820B2 (en) * 2014-06-02 2017-07-25 The Boeing Company System and method of forming a nanotube mesh structure
US11857004B2 (en) * 2014-11-14 2024-01-02 Gentherm Incorporated Heating and cooling technologies
KR101644559B1 (ko) * 2015-01-13 2016-08-02 한국과학기술연구원 고열전도성 하이브리드 시트 및 그 제조방법
JP6455336B2 (ja) * 2015-06-23 2019-01-23 日本ゼオン株式会社 熱伝導シートおよびその製造方法
JP6543161B2 (ja) * 2015-07-27 2019-07-10 積水化学工業株式会社 熱伝導部材、熱伝導部材積層体及び熱伝導部材成形体
CN105101755B (zh) * 2015-08-31 2017-12-15 天奈(镇江)材料科技有限公司 导热结构及散热装置
TWI690257B (zh) * 2015-08-31 2020-04-01 英屬維爾京群島商新奈科技有限公司 導熱結構及散熱裝置
JP2017056579A (ja) * 2015-09-15 2017-03-23 日本ゼオン株式会社 カーボンナノチューブ積層シートの製造方法
CN108138636B (zh) * 2015-10-23 2020-11-24 日本碍子株式会社 废热回收器
CN105523547B (zh) * 2016-01-25 2017-09-29 浙江大学 一种超柔性高导热石墨烯膜及其制备方法
EP3409471B1 (en) * 2016-01-29 2022-03-02 Suzhou Institute of Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Academy of Sciences Use of carbon nanotube aggregate in preparing nanocarbon impact resistant material and method for preparing nanocarbon impact resistant material
TWI627894B (zh) * 2016-02-15 2018-06-21 鈺冠科技股份有限公司 使用奈米材料的電磁波防護帶
CN105702644A (zh) * 2016-02-18 2016-06-22 东莞迪蜂金属材料科技有限公司 一种铝合金石墨烯散热制品及制备方法
TWI602499B (zh) * 2016-08-08 2017-10-11 鈺冠科技股份有限公司 使用奈米材料的複合式導熱片及其製作方法
US10117355B2 (en) * 2016-08-29 2018-10-30 Chemnova Technologies, Inc. Heat dissipation foil and methods of heat dissipation
CN106166865A (zh) * 2016-08-30 2016-11-30 无锡市中星工业胶带有限公司 一种阻燃抗静电bopet复合膜
CN106183214A (zh) * 2016-08-30 2016-12-07 无锡市中星工业胶带有限公司 一种抗紫外、耐热bopet膜
CN106550585A (zh) * 2016-09-13 2017-03-29 华为机器有限公司 一种散热片及其制备方法和通信设备
WO2018067104A1 (en) 2016-10-03 2018-04-12 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Multilayer housings
CN207099513U (zh) * 2017-09-05 2018-03-13 陈庆洪 一种散热功能良好的防护等级达65级及以上的电气机箱
US10872840B2 (en) * 2018-01-19 2020-12-22 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Thermal conductive sheet
JP7139627B2 (ja) * 2018-03-07 2022-09-21 日本ゼオン株式会社 不織布およびその製造方法
CN113167510A (zh) 2018-11-30 2021-07-23 金瑟姆股份公司 热电调节系统和方法
KR102564273B1 (ko) * 2018-12-19 2023-08-07 삼성전자주식회사 디스플레이장치
CN109776103B (zh) * 2019-01-17 2021-07-09 郑州中科新兴产业技术研究院 一种三维石墨烯/碳纳米管复合散热材料的制备方法
CN110564335A (zh) * 2019-08-13 2019-12-13 深圳烯湾科技有限公司 碳纳米管电磁屏蔽散热薄膜及其制备方法
US11483948B2 (en) 2019-08-28 2022-10-25 Laird Technologies, Inc. Thermal interface materials including memory foam cores
CN111154461B (zh) * 2020-01-06 2021-10-08 宁波石墨烯创新中心有限公司 定向组装石墨烯、石墨烯-碳纳米管复合导热膜及其制备方法
US11248852B2 (en) * 2020-07-06 2022-02-15 Dell Products L.P. Graphite thermal cable and method for implementing same

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0967423A2 (de) * 1998-06-27 1999-12-29 Sgl Technik Gmbh Packungsgarn aus Graphit- und Metallfolie
US20120219719A1 (en) * 2009-11-03 2012-08-30 Jong-Sam Yu Method of manufacturing composite carbon sheet using expanded graphite sheet and mixed dispersion solution

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006306068A (ja) 2005-03-29 2006-11-09 Kaneka Corp 熱伝導シート
JP5116082B2 (ja) * 2007-04-17 2013-01-09 住友精密工業株式会社 高熱伝導複合材料
US20100000441A1 (en) * 2008-07-01 2010-01-07 Jang Bor Z Nano graphene platelet-based conductive inks
JP2010253730A (ja) * 2009-04-22 2010-11-11 Sumitomo Electric Ind Ltd 放熱材料、プリント基板およびプリント基板の製造方法
KR101470524B1 (ko) * 2009-06-30 2014-12-08 한화케미칼 주식회사 혼화성이 증대된 복합탄소소재 및 이의 연속적인 제조 방법
JP5747421B2 (ja) * 2010-12-02 2015-07-15 国立研究開発法人物質・材料研究機構 カーボンナノチューブ連結のグラフェンシートフィルムとその製造方法及びそれを用いたグラフェンシートキャパシター
JP5691524B2 (ja) 2011-01-05 2015-04-01 ソニー株式会社 グラフェン膜の転写方法および透明導電膜の製造方法
JP2012211259A (ja) 2011-03-31 2012-11-01 Panasonic Corp 熱伝導シート
EP2562766A1 (de) * 2011-08-22 2013-02-27 Bayer MaterialScience AG Kohlenstoffnanoröhren und Graphenplättchen umfassende Dispersionen
CN103219066B (zh) * 2012-01-19 2016-08-03 中国科学院上海硅酸盐研究所 二维石墨烯与一维纳米线复合的柔性导电薄膜及其制备方法
TWI472484B (zh) * 2012-10-09 2015-02-11 Taiwan Textile Res Inst 順向排列石墨烯片高分子複合材料及其製造方法
JP5674986B1 (ja) * 2013-08-12 2015-02-25 加川　清二 放熱フィルム、並びにその製造方法及び装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0967423A2 (de) * 1998-06-27 1999-12-29 Sgl Technik Gmbh Packungsgarn aus Graphit- und Metallfolie
US20120219719A1 (en) * 2009-11-03 2012-08-30 Jong-Sam Yu Method of manufacturing composite carbon sheet using expanded graphite sheet and mixed dispersion solution

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107531488A (zh) * 2015-05-13 2018-01-02 昭和电工株式会社 碳纳米管复合片的制造方法
CN105802589A (zh) * 2016-05-09 2016-07-27 中国石油大学(北京) 一种高强度导热膜及其制备方法
CN105899053A (zh) * 2016-06-23 2016-08-24 柯良节 一种石墨烯散热薄膜
CN108235670A (zh) * 2016-12-15 2018-06-29 台虹科技股份有限公司 电磁干扰屏蔽膜
CN106802106A (zh) * 2017-02-21 2017-06-06 广东万家乐燃气具有限公司 一种换热高效防腐蚀的带石墨烯保护膜的换热器制备方法
CN110832050A (zh) * 2017-07-13 2020-02-21 惠普发展公司，有限责任合伙企业 一种或多种涂料组合物
US11309229B2 (en) 2017-07-13 2022-04-19 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Coating composition(s)
CN108910863A (zh) * 2018-06-26 2018-11-30 中科钢研节能科技有限公司 一种智能石墨烯导热膜及其制备方法
CN108910863B (zh) * 2018-06-26 2020-05-15 中科钢研节能科技有限公司 一种石墨烯导热膜及其制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP5490957B1 (ja) 2014-05-14
CN104582428B (zh) 2019-03-19
TWI637049B (zh) 2018-10-01
EP2865729B1 (en) 2017-08-09
CN108189490B (zh) 2020-04-03
US20190338176A1 (en) 2019-11-07
KR20150048074A (ko) 2015-05-06
US20150118482A1 (en) 2015-04-30
CN108189490A (zh) 2018-06-22
JP2015084359A (ja) 2015-04-30
TW201534710A (zh) 2015-09-16
EP2865729A1 (en) 2015-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104582428A (zh) 散热薄膜、和其制造方法以及装置
CN105451985B (zh) 散热膜、以及其制造方法及装置
TWI569700B (zh) 導電性圖案生成方法
TWI317303B (en) Method of applying and drying liquid
US20190069389A1 (en) Heat-dissipating sheet having high thermal conductivity and its production method
JP5980673B2 (ja) 放熱フィルム、並びにその製造方法及び装置
WO2011052641A1 (ja) 導体パターンの形成方法及び導体パターン
TW201215266A (en) Mechanical sintering of nanoparticle inks and powders
TW201418148A (zh) 奈米碳管複合成形體的製造方法及製造裝置
CN106573779B (zh) 导热片材及其制造方法
CN109563363A (zh) 用于生产高度导电性铜图案的制剂和工艺
TW201414057A (zh) 鋰離子電池之製造方法及鋰離子電池之製造裝置
JP5882936B2 (ja) 放熱フィルムの製造方法及び装置
KR101432530B1 (ko) 천연 그라파이트와 합성 그라파이트를 적층한 열확산시트 및 그 제조방법
JP4743002B2 (ja) 接合方法
JP6202763B2 (ja) 基板上に薄膜導体を形成する方法
JP5354037B2 (ja) 導電性基板の製造方法
JP2018070762A (ja) 液晶ポリマーパウダー、ペースト、樹脂多層基板、および樹脂多層基板の製造方法
JP2021097070A (ja) 電子部品の製造方法及び電子部品
JP2019026920A (ja) 金属−炭素粒子複合材の製造方法
JP2015111561A (ja) 導電性基材の製造方法、配線板の製造方法、及びこれらの製造方法に用いられるプラズマ装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant