CN104576293B - 双端型短弧闪光灯 - Google Patents

Abstract

一种双端型短弧闪光灯，在发光管的内部具有一对主电极和一对启动辅助电极，在该发光管的一端部的封固管中插入并熔敷有封固用玻璃管而成，其构造是：在上述封固管和封固用玻璃管的熔敷时，在其间配置的启动辅助电极的内部引线及外部引线位置不偏移，能够得到其前端的启动辅助电极的正确的相对位置，内部引线及外部引线与金属箔之间的焊接部位不发生损伤，并且，不需要用于位置固定的多余部件而能够缩小封固管外径从而能够减小遮光区域。该双端型短弧闪光灯的特征在于，在封固用玻璃管与第2封固管相重合的区域中的玻璃管的外周，形成有在管轴方向上延伸的引线收纳槽部，启动辅助电极的内部引线和外部引线收纳于槽部，并且经由金属箔相互电连接。

Description

双端型短弧闪光灯

技术领域

本发明涉及双端型短弧闪光灯，特别是涉及一方的封固管部分采用二重管构造的双端型短弧闪光灯。

背景技术

进行闪光点亮的放电灯被广泛用于以半导体制造工序中的闪光退火(flashanneal)为代表的产业用途，本发明的灯特别是在利用真空紫外光的曝光工序中被使用。

在上述曝光工序中所要求的是，能够在短时间内向小区域照射高密度的光，光的方向性及分布中不均匀比较少，使用接近于平行光的光。

以往，在该曝光工序中，主要使用日本特开2012－43736号公报(专利文献1)所示那样的真空管形状的闪光灯。该灯中，主电极间距离与进行一般的闪光点亮的灯相比较小，能够作为接近于点光源的光源来使用。

但是，由于具有真空管构造，所以需要在单侧的端部封固两主电极及触发电极(启动用辅助电极)，在使对装置、电源的连接部(灯头)为圆柱状构造的情况下，尤其会导致外径尺寸增大。因此，在具有反射器等的光学系统内部使用该灯的情况下，由灯头构造等引起的遮光区域增大，结果导致来自光学系统的光输出降低的问题。

针对这些问题，日本特开2012－94362号公报(专利文献2)中公开了这样的技术，即：采用在灯泡的两侧配置封固部的所谓双密封(double seal)型构造，从而使上述的遮光区域变小。

如图6所示，在双端型短弧闪光灯中，在发光管1的两端连接设置有第1封固管2和第2封固管3。并且，在上述第2封固管3中插入了封固用玻璃管4，将两者熔敷(对应日语：溶着)。

在发光管1内对置地配置有一对的第1主电极5和第2主电极6。上述第1主电极5的芯线7通过过渡(段継)玻璃等机构而被支承并封固于第1封固管2并被导出到其外方，另一方面，上述第2主电极6的芯线8通过过渡玻璃等机构而被支承并封固于上述封固用玻璃管4并被导出到其外方。

在发光管1内的主电极5、6之间配设有一对启动辅助电极10、11，内部引线12、15和外部引线13、16分别在上述第2封固管3与封固用玻璃管4之间的熔敷区域中经金属箔14、17电连接。

根据这样的双端型短弧闪光灯，通过在灯泡的两端部配置封固部，能够使上述的遮光区域变小。

但是，在这样的灯中，如图7所示，采用在圆筒状的第2封固管3和封固用玻璃管4之间将金属箔14和内部引线12封固的构造，因此在封固时内部引线12、15及外部引线13、16容易在圆周方向上移动，特别是，会在内部引线12、15的位置调整、即启动辅助电极10、11的位置调整方面花费功夫，并且难以得到正确的相对位置，会发生大的偏移。

结果，产生启动辅助电极10、11彼此的间隔宽于或窄于规定值的现象，存在难以可靠地产生灯启动时的放电这样的问题。

进而，若在封固操作时金属箔14、17以及内部引线12、15和外部引线13、16产生了位置偏移，则还具有金属箔与内部引线、外部引线之间的焊接部位偏离或产生脱箔(箔切れ)的情况。

为了消除这样的位置偏移，如图6所示，若采用在一对内部引线12、15间设置位置固定用的支持件20、进行启动辅助电极10、11间的定位的构造，则该构造复杂，并且第2封固管3的外径变大，结果，还具有将灯与装置连接的灯头直径变大、相应地遮光区域变大这样的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012－43736号公报

专利文献2：日本特开2012－94362号公报

发明内容

发明所要解决的问题

鉴于上述以往技术的问题点，本发明要解决的课题在于提供一种双端型短弧闪光灯，其中，在玻璃制的发光管的内部具有一对主电极和一对启动辅助电极，在该发光管的两端具有第1封固管和第2封固管，在上述第1封固管中将第1主电极的芯线封固并导出到发光管外，在上述第2封固管中，熔敷有被插入其内部的封固用玻璃管，该封固用玻璃管中，将第2主电极的芯线封固并导出到发光管外，该双端型短弧闪光灯构成为：在上述第2封固管和上述封固用玻璃管的熔敷封固时，配置在它们之间的启动辅助电极的内部引线、外部引线不会发生位置偏移，能够得到其前端的启动辅助电极的正确的相对位置，内部引线、外部引线和金属箔的焊接部位不发生损伤，并且，不需要用于位置固定的多余部件而能够使封固管外径较小并使遮光区域较小，此外，封固操作简便化。

用于解决问题的手段

为了解决上述课题，本发明的双端型短弧闪光灯的特征在于，在上述封固用玻璃管与上述第2封固管相重合的区域中的上述玻璃管的外周，形成有在管轴方向上延伸的引线收纳槽部，上述启动辅助电极的内部引线和外部引线收纳于上述槽部，并且经由金属箔相互电连接。

此外，其特征在于，上述金属箔设置在上述内部引线和外部引线的外侧。

此外，其特征在于，上述封固用玻璃管的槽部在前端侧和后端侧不连续。

此外，其特征在于，上述封固用玻璃管的与上述第2封固管之间的熔敷区域的外部侧被缩径(对应日语：縮径)。

发明效果

根据本发明的双端型短弧闪光灯，在第2封固管与封固用玻璃管重合的区域，在上述玻璃管的外周形成有沿管轴方向延伸的引线收纳槽部，因此通过在该收纳槽内收纳启动辅助电极的内部引线及外部引线，在第2封固管与封固用玻璃管的熔敷封固时，内部引线及外部引线不会产生位置偏移，封固操作简便化，并且能够使启动辅助电极的相对位置正确。

因此，不需要启动辅助电极的定位部件，不仅构造简化，而且能够使第2封固管的外径也较小而减小遮光区域。此外，还能够将金属箔与内部引线、外部引线之间的焊接部位的损伤这样的事故防患于未然。

附图说明

图1是本发明的双端型短弧闪光灯的剖面图。

图2是图1的A－A部分剖面图。

图3是图2的B－B剖面图。

图4是其他实施例的剖面图。

图5是又一其他实施例的剖面图。

图6是以往的双端型短弧闪光灯的剖面图。

图7是图6的A－A部分剖面图。

符号说明

1 发光管

2 第1封固管

3 第2封固管

4 封固用玻璃管

5 第1主电极

6 第2主电极

7 第1主电极的芯线

8 第2主电极的芯线

10 第1启动辅助电极

11 第2启动辅助电极

12 第1启动辅助电极的内部引线

13 第1启动辅助电极的外部引线

14 金属箔

15 第2启动辅助电极的内部引线

16 第2启动辅助电极的外部引线

17 金属箔

21、22 引线收纳槽部

具体实施方式

图1是本发明的双端型短弧闪光灯的整体的剖面图，图2是其A－A部分剖面图，图3是其B－B剖面图。

如图1所示以及如图2和图3所详细示出的那样，在第2封固管3与封固用玻璃管4重合的区域，在上述封固用玻璃管4的外周，引线收纳槽部21、22向管轴方向延伸地形成。该槽部21、22与一对第1启动辅助电极10及第2启动辅助电极11相对应，分别形成在上述玻璃管4的外周的相反一侧。

并且，与第1启动辅助电极10连接的内部引线12收纳于上述引线收纳槽部21，外部引线13收纳于引线收纳槽部22。

同样，上述第2启动辅助电极11的内部引线15收纳于引线收纳槽部21，外部引线16收纳于引线收纳槽部22。

由图2可知，在上述内部引线12和外部引线13的半径方向的外侧配置有金属箔14，相互通过焊接进行固定。

同样，在内部引线15和外部引线16的半径方向的外侧，配置有金属箔17，相互通过焊接进行固定。

另外，关于其他构成，除了位置固定用的支持件20以外与图6所示的构成相同。

在第2封固管3与封固用玻璃管4的熔敷封固时，在封固用玻璃管4的外周的收纳槽部21、22内收纳内部引线12、15和外部引线13、16，并将焊接固定于它们的金属箔14、17以沿着玻璃管4的外周面的方式配设。将其插入第2封固管3内，从该第2封固管3的外部加热，使两者熔敷。

这样，内部引线12、15以及外部引线13、16在封固用玻璃管4上的位置被固定，不会引起位置偏移，从而实现启动辅助电极10、11的正确的定位。

此外，通过将金属箔14、17配置在内部引线12、15和外部引线13、16的外侧，当第2封固管3的熔敷时在引线周边不会产生空隙。

另外，引线收纳槽部21、22也可以在管轴方向上连续形成，但通过如图3所示那样相互在管轴方向上不连续而做成独立的槽部，能够更完全地防止发光管1内的发光气体经由该槽部向外部泄漏的情况。此外，通过使内部引线12、15的后端抵接于槽部21的后端，能够将启动辅助电极10、11的轴向位置正确地定位。

图4是其他实施例，与图1的实施例的不同之处在于，封固用玻璃管4的从上述第2封固管3向后方突出的外侧部A被缩径。即，在封固用玻璃管4中，相比于与第2封固管3重合的区域的径而言，形成有后方(外部侧)的区域A的径更小的后方缩径部4a。

通过这样对封固用玻璃管4形成后方缩径部4a而带来高度差，容易将收纳在引线收纳槽部22内的外部引线13、16向后方(外部)导出。

图5是又一其他实施例，是使图4的实施例中的封固用玻璃管4的后方缩径部4a成为更小的直径而得到的，通过这样，更加容易将外部引线13、16向后方导出。但是，该情况下，由于封固用玻璃管4的后端通过过渡玻璃而与电极芯线8封固，所以由于该过渡玻璃的设计上及操作上的理由，封固用玻璃管4的后端比缩径部4a的直径更大。

如以上说明的那样，本发明的双端型短弧闪光灯中，在第2封固管与封固用玻璃管的重合的区域，在上述玻璃管的外周形成有在管轴方向上延伸的引线收纳槽部，因此通过将与启动辅助电极连接的内部引线、和经由金属箔而与该内部引线连接的外部引线收纳于该槽部，从而在第2封固管与玻璃管的熔敷时引线不会移动，熔敷操作明显简化。并且，由于内部引线的位置不动，从而其前端的启动辅助电极的位置稳定且正确，灯启动时能够可靠地产生主电极间的放电。

此外，在内部引线及外部引线与金属箔之间不会作用不希望的力，也不会产生焊接部的离脱及金属箔的脱箔。

进而，也不需要对内部引线设置位置固定用的支持件，构造简化，并且也不需要使第2封固管的径较大，因此，遮光区域也不会变大。

Claims (4)

1.一种双端型短弧闪光灯，构成为：

在玻璃制的发光管的内部具有一对主电极和一对启动辅助电极，在该发光管的两端具备第1封固管和第2封固管，

上述第1封固管中将第1主电极的芯线封固并导出到发光管外，

上述第2封固管中将插入其内部的封固用玻璃管熔敷，在该封固用玻璃管中将第2主电极的芯线封固并导出到发光管外，

该双端型短弧闪光灯的特征在于，

在上述封固用玻璃管与上述第2封固管相重合的区域中的上述玻璃管的外周的相反一侧，分别形成有在管轴方向上延伸的引线收纳槽部，

上述启动辅助电极的内部引线和外部引线收纳于上述槽部，并且经由金属箔相互电连接。

2.如权利要求1记载的双端型短弧闪光灯，其特征在于，

上述金属箔设置在上述内部引线和外部引线的外侧。

3.如权利要求1或2记载的双端型短弧闪光灯，其特征在于，

上述封固用玻璃管的槽部在前端侧和后端侧不连续。

4.如权利要求1或2记载的双端型短弧闪光灯，其特征在于，

上述封固用玻璃管的与上述第2封固管之间的熔敷区域的外部侧被缩径。