CN104520591B - 固定侧部件及真空泵 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在真空泵中配设的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵，在真空泵中，在作为压力较高从而生成物（堆积物）容易堆积的部分即螺纹槽式泵部的下侧，不配设隔热件，便能防止生成物的堆积。在具备螺纹槽式泵部的真空泵中，配设热传导率值比既定的值小的螺纹槽衬垫。（1）将螺纹槽衬垫用热传导率值比与螺纹槽衬垫对置或接触的部件小的材料制造。具体而言，优选的是热传导率值比铝或铝合金小的不锈钢、强化纤维塑料、聚醚酰亚胺、聚醚醚酮中的任意1种材料。（2）将螺纹槽衬垫用包括至少两个以上的多个零件的零件群构成。

Description

固定侧部件及真空泵
技术领域
本发明涉及固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵。详细地讲，涉及热传导率值比既定的值小的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵。
背景技术
在种类各种各样的真空泵中，为了实现高真空的环境而较多采用的有涡轮分子泵及螺纹槽式泵。在通过使用涡轮分子泵或螺纹槽式泵等的真空泵进行排气处理而将内部保持为真空的真空装置中，有半导体制造装置用的腔室、电子显微镜的测量室、表面分析装置、微细加工装置等。
实现该高真空的环境的真空泵具备形成外装体的壳体，该外装体具备吸气口及排气口。并且，在该壳体的内部，收纳有使该真空泵发挥排气功能的构造物。发挥该排气功能的构造物大体上分，由旋转自如地被支承的旋转部（转子部）和相对于壳体固定的固定部（定子部）构成。
在涡轮分子泵的情况下，旋转部由旋转轴及固定在该旋转轴上的旋转体构成，在旋转体上，多层地配设有以放射状设置的转子翼（动翼）。此外，在固定部上，相对于转子翼相互交替地多层地配设有定子翼（静翼）。此外，设有用来使旋转轴高速旋转的马达，旋转轴借助该马达的作用而高速旋转时，通过转子翼和定子翼的相互作用将气体从吸气口吸入，从排气口排出。
可是，在这样的涡轮分子泵或螺纹槽式泵等的真空泵中，包含在真空容器内产生的颗粒（例如几μm～几百μm尺寸的粒子）的排出气体也被从吸气口吸入，该颗粒例如是由在半导体制造装置用的腔室中产生的反应生成物构成的微粒子等。根据配设于真空泵的真空装置的工艺，不可避免地发生该被称作颗粒的悬浮物作为生成物（堆积物）附着在真空泵的内部的情况。此外，还有这样排出的排出气体也对应于升华曲线（蒸气压曲线）固化而成为生成物的情况。特别是，这样的生成物堆积在气体的压力较高的排气口附近而固化的情况较多。即使在真空泵旋转的过程中没有问题，也存在下述情况：残留在真空泵内的气体在旋转停止的时候冷却，从而生成物成长，真空泵的旋转体与生成物固结。如果这样生成物向排气口附近的堆积发展，则气体流路会变窄，背压变高。结果，真空泵的排气性能会显著地下降。
此外，真空泵的旋转体一般用铝或铝合金等金属材料制造，其转速通常是20000rpm～90000rpm，旋转翼的前端处的圆周速度达到200m/s～400m/s。因此，有真空泵的转子部（特别是转子翼）热膨胀、或发生随着使用时间的经过在径向上发生应变的蠕变现象的情况。关于这样的真空泵的热膨胀或蠕变现象，膨胀或应变的程度在旋转体的下侧（排气口侧）比上侧（吸气口侧）更大，所以有膨胀的旋转体和堆积的生成物特别是在排气口侧接触的情况。此外，例如在配设于真空泵的装置是半导体制造装置用的腔室的情况下，由于半导体制造用的晶片的主原料是硅，所以有堆积的生成物变得比用铝或铝合金制造的旋转体更硬的情况。并且，如果这样的生成物与如上述那样高速旋转的旋转体接触，则硬度较小的旋转体会损坏，在最坏的情况下有可能真空泵的功能停止。
这样，在真空泵内，真空泵的一部分接触到堆积在气体的压力及温度较高的排气口附近的生成物，从而在真空泵中会产生性能的下降及旋转翼的损坏等问题。因此，为了将附着的生成物除去，需要定期地进行将装置暂时分解并精心清洗的检修。
专利文献1：日本特开平09－310696号公报。
为了防止如上述那样气体冷凝而导致生成物堆积，以往提出了下述技术：通过在壳体外部或静止壁（定子部分）上卷绕加热器等并加热，来保持生成物不固化的温度。在专利文献1中公开了一种分子泵，通过在排气内侧管的周围设置加热用加热器，将排气内侧管加热到120度，防止工艺气体冷凝、堆积到排气内侧管的排气通路内。此外，还公开了通过配设隔热件来将定子隔热地卡止的技术。
但是，在专利文献1中，由于是在排气内侧管的周围设置加热用加热器的结构，所以在必须保持真空的真空泵中会出现有关加热用加热器的配线的问题。此外，在该结构中，由于不是将本来想要加热的气体本身直接加热，所以还有不能高效地加热的问题。
以下对使用隔热件的技术进行说明。图7是用来说明使用隔热件90的以往的真空泵500的一例的整体图。
如图7所示，在该现有技术中，通过在与真空泵500的散热部分接触的面（例如，内螺纹部67与基座3的接触面）上配设隔热件90，带来隔热效果，利用真空泵自身的内部温度的上升（自升温）将温度提高到既定的温度，由此在真空泵500内保持生成物不固化的温度。但是，在使用隔热件90的现有技术中有以下这样的问题。在真空泵中作为配设隔热件90的位置的一例的内螺纹部67与基座3接触的面附近，是在真空泵500中也以严格的间隙（缝隙）设计的位置。因此，公差（尺寸公差）变大与所配设的隔热件90的尺寸差相应的量，组装时的尺寸的标准差增加。即，在使用隔热件90的情况下，与不使用隔热件90的情况相比，有在组装成真空泵500时容易产生设计上的标准差的问题。此外，由于使用隔热件90，还会出现真空泵500的零件件数增加、作业工序及组装工序增加的问题。
发明内容
鉴于此，本发明的目的是提供一种配设在真空泵中的固定侧部件以及具备该固定侧部件的真空泵，在生成物容易堆积的部分（即，螺纹槽式泵部的下侧、压力较高从而堆积物容易积存的范围）防止生成物的堆积，而组装时尺寸的标准差的影响较小，不会增加作业工序。
为了达到上述目的，根据技术方案1所记载的本发明，提供一种固定侧部件，用于真空泵的第1气体移送机构，所述真空泵具备形成有吸气口和排气口的外装体、配设在所述外装体的内侧的固定部、被所述外装体内包且旋转自如地被支承的旋转轴、和固定在所述旋转轴上的旋转体，其特征在于，所述固定侧部件用热传导率值比第2部件小的第1部件制造，所述第2部件是所述外装体和所述固定部中与所述固定侧部件接触的部件。
根据技术方案2所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案1所述的固定侧部件中，其特征在于，所述第1部件是热传导率值比第3部件小的部件，所述第3部件是所述旋转体中与所述固定侧部件对置的部件。
根据技术方案3所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案2所述的固定侧部件中，其特征在于，所述第3部件是铝或铝合金。
根据技术方案4所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案1所述的固定侧部件中，其特征在于，所述第1部件是不锈钢。
根据技术方案5所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案1所述的固定侧部件中，其特征在于，所述第1部件是聚醚酰亚胺、聚醚醚酮中的任意1种。
根据技术方案6所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案1所述的固定侧部件中，其特征在于，所述第1部件是强化纤维塑料。
根据技术方案7所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案6所述的固定侧部件中，其特征在于，所述固定侧部件由至少包括两个零件的零件群构成。
根据技术方案8所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案7所述的固定侧部件中，其特征在于，所述零件群中与所述第2部件接触的零件用所述第1部件制造。
根据技术方案9所记载的本发明，提供一种固定侧部件，在技术方案7或8所述的固定侧部件中，其特征在于，所述零件群中与所述第3部件对置的零件用所述第1部件制造。
根据技术方案10所记载的本发明，提供一种真空泵，在技术方案1至9记载的真空泵中，其特征在于，具备所述外装体、所述固定部、所述旋转轴、所述旋转体和所述固定侧部件。
根据技术方案11所记载的本发明，提供一种真空泵，在技术方案10记载的真空泵中，其特征在于，所述真空泵还具备第2气体移送机构，所述第2气体移送机构具有旋转翼和固定翼，通过所述旋转翼和所述固定翼的相互作用将从所述吸气口吸入的气体向所述排气口移送，所述旋转翼从所述旋转体的外周面以放射状配设，所述固定翼从所述固定部的内侧侧面朝向所述旋转轴突出地配设。
根据本发明，能够提供一种在真空泵中配设的固定侧部件及具备该固定侧部件的真空泵，不配设隔热件便能防止生成物的堆积。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式的涡轮分子泵的概略结构例的图。
图2是表示本发明的第2实施方式的涡轮分子泵的概略结构例的图。
图3是用来说明本发明的第2实施方式的涡轮分子泵的变形例的图。
图4是表示本发明的各实施方式的变形例1的涡轮分子泵的概略结构例的图。
图5是表示本发明的各实施方式的变形例2的涡轮分子泵的概略结构例的图。
图6是表示本发明的第3实施方式的螺纹槽式真空泵的概略结构例的图。
图7是用来说明现有技术的整体图。
附图标记说明
1 涡轮分子泵
100 涡轮分子泵
101 涡轮分子泵
102 涡轮分子泵
103 螺纹槽式真空泵
2 壳体
3 基座
4 吸气口
5 凸缘部
6 排气口
7 轴
8 转子
9 旋转翼
10 筒型旋转部件
20 马达部
30 径向磁轴承装置
31 径向磁轴承装置
40 轴向磁轴承装置
50 固定翼
60 螺纹槽衬垫
61 螺纹槽衬垫（分割）
62 螺纹槽衬垫（分割）
63 螺纹槽衬垫螺纹槽排气部（分割）
64 螺纹槽衬垫外周部（分割）
65 内螺纹部
66 螺纹槽衬垫
67 内螺纹部67（现有技术）
70 衬垫
80 水冷管
90 隔热件
500 真空泵（现有技术）。
具体实施方式
（i）实施方式的概要
本发明的实施方式的真空泵是具备螺纹槽式泵部的真空泵，构成为，配设在真空泵中的螺纹槽衬垫（螺纹槽式泵部的固定侧部件）的热传导率值比既定的值小。
（ii）实施方式的详细情况
以下，参照图1～图6对本发明的优选的实施方式详细地说明。另外，在本第1实施方式中，作为真空泵的一例，使用具备涡轮分子泵部（第2气体移送机构）和螺纹槽式泵部（第1气体移送机构）的所谓复合型的涡轮分子泵进行说明。
（ii－1）第1实施方式
图1是表示本发明的第1实施方式的涡轮分子泵1的概略结构例的图。另外，图1表示涡轮分子泵1的轴线方向的剖视图。形成涡轮分子泵1的外装体的壳体2呈大致圆筒状的形状，与设在壳体2的下部（排气口6侧）的基座3一起构成涡轮分子泵1的箱体。并且，在该箱体的内部，收纳有作为使涡轮分子泵1发挥排气功能的构造物的气体移送机构。该气体移送机构大体上分，由旋转自如地被支承的旋转部和相对于箱体固定的固定部构成。
在壳体2的端部，形成有用来向该涡轮分子泵1导入气体的吸气口4。此外，在壳体2的吸气口4侧的端面上，形成有向外周侧伸出的凸缘部5。此外，在基座3上，形成有用来从该涡轮分子泵1将气体排出的排气口6。
旋转部由作为旋转轴的轴7、配设在该轴7上的转子8、设在转子8上的多片旋转翼9、设在排气口6侧（螺纹槽式泵部）的筒型旋转部件10等构成。另外，由轴7及转子8构成转子部。各旋转翼9由从与轴7的轴线垂直的平面倾斜既定的角度并从轴7以放射状延伸的叶片构成。此外，筒型旋转部件10由呈与转子8的旋转轴线同心的圆筒形状的圆筒部件构成。
在轴7的轴线方向中途，设有用来使轴7高速旋转的马达部20。进而，在轴7的相对于马达部20而言的吸气口4侧及排气口6侧，设有用来将轴7在半径方向（径向）上非接触地支承的径向磁轴承装置30、31，在轴7的下端设有用来将轴7在轴线方向（轴向）上非接触地支承的轴向磁轴承装置40。
在箱体的内周侧形成有固定部。该固定部由设在吸气口4侧（涡轮分子泵部）的多片固定翼50和设在壳体2的内周面上的螺纹槽衬垫60等构成。各固定翼50由从与轴7的轴线垂直的平面倾斜既定的角度并从箱体的内周面朝向轴7延伸的叶片构成。各层的固定翼50由圆筒形状的衬垫70相互隔开地固定。在涡轮分子泵部，固定翼50和旋转翼9相互交替地配置，在轴线方向上形成有多层。
在螺纹槽衬垫60上，在各个与筒型旋转部件10对置的面上形成有螺旋槽。并且，螺纹槽衬垫60与筒型旋转部件10的外周面隔开既定的间隙面对，筒型旋转部件10高速旋转时，被涡轮分子泵1压缩后的气体随着筒型旋转部件10的旋转，一边被螺纹槽（螺旋槽）导引一边被向排气口6侧送出。即，螺纹槽为输送气体的流路。由于螺纹槽衬垫60和筒型旋转部件10隔开既定的间隙对置，由螺纹槽构成移送气体的气体移送机构（第1气体移送机构）。另外，为了减小气体向吸气口4侧倒流的力，该间隙越小越好。在气体在螺旋槽内被向转子8的旋转方向输送的情况下，形成在螺纹槽衬垫60上的螺旋槽的方向是朝向排气口6的方向。此外，螺旋槽的深度随着接近排气口6而变浅，在螺旋槽中被输送的气体随着接近排气口6而被压缩。这样，被从吸气口4吸入的气体在被涡轮分子泵部（第2气体移送机构）压缩后，被螺纹槽式泵部（第1气体移送机构）进一步压缩并从排气口6排出。
此外，在如上述那样将涡轮分子泵1用于半导体制造等的情况下，在半导体的制造工序中，使各种各样的工艺气体对半导体的基板作用的工序数量有许多，涡轮分子泵1不仅用于使腔室内为真空，还用于将这些工艺气体从腔室内排出。这些工艺气体不仅有在被排气时压力较高的情况，还有被冷却到某种温度时会变成固体从而在排气系统中析出生成物的情况。并且，如果这种工艺气体在涡轮分子泵1内成为低温而变成固体状，附着并堆积在涡轮分子泵1内部，则该堆积物会构成使泵流路变窄、使涡轮分子泵1的性能降低的原因。为了防止该状态，在基座3中埋入热敏电阻等温度传感器（未图示），基于该温度传感器的信号，控制借助加热器（未图示）进行的加热和借助水冷管80进行的冷却（TMS；TemperatureManagement System），以将基座3的温度保持为一定的较高的温度（设定温度）。这里，为了使通过高速旋转发热的部件冷却，水冷管80作为一例而配设在基座3的下部附近。通过这样构成的涡轮分子泵1，进行配设于涡轮分子泵1的真空室（未图示）内的真空排气处理。
上述本发明的第1实施方式的涡轮分子泵1在螺纹槽式泵部具有热传导率值比既定的值小的螺纹槽衬垫60。另外，关于既定的值在后面叙述。
这里，在本发明的第1实施方式中，由于在螺纹槽衬垫60的下侧附近经由基座3配设有水冷管80，所以热向螺纹槽衬垫60的下侧附近特别是基座3的方向散逸。所以，在本发明的第1实施方式中，作为一例，涡轮分子泵1的螺纹槽衬垫60用热传导率值比与该螺纹槽衬垫60接触的基座3小的材料制造而配设。
进而，在本发明的第1实施方式中，涡轮分子泵1的螺纹槽衬垫60由热传导率值比与该螺纹槽衬垫60对置的筒型旋转部件10小的材料制造而配设。这里，在本发明的第1实施方式中，作为一例，涡轮分子泵1的筒型旋转部件10用铝或铝合金制造。由此，在本发明的第1实施方式中，与筒型旋转部件10面对地配设的螺纹槽衬垫60用具有热传导率数值比作为筒型旋转部件10的材料的铝或铝合金所具有的热传导率值小的材料制造。具体而言，本发明的第1实施方式的螺纹槽衬垫60用数值比一般为236W/（m･K）（瓦特每米开）的铝的热传导率数值小的材料制造。更具体地讲，例如，作为本发明的第1实施方式的螺纹槽衬垫60的材料，优选的是使用通常的热传导率值为16.7～20.9W/（m･K）左右的不锈钢、强化纤维塑料（纤维强化塑料）、通常的热传导率值为0.22W/（m･K）左右的聚醚酰亚胺（PEI）、或通常的热传导率值为0.25W/（m･K）左右的聚醚醚酮（PEEK）等树脂材料。
另外，关于强化纤维塑料，由于根据母体（基体）与混入的纤维的组合状况，形成的强化纤维塑料的热传导率值变动，所以不一概地记载具体的热传导率的数值，但在本发明的第1实施方式中，如上述那样，作为螺纹槽衬垫60的材料，利用形成为热传导率值比作为铝的热传导率值的236W/（m･K）小的强化纤维塑料。进而，配设在涡轮分子泵1中的构成部件的材料被要求具有向真空中释放的气体成分即释放气体较少的性质，所以，优选的是，螺纹槽衬垫60的材料除了具备上述热传导率值较小的性质以外，还兼具释放气体较少且耐腐蚀性良好的性质。
这样，在本发明的第1实施方式的涡轮分子泵1中，将螺纹槽衬垫60用热传导率值比与该螺纹槽衬垫60接触的基座3小的材料制造。此外，将螺纹槽衬垫60用热传导率值比与该螺纹槽衬垫60对置的筒型旋转部件10小的材料制造。利用该结构，本发明的第1实施方式的涡轮分子泵1防止热从螺纹槽衬垫60向基座3传导。结果，能够防止螺纹槽衬垫60的温度下降，并且促进螺纹槽衬垫60的自升温，防止生成物堆积并固结。
此外，在本发明的第1实施方式的涡轮分子泵1中，由于没有配设隔热件等其他零件，所以能够防止因零件数增加造成的涡轮分子泵1的组装性及作业性的下降。
（ii－2）第2实施方式
接着，参照图2，对本发明的第2实施方式进行说明。图2是表示本发明的第2实施方式的涡轮分子泵100的概略结构例的图。另外，图2表示涡轮分子泵100的轴线方向的剖视图，关于与上述本发明的第1实施方式相同的结构省略说明。
在本发明的第2实施方式中，配设在涡轮分子泵100中的螺纹槽衬垫由包括多个零件的零件群构成。本发明的第2实施方式的涡轮分子泵100作为螺纹槽衬垫由包括多个零件的零件群构成的一例，如图2所示，做成将上述本发明的第1实施方式的螺纹槽衬垫60在径向（即，与轴7大致水平的方向）上分割、配设螺纹槽衬垫61及螺纹槽衬垫62这两个零件的结构。如果这样将本发明的第2实施方式的涡轮分子泵100做成配设螺纹槽衬垫61及螺纹槽衬垫62这两个零件的结构，则形成螺纹槽衬垫61和螺纹槽衬垫62接触的面。结果，在由螺纹槽衬垫61及螺纹槽衬垫62形成的分割面（接触面）附近，热不易顺畅地传导。即，与用单一的零件构成螺纹槽衬垫的情况相比，热传导的效率下降，所以从筒型旋转部件10通过热放射传递的热不易从螺纹槽衬垫61向螺纹槽衬垫62传递，热不易散逸。
这样，在本发明的第2实施方式的涡轮分子泵100中，螺纹槽衬垫由两个零件（螺纹槽衬垫61及螺纹槽衬垫62）构成。由此，在本发明的第2实施方式的涡轮分子泵100中，作为1个螺纹槽衬垫的热传导效率下降，所以能够防止螺纹槽衬垫（螺纹槽衬垫61及螺纹槽衬垫62）的温度下降，并促进螺纹槽衬垫（螺纹槽衬垫61及螺纹槽衬垫62）的自升温，结果能够防止生成物堆积并固结。此外，在本发明的第2实施方式中，在检修时，仅将螺纹槽衬垫62替换就可以，所以能够高效地进行检修。
进而，也可以设计成，作为构成螺纹槽衬垫的包括多个零件的零件群中与基座3接触的零件（在图2中是螺纹槽衬垫62），配设用热传导率值比既定的值小的材料制造的零件。另外，关于既定的值，与上述第1实施方式相同。
进而，构成螺纹槽衬垫的零件群中的零件数量并不限于上述的两个，也可以由包括3个以上零件的零件群构成（未图示）。此外，在此情况下，也可以设计成，构成螺纹槽衬垫的该包括3个以上零件的零件群中，例如基座3附近的任意数量的零件是用热传导率值比既定的值小的材料制造的零件。或者，也可以设计成，包括3个以上零件的零件群中，与基座3接触地配设的零件是用具有最小的热传导率值的材料制造的零件。另外，关于既定的值，与上述第1实施方式相同。
由此，在本发明的第2实施方式的涡轮分子泵100中，作为1个螺纹槽衬垫的热传导的效率下降，所以能够防止螺纹槽衬垫的温度下降并促进自升温，结果能够防止生成物堆积并固结。此外，在本发明的第2实施方式中，在检修时，只要仅将包括多个零件的零件群中与基座3接触地配设的零件替换就可以，所以能够高效地进行检修。
（ii－2－1）第2实施方式的变形例
接着，参照图3，对本发明的第2实施方式的变形例进行说明。图3是用来说明本发明的第2实施方式的变形例的剖视图。
在本发明的第2实施方式的变形例中，作为螺纹槽衬垫由包括多个零件的零件群构成的一例，如图3所示，配设螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63（即，形成有螺纹槽的部分）和螺纹槽衬垫外周部64（即，没有形成螺纹槽的部分）这两个零件。具体而言，在本发明的第2实施方式的变形例中，如图3（a）所示那样形成为板状的螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63如图3（b）所示那样被形成为圆筒形状，并且，如图3（c）所示那样被紧贴固定在螺纹槽衬垫外周部64的内部，将由这两个零件构成的零件群（螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63及螺纹槽衬垫外周部64）配设到涡轮分子泵100中。
进而，螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63和螺纹槽衬垫外周部64也可以用不同的材料制造，在此情况下，优选的是，将螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63用热传导率值比既定的值小的材料（树脂材料等）制造。
这样，在本发明的第2实施方式的变形例中，将螺纹槽衬垫的螺纹槽排气部用热传导率值较小的材料制造。利用该结构，在本发明的第2实施方式的变形例的涡轮分子泵100中，热不易从螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63向螺纹槽衬垫外周部64传导。结果，能够防止螺纹槽衬垫（螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63及螺纹槽衬垫外周部64）的温度下降，并且促进自升温而防止生成物堆积并固结。此外，在本发明的第2实施方式的变形例中，由于在检修时仅将螺纹槽衬垫螺纹槽排气部63替换就可以，所以能够高效地进行检修。
如上述那样说明的本发明的第1实施方式及第2实施方式可以如以下这样各种各样地变形。
（ii－3－1）各实施方式的变形例1
接着，参照图4，对真空泵的螺纹槽式泵部具有折回型的内螺纹部（折回型的螺纹槽式泵部的固定侧部件）的情况进行说明。
图4是表示本发明的各实施方式的变形例1的涡轮分子泵101的概略结构例的图。另外，图4表示涡轮分子泵101的轴线方向的剖视图，关于与上述本发明的第1实施方式相同的结构省略说明。
本发明的各实施方式的变形例1的涡轮分子泵101在筒型旋转部件10的内侧设有内螺纹部65，所述内螺纹部65以下述方式配设：与筒型旋转部件10的内周面隔开既定的间隙面对，与基座3接触的部分被折回。在这样构成的涡轮分子泵101中可以采用上述第1实施方式及第2实施方式。另外，也可以做成将内螺纹部65分割的结构。
（ii－3－2）各实施方式的变形例2
接着，参照图5，对真空泵的螺纹槽式泵部具有并行流的结构的情况进行说明。
图5是表示本发明的各实施方式的变形例2的涡轮分子泵102的概略结构例的图。另外，图5表示涡轮分子泵102的轴线方向的剖视图，关于与上述本发明的第1实施方式相同的结构省略说明。
本发明的各实施方式的变形例2的涡轮分子泵102，在筒型旋转部件10的与最下层的旋转翼9对置的部分设有间隙G。对于这样构成的涡轮分子泵102可以采用上述第1实施方式及第2实施方式。
（ii－4）第3实施方式
接着，参照图6，对真空泵是螺纹槽式真空泵的情况（即，没有设置涡轮分子泵部，从吸气口到排气口形成有螺纹槽的情况）进行说明。
图6是表示本发明的第3实施方式的螺纹槽式真空泵103的概略结构例的图，表示轴线方向的剖视图。另外，图6表示螺纹槽式真空泵103的轴线方向的剖视图，关于与上述本发明的第1实施方式相同的结构省略说明。
上述各实施方式及各变形例中作为真空泵的一例而使用复合型的涡轮分子泵进行了说明，但也可以用在图6所示那样的具有螺纹槽衬垫66的螺纹槽式真空泵103中。利用该结构，本发明的第3实施方式的螺纹槽式真空泵103防止热从螺纹槽衬垫66向基座3传导，所以结果能够防止螺纹槽衬垫66的温度下降，并且促进螺纹槽衬垫66的自升温，防止生成物堆积并固结。
上述实施方式及各变形例可以进行各种组合。这样，根据本发明，构成为配设在真空泵中的螺纹槽衬垫的热传导率值比既定的值小，由此，能够提供一种真空泵，在螺纹槽式泵部下侧的压力较高从而堆积物容易积存的范围中不配设隔热件，便能防止生成物的堆积，具有稳定的性能。

Claims (12)

1.一种固定侧部件，用于真空泵的第1气体移送机构，所述真空泵具备形成有吸气口和排气口的外装体、配设在所述外装体的内侧的固定部、被所述外装体内包且旋转自如地被支承的旋转轴、和固定在所述旋转轴上的旋转体，其特征在于，
所述固定侧部件用热传导率值比第2部件小的第1部件制造，所述第2部件是所述外装体和所述固定部中与所述固定侧部件接触的部件。
2.如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，
所述第1部件是热传导率值比第3部件小的部件，所述第3部件是所述旋转体中与所述固定侧部件对置的部件。
3.如权利要求2所述的固定侧部件，其特征在于，
所述第3部件是铝或铝合金。
4.如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，
所述第1部件是不锈钢。
5.如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，
所述第1部件是聚醚酰亚胺、聚醚醚酮中的任意1种。
6.如权利要求1所述的固定侧部件，其特征在于，
所述第1部件是强化纤维塑料。
7.如权利要求1～6中任一项所述的固定侧部件，其特征在于，
所述固定侧部件由至少包括两个零件的零件群构成。
8.如权利要求7所述的固定侧部件，其特征在于，
所述零件群中与所述第2部件接触的零件用所述第1部件制造。
9.如权利要求7所述的固定侧部件，其特征在于，
所述零件群中与所述第3部件对置的零件用所述第1部件制造。
10.如权利要求8所述的固定侧部件，其特征在于，
所述零件群中与所述第3部件对置的零件用所述第1部件制造。
11.一种真空泵，其特征在于，
具备权利要求1至10中任一项所述的固定侧部件、所述外装体、所述固定部、所述旋转轴、所述旋转体。
12.如权利要求11所述的真空泵，其特征在于，
所述真空泵还具备第2气体移送机构，所述第2气体移送机构具有旋转翼和固定翼，通过所述旋转翼和所述固定翼的相互作用将从所述吸气口吸入的气体向所述排气口移送，所述旋转翼从所述旋转体的外周面以放射状配设，所述固定翼从所述固定部的内侧侧面朝向所述旋转轴突出地配设。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6069981B2 (ja) * 2012-09-10 2017-02-01 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP6287475B2 (ja) * 2014-03-28 2018-03-07 株式会社島津製作所 真空ポンプ
JP6641734B2 (ja) * 2015-06-12 2020-02-05 株式会社島津製作所 ターボ分子ポンプ
JP6666696B2 (ja) * 2015-11-16 2020-03-18 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP6692635B2 (ja) * 2015-12-09 2020-05-13 エドワーズ株式会社 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ
GB201715151D0 (en) 2017-09-20 2017-11-01 Edwards Ltd A drag pump and a set of vacuum pumps including a drag pump
JP7224168B2 (ja) * 2017-12-27 2023-02-17 エドワーズ株式会社 真空ポンプおよびこれに用いられる固定部品、排気ポート、制御手段
JP6973348B2 (ja) * 2018-10-15 2021-11-24 株式会社島津製作所 真空ポンプ

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002303293A (ja) * 2001-04-06 2002-10-18 Boc Edwards Technologies Ltd ターボ分子ポンプ
CN1425854A (zh) * 2001-12-13 2003-06-25 英国博克爱德华兹技术有限公司 真空泵
JP2003269367A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP2004116319A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP2006037951A (ja) * 2004-06-25 2006-02-09 Osaka Vacuum Ltd 複合分子ポンプの断熱構造
CN102597527A (zh) * 2009-08-26 2012-07-18 株式会社岛津制作所 涡轮分子泵及转子的制造方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3410905A1 (de) * 1984-03-24 1985-10-03 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Einrichtung zur foerderung von gasen bei subatmosphaerischen druecken
JPH01219393A (ja) * 1988-02-29 1989-09-01 Daikin Ind Ltd 分子式真空ポンプ
FR2634829B1 (fr) * 1988-07-27 1990-09-14 Cit Alcatel Pompe a vide
WO1994000694A1 (de) * 1992-06-19 1994-01-06 Leybold Aktiengesellschaft Gasreibungsvakuumpumpe
JP3098140B2 (ja) * 1993-06-17 2000-10-16 株式会社大阪真空機器製作所 複合分子ポンプ
JP3795979B2 (ja) * 1996-03-21 2006-07-12 株式会社大阪真空機器製作所 分子ポンプ
US6589009B1 (en) * 1997-06-27 2003-07-08 Ebara Corporation Turbo-molecular pump
US6926493B1 (en) * 1997-06-27 2005-08-09 Ebara Corporation Turbo-molecular pump
JP2000220595A (ja) * 1999-01-27 2000-08-08 Seiko Seiki Co Ltd 真空ポンプ装置
JP4504476B2 (ja) * 1999-07-23 2010-07-14 キヤノンアネルバ株式会社 分子ポンプ
US6793466B2 (en) * 2000-10-03 2004-09-21 Ebara Corporation Vacuum pump
JP2002155891A (ja) * 2000-11-22 2002-05-31 Seiko Instruments Inc 真空ポンプ
JP4004779B2 (ja) * 2001-11-16 2007-11-07 Ｂｏｃエドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP3950323B2 (ja) * 2001-11-19 2007-08-01 Ｂｏｃエドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP2003172290A (ja) * 2001-12-07 2003-06-20 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP2003269369A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP2003287463A (ja) * 2002-03-28 2003-10-10 Boc Edwards Technologies Ltd 放射温度測定装置及び該放射温度測定装置を搭載したターボ分子ポンプ
FR2845737B1 (fr) * 2002-10-11 2005-01-14 Cit Alcatel Pompe turbomoleculaire a jupe composite
WO2011070856A1 (ja) * 2009-12-11 2011-06-16 エドワーズ株式会社 ネジ溝排気部の筒形固定部材と、これを使用した真空ポンプ
ITTO20100070A1 (it) * 2010-02-01 2011-08-02 Varian Spa Pompa da vuoto, in particolare pompa da vuoto turbomolecolare.
JP6666696B2 (ja) * 2015-11-16 2020-03-18 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP6706553B2 (ja) * 2015-12-15 2020-06-10 エドワーズ株式会社 真空ポンプ及び該真空ポンプに搭載される回転翼、反射機構

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002303293A (ja) * 2001-04-06 2002-10-18 Boc Edwards Technologies Ltd ターボ分子ポンプ
CN1425854A (zh) * 2001-12-13 2003-06-25 英国博克爱德华兹技术有限公司 真空泵
JP2003269367A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP2004116319A (ja) * 2002-09-24 2004-04-15 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP2006037951A (ja) * 2004-06-25 2006-02-09 Osaka Vacuum Ltd 複合分子ポンプの断熱構造
CN102597527A (zh) * 2009-08-26 2012-07-18 株式会社岛津制作所 涡轮分子泵及转子的制造方法

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Publication number Publication date
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EP2894347A1 (en) 2015-07-15
EP2894347A4 (en) 2016-04-20
US20150240822A1 (en) 2015-08-27
WO2014038416A1 (ja) 2014-03-13
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