CN104511993B - 流延装置、溶液制膜设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种抑制高速制造15μm以上且80μm以下的薄膜时的厚度不均故障的产生的流延装置、溶液制膜设备及溶液制膜方法。从模具(25)中将浓液(30)流延到架设在一对转筒(21)、转筒(22)上的带(23)，在与带(23)之间形成液珠(31)。液珠(31)在带(23)上流延而成为流延膜(32)。相对于模具(25)而在带行进方向上游侧设置遮风块(41)。遮风块(41)面向带(23)而具有伴生风导引面(42)。使伴生风导引面(42)的出口位于模具(25)的侧面。通过将因带(23)的高速行进所产生的伴生风(43)的一部分划分至模具(25)侧，可以相应地减少使液珠(31)产生振动或空气卷入的伴生风(43)，可以消除流延膜(32)的厚度不均。

Description

流延装置、溶液制膜设备及方法

技术领域

本发明涉及一种流延装置、溶液制膜设备及方法。

背景技术

聚合物膜(polymer film，以下称为膜)由于具有优异的光透射性或柔软性及能实现轻量薄膜化等特长，因此被多方面用作光学功能性膜。其中，使用酰化纤维素(celluloseacylate)等的纤维素酯(cellulose ester)系膜由于具有强韧性或低双折射率，因此被用于以照相感光用膜为代表、作为近年来市场不断扩大的液晶显示装置的构成构件的偏光板的保护膜或光学补偿膜等。

主要的膜制造方法有溶液制膜方法及熔融挤出方法。溶液制膜方法中，将含有聚合物及溶剂的聚合物溶液(以下称为浓液)以液珠(bead)的方式流动到支撑体上。液珠在支撑体上成为流延膜。流延膜变得具有自支撑性后，将其从支撑体上剥下而制成湿润膜。然后，使该湿润膜干燥而制成膜。与利用挤出机将经熔融的聚合物挤出而制成膜的熔融挤出方法相比较，溶液制膜方法可以获得光学各向同性或厚度均匀性更优异、且含有异物更少的膜，因此光学功能性膜主要是通过溶液制膜方法来制造。

关于溶液制膜方法的生产速度，一般认为由浓液来形成流延膜的流延步骤中限速。因此，为了提高溶液制膜的生产性，流延步骤的高速化成为课题。为了高速地进行流延步骤，例如提高支撑体的行进速度。但是，在行进的支撑体的表面附近，会产生伴随着支撑体的行进而与支撑体一起朝行进方向流动的风(以下称为伴生风)。若该伴生风触碰液珠，则液珠振动。该液珠的振动会产生膜宽度方向上的膜的厚度不均故障。此种由伴生风所引起的厚度不均故障因支撑体的行进速度变高而变明显。因此，如专利文献1中所公开，相对于液珠而在支撑体行进方向上游侧接近液珠配置遮风物，防止伴生风进入液珠。

另外，如专利文献2中所公开，相对于液珠而在支撑体行进方向上游侧接近液珠配置减压室，通过负压来抽吸伴生风，抑制由伴生风所致的液珠的振动。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2004-114328号公报

[专利文献2]日本专利特开2010-158834号公报

发明内容

[发明所欲解决的问题]

此外，近年来伴随着平板显示器(flat panel display)的大型化或轻量化，所制造的膜也正在推进薄化。为了高效地制造薄膜，除了在制膜后的延伸步骤中通过延伸来使膜形成得薄的方法以外，可列举在液珠阶段中使厚度变薄的方法，关于液珠的薄化也正在进行改良。

但是，在流延阶段中使液珠变薄而进行流延的情况，在迄今为止的液珠厚度不成问题的情况下，若液珠变薄，则也容易相应地受到伴生风的影响。关于使该液珠变薄的方法，有以下情况：不像以前那样改变模具(die)的喷出口的液珠厚度，而是提高支撑体的移动速度，由此使液珠即将接触支撑体之前的厚度变薄的情况；或使模具的喷出口的液珠厚度比以前更薄的情况。

例如，在如专利文献1那样接近支撑体配置遮风物并利用遮风物来阻断伴随着支撑体的移动的伴生风的情况下，若使液珠变薄来进行流延，则在宽度方向上长距离地出现厚度不均。该厚度不均在支撑体进给方向上变化，成为在进给方向上以波形变化的表面性状故障而呈现，因此要求改善。

另外，在如专利文献2那样使用减压室的情况下，伴随着液珠的薄化，该液珠容易因由负压所产生的空气压振动而振动。由此表现出在进给方向上以波形变化的表面性状故障，因此要求改善。另外，因液珠的振动而容易产生空气卷入。若于支撑体与液珠之间卷入空气，则空气进入在支撑体上流延液珠而形成的流延膜与支撑体之间。该空气卷入有时也会发展成流延膜的破裂。该情况下要停止流延，在开始流延之前需要极大的时间与劳力。因此，有也欲抑制空气卷入的要求。

本发明的目的在于提供一种流延装置、溶液制膜设备及方法，在对薄膜进行溶液制膜时，能进行高速流延而提高生产性，而且可以抑制表面性状劣化或由空气卷入所致的流延停止等的发生。

[解决问题的手段]

为了达成所述目的，本发明具有模具、遮风构件及伴生风导引面。模具从喷出口中向行进的支撑体喷出浓液，在与支撑体之间形成液珠。液珠在支撑体的表面上成为流延膜。遮风构件是在较液珠更靠支撑体的行进方向上游侧设置在流延膜的宽度方向上。该遮风构件是以与支撑体的表面接近的方式配置，遮蔽针对液珠的由支撑体所致的伴生风。伴生风导引面是形成在与支撑体的表面接近的部分，将伴生风引向模具。

此外，伴生风导引面优选的是将伴生风从接近表面的位置引向模具的向下凸出的弯曲面。弯曲面优选的是具有表面平滑的多孔质层，从多孔质层中抽吸伴生风。另外，弯曲面优选的是具有在流延膜的宽度方向上延伸的槽，从槽中抽吸伴生风。

优选的是伴生风导引面的支撑体行进方向下流侧连接于距喷出口2mm以上的模具，且沿着伴生风导引面被送来的伴生风是通过抽吸通道而被抽吸。另外，优选的是遮风构件与支撑体表面的距离为0.1mm以上、3mm以下，且伴生风导引面的行进方向的长度为10mm以上、40mm以下。

本发明的溶液制膜设备具备所述流延装置、从支撑体上剥下流延膜的剥取构件、及将剥下的流延膜加以干燥的干燥装置。另外，本发明的溶液制膜方法包括使用所述流延装置在支撑体上形成流延膜的步骤、及从支撑体上剥下流延膜并加以干燥的步骤。

[发明的效果]

根据本发明，可以抑制厚度不均故障的产生并且高效地制造薄膜。

附图说明

图1为表示本实施形态的溶液制膜设备的概要的侧面图。

图2为表示流延装置的概要的立体图。

图3为表示第1实施形态的模具与遮风块与带(band)之间的伴生风的流动的截面图。

图4为表示第2实施形态的遮风块的多孔质层及抽吸通道的截面图。

图5为表示多孔质层中的伴生风的流动的截面图。

图6为表示多孔质层的遮风块的背面图。

图7为表示第3实施形态的遮风块的抽吸槽的截面图。

图8为表示第3实施形态的遮风块的抽吸槽的背面图。

图9为表示具有入口导引部的第4实施形态的遮风块的截面图。图10为表示以前的遮风块中的伴生风的流动的截面图。

[符号的说明]

10：溶液制膜设备

11：流延装置

12：第1拉幅机

13：干燥装置

14：第2拉幅机

15：纵切机

16：卷取装置

21、22：转筒

23、101：带

24：导辊

25：模具

25A：喷出口

25B：侧面

26A、26B、26C：管道(膜干燥机)

28：剥取辊

30：浓液

31、105：液珠

32、106：流延膜

33：膜

33A：卷状膜

34、35：夹具

36、37：管道

38：辊

41、53、62、72、102：遮风块

41A：上侧斜面

42、55、60、73：伴生风导引面

42A：入口端

42B：出口端

43、104：伴生风

43A、104A：下层部分

43B：上层部分

45：间隔件

46、52：抽吸通道

51：多孔质层

54：负压源

61：抽吸槽

61A：抽吸口

71：入口导引部

74：上层伴生风导引面

75：抽吸通道面

103、G、G1、G2：间隙

107：旋涡

A、B：箭头

L1：长度

L2：距离

具体实施方式

如图1所示，溶液制膜设备10具备流延装置11、第1拉幅机12、干燥装置13、第2拉幅机14、纵切机(slitter)15及卷取装置16，这些构件是从上游侧起依次串联连接。

流延装置11具备转筒21、转筒22、架设在这些转筒21及转筒22上的环形(endless)的带(支撑体)23、导辊24、模具25、管道(膜干燥机)26A、管道(膜干燥机)26B、管道(膜干燥机)26C及剥取辊28。带23作为形成为环状的金属制流延支撑体而发挥功能，架设在第1转筒21及第2转筒22的周面上。第1转筒21是由马达(省略图示)旋转驱动，由此带23在箭头A所示的第1方向上行进。导辊24从背面侧支撑上侧的带23。

如图2所示，在第1转筒21的上方配置有模具25。模具25将浓液30制成液珠31并从喷出口25A(参照图3)中连续地流到正在行进的带23的表面上。由此，在带23上形成流延膜32。在模具25中，形成有以越朝向行进方向上游侧越远离带23的方式倾斜的侧面25B。侧面25B是形成在较喷出口25A更靠行进方向上游侧。浓液30例如是将酰化纤维素溶解在溶剂中而成，由未图示的浓液制造线(line)所制造，供给于模具25。

如图1所示，为了提高制造速度，朝向剥取辊28的流延膜32是由第2转筒22及带23加热。另外，在流延位置处，利用第1转筒21将带23冷却以使带23不过度升温。因此，各转筒21、转筒22具有未图示的温度调节装置。

管道26A、管道26B、管道26C是沿着带23的行进路线而排列配置有多个，吹出干燥风。温风控制器独立地控制干燥风的温度、湿度及流量。通过干燥风的温度及流量的控制以及转筒21、转筒22自身的温度调节装置的温度控制，来调节流延膜32的温度，溶剂从流延膜32中蒸发，从而进行流延膜32的干燥。而且，将流延膜32固化到可以在第1拉幅机12中进行搬送的程度为止。

相对于模具25而在行进方向上游侧，在第1转筒21的周面附近配置有剥取辊28。剥取辊28在将含有溶剂的状态的且进行了干燥的流延膜32从带23上剥下时，支撑流延膜32。经剥取的流延膜32作为膜33而被引导到第1拉幅机12中。在本实施形态中，剥取辊28作为从带23上剥下流延膜32的剥取构件而发挥功能。

在第1拉幅机12中，利用夹具(clip)34来握持膜33的两侧边缘部，从管道36中送出干燥风，由此一面搬送膜33，一面对膜33在宽度方向上赋予张力，扩大膜33的宽度。

在干燥装置13中，将膜33绕挂在多个辊38上并加以搬送。关于干燥装置13内部的环境，通过未图示的调温机来调节温度或湿度等，在搬送膜33的期间中，溶剂从膜33中蒸发。

第2拉幅机14具有夹具35及管道37，且是与第1拉幅机12同样地构成。第2拉幅机14利用夹具35来保持膜33并加以延伸。通过该延伸而成为具有所需光学特性的膜33。此外，根据膜33的光学特性，也可省略第2拉幅机14。

纵切机15将膜33的侧部切除。具体来说，纵切机15将包含第1拉幅机12或第2拉幅机14的各夹具34、夹具35握持的痕迹的侧部切除。利用卷取装置16将侧部经切除的膜33卷取成卷状。如此而获得的卷状膜33A尤其可以用于相位差膜或偏光板保护膜。

相对于来自模具25的液珠31，在带23的行进方向的上游配置有遮风块(遮风构件)41。如图2所示，遮风块41是以接近液珠31并在流延膜32的宽度方向上延伸的方式配置。所谓“接近”表示以下状态：以不对动作造成实用上的障碍的程度相互靠近，并且形成空气在彼此间通过的程度的间隙。本实施形态中，在较喷出口25A更靠行进方向上游侧，将遮风块41设置在模具25上。在较喷出口25A更靠行进方向上游侧，将遮风块41配置在模具25附近。遮风块41是隔着间隔件(spacer)45而安装在模具25上。更具体来说，遮风块41是以该遮风块41的上侧斜面41A与模具25的侧面25B平行的方式配置，隔着配置在所述上侧斜面41A及侧面25B之间的间隔件45而连接于模具25。遮风块41在箭头B所示的带23的宽度方向上的长度为与模具25相同的长度，与模具25在宽度方向上相对向。另外，遮风块41具有与带23相对向的伴生风导引面42。伴生风导引面42是以与带23的表面接近的方式配置。以下，有时将箭头B所示的方向称为“B方向”。

在模具25与遮风块41之间，在B方向上远离而设置有间隔件45，在模具25的侧面25B与遮风块41的上侧斜面41A之间形成抽吸通道46。带23高速行进，因此伴同空气而产生伴生风43。遮风块41遮挡朝向液珠31的伴生风43。具体来说，遮风块41在液珠31的上游侧遮挡伴生风43，以使该伴生风43不接触液珠31。

以遮风块41不接触行进的带23的方式在两者之间设置有间隙G。因此，未经遮风块41完全遮挡的伴生风43的下层部分43A通过该间隙G。

如图10所示，在以前的带101的行进速度为30m/min左右的情况下，在遮风块102与带101的表面之间的间隙103中通过的伴生风104对液珠105的影响少，不会发展成流延膜106的厚度不均等表面性状故障。伴随着薄膜化的要求，若将带101的行进速度设定为如50m/min以上、100m/min以下的高速，则伴随着该高速化而液珠105也变薄，容易受到伴生风104的影响。另外，以前虽然利用遮风块102来遮挡伴生风104，但通过间隙103的伴生风104的下层部分104A在通过遮风块102后卷成旋涡107。本发明人已通过实验确认到该旋涡107的产生或由该旋涡107对液珠105赋予的振动等。

因此，如图3所示，在第1实施形态中，以使遮风块41的伴生风导引面42随着朝向液珠31而逐渐远离带23的方式，逐渐增大伴生风导引面42与带23的表面的间隙G。另外，将伴生风导引面42设定为向下凸出的弯曲面(朝向带23侧凸起的弯曲面)，以使伴生风43沿着伴生风导引面42而顺畅地流动。伴生风导引面42具有朝向带23侧突出的弯曲面。进而，使伴生风导引面42的出口端42B位于模具25的侧面25B。具体来说，对于伴生风导引面42，在沿着该伴生风导引面42的弯曲面朝向模具25将面延长的情况下，以该面与模具25的侧面25B相交的方式构成。因此，使伴生风43的下层部分43A沿着伴生风导引面42移动，并引向模具25的侧面25B，由此可以相应地减少朝向液珠31的伴生风43，液珠31变稳定，不产生空气卷入。虽然将伴生风导引面42设定为向下凸出的弯曲面，但其也可为平坦面。此外，在图3中，为了避免图式复杂而省略了模具25与遮风块41的影线(hatching)。

在遮风块41的入口端42A，通过遮风块41来遮挡伴生风43的上层部分43B。另外，沿着伴生风导引面42流动的伴生风的下层部分43A的一部分不接触液珠31而接触模具25的侧面25B。通过抽吸通道46将接触模具25的侧面25B的伴生风43送到模具25的上部。另外，对于不沿着伴生风导引面42而与带23一起流动的伴生风43来说，在伴生风导引面42上流动的伴生风43相应地变少，从而可以抑制液珠31的振动或空气卷入。

对于伴生风导引面42来说，与带23的入口侧(带23的行进方向上游侧)的间隙G1(入口端42A与带23的距离)为0.1mm以上、3mm以下，优选0.5mm以上、2mm以下。0.1mm以上的情况下，即便存在温度变化或带23上的异物等的影响，伴生风导引面42也不易与带23接触，因而优选。另外，若为3mm以下，则容易阻断伴生风43，容易获得遮风的效果。另外，出口侧(带23的行进方向下流侧)的间隙G2(出口端42B与带23的距离)为3mm以上、20mm以下，优选5mm以上、10mm以下。3mm以上的情况下，经引导的伴生风43容易远离液珠31，容易获得表面性状改良效果。另外，20mm以下的情况下，容易抑制被引导的伴生风43中途散乱的情况，容易获得表面性状改良效果。

伴生风导引面42的A方向上的长度L1为10mm以上、40mm以下，优选20mm以上、30mm以下。10mm以上的情况下，经引导的伴生风43容易远离液珠31，容易获得表面性状改良效果。另外，若为40mm以下，则容易抑制经引导的伴生风43中途散乱的情况，容易引导伴生风43，容易获得表面性状改良效果。另外，伴生风导引面42的出口端42B距模具25的喷出口25A的距离L2为2mm以上，优选3mm以上，更优选5mm以上。2mm以上的情况下，经引导的伴生风43不易接触液珠31，容易获得表面性状改良效果。

如图4～图6所示，在第2实施形态中，对第1实施形态的遮风块41在其伴生风导引面55上设置多孔质层51及抽吸通道52，形成遮风块53。此外，关于与第1实施形态相同的构成零件，标注相同符号而省略重复说明。如图6所示，多孔质层51是在B方向上较长地形成。该多孔质层51的表面是平滑地形成。这里所谓平滑，是指算术表面粗糙度Ra为30μm以下。通过将Ra设定为30μm以下，可以将伴生风引向模具25而不将其扰乱。

抽吸通道52是形成在多孔质层51的背面(内面)上。抽吸通道52连接于设置在遮风块53外的负压源54。因此，伴生风43在通过多孔质层51时被抽吸。由此，伴生风43的大部分被引导至伴生风导引面55侧，所以可以相应地减少接触液珠31的伴生风43。

如图7及图8所示，在第3实施形态中，在伴生风导引面60上沿着B方向形成抽吸槽61来代替多孔质层51，构成遮风块62。抽吸槽61的截面为圆形，且在下端具有抽吸口61A。该抽吸槽61是在A方向上排列多个、例如3个。抽吸槽61的B方向的两端连接于负压源54。因此，利用抽吸槽61来抽吸通过间隙G的伴生风43，并从遮风块62的两侧排出。

如图9所示，在第4实施形态中，在第1实施形态的遮风块41的入口侧设置入口导引部71，构成遮风块72，基本构成与第1实施形态的遮风块41相同。遮风块72成为朝向行进方向上游侧突出的形状，在相对于带23的行进方向的最上游侧形成有入口导引部71。为了将伴生风43高效地分离成下层部分43A与上层部分43B，入口导引部71成为锐角。该入口导引部71具有从倾斜上方起与下层伴生风导引面73以锐角接触的上层伴生风导引面74。因此，遮风块72在纵截面中，因下层伴生风导引面73、上层伴生风导引面74及抽吸通道面75而呈大致三角形状。此外，在下层伴生风导引面73上，也可形成如第2实施形态那样的多孔质层51或如第3实施形态那样的抽吸槽61。

在所述各实施形态中，抽吸通道46、抽吸通道52、抽吸槽61的抽吸压力BP为-0.5Pa以上、-100Pa以下，优选-1Pa以上、-50Pa以下。-0.5Pa以上的情况下，容易充分引导伴生风。另外，-100Pa以下的情况下，不易产生由负压的影响所致的液珠自身的变形，因此表面性状变良好。

所述各实施形态中，相对于模具25而在行进方向上游侧设置有遮风块41、遮风块53、遮风块62、遮风块72，也可以在这些遮风块41、遮风块53、遮风块62、遮风块72的上游侧进一步设置减压室。减压室抽吸液珠31的上游侧区域的空气而将该区域内减压，使液珠31的振动减少。

在第2实施形态中，在伴生风导引面42的入口端侧形成有多孔质层51，也可以遍及伴生风导引面42的整个面而形成多孔质层51。

在溶液制膜设备10中，作为产品的膜33的宽度优选600mm以上，更优选1400mm以上、2500mm以下。此外，膜33的宽度大于2500mm的情况下也有效。另外，膜33的膜厚优选15μm以上、80μm以下，特别优选15μm以上、60μm以下，进而优选15μm以上、40μm以下。成为膜33的原料的聚合物并无特别限定，例如有酰化纤维素或环状聚烯烃等。

本发明的酰化纤维素中所用的酰基可仅为一种，或者也可以使用两种以上的酰基。在使用两种以上的酰基时，优选的是其中之一为乙酰基。优选的是以羧酸将纤维素的羟基酯化的比例、即酰基的取代度满足下述式(I)～式(III)全部。此外，以下的式(I)～式(III)中，A及B表示酰基的取代度，A表示乙酰基的取代度，另外B表示碳原子数3～22的酰基的取代度。另外，优选的是三乙酰基纤维素(Triacetyl cellulose，TAC)的90重量％以上为0.1mm～4mm的粒子。

(I)2.0≤A+B≤3.0

(II)1.0≤A≤3.0

(III)0≤B≤2.9

酰基的总取代度A+B优选2.20以上、2.90以下，特别优选2.40以上、2.88以下。另外，碳原子数3～22的酰基的取代度B更优选0.30以上，特别优选0.5以上。

关于酰化纤维素的详细情况，是记载于日本专利特开2005-104148号的[0140]段落～[0195]段落中。这些记载也可以应用到本发明中。另外，关于溶剂及塑化剂、防劣化剂、紫外线吸收剂(UV剂)、光学各向异性控制剂、延迟控制剂、染料、消光剂、剥离剂、剥离促进剂等添加剂，也同样详细记载在日本专利特开2005-104148号的[0196]段落～[0516]段落中。

[实施例]

为了确认各遮风块41、遮风块53、遮风块62、遮风块72的效果，进行实验。实施例1中，如图3所示，使用具有伴生风导引面42的遮风块41来实现液珠31的稳定，利用图1所示的溶液制膜设备10在带23上形成流延膜32后，将该流延膜32剥下而制成膜33，经过第1拉幅机12、干燥装置13、第2拉幅机14，制造膜33，将膜33卷取成卷状。实施例2中，如图4～图6所示，使用在伴生风导引面42上具有多孔质层51的遮风块53，除此以外，在与实施例1相同的条件下制造膜33。实施例3中，如图7、图8所示，使用在伴生风导引面60上具有抽吸槽61的遮风块62，除此以外，在与实施例1相同的条件下制造膜33。实施例4中，如图9所示，使用具有入口导引部71的遮风块72，除此以外，在与实施例1相同的条件下制造膜33。

比较例1中除了使用图10所示的以前的遮风块102以外，在与实施例1相同的条件下制造膜33。比较例2中除了从实施例1中去掉遮风块以外，在与实施例1相同的条件下制造膜33。

实施例1～实施例4中，厚度不均为0.2μm，可流延极限速度为80m/min。相对于此，比较例1中厚度不均为0.4μm，可流延极限速度为40m/min。另外，比较例2中厚度不均为0.8μm，可流延极限速度为40m/min。根据以上结果得知，厚度不均得到改善，且可流延极限速度变高。

此外，厚度不均是设定为干燥状态的膜的流延方向厚度变动的最大值与最小值之差，使用接触式或非接触式的膜厚计来测定厚度变动，根据厚度变动求出厚度不均。可流延极限是根据是否产生空气卷入来确定。空气卷入的发生是通过以下方式来判断：目测确认液珠的着落点附近，在着落点处是否有气泡进入液珠与带之间。

Claims (7)

1.一种流延装置，其特征在于具有：

模具，从喷出口向行进的支撑体喷出浓液，一面在其与所述支撑体之间形成液珠，一面在所述支撑体的表面上形成流延膜；

遮风构件，在较所述液珠更靠所述支撑体的行进方向上游侧设置在所述流延膜的宽度方向上，且以与所述支撑体的表面接近的方式配置，遮挡由所述支撑体所致的对所述液珠的伴生风；以及

伴生风导引面，形成在与所述遮风构件的与所述支撑体的表面接近的部分，将所述伴生风引向所述模具，

所述伴生风导引面为从与所述支撑体的接近表面的位置向所述模具引导所述伴生风、且朝向所述支撑体凸出的弯曲面。

2.根据权利要求1所述的流延装置，其特征在于：所述弯曲面具有表面平滑的多孔质层，从所述多孔质层中抽吸所述伴生风。

3.根据权利要求1所述的流延装置，其特征在于：所述弯曲面具有在所述流延膜的宽度方向上延伸的槽，从所述槽中抽吸所述伴生风。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的流延装置，其特征在于：所述伴生风导引面的所述支撑体行进方向下流侧连接于距所述喷出口2mm以上的所述模具，且沿着所述伴生风导引面而送来的所述伴生风是由在所述模具与所述遮风构件之间形成的抽吸通道所抽吸。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的流延装置，其特征在于：

所述遮风构件与所述支撑体的表面的距离为0.1mm以上、3mm以下，

所述伴生风导引面的所述行进方向上的长度为10mm以上、40mm以下。

6.一种溶液制膜设备，其特征在于具备：

根据权利要求1至3中任一项所述的流延装置；

将所述流延膜从所述支撑体上剥下的剥取构件；以及

将从所述支撑体上剥下的所述流延膜干燥的干燥装置。

7.一种溶液制膜方法，其特征在于包括以下步骤：

使用根据权利要求1至3中任一项所述的流延装置，在所述支撑体上形成所述流延膜的步骤；

将所述流延膜从所述支撑体上剥下的步骤；以及

将从所述支撑体上剥下的所述流延膜干燥的步骤。