CN104499052A - 蓝宝石炉晶体生长提拉机构 - Google Patents

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Abstract

本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构，包括：机架，在机架内穿设有支撑轴；直线模组，直线模组设置在机架上，在直线模组上设有提拉伺服马达机构；提拉基座，提拉基座设置在直线模组上，提拉基座与提拉伺服马达机构连接；承重头，承重头的一端通过转轴与提拉基座转动连接；承重杆，承重杆通过紧固螺栓与承重头固定；提拉轴座，提拉轴座套设在承重杆的外侧，在提拉轴座上设有回旋接头，回旋接头与回旋伺服马达连接；提拉轴，提拉轴穿设于提拉轴座，提拉轴的一端与回旋接头连接；称重计，称重计设置在提拉基座上，称重计前端的调节称重压头与承重头的另一端贴合。本发明籽晶容易调整籽晶位置，满足晶体生长各种工艺要求。

Description

蓝宝石炉晶体生长提拉机构
技术领域
本发明涉及半导体加工领域，特别是一种蓝宝石炉晶体生长提拉机构。
背景技术
市场上的蓝宝石炉生长提拉机构，都是通过相互垂直的两套滑轨来实现籽晶的前后移动、左右移动，无法实现前后摆动，左右摆动。这种结构无法调整，因提拉轴在竖直方向上倾斜(零件制造、装配精度或提拉轴受力后变形等因素造成)造成的籽晶位置偏离，而籽晶偏离热场中心易造成长晶困难或长晶失败；这种结构在长晶过程中如发生粘锅，也缺乏有效解决办法，容易长晶失败；这种提拉机构需要两套滑轨和对角安装的两个称重计，机械结构复杂，成本较高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种满足晶体生长各种工艺要求的蓝宝石炉晶体生长提拉机构。
为解决上述技术问题，本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构，包括：机架，在所述机架内穿设有支撑轴；直线模组，所述直线模组设置在所述机架上，在所述直线模组上设有提拉伺服马达机构；提拉基座，所述提拉基座设置在所述直线模组上，所述提拉基座与所述提拉伺服马达机构连接；承重头，所述承重头的一端通过转轴与所述提拉基座转动连接；承重杆，所述承重杆通过紧固螺栓与所述承重头固定；提拉轴座，所述提拉轴座套设在所述承重杆的外侧，在所述提拉轴座上设有回旋接头，所述回旋接头与回旋伺服马达连接；提拉轴，所述提拉轴穿设于所述提拉轴座，所述提拉轴的一端与所述回旋接头连接；称重计，所述称重计设置在所述提拉基座上，所述称重计前端的调节称重压头与所述承重头的另一端贴合。
在所述承重杆的外侧还设有调整螺母，所述调整螺母套设置在提拉轴座的外侧，在所述提拉轴座的外侧设有与所述调整螺母内壁上的内螺纹相匹配的外螺纹。
在所述机架上设有锁紧机构。在所述承重杆的外侧设有紧定螺钉。
本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构籽晶能够升降、旋转、前后移动、左右移动、前后摆动，左右摆动，容易调整籽晶位置，满足晶体生长各种工艺要求；在晶体生长过程中出现异常情况(粘锅)，可以通过轻微摆动提拉轴，配合提高热场温度，有效解决问题；杠杆式机械机构，结构简单，刚性稳定，成本较低。
附图说明
图1为本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构结构示意图；
图2为本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构测试图及局部放大图。
本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构附图中附图标记说明：
1-支撑轴              2-机架                3-锁紧机构
4-直线模组            5-提拉伺服马达机构    6-承重头
7-调整螺母            8-回旋接头            9-回旋伺服马达
10-称重计             11-提拉基座           12-转轴
13-籽晶               14-承重杆             15-紧定螺钉
16-紧固螺栓           17-提拉轴座           18-提拉轴
19-称重压头
具体实施方式
下面结合附图对本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构作进一步详细说明。
如图1、图2所示，本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构的机架2绕支撑轴1旋转，实现籽晶13前后移动。籽晶13到达合适位置后，可通过锁紧机构3锁紧，防止绕轴转动；提拉伺服马达机构5驱动紧固在直线模组4滑块上的提拉基座11上下运动，实现籽晶13升降运动。承重头6以铰链方式安装在提拉基座11上绕轴转动，称重压头19为支撑点，应用杠杆平衡原理，称重计10可以称量出晶体生长重量。调节称重压头19相对于称重计10的长度，则承重头6通过转轴12绕提拉基座11转动，实现籽晶13左右摆动。承重杆14通过紧固螺栓16紧固在承重头6上，调整螺母7相对于承重杆14轴向位置固定，调整螺母7与提拉轴座17螺纹连接，旋转调整螺母7，可带动提拉轴座17前后移动，实现籽晶13左右移动。提拉轴座17绕承重杆14转动，实现籽晶13前后摆动。籽晶13到达合适位置后，紧固紧定螺钉15，防止绕轴转动；在晶体生长过程中如出现粘锅，可松开紧定螺钉15，轻微摆动提拉轴，配合提高热场温度，能有效解决问题。回旋伺服马达9驱动回旋接头8带动提拉轴18旋转，实现籽晶13回旋运动。
本发明蓝宝石炉晶体生长提拉机构籽晶能够升降、旋转、前后移动、左右移动、前后摆动，左右摆动，容易调整籽晶位置，满足晶体生长各种工艺要求；在晶体生长过程中出现异常情况(粘锅)，可以通过轻微摆动提拉轴，配合提高热场温度，有效解决问题；杠杆式机械机构，结构简单，刚性稳定，成本较低。
以上已对本发明创造的较佳实施例进行了具体说明，但本发明创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换，这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (4)

1.蓝宝石炉晶体生长提拉机构，其特征在于，包括：
机架，在所述机架内穿设有支撑轴；
直线模组，所述直线模组设置在所述机架上，在所述直线模组上设有提拉伺服马达机构；
提拉基座，所述提拉基座设置在所述直线模组上，所述提拉基座与所述提拉伺服马达机构连接；
承重头，所述承重头的一端通过转轴与所述提拉基座转动连接；
承重杆，所述承重杆通过紧固螺栓与所述承重头固定；
提拉轴座，所述提拉轴座套设在所述承重杆的外侧，在所述提拉轴座上设有回旋接头，所述回旋接头与回旋伺服马达连接；
提拉轴，所述提拉轴穿设于所述提拉轴座，所述提拉轴的一端与所述回旋接头连接；
称重计，所述称重计设置在所述提拉基座上，所述称重计前端的调节称重压头与所述承重头的另一端贴合。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石炉晶体生长提拉机构，其特征在于，在所述承重杆的外侧还设有调整螺母，所述调整螺母套设置在提拉轴座的外侧，在所述提拉轴座的外侧设有与所述调整螺母内壁上的内螺纹相匹配的外螺纹。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石炉晶体生长提拉机构，其特征在于，在所述机架上设有锁紧机构。
4.根据权利要求1所述的蓝宝石炉晶体生长提拉机构，其特征在于，在所述承重杆的外侧设有紧定螺钉。
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