CN104492656B - 一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法 - Google Patents

一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法 Download PDF

Info

Publication number
CN104492656B
CN104492656B CN201510023988.8A CN201510023988A CN104492656B CN 104492656 B CN104492656 B CN 104492656B CN 201510023988 A CN201510023988 A CN 201510023988A CN 104492656 B CN104492656 B CN 104492656B
Authority
CN
China
Prior art keywords
repaired
reparation
bottle
working chamber
reparation portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201510023988.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104492656A (zh
Inventor
李娟�
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
BOE Technology Group Co Ltd
Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BOE Technology Group Co Ltd, Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical BOE Technology Group Co Ltd
Priority to CN201510023988.8A priority Critical patent/CN104492656B/zh
Publication of CN104492656A publication Critical patent/CN104492656A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104492656B publication Critical patent/CN104492656B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/06—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to radiation
    • B05D3/061—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by exposure to radiation using U.V.
    • B05D3/065—After-treatment
    • B05D3/067—Curing or cross-linking the coating
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05D3/00—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials
    • B05D3/12—Pretreatment of surfaces to which liquids or other fluent materials are to be applied; After-treatment of applied coatings, e.g. intermediate treating of an applied coating preparatory to subsequent applications of liquids or other fluent materials by mechanical means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Prostheses (AREA)

Abstract

本发明实施例提供一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法，涉及显示技术领域，能够解决现有技术中采用颜料修复法时，修复后的薄膜层厚度不均匀的问题。其中，所述薄膜图案修复装置包括物料供给控制器、至少一个物料瓶、至少一个修复部以及修复驱动器。在修复驱动器的驱动下，修复部平行于待修复表面移动，并将在物料供给控制器的控制下，从物料瓶供给至修复部的物料涂覆于待修复区域。

Description

一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法。
背景技术
TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管-液晶显示器)作为一种平板显示装置，因其具有体积小、功耗低、无辐射以及制作成本相对较低等特点，而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。
TFT-LCD由对盒成型的阵列基板和彩膜基板构成。其中，阵列基板和彩膜基板由多层堆叠而成的薄膜层图案构成。然而，在制作上述薄膜层图案的过程中，会受到制作环境、制作工艺等因素的影响而产生构图缺陷。具体的，以彩膜基板为例，构成彩膜基板的黑矩阵、彩色滤光层以及OC层(Over Coat，保护层)等可以通过涂布、曝光、显影的方式制成。然而，在上述制备过程中，一方面，如果受到制作环境中的灰尘、油污、纤维以及生产原材料中的颗粒等污染物的影响，会使得形成的薄膜层中包裹有上述污染物，从而使得薄膜层图案产生黑缺陷；另一方面，当涂覆的光刻胶中混有气泡时，会导致形成的薄膜层图案，例如彩色滤光层偏薄或部分缺失，从而形成白缺陷。上述缺陷的存在会导致显示面板在显示过程中出现亮点或彩点，从而严重影响显示效果和产品质量。
现有技术中，为了解决上述问题，可以采用可以研磨修复法(Tape)、激光修复法(Lase Repair)以及颜料修复法(Ink Repair)对上述缺陷进行修复。其中，最常用的为颜料修复法，具体是通过将滴管中的颜料滴涂于待修复区域，以完成对薄膜层图案的修复。然而，上述颜料修复法是基于颜料在待修复区域内发生主动扩散，来实现对待修复区域的填充，因此，当待修复区域的面积较大时容易导致修复后的薄膜层的厚度不均匀，产生色差，从而降低了修复效果和产品质量。
发明内容
本发明的实施例提供一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法，能够解决现有技术中采用颜料修复法时，修复后的薄膜层厚度不均匀的问题。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
本发明实施例的一方面，提供一种薄膜图案修复装置，包括：
物料供给控制器，其输出端连接至少一个第一压缩气体输送管的一端；
至少一个物料瓶，所述物料瓶的进气口与所述第一压缩气体输送管的另一端相连接；
至少一个修复部，所述修复部的进料口，通过一个柔性物料输送管与一个所述物料瓶的出料口相连接，用于进行物料滴涂；
修复驱动器，与所述修复部相连接，用于驱动所述修复部平行于待修复表面移动，以将所述物料涂覆于待修复区域。
本发明实施例的另一方面，提供一种薄膜图案修复的方法，采用如上所述的任意一种薄膜图案修复装置进行薄膜图案的修复，所述方法包括：
将修复部移动至待修复区域；
物料供给控制器向物料瓶提供压缩气体，以将所述物料瓶中的物料运送至修复部，所述修复部在待修复表面进行物料滴涂；
修复驱动器驱动所述修复部平行于所述待修复表面移动，以将所述物料涂覆于所述待修复区域。
本发明实施例的又一方面，提供一种用于清洗如上所述的任意一种薄膜图案修复装置的方法，包括：
将修复部移动至清洁槽的上方；
将至少一个物料瓶作为清洗瓶，用于承装清洗液；
物料供给控制器向所述清洗瓶提供压缩气体，以将所述清洗瓶中的清洗液，通过柔性物料输送管运送至修复部，以对所述柔性物料输送管和所述修复部进行清洗。
本发明实施例提供一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法。其中，所述薄膜图案修复装置可以包括物料供给控制器、至少一个物料瓶、至少一个修复部以及修复驱动器。具体的，物料供给器通过第一压缩气体输送管与物料瓶相连接，用于向第一压缩气体输送管输送压缩气体，以使得物料瓶中的物料能够从物料瓶的出料口挤出。修复部通过一个柔性物料输送管与物料瓶相连接，使得从物料瓶冲挤出的物料能够输送至修复部，所述修复部将输送至修复部的物料滴涂于待修复区域。修复驱动器与修复部相连接，通过修复驱动器驱动修复部平行于待修复表面移动，以将滴涂于待修复为位置的物料均匀的涂覆于待修复区域，从而使得修复后的薄膜层厚度均一，避免了色差的产生，提高了修复效果和产品质量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1a为本发明实施例提供的一种薄膜图案修复装置的结构示意图；
图1b为本发明实施例提供的一种薄膜图案修复装置的定位；
图1c为本发明实施例提供的一种用于安装修复部的支架的结构示意图；
图1d为本发明实施例提供的一种修复部修复过程示意图；
图2为本发明实施例提供的一种修复部的结构示意图；
图3a为本发明实施例提供的另一种修复部的结构示意图；
图3b为本发明实施例提供的一种多孔渗透隔板的结构示意图；
图4为本发明实施例提供的又一种修复部的结构示意图；
图5为本发明实施例提供的另一种薄膜图案修复装置的结构示意图；
图6为本发明实施例提供的一种薄膜图案修复方法流程图；
图7为本发明实施例提供的另一种薄膜图案修复方法流程图；
图8为本发明实施例提供的又一种薄膜图案修复方法流程图；
图9为本发明实施例提供的一种用于清洗薄膜图案修复装置的方法流程图。
附图说明：
01-薄膜图案修复装置；02-基板；10-物料供给控制器；100-导轨；101、101’-气压阀；11-支架；12-物料瓶；120-补给口；121-清洗瓶；122-黑矩阵物料瓶；123-红色颜料瓶；124-绿色颜料瓶；125-蓝色颜料瓶；126-保护层物料瓶；13-修复部；130、130’-工作腔；131-刷头；132-挡板；133-多孔渗透隔板；1330-渗透孔；134-活塞；135-工作腔的侧壁；14-修复驱动器；15-遮光罩；20-第一压缩气体输送管；21-柔性物料输送管；22-第二压缩气体输送管；A-待修复表面；B-待修复区域；30-转动马达；31-固定板；32-第一导向轴；33-第二导向轴。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供一种薄膜图案修复装置01，如图1a所示，可以包括：
物料供给控制器10，其输出端连接至少一个第一压缩气体输送管20的一端；
至少一个物料瓶12，所述物料瓶的进气口与第一压缩气体输送管20的另一端相连接；
至少一个修复部13，修复部13的进料口，通过一个柔性物料输送管21与一个物料瓶12的出料口相连接，用于进行物料滴涂；
修复驱动器14，与修复部13相连接，用于驱动修复部13平行于待修复表面A移动，以将物料涂覆于待修复区域B。
需要说明的是，第一、所述待修复表面A可以是指基板02，例如阵列基板或彩膜的基板上，薄膜层图案出现缺陷而需要修复的表面。而待修复区域B可以是指，基板02的待修复表面A上，上述缺陷的位置。
第二、本发明对物料瓶12中承装的物料不做限制。根据物料瓶12中物料种类的不同，所述薄膜图案修复装置01的作用也不同。例如，当彩膜基板上或阵列基板上形成的彩色滤光层的图案出现缺陷(白缺陷或黑缺陷)时，可以将上述多个物料瓶12承装不同颜色的颜料，例如构成三原色的红色、绿色或蓝色的颜料，以使得所述薄膜图案修复装置01能够对不同颜色的彩色滤光薄膜层图案进行修复。又例如，当阵列基板上由透明导电材料构成的像素电极层的图案出现上述缺陷时，可以将上述多个物料瓶12中的一个承装上述透明导电材料，例如氧化铟锡、氧化铟锡等，以使得所述薄膜图案修复装置01能够对像素电极层的图案进行修复。再或者，当需要对所述薄膜图案修复装置01进行清洗时，可以将上述多个物料瓶12中的一个承装清洗液，该清洗液可以与所述薄膜图案修复装置01进行薄膜图案修复工作时，物料瓶12中承装的物料互溶的有机溶剂。例如可以与构成三原色的颜料互溶的由γ-丁内酯构成的有机溶剂，以使得所述薄膜图案修复装置01能够对承装由颜料的物料瓶12以及修复部13和柔性物料输送管21进行清洗，以防止颜料凝固而发生物料输送堵塞的现象。
当然，上述仅仅是对所述薄膜图案修复装置01作用的举例说明，其它作用在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。
此外，当上述薄膜图案修复装置01用于对彩膜基板上的薄膜层图案进行修复时，上述物料瓶12的容量范围可以为0.1ml～1.5ml。当物料瓶12的容量小于0.1ml时，由于其能够承装的物料，例如颜料太少，能够持续修复的时间将缩短，这样一来，需要多次停机以对物料瓶12中的颜料进行添加，从而降低了生产效率。当物料瓶12的容量大于1.5ml时，由于其能够承装的颜料较多，在使用的过程中，未被利用的颜料容易凝固，从而造成颜料输送管路的堵塞，以及颜料的浪费。
第三、薄膜图案修复装置01在进行修复工作之前，需要将图案修复装置01进行移动，以使得修复部13的位置能够与待修复区域B相对应。具体的，如图1b所示，可以将薄膜图案修复装置01滑动安装于导轨100上，薄膜图案修复装置01能够在导轨100上沿第一方向X左右移动，并且导轨100可以沿第二方向Y前后移动。这样一来，可以根据具体待修复区域B所在的坐标(X，Y)，将图案修复装置01的修复部13的位置与待修复区域B相对应。
其中，第一方向X与第二方向Y平行于所述待修复表面A，并且第一方向X与第二方向Y相互垂直。
第四、当图案修复装置01移动至待修复区域B所在的区域后，需要通过修复驱动器14驱动修复部13平行于待修复表面A移动。具体的，如图1c所示，可以将修复部13可拆卸的安装于支架11上。这样一来，修复驱动器14可以驱动支架11进行平行于待修复表面A移动，从而带动支架11上的修复部13进行动作。
此外，当待修复区域B的形状如图1d所示，具有夹角α，沿第一修复路径O-O’(虚线箭头所示)进行修复时，无法对夹角α处的缺陷进行修复，因此，在修复驱动器14驱动支架11进行平行于待修复表面A移动之前，还需要将修复部13进行转动，从而使得修复部沿第二修复路径O1-O1’(实线箭头所示)进行修复，以完成对夹角α处的缺陷进行修复。
具体的，可以将支架11固定于转动马达30上，从而可以根据待修复区域B的具体形状，在修复驱动器14驱动转动马达30转动的过程中，将修复部13进行转动，从而调整修复部13的实际修复路径。其中，修复部13的转动范围可以设定为小于等于90°。从而可以沿一个方向(顺时针或逆时针)使得修复部13进行转动。
此外，将转动马达30通过固定板31固定在第一导向轴32上，第一导向轴32可以为磁力驱动导轨，实现修复部13沿垂直于待修复表面A移动(即沿第三方向Z移动)的升降运动。并且，第一导向轴32可以固定在第二导向轴33上，通过磁力驱动，第一导向轴32可以沿着第一方向X或第二方向Y方向运用，从而实现修复部13平行于待修复表面A移动。
其中，图案修复装置01中的所有修复部13可以安装于同一个支架11上，虽然支架11运动的时，所有修复部13都会动作，但是可以通过物料供给控制器10，控制物料瓶12不向未进行修复工作的修复部13提供物料，因此即使未进行修复工作的修复部13进行移动，也不会对没有缺陷的薄膜层图案进行修复。此外还可以将不同的修复部13可以安装于不同的支架11，从而方便对每一个修复部13的移动进行控制。
当然，上述仅仅是对修复驱动器14驱动修复部13进行移动的举例说明，其它驱动方法在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。
第五、由于修复部13在修复驱动器14的驱动下，会平行于待修复表面A移动，因此与修复部13相连接的柔性物料输送管21可有柔性材料，例如柔性塑料构成。这样一来，可以防止修复部13在运动的过程中，导致柔性物料输送管21发生折断。此外，柔性物料输送管21还可以采用棕色透明塑料构成。这样一来，当物料瓶中的物料为光固化材料时，棕色的柔性物料输送管21可以防止在输送物料的过程中，由于受到光照而使得物料发生固化，堵塞柔性物料输送管21。并且，由于柔性物料输送管21透明，可以方便操作人员观察物料的输送情况，当柔性物料输送管21内出现气泡时，可以将薄膜图案修复装置进行停机，并对柔性物料输送管21进行清洗处理，从而表面了由于气泡引起的修复后的薄膜层出现白缺陷的现象产生。
本发明实施例提供一种薄膜图案修复装置。其中，所述薄膜图案修复装置可以包括物料供给控制器、至少一个物料瓶、至少一个修复部以及修复驱动器。具体的，物料供给器通过第一压缩气体输送管与物料瓶相连接，用于向第一压缩气体输送管输送压缩气体，以使得物料瓶中的物料能够从物料瓶的出料口挤出。修复部通过一个柔性物料输送管与物料瓶相连接，使得从物料瓶冲挤出的物料能够输送至修复部，所述修复部将输送至修复部的物料滴涂于待修复区域。修复驱动器与修复部相连接，通过修复驱动器驱动修复部平行于待修复表面移动，以将滴涂于待修复为位置的物料均匀的涂覆于待修复区域，从而使得修复后的薄膜层厚度均一，避免了色差的产生，提高了修复效果和产品质量。
显示器件的显示效果与PPI(Pixels Per Inch，每英寸所拥有的像素数目)数值有关。PPI数值越高，即代表显示器件能够以越高的密度显示图像。因此，显示的密度越高，拟真度就越高，画面越细腻。然而，对于高PPI的显示器件而言，其阵列基板或彩膜基板上的薄膜层图案的线宽就越小，因此出现缺陷的待修复区域B的尺寸也越小。所以需要尺寸较小的修复部13对上述尺寸较小的待修复区域B进行修复。然而对于低PPI的显示器件而言，其阵列基板或彩膜基板上的薄膜层图案的线宽就越大，因此出现缺陷的待修复区域B的尺寸也较大。如果使用尺寸较小的修复部13，会增加修复时间，所以为了提高修复效率，需要尺寸较大的修复部13对上述尺寸较大的待修复区域B进行修复。然而，如果针对不同的PPI，制备不同尺寸的修复部13，会大大增加生产成本，并且在更换修复部13的过程中，需要对薄膜图案修复装置进行停机(Down机)处理，因此会延长修复作业的时间，降低生产效率。
为了使得薄膜图案修复装置的修复部13能够对不同PPI的显示器件上的薄膜图案的缺陷进行修复，本发明提供以下方案。
实施例一
如图2所示，修复部13可以包括至少两个工作腔130。修复驱动器14(图2中未示出)通过第二压缩气体输送管22与工作腔130相连接，用于驱动至少一个工作腔130进行物料滴涂。
这样一来，可以根据待修复区域B的尺寸，通过修复驱动器14对需要进行修复工作的工作腔130的数量进行选择。例如，对于高PPI的显示器件而言，由于其内部的薄膜层图案的线宽较小，因此可以选择一个或两个工作腔130同时进行修复工作。对于低PPI的显示器件而言，由于其内部的薄膜层图案的线宽较大，因此可以选择三个以上的工作腔130同时进行修复工作。通过上述结构的修复部13，在无需更换修复部13的情况下，就可以实现对不同线宽的薄膜层图案的修复。因此能够减小生产成本，提高生产效率。
以下通过具体的实施例对工作腔130的结构，以及修复驱动器14驱动至少一个工作腔130进行修复工作的具体过程进行举例说明。
实施例二
所述工作腔130内可以设置有刷头131，如图3a所示，是以修复部13包括两个工作腔130为例进行的说明。其中，每个工作腔130内均设置有一个刷头131。
每个工作腔130的进气口通过第二压缩气体输送管22与修复驱动器相14(图3a中未示出)连接；其中，工作腔130的进气口处设置有气压阀101。
刷头131在修复驱动器14的控制下，垂直于待修复表面A移动(即沿第三方向Z移动)。这样一来，可以根据待修复区域B的尺寸，通过修复驱动器14对需要进行修复工作的工作腔130的数量进行选择。如图3a所示，待修复表面A上的待修复区域B的尺寸较小，通过一个工作腔130即可以完成修复。
具体的，在修复的过程中，可以将右边工作腔130’进气口处的气压阀101’打开，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向右边的工作腔130’输入负向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得位于右边工作腔130’中的刷头131’沿着第三方向Z向上移动，远离待修复表面A，使得右边工作腔130’中的刷头131’进入非工作状态。这样一来，当物料瓶12中的物料通过柔性物料输送管21运送至修复部13时，会流入左边的工作腔130内，并通过位于左边工作腔130内的刷头131滴涂于待修复区域B处，并在修复驱动器14的驱动下，修复部13平行于待修复表面A移动，以使得左边工作腔130内的刷头131将上述滴涂于待修复区域B处的物料涂覆于待修复区域B，从而完成薄膜层图案的修复。
上述修复过程，是以毛刷131的初始位置位于工作腔130靠近待修复表面A的一侧为例进行的说明。当毛刷131的初始位置靠近工作腔130的进气口时，在修复的过程中，可以将左边工作腔130进气口处的气压阀101打开，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向左边的工作腔130’输入正向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得位于左边工作腔130中的刷头131沿着第三方向Z向下移动，靠近待修复表面A，使得左边工作腔130中的刷头131进入待工作状态。接下来的修复过程同上所述，此处不再赘述。
需要说明的是，第一、上述两个左、右两个工作腔130、130’可以通过挡板132隔开。以防止两个工作腔130中的气压互相串通，而导致修复驱动器14对工作腔130的数量进行选择时出错。
第二、为了实现对高PPI显示器件中的薄膜层图案的修复，例如对于500PPI左右的显示器件而言，刷头131在第一方向X或第二方向Y上的宽度范围可以为3μm～5μm。当刷头131的在第一方向X或第二方向Y上的宽度小于3μm时，由于刷头131的尺寸太小，对制作刷头的工艺要求较高，制作难度较大，成本较高。当刷头131的在第一方向X或第二方向Y上的宽度大于5μm，由于刷头131的尺寸太大，在修复过程中，会因为薄膜修复图案的线宽较小而造成修复图案覆盖其他未出现缺陷的薄膜层图案，造成薄膜成图案的污染。综上所述，对于500PPI左右的显示器件而言，优选的单个刷头131可以修复的区域的面积范围为9μm～5μm之间。
第三、在刷头131在涂覆物料时，为了提高修复后薄膜层厚度的均一性，避免刷头131在修复过程中对待修复区域B周围的薄膜层的破坏。上述刷头131可以由纤维簇构成，所述纤维簇中的纤维的直径范围为0.1μm～0.3μm，长度范围为3mm～5mm。当纤维的直径小于0.1μm时，制造纤维的难度较大，制作精度较高，生产成本较高。而当纤维的直径大于0.3μm时，构成的纤维簇不够紧密，质地较硬容易划伤未出现缺陷的薄膜层的表面。而当纤维的长度小于3mm时，构成的纤维簇不够柔软，划伤未出现缺陷的薄膜层的表面。当纤维的长度大于5mm时，构成的纤维簇过于柔软，降低了刷头131的修复力度，延长了修复时间。
因此，所述纤维簇中的纤维的优选直径范围为0.1μm～0.3μm，优选长度范围为3mm～5mm。这样一来，构成的刷头131的用于涂覆物料的表面纤维分布均匀、紧凑，刷头131质地柔软适中，具有较强的吸收物料的能力。且不易产生纤维脱落的现象，提高了刷头易清洗、耐用的性能。
第四、为了使得从柔性物料输送管21供给制工作腔130的物料能够均匀的被刷头131吸收，可以在所述刷头131远离待修复表面A的一侧设置多孔渗透隔板133。所述多孔渗透隔板133上如图3b所示，为设置有多个均匀分布的渗透孔1330，从而使得物料能够从均匀分布的渗透孔1330透过，从而被刷头131均匀的吸收，进而使得通过刷头131涂覆形成的修复薄膜层图案的厚度均匀。
实施例三
如图4所示，修复部13还可以包括覆盖工作腔130入料口表面的活塞134。
活塞134位于修复部13的进气口处，所述修复部13的进气口通过第二压缩气体输送管22与修复驱动器14(图4中未示出)相连接。其中，修复部13的进气口处设置有气压阀101。
活塞134，在修复驱动器14的控制下，可以平行于待修复表面A移动。这样一来，可以根据待修复区域B的尺寸，通过修复驱动器14对需要进行修复工作的工作腔130的数量进行选择。如图4所示，待修复表面A上的待修复区域B的尺寸较小，通过一个工作腔130即可以完成修复。
具体的，在修复的过程中，可以将右边修复部13进气口处的气压阀101打开，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向修复部13输入负向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得活塞134平行于待修复表面A向右移动。活塞134移动的过程中，可以将最左端的工作腔130的上端，即入料口打开，使得最左端的工作腔130处于待工作状态。这样一来，当物料瓶12中的物料通过柔性物料输送管21运送至修复部13时，会流入左端的工作腔130内，滴涂于待修复区域B处，并在修复驱动器14的驱动下，修复部13平行于待修复表面A移动，以使得左端工作腔130的侧壁135将上述滴涂于待修复区域B处的物料涂覆于待修复区域B，从而完成薄膜层图案的修复。
上述修复过程，是以活塞134向右移动为例进行的说明。当活塞134的左端预留有移动空间时，在修复的过程中，在修复部13进气口处的气压阀101打开的情况下，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向修复部13输入正向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得活塞134平行于待修复表面A向左移动。活塞134移动的过程中，可以将最右端的工作腔130’的上端，即入料口打开，使得最右端的工作腔130’处于待工作状态。接下来的修复过程同上所述，此处不再赘述。
需要说明的是，第一、工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的宽度范围可以为10μm～100μm。相对于实施例二中的修复部13而言，虽然本实施例中工作腔130的尺寸较大的，但是相对于现有技术而言，仍然能够满足对高PPI显示器件中的薄膜层图案的修复的要求。其中，当工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的宽度小于10μm时，由于工作腔130的尺寸太小，对加工精度的要求较高，因此不利于成本的降低。当工作腔130在第一方向X或第二方向Y上的宽度大于100μm时，由于工作腔130的尺寸太大在修复过程中，会因为薄膜修复图案的线宽较小而造成修复图案覆盖其他未出现缺陷的薄膜层图案，造成薄膜成图案的污染。
第二、为了使得从柔性物料输送管21供给制工作腔130的物料能够均匀的滴涂于待修复区域B，可以在工作腔130的入料口与活塞134之间设置上述多孔渗透隔板133。与实施例二中的多孔渗透隔板133的功能相同，可以使得物料能够从均匀分布的渗透孔1330透过，从而通过工作腔130均匀的滴涂于待修复区域B，进而使得通过修复部13形成的修复薄膜层图案的厚度均匀。
上述实施例二、实施例三均是以修复部包括两个工作腔时，通过修复驱动器14选择其中一个工作腔130的进行修复工作为例进行的说明。当修复部包括两个以上的工作腔时，通过修复驱动器14对需要进行修复工作的工作腔130的数量进行选择的方法同上所述，此处不再赘述但都应当属于本发明的保护范围。
此外，无论对于实施例一、实施例二还是实施例三，当物料瓶12中的物料为感光固化材料时，为了方式物料瓶中的物料受到光照后发生固化，从而堵塞物料输送管道，因此上述薄膜图案修复装置01如图5所示，还可以包括覆盖物料瓶12的遮光罩15。上述遮光罩15可以采用黑色硬质材料制成，并采用可拆卸方式进行安装，从而能够方便对物料瓶12进行安装、置换和观察。
此外，为了方便对物料瓶12中的物料进行补给，可以在物料瓶12上设置有补给口120。
进一步地，物料瓶12的进气口处，以及与相邻两个物料瓶12的出料口处可以设置有气压阀101，因此通过上述气压阀101，通过上述气压阀101对物料输送路径进行控制。
具体的，当上述薄膜图案修复装置01用于对彩膜基板上的薄膜层图案进行修复时，如图5所示，薄膜图案修复装置01可以设置6个物料瓶，最右端的物料瓶121未连接修复部13。因此，该物料瓶121可以用来承装清洗液。在清洗的过程中，将物料瓶121进气口处的气压阀101打开，其它物料瓶(122～126)进气口处的气压阀101关闭。接下来，将相邻两个物料瓶12的出料口处设置的所有气压阀101打开，这样一来，从物料瓶121中输出的清洗液可以流入所有与物料瓶(122～126)相连接的柔性物料输送管21，以及修复部13。从而对整个薄膜图案修复装置01进行清洗。
此外，可以将物料瓶(122～126)依次承装黑矩阵材料、红色颜料、绿色颜料、蓝色颜料、以及保护层(Over Coat，简称OC)材料。接下来，将所有物料瓶12进气口处，以及相邻两个物料瓶12的出料口处的气压阀101关闭。在修复过程中，当需要对红色彩色滤光薄膜层图案进行修复时，可以将物料瓶123进气口处的气压阀101打开，使得物料供给控制器10能够像物料瓶123中提供正向气压的压缩气体，将物料瓶123中的红色颜料输送至与物料瓶123相连接的修复部13中，从而实现对红色彩色滤光薄膜层图案的修复。其它薄膜层图案的修复过程同上所述，此处不再赘述。
本发明实施例提供一种薄膜图案修复的方法，采用如上所述的任意一种薄膜图案修复装置01进行薄膜图案的修复，所述方法如图6所示，可以包括：
S101、将修复部13移动至待修复区域B。
S102、物料供给控制器10向物料瓶12提供压缩气体，以将物料瓶12中的物料运送至修复部13，修复部13在待修复表面A进行物料滴涂。
S103、修复驱动器14驱动修复部13平行于待修复表面A移动，以将物料涂覆于待修复区域B。
需要说明的是，当待修复区域B的形状如图1d所示，具有夹角α，沿第一修复路径O-O’(虚线箭头所示)进行修复时，无法对夹角α处的缺陷进行修复，因此在修复驱动器14驱动修复部13平行于待修复表面A移动的步骤之前，上述方法还可以包括：
修复驱动器14驱动转动马达30进行旋转，以使得固定于转动发达30上的修复部13发生转动，从而使得修复部沿第二修复路径O1-O1’(实线箭头所示)进行修复，从而完成对夹角α处的缺陷进行修复。
本发明实施例提供一种薄膜图案修复的方法，包括，首先，将修复部移动至待修复区域，以使得修复部进入待修复状态。接下来，物料供给控制器向物料瓶提供压缩气体，以将物料瓶中的物料运送至修复部，修复部在待修复表面进行物料滴涂。最后，修复驱动器驱动修复部平行于待修复表面移动，以将物料涂覆于待修复区域。通过修复部的移动，可以使得修复后的薄膜层厚度均一，避免了色差的产生，提高了修复效果和产品质量。
显示器件的显示效果与PPI(Pixels Per Inch，每英寸所拥有的像素数目)数值有关。PPI数值越高，即代表显示器件能够以越高的密度显示图像。因此，显示的密度越高，拟真度就越高，画面越细腻。然而，对于高PPI的显示器件而言，其阵列基板或彩膜基板上的薄膜层图案的线宽就越小，因此出现缺陷的待修复区域B的尺寸也越小。所以需要尺寸较小的修复部13对上述尺寸较小的待修复区域B进行修复。然而对于低PPI的显示器件而言，其阵列基板或彩膜基板上的薄膜层图案的线宽就越大，因此出现缺陷的待修复区域B的尺寸也较大。如果使用尺寸较小的修复部13，会增加修复时间，所以为了提高修复效率，需要尺寸较大的修复部13对上述尺寸较大的待修复区域B进行修复。然而，如果针对不同的PPI，制备不同尺寸的修复部13，会大大增加生产成本，并且在更换修复部13的过程中，需要对薄膜图案修复装置进行停机(Down机)处理，因此会延长修复作业的时间，降低生产效率。
为了使得薄膜图案修复装置的修复部13能够对不同PPI的显示器件上的薄膜图案的缺陷进行修复，本发明提供以下方案。
实施例四
如图2所示，在修复部13可以包括至少两个工作腔130的情况下，修复驱动器14驱动修复部13的方法可以包括：
修复驱动器14驱动至少一个工作腔130在待修复区域B进行物料滴涂。
这样一来，可以根据待修复区域B的尺寸，通过修复驱动器14对需要进行修复工作的工作腔130的数量进行选择。例如，对于高PPI的显示器件而言，由于其内部的薄膜层图案的线宽较小，因此可以选择一个或两个工作腔130同时进行修复工作。对于低PPI的显示器件而言，由于其内部的薄膜层图案的线宽较大，因此可以选择三个以上的工作腔130同时进行修复工作。通过上述结构的修复部13，在无需更换修复部13的情况下，就可以实现对不同线宽的薄膜层图案的修复。因此能够减小生产成本，提高生产效率。
以下通过具体的实施例，针对不同的工作腔130结构，对修复驱动器14驱动至少一个工作腔130进行修复工作的具体过程进行举例说明。
实施例五
当修复部13的结构如图3a所示时，为了描述简单易修复部13包括两个工作腔130为例对进行说明。所述修复方法如图7所示，可以包括：
S201、打开一个工作腔130进气口处的气压阀101。
具体的，如图3a所示，可以打开右边工作腔130’进气口处的气压阀101’。
S202、修复驱动器向一个工作腔130提供负向气压的压缩气体，所述一个工作腔内的刷头远离所述待修复表面移动。
具体的，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向右边的工作腔130’输入负向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得位于右边工作腔130’中的刷头131’沿着第三方向Z向上移动，远离待修复表面A，使得右边工作腔130’中的刷头131’进入非工作状态。
S203、将另一个工作腔移动至待修复区域。
具体的，在修复驱动器14的驱动下，将左边的工作腔130移动至待修复区域B。
S204、物料供给控制器10向物料瓶12提供压缩气体，以将物料瓶中12的物料运送至另一个工作腔(即左边的工作腔130)。
S205、修复驱动器14驱动另一个工作腔(即左边的工作腔130)进行物料滴涂。
S206、修复驱动器14驱动修复部13平行于待修复表面A移动，以将物料涂覆于待修复区域B，从而完成薄膜层图案的修复。
上述修复过程，是以毛刷131的初始位置位于工作腔130靠近待修复表面A的一侧为例进行的说明。当毛刷131的初始位置靠近工作腔130的进气口时，在修复的过程中，可以将左边工作腔130进气口处的气压阀101打开，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向左边的工作腔130’输入正向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得位于左边工作腔130中的刷头131沿着第三方向Z向下移动，靠近待修复表面A，使得左边工作腔130中的刷头131进入待工作状态。接下来的修复过程同上所述，此处不再赘述。
实施例六
当修复部13的结构如图4所示时，所述修复方法如图8所示，可以包括：
S301、打开修复部13进气口处的气压阀101。
具体的，可以将右边修复部13进气口处的气压阀101打开。
S302、修复驱动器14向所述修复部13提供压缩气体，驱动活塞134沿平行于待修复表面A移动，以将至少一个工作腔130的入料口打开。
具体的，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向修复部13输入负向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得活塞134平行于待修复表面A向右移动。活塞134移动的过程中，可以将最左端的工作腔130的上端，即入料口打开，使得最左端的工作腔130处于待工作状态。
S303、物料供给控制器10向物料瓶12提供压缩气体，以将物料瓶12中的物料运送至入料口打开的工作腔(即最左端的工作腔130)中。
S304、修复驱动器14驱动入料口打开的工作腔(即最左端的工作腔130)进行物料滴涂。
S305、修复驱动器14驱动修复部13平行于待修复表面A移动，以将物料涂覆于待修复区域B，从而完成薄膜层图案的修复。
上述修复过程，是以活塞134向右移动为例进行的说明。当活塞134的左端预留有移动空间时，在修复的过程中，在修复部13进气口处的气压阀101打开的情况下，修复驱动器14通过第二压缩气体输送管22向修复部13输入正向气压，例如气压范围的绝对值为0.5～2Mpa的压缩气体，使得活塞134平行于待修复表面A向左移动。活塞134移动的过程中，可以将最右端的工作腔130’的上端，即入料口打开，使得最右端的工作腔130’处于待工作状态。接下来的修复过程同上所述，此处不再赘述。
上述实施例五、实施例六均是以修复部包括两个工作腔时，通过修复驱动器14选择其中一个工作腔130的进行修复工作为例进行的说明。当修复部包括两个以上的工作腔时，通过修复驱动器14对需要进行修复工作的工作腔130的数量进行选择的方法同上所述，此处不再赘述但都应当属于本发明的保护范围。
此外，无论对于实施例四、实施例五还是实施例六，在启动薄膜图案修复装置01之前，所述修复方法还可以包括：
采用激光对待修复区域B进行灰化处理。从而使得待修复区域B的形状规则，有利于控制修复部13的移动，以形成厚度均匀的修复后的薄膜层图案。
此外，所述修复方法还可以包括：
对经过修复部13涂覆后的待修复区域B进行紫外光固化处理。这样一来，能够缩短修复后薄膜层图案固化的时间，表面未固化的修复后薄膜层图案被工作环境中的杂质、灰尘等二次污染。
本发明实施例提供一种用于清洗如上所述的任意一种薄膜图案修复装置01的方法，如图9所示，可以包括：
S401、将修复部13移动至清洁槽的上方。
其中，清洁槽，可以是一个通槽，或者还可以由多个矩形槽构成。矩形槽的数量与修复部13的数量相同。这样一来，在清洗的过程中每个修复部13可以与一个矩形槽对应，防止不同修复部13在清洗后排除的费液相互混合，对修复部13造成污染。
S402、将至少一个物料瓶12作为清洗瓶，用于承装清洗液。
S403、物料供给控制器10向清洗瓶12提供压缩气体，以将清洗瓶12中的清洗液，通过柔性物料输送管21运送至修复部13，以对柔性物料输送管21和修复部13进行清洗。
具体的，如图5所示，薄膜图案修复装置01可以设置6个物料瓶，最右端的物料瓶121未连接修复部13。因此，该物料瓶121可以用来承装清洗液。在清洗的过程中，将物料瓶121进气口处的气压阀101打开，其它物料瓶(122～126)进气口处的气压阀101关闭。接下来，将相邻两个物料瓶12的出料口处设置的所有气压阀101打开，这样一来，从物料瓶121中输出的清洗液可以流入所有与物料瓶(122～126)相连接的柔性物料输送管21，以及修复部13。从而对整个薄膜图案修复装置01进行清洗。
此外的，当薄膜图案修复装置01处于非工作状态时，可以将一定量的清洗液注入清洗槽中，并在柔性物料输送管21中存储一定量的清洗液。将将修复部13浸泡在清洗槽中，从而防止柔性物料输送管21和修复部13中残留的物料边干，而堵塞物料输入管路。
本发明实施例提供一种用于清洗薄膜图案修复装置的方法，将修复部移动至清洁槽的上方；将至少一个物料瓶作为清洗瓶，用于承装清洗液；物料供给控制器向清洗瓶提供压缩气体，以将清洗瓶中的清洗液，通过柔性物料输送管运送至修复部，以对柔性物料输送管和所述修复部进行清洗。这样一来，无需提供其他清洗装置，直接通过薄膜图案修复装置自身就可以实现对修复部和柔性物料输送管的清洗，从而提高了生产效率，降低了生产成本。
此外，在物料瓶12的进气口处设置有气压阀101的情况下，物料供给控制器10向清洗瓶(如图5所示的121)提供压缩气体的步骤之前，所述清洁方法还可以包括：
首先，打开物料瓶(如图5所示的物料瓶122～126)的进气口处的气压阀101。
然后，物料供给控制器10向物料瓶(122～126)的进气口提供负向的压缩气体，以使得物料瓶(122～126)中的物料具有背离修复部13流动的趋势。从而可以防止在清洗的过程中，物料瓶(122～126)中的物料流入修复部13中，降低清洗效果。
本领域普通技术人员可以理解：实现上述方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成，前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，执行包括上述方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：ROM、RAM、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (23)

1.一种薄膜图案修复装置，其特征在于，包括：
物料供给控制器，其输出端连接至少一个第一压缩气体输送管的一端；
至少一个物料瓶，所述物料瓶的进气口与所述第一压缩气体输送管的另一端相连接；
至少一个修复部，所述修复部的进料口，通过一个柔性物料输送管与一个所述物料瓶的出料口相连接，用于进行物料滴涂；
修复驱动器，与所述修复部相连接，用于驱动所述修复部平行于待修复表面移动，以将所述物料涂覆于待修复区域。
2.根据权利要求1所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，还包括与所述修复驱动器相连接的转动马达，所述修复部固定于所述转动马达上。
3.根据权利要求1或2所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述修复部包括至少两个工作腔；
所述修复驱动器通过第二压缩气体输送管与所述工作腔相连接，用于驱动至少一个所述工作腔进行物料滴涂。
4.根据权利要求3所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述工作腔内设置有刷头；
所述工作腔的进气口通过所述第二压缩气体输送管与所述修复驱动器相连接；其中，所述工作腔的进气口处设置有气压阀；
所述刷头在所述修复驱动器的控制下，垂直于所述待修复表面移动。
5.根据权利要求4所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述刷头在第一方向或第二方向上的宽度范围为3μm～5μm；
其中，所述第一方向与所述第二方向均平行于所述待修复表面，且相互垂直。
6.根据权利要求4所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述刷头由纤维簇构成，所述纤维簇中的纤维的直径范围为0.1μm～0.3μm，长度范围为3mm～5mm。
7.根据权利要求4所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述工作腔内还设置有：
多孔渗透隔板，位于所述刷头远离所述待修复表面的一侧。
8.根据权利要求3所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述修复部还包括覆盖所述工作腔入料口表面的活塞；
所述活塞位于所述修复部的进气口处，所述修复部的进气口通过第二压缩气体输送管与所述修复驱动器相连接；其中，所述修复部的进气口处设置有气压阀；
所述活塞，在所述修复驱动器的控制下，平行于所述待修复表面移动。
9.根据权利要求8所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述工作腔在所述第一方向或所述第二方向上的宽度范围为10μm～100μm。
10.根据权利要求8所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述修复部还包括：位于所工作腔入料口与所述活塞之间的多孔渗透隔板。
11.根据权利要求1所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，还包括：覆盖所述物料瓶的遮光罩。
12.根据权利要求1所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，
所述物料瓶的进气口处，以及相邻两个所述物料瓶的出料口处设置有气压阀。
13.根据权利要求1所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述物料瓶上设置有用于补给物料的补给口。
14.根据权利要求1所述的薄膜图案修复装置，其特征在于，所述物料瓶的容量范围为0.1ml～1.5ml。
15.一种薄膜图案修复的方法，其特征在于，采用如权利要求1-14任一项所述的薄膜图案修复装置进行薄膜图案的修复，所述方法包括：
将修复部移动至待修复区域；
物料供给控制器向物料瓶提供压缩气体，以将所述物料瓶中的物料运送至修复部，所述修复部在待修复表面进行物料滴涂；
修复驱动器驱动所述修复部平行于所述待修复表面移动，以将所述物料涂覆于所述待修复区域。
16.根据权利要求15所述的薄膜图案修复的方法，其特征在于，在修复驱动器驱动所述修复部平行于所述待修复表面移动的步骤之前，所述方法还包括：
修复驱动器驱动转动马达进行旋转，以使得固定于所述转动发达上的所述修复部发生转动。
17.根据权利要求15或16所述的薄膜图案修复的方法，其特征在于，在所述修复部包括至少两个工作腔的情况下，所述修复驱动器驱动所述修复部的方法包括：
所述修复驱动器驱动至少一个所述工作腔在所述待修复区域进行物料滴涂。
18.根据权利要求17所述的薄膜图案修复的方法，其特征在于，在所述修复部包括两个工作腔，所述工作腔内设置有刷头，所述工作腔进气口处设置有气压阀的情况下，所述方法包括：
打开一个所述工作腔进气口处的所述气压阀；
所述修复驱动器向所述一个工作腔提供负向气压的压缩气体，所述一个工作腔内的所述刷头远离所述待修复表面移动；
将另一个所述工作腔移动至待修复区域；
所述物料供给控制器向物料瓶提供压缩气体，以将所述物料瓶中的物料运送至所述另一个工作腔；
所述修复驱动器驱动所述另一个工作腔进行物料滴涂；
修复驱动器驱动所述修复部平行于待修复表面移动，以将所述物料涂覆于所述待修复区域。
19.根据权利要求17所述的薄膜图案修复的方法，其特征在于，在所述修复部还包括覆盖所述工作腔入料口表面的活塞，所述述修复部的进气口处设置有气压阀的情况下，所述方法包括：
打开所述修复部进气口处的所述气压阀；
所述修复驱动器向所述修复部提供压缩气体，驱动所述活塞沿平行于所述待修复表面移动，以将至少一个所述工作腔的入料口打开；
所述物料供给控制器向物料瓶提供压缩气体，以将所述物料瓶中的物料运送至入料口打开的工作腔中；
所述修复驱动器驱动所述入料口打开的工作腔进行物料滴涂；
所述修复驱动器驱动所述修复部平行于待修复表面移动，以将所述物料涂覆于所述待修复区域。
20.根据权利要求15所述的薄膜图案修复的方法，其特征在于，在启动薄膜图案修复装置之前，所述方法还包括：
采用激光对所述待修复区域进行灰化处理。
21.根据权利要求15所述的薄膜图案修复的方法，其特征在于，还包括：
对经过所述修复部涂覆后的所述待修复区域进行紫外光固化处理。
22.一种用于清洗如权利要求1-14任一项所述的薄膜图案修复装置的方法，其特征在于，包括：
将修复部移动至清洁槽的上方；
将至少一个物料瓶作为清洗瓶，用于承装清洗液；
物料供给控制器向所述清洗瓶提供压缩气体，以将所述清洗瓶中的清洗液，通过柔性物料输送管运送至修复部，以对所述柔性物料输送管和所述修复部进行清洗。
23.根据权利要求22所述的清洗薄膜图案修复装置的方法，其特征在于，在所述物料瓶的进气口处设置有气压阀的情况下，所述物料供给控制器向清洗瓶提供压缩气体的步骤之前，所述方法还包括：
打开所述物料瓶的进气口处的气压阀，所述物料供给控制器向所述物料瓶的进气口提供负向的压缩气体，以使得所述物料瓶中的物料具有背离所述修复部流动的趋势。
CN201510023988.8A 2015-01-16 2015-01-16 一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法 Expired - Fee Related CN104492656B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510023988.8A CN104492656B (zh) 2015-01-16 2015-01-16 一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510023988.8A CN104492656B (zh) 2015-01-16 2015-01-16 一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104492656A CN104492656A (zh) 2015-04-08
CN104492656B true CN104492656B (zh) 2016-10-05

Family

ID=52934157

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510023988.8A Expired - Fee Related CN104492656B (zh) 2015-01-16 2015-01-16 一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN104492656B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106098966B (zh) * 2016-06-29 2018-04-24 京东方科技集团股份有限公司 一种薄膜及其修复方法、显示基板及其制作方法
CN112965336A (zh) * 2020-10-14 2021-06-15 深圳市路维光电股份有限公司 用于掩膜版缺陷修补的方法及装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100562431C (zh) * 2001-11-12 2009-11-25 精工爱普生株式会社 液体喷射设备
JP3868881B2 (ja) * 2002-10-11 2007-01-17 株式会社カワタ 防水膜施工方法及び装置
JP4243235B2 (ja) * 2004-09-24 2009-03-25 株式会社カワタ化学 防水膜施工装置
CN201323206Y (zh) * 2008-09-08 2009-10-07 台达电子工业股份有限公司 光致电元件的制作装置
CN103123428B (zh) * 2011-11-18 2017-05-17 上海中航光电子有限公司 Tft‑lcd阵列基板及其制造方法
CN103792747B (zh) * 2014-02-10 2016-05-04 北京京东方显示技术有限公司 一种阵列基板及其制作方法、修复方法及显示装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN104492656A (zh) 2015-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104492656B (zh) 一种薄膜图案修复装置及其修复方法、清洗方法
CN101558508B (zh) 基板修复系统以及基板修复方法
TW563161B (en) Liquid coating nozzle manufacturing method
KR101157348B1 (ko) 액적 도포 장치, 액적 도포 방법, 액정 표시 패널의 제조 장치 및 액정 표시 패널의 제조 방법
DE112007000442T5 (de) Substratbearbeitungsverfahren, Speichermedium und Substratbearbeitungseinrichtung
JP4835003B2 (ja) スリットノズル及びスリットノズルの気泡排出方法並びに塗布装置
CN100462795C (zh) 取向液和隔垫物的制备方法
KR102295753B1 (ko) 도포 장치 및 도포 방법
KR102010620B1 (ko) 임프린트 장치 및 물품의 제조 방법
CN207887470U (zh) 一种涂胶设备
CN105845601A (zh) 检查单元、检查方法和包括检查单元的基板处理设备
CN201359680Y (zh) 掩模板清洁装置
CN102693929A (zh) 基板处理装置
JP5465962B2 (ja) 電極形成方法および電極形成装置
CN107785290A (zh) 基板处理装置和基板处理方法
CN100581666C (zh) 显示面板清洗设备
CN1458548A (zh) 用于制造液晶显示装置的粘合装置
CN100570439C (zh) 涂敷机构及涂敷方法、缺陷修正装置及缺陷修正方法
US7670637B2 (en) Apparatus for applying coating solution and method of fabricating liquid crystal display device using the same
CN107579018A (zh) 基板处理装置和基板处理方法
US7481883B2 (en) Droplet discharge apparatus, color filter manufacturing apparatus, color filter and method of manufacture thereof, liquid crystal apparatus, and electronic apparatus
CN105974729A (zh) 掩膜版管理系统以及掩膜版使用方法
CN101038402A (zh) 液晶显示面板
CN101661128A (zh) 形成彩色滤光片的方法
JP2007001764A (ja) カセット積載装置及びこれを利用した液晶表示装置の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20161005

Termination date: 20220116

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee