CN104459806A - 检查装置以及检查系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供小型、高增益且高指向性的天线。实施方式的检查装置的特征在于，发送天线装置和接收天线装置分别相对于被测量物对置，所述发送天线装置与发送微波的具有发送装置的发送部连接，所述接收天线装置与具有接收装置的接收部连接，接收天线装置接收由发送天线装置发送并透射了被测量物的微波、相位延迟了的微波和在被测量物中蔓延的微波中的至少某一个微波，接收部是指向性天线。

Description

检查装置以及检查系统
技术领域
实施方式涉及检查装置以及检查系统。
背景技术
在一般的机场等的安全系统中，能够通过使用X射线来透射身体而成的影像来确认所带物品，但即使是短时间也无法避免受X射线的辐射。此外，能够使用金属探测器来进行金属物的确认，但具有只能确认比较大的物体并且无法确定体内的物体及金属以外的物质的问题点。此外，作为比较新的方法，使用毫米波还确认金属以外的物质的方法得到利用，如果是衣服程度则毫米波能够透射，但无法进行到体内的确认的程度，并且根据在身体表面的反射能够原封不动地看到身体的线条，所以存在隐私的问题。
专利文献
专利文献1：日本特开2006－145541号公报
发明内容
提供被检体不受辐射而监视到被检体的内部的程度的检查装置。
实施方式的检查装置的特征在于，发送天线装置和接收天线装置分别相对于被测量物对置，该发送天线装置与发送微波的具有发送装置的发送部连接，该接收天线装置与具有接收装置的接收部连接，接收天线装置接收由发送天线装置发送并透射了被测量物的微波、相位延迟了的微波和在被测量物中蔓延的微波中的至少某一个微波，接收部是指向性天线。
实施方式的检查系统的特征在于，使用实施方式的检查装置，由接收天线的接收部或接收天线的接收部以及发送天线的接收部接收从发送天线发送并透射了被测量物的微波、相位延迟了的微波和在被测量物中蔓延的微波中的至少某一个微波，根据由某一个接收部接收到的微波，检测被测量物中包含的金属或电介体的至少一方。
附图说明
图1是实施方式的检查装置的概念图。
图2是实施方式的平面天线的概念图。
图3是实施方式的平面天线的概念图。
图4是实施方式的层叠型平面天线的概念图。
图5是实施方式的层叠型平面天线的概念图。
图6是实施方式的天线装置的概念图。
图7是实施方式的天线装置的电路的框图。
图8是实施方式的检查装置的概念图。
图9是实施方式的检查装置的概念图。
图10是实施方式的检查装置的概念图。
图11是实施方式的检查装置的概念图。
图12是实施方式的检查装置的概念图。
图13是实施方式的检查装置的概念图。
符号说明
1…超导天线
2…馈电路径
3…接地
4…基板
5…电介体
6…金属板
100…平面天线
101…平面天线
200…阵列天线
300…阵列天线
400…天线装置
408…红外线反射膜
409…真空隔热层
410…冷头
411…冷冻机
412…真空隔热层
具体实施方式
(第一实施方式)
第一实施方式的检查装置具有：发送天线装置，具有发送微波的发送部；以及接收天线装置，具有接收微波的具有指向性天线的接收部。在对被测量物照射从发送天线装置发送出的微波时，在被测量物中的金属区域，微波蔓延以及反射，在电介体区域，微波的相位延迟。在这以外的区域，微波的一部分衰减并透射。通过接收部接收由金属和电介体中的至少某一方所产生的微波的变化，从而能够检测被测量物中是否包含金属或电介体。被测量物配置在发送天线装置与接收天线装置之间。图1的概念图中示出了第一实施方式的检查装置的概念图。发送部不特殊要求指向性，因此能够使用一般的天线。在接收部，为了检测金属或电介体而使用指向性较高的天线。接收部的指向性越高，能够获得精度越高的信息。优选的是，将被测量物配置成发送天线装置和接收天线装置分别与被测量物对置。微波在频率变高时信号强度越下降，但分辨率变高。频率变低时则相反。微波中包含实施方式的检查所适合的频段，因此能够进行上述检查。
图1的构成的检查装置是对于被测量物中的金属和电介体的检测而言优选的构成。通过用图1的检查装置对被测量物进行测量，能够检测被测量物中包含的金属和电介体并测量出其量。
此外，实施方式的检查系统具有：发送单元，对被测量物发送微波；接收单元，接收透射被测量物后的微波、相位延迟了的微波和在被测量物中蔓延的微波中的至少某一个微波；以及检测单元，对接收到的信号进行解析并检测被测量物中的异物，接收单元具有指向性天线。所谓发送单元，例如包含在具有发送微波的发送部的发送天线装置中。所谓接收单元，例如包含在具有接收微波的具有指向性天线的接收部的接收天线装置中。所谓检测单元，使接收到的信号图像化、或者根据接收到的信号来检测异物(异常)。异物是否包含于被测量物既可以由人来判定，也可以通过任意的算法由计算机来自动判定。
微波与太赫兹波及毫米波不同，不仅能够检查人体的表面还能够检查内部，在人体内部有电介体、金属的情况下能够检测出电介体、金属。此外，用X射线进行检查时，能够检查到被测量物的内部，但有辐射的风险，因此作为检查装置并不是优选的。实施方式的检查装置例如是在出入机场、商业设施等要求安全性的场所时进行检查所用的装置。因此，优选使用即使频繁进行检查对被测量物的影响也较小的电磁波即微波来进行检查。检查能够以非接触来进行。检查能够以使微波照射并通过被测量物的短时间来进行，因此既能够进行运动的状态下的检查，也能够进行静止状态下的检查。
能够根据水和被测量物的介电常数的差异来进行检查。这是由于，微波在介电常数中行进的时间依赖于介电常数而变化。例如，被测量物是以人等动物为对象时，动物中包含水分，但在动物的表面及内部配置装水的容器时，配置有水的区域的介电常数与被测量物本身的介电常数不同。通过对标准的被测量物本身的介电常数和该介电常数的差异进行比较，来检测配置有水的区域，从而能够进行异物检测。在实施方式的检查中，能够将介电常数不同的区域作为体积([平均单位体积的介电常数的差异]与[体积]的积)而不作为面积来检测介电常数的差异。
通过驱动装置使检查装置的接收天线装置沿上下、左右或上下左右移动，由此进行微波对被测量物的扫描，能够获得被测量物的二维信息。上下以及左右的方向在图中已标记。接收部使用可变指向性天线的情况下，如果控制天线的指向性，则能够部分省略接收天线装置的移动。
能够将由接收部接收到的微波信号分离成透射信号和相位由于电介体而延迟的信号，并根据各个信号强度使被测量物和被测量物中的电介体图像化。图像化后，能够知晓电介体的分布(被测量物的哪个部位包含哪种形状的电介体)和电介体的量。在电介体的图像化时，也可以使作为电介体的水分量图像化。
此外，根据在金属中蔓延了的微波信号，能够使被测量物中的金属图像化。图像化后，能够知晓金属的分布(被测量物中的哪个部位包含哪种形状的金属)和金属的量。将电介体以及金属的检测部位、形状及其量的信息组合，能够判定是否异常(危险)。在检测到异常的情况下，能够通过视觉的或者听觉的方法等，报告发生了异常。
在使电介体、金属的分布和量图像化的情况下，优选对预先按被测量物的每个种类制作的不具有异物的基准数据和测量数据进行比较来进行异物检测。根据被测量物的种类，金属、电介体的分布等不同，因此与仅用测量结果进行异物的检测相比，与预先按被测量物的每个种类分类并制作的不具有异物的基准数据进行比较来进行异物检测是优选的。所谓被测量物的种类，是生物学的种、性、大小、年龄等各种，优选根据检查目的来确定被测量物的种类的分类。被测量物的检查时的姿势是与基准数据不同的姿势的情况下，优选对测量数据或者基准数据的某一方进行处理来使两数据的姿势相同或大致相同。在通过测量出电介体、金属的分布及量的图像比较进行异物检测的情况下，既可以由人进行图像比较，也可以用计算机实现自动化。另外，优选在测量值超过了阈值时报告金属、电介体的量或分布。阈值可以按被测量物的每个种类设定，也可以是共通的数值。阈值、异物检测的基准能够根据检查的目的而任意变更。
作为具体的危险物的检测的例子，能够检测收纳在埋入到体内的塑料袋中的爆炸物等危险物、树脂制的凶器等。它们在利用毫米波的检查中难以发现。此外，实施方式的检查装置还能够检测出即使利用毫米波、金属探测器的检查也能够非接触地检测到被测量物隐蔽携带的金属制的凶器。
检查装置的检查(扫描)、电介体或金属的检测、图像化、异常判定、异常检测能够使用计算机而将上述的检查系统化并进一步自动化。实施方式的检查方法，优选的是，接收天线的接收部或接收天线的接收部以及发送天线的接收部接收从发送天线发送并透射了被测量物的微波、相位延迟了的微波和在被测量物中蔓延的微波和由被测量物反射的微波中的至少某一个微波，根据由某一个接收部接收到的微波，检测被测量物中包含的金属或电介体的至少一方。通过使检查装置的检查自动化，能够提供迅速地进行检查的装置。这种装置对于设置在公共施设、演出会场的出入口等而言是优选的。
实施方式的检查装置的检查精度依赖于接收部的天线的指向性、灵敏度、天线的大小。即使天线的指向性以及灵敏度较高，在天线较大时也无法获得高析像度的信息。在使天线缩小时，由于天线的导体损失，损失变大，几乎接收不到信号。因此，为了高精度地检查被测量物，优选使用小型且指向性高的天线例如超导天线。
在普通传导的天线中，使多个天线接近而小型化时，天线图案的布线电阻增大，信号的损失变大。如果不使天线小型化，则与微波的电磁波对应的天线比较大，因此难以为了获得指向性而对配置个天线。此外，在天线数目较少时，用一个天线覆盖的区域变广，因此没有位置分辨率并且信号处理也需要时间。在实施方式中，假定在要求迅速地进行检查的环境中使用，因此如果是使用了以往的天线的检查装置，则难以进行迅速的检查。此外，在较大的天线中，也难以把握异物等的位置、形状，因此难以作为要求分辨率的这种检查用的接收天线而使用。在小型且指向性高的超导天线中，没有天线图案中的布线电阻，因此能够小型化。此外，通过为了实现指向性较高的天线而配置多个，从而能够迅速地处理天线信号，因此在实施方式的检查装置中是优选的。
实施方式中优选的超导天线，是在长波段到毫米波段为低损失的介质基板上具有由超导材料构成的一个以上的天线和接地图案的平面天线。在设天线的共振器频率为λ时，多个天线图案中的、相邻的天线图案间的距离为λ/10以下。
图2中示出了实施方式的平面天线100的概念图。图2的概念图所示的平面天线，在低损失电介体基板4上具有超导天线1、馈电路径2、接地图案3。超导天线1形成在基板的单面或两面。
超导天线1在低损失电介体基板4上存在一个以上。超导天线1是将包含Y、Ba、Cu、La、Ta、Bi、Sr、Ca、Pb等元素中的一种以上的氧化物超导体膜加工成所期望的天线图案形状而成的。形状加工例如采用公知的平版印刷技术。超导天线1的图案形状列举出单极型、偶极形、曲柄型、矩形、圆形、椭圆形等螺旋型、L型、倒F型等。并且，列举出以在同一面上具有接地和信号线的CPW型构成并以1/4波长的整数倍的长度构成的天线、在接地的一部分设置缝隙的缝隙型天线。在图2中，具有四个天线，但天线数目、位置方向能够根据目的来适当选择优选的配置。
超导天线1是由氧化物超导体膜构成的微带线。线宽能够根据设计而取各种值，但即使是数百μm以下，由于使用超导材料，因而天线1的损失较少。多个超导天线1具有共通的共振频率。
超导天线1在天线的动作时，被冷却于超导状态。冷却温度只要根据所用的超导膜而设为所需要的温度以下即可。超导天线1与馈电路径2和接地图案3这两方连接。
超导天线1通过馈电路径2来馈电。经由馈电路径2输入或输出天线信号。馈电路径2以与超导天线1相同的材料构成，这在制造过程的观点上是优选的。
使用超导天线1的情况下，相邻的超导天线1的间隔在设超导天线1的共振频率为λ时，能够小型化为λ/10以下。在是加工了以往使用的铜等的常传导波段的金属图案而成的天线的情况下，使天线尺寸小型化时存在天线增益由于其损失而降低的问题。为此，在天线部的增益降低无法容许的这种系统的情况下，并不希望使使用常导部件的天线的尺寸为λ/5以下。另一方面，使用超导天线1的情况下，其损失小到几乎能够无视的程度，因此由天线的小型化引起的增益降低十分小。为此，能够将天线尺寸小型化为λ/10以下。由此，通过将超导天线1间的间隔充分缩窄到λ/10以下地配置多个天线，从而能够通过在以往天线的单个元件的尺寸程度中配置多个天线来实现阵列化，能够实现高指向性。在此，所谓超导天线1的间隔，是相邻的超导天线1彼此的最短距离。另外，优选基板的一方的面的超导天线1与另一方的面的超导天线的间隔也由于同样的理由而满足λ/10。
超导天线1是螺旋图案的情况下，图案形状的最长边优选是超导天线1的配线长的1/10以下。在满足该条件时，从小型化的观点来看是优选的。
存在馈电路径2中设置延迟线路、电阻膜的情况。在设置延迟线路、电阻膜时，能够对天线间的信号设置相位差。在对天线间的信号设置相位差时，天线间的信号能够分离。作为延迟线路，例如列举出改变信号路径的延迟线路、改变信号的电感的延迟线路、改变超导线路的温度的延迟线路等。
接地图案3与各超导天线1连接。接地图案3只要是导电性膜即可，但从制造过程的观点来看优选以与超导天线1相同的材料构成。
超导天线1的基板优选为在从短波波段到毫米波波段中损失较小的低损失电介体基板4。作为损失较小的材料，能够例示出蓝宝石、MgO等。
平面天线100例如能够以如下的方法制造。在蓝宝石等的低损失电介体基板4上用激光蒸镀法、溅射法、蒸镀法、化学气相成长法等蒸镀超导氧化膜。能够使用形成有天线、馈电路径和接地图案的图案的掩模，通过平版印刷技术对蒸镀的氧化膜进行加工。另外，超导天线1是线宽较窄并且配线长较长，因此使用超导氧化膜。通过平版印刷形成天线1和接地3的图案，因此能够使天线1的间隔变窄并为λ/10以下。
图3中示出了设置有电波反射用的金属板6的方式的超导天线装置101的概念图。在安装超导天线1时，在夹着电介体5而将超导天线1安装在金属板6上时，利用来自金属板6的反射波，能够提高指向性。在此，在将天线的共振频率设为λ的情况下，希望将电介体的厚度设为其有效波长为λ/8以上λ/4以下的厚度。此外，希望使用的电介体是损失尽可能小的电介体。
更优选的具体的接收部是平面天线层叠出的阵列天线。实施方式的阵列天线通过未图示的冷冻机冷却，天线成为超导状态。从指向性以及增益提高的观点来看，平面天线100被层叠后使用是优选的。
将平面天线的层叠方式例示于图4和图5的概念图中。图4和图5的平面天线是在基板上具有两个超导天线的方式的天线。例示了馈电路径的部位突出的方式的天线。从与天线后段的电路的连接的观点来看，馈电路径的端部突出的方式的天线是优选的。
图4的剖视概念图所示的阵列天线200是不使超导天线图案错开而层叠有平面天线的方式。如图4所示，层叠了四层天线层。四层天线层既可以是将超导天线配置在各电介体的一个表面的方式，也可以是在两面依次层叠了超导天线1、配置了接地图案3的电介体4A、未配置超导天线的电介体4B的方式。在后者的方式中，在电介体4A的两面形成天线，因此即使存在制造时的基板的翘曲，配置于电介体4A的两面的超导天线1也能够使共有的电介体基板的厚度相等，能够减小多个超导天线1的个体差。图4的方式的阵列天线是从使用多个天线来提高天线的指向性的观点来看优选的方式。
图5的俯视概念图所示的阵列天线300是超导天线图案偏移90°后进行层叠的方式。在图5的阵列天线中，以符号A表示的天线层A、以符号B表示的天线层B、以符号C表示的天线层C、以符号D表示的天线层D按层叠顺序各偏移90°。图5的方式的阵列天线300中，所层叠的全部的贴片天线的馈电路径的端部2A、2B、2C和2D或正上以及正下的所层叠的贴片天线的馈电路径的端部向不同方向配向。图4的方式的阵列天线从天线间的相互耦合抑制的观点来看是优选的形状。作为阵列天线，优选是端射天线阵列天线、垂射天线阵列天线。
对将阵列天线配置在真空隔热槽中的方式的更具体的天线装置进行说明。实施方式的超导天线装置，优选在从短波波段到毫米波波段为低损失的介质基板上具有：将具有由超导材料构成的天线和接地图案的平面天线层叠而成的阵列天线、容纳阵列天线的真空隔热槽、对阵列天线进行冷却的冷冻机、在真空隔热槽的阵列天线的指向性方向上透射短波波段到毫米波波段的电磁波的真空隔热窗。
图6的概念图中示出了实施方式的天线装置400。天线装置400在电介体基板4A、4B上具有：形成有天线图案1和接地图案3的阵列天线、红外反射膜408、真空隔热槽409、冷头(cold head)410、冷冻机411、真空隔热窗412。
红外反射膜408是防止对天线加热的红外线入射到天线中的膜。红外线反射膜408设置在与红外线入射的真空隔热窗412对置的天线的表面(超导天线1侧)，防止使超导天线层温暖的红外线的入射。红外反射膜408例如是金属氧化物的多层膜。在没有红外线源的情况下，能够省略红外反射膜408。
真空隔热槽409是用于保证配置有天线的空间内的温度和减压状态的容器。真空隔热槽409的天线的指向性的最高的方向具有开口部。开口部具有真空隔热窗412。真空隔热槽409例如以不锈钢等金属构成。另外，虽未图示，但真空隔热槽409中设置有使真空隔热槽409内减压的泵。
冷头410是用于保持并冷却阵列天线的部件。冷头410与冷冻机411热性连接，由冷冻机411来冷却。冷却温度根据阵列天线的超导氧化物膜而不同，例如为77K以下。
冷冻机411是将对阵列天线进行冷却的冷头410冷却的部件。可以是阵列天线用的冷冻机，在装入天线装置的设备中使用冷冻机的情况下，能够并用该冷冻机。
真空隔热窗412是设置在真空隔热槽409的阵列天线的指向性最高的方向的窗。真空隔热窗412使用使由天线收发的电磁波透射的部件，例如使用陶瓷、玻璃、丙烯(acryl)等。真空隔热窗412的面积是与阵列天线的面积为相同程度以上时，从不易妨碍信号的收发的观点来看是优选的。
在此，图7中示出了实施方式的天线装置的电路的框图。在图7的框图中有：天线(ANT)、发送系统功率分配器(CIR)、振幅限制器(LIM)、带通滤波器(BPF)、低噪声放大器(LNA)和相位器(Φ)。ANT1至ANTn示出了层叠的阵列天线。天线与振幅限制器、带通滤波器、低噪声放大器、相位器连接。
从天线发送的电波经由发送系统功率分配器向天线侧提供功率，并输出电波。由天线接收到的电波通过发送系统功率分配器后的信号，通过振幅限制器来限制具有超过阈值的振幅的信号。振幅较大的信号有可能损坏电路，因此优选在将信号放大前进行振幅限制。振幅限制器在发送系统功率分配器与低噪声放大器之间以任意的顺序配置。通过振幅限制器后的信号通过带通滤波器而去除天线的共振频率以外的波段的信号。通过带通滤波器后的信号在低噪声放大器中信号被放大。通过低噪声放大器后的信号在相位器中使来自各天线的信号的相位同步。天线中设置有延迟线路的情况下，能够省略移相器。通过相位器后的信号被合成。此外，用移送器使通过相位可变从而也能够对阵列天线的辐射(beam)进行扫描。
在实施方式中，天线采用超导部件，为了设为超导状态而进行冷却。该冷却不仅对天线进行，还对发送系统功率分配器、振幅限制器、带通滤波器、低噪声放大器进行，这从信号的SN比提高的观点是优选的。例如，通过在冷头上配置这些电路部件，能够以共通的冷冻机进行电路部件的冷却和超导材料的冷却。
(第二实施方式)
第二实施方式的检查装置具有：发送天线装置，具有从不同的方向发送微波的多个发送部；以及接收天线装置，具有接收来自多个方向的微波的具有可变指向性天线的接收部。对被测量物照射从多个方向发送的微波时，在被测量物中的金属区域，微波蔓延以及反射，在电介体区域，微波的相位延迟。在这以外的区域，微波的一部分衰减并透射。用接收部接收来自多个方向的由金属或电介体而产生的微波的变化，从而能够检测在被测量物中的哪个区域包含金属、电介体。在第二实施方式的检查装置中，能够获得二维的信息。图8的概念图中示出了第二实施方式的检查装置的概念图。发送部以接收部为中心配置在圆弧上，多个发送部与接收部的距离相等。在接收部，优选的是，为了检测金属或电介体而使用指向性较高的天线，为了以一个接收部测量来自多个方向的微波而使用可变指向性天线。接收部的指向性越高，越能够将每个发送部的微波进一步分离，因此能够获得精度越高的信息。仅仅使实施方式的接收天线装置上下移动，就能够获得二维的检查信息。此外，包含第二实施方式在内的有多个发送部或接收部的构成的检查装置中，成为能够接收来自不同方向的微波的构成，因此能够知晓检测到的异物的位置和形状的三维信息。结合异物的位置、形状的三维信息，也能够更高精度地判定异物是否是危险物。在与尿量较少的膀胱相同程度的身体表面配置有可燃性或爆炸性的液体类的情况下，根据二维信息难以进行异物的检测。但是，通过获得异物的三维信息，能够判定液体是存在于被测量物的表面还是存在于内部，能够提高危险物的检查精度。另外，不限于本实施方式，即使在发送部和接收部分别为一个的构成的情况下，也能够通过使发送部、接收部或被测量物移动来获得三维信息。
(第三实施方式)
第三实施方式的检查装置具有：发送天线装置，具有发送微波的发送部和接收微波的接收部；接收天线装置，具有接收微波的具有指向性天线的接收部。在对被测量物照射微波时，在对被测量物照射从发送天线装置发送出的微波时，在被测量物中的金属区域，微波蔓延以及反射，在电介体区域，微波的相位延迟。在这以外的区域，微波的一部分衰减并透射。是发送天线装置中具备发送部和接收部的成的检查装置，因此在被测量物中包含金属的情况下，是金属面的微波反射并用发送天线装置的接收部接收反射后的微波构成。图9的概念图中示出了第三实施方式的检查装置的概念图。除了发送天线装置具有包括发送部和接收部这两方的收发部以外的第三实施方式的检查装置与第一实施方式是同样的。若是毫米波等，电磁波在身体表面反射，因此测量对象者的隐私成为问题，但在第三实施方式中，仅被测量物的金属反射，因此测量对象者的身体表面的信息不包含在反射的微波中，因此在测量对象者的隐私不会成为问题的点上是优选的。
(第四实施方式)
第四实施方式的检查装置具有：发送天线装置，分别具有多个发送微波的发送部和接收微波的接收部；以及接收天线装置，具有接收微波的具有指向性天线的接收部。是发送天线装置中具备发送部和接收部的构成的检查装置，因此在被测量物中包含金属的情况下，是金属面的微波被反射后被发送天线装置的接收部所接收的构成。图10的概念图中示出了第四实施方式的检查装置的概念图。除了在上下方向具有多个收发部以外的第四实施方式的检查装置与第三实施方式是同样的。在第四实施方式中，具有多个收发部，因此能够迅速并且高精度地进行来自反射波的金属的检查。关于电介体的检查也是，仅仅使接收天线装置的接收部上下或左右移动，就能够进行比第三实施方式的检查装置高精度的检查。
(第五实施方式)
第五实施方式的检查装置具有：发送天线装置，分别具有多个发送微波的发送部和接收微波的接收部；以及接收天线装置，具有多个接收微波的具有指向性天线的接收部。图11的概念图中示出了第五实施方式的检查装置的概念图。除了在上下方向具有多个接收部以外的第五实施方式的检查装置与第四实施方式是同样的。在第五实施方式中，发送天线装置的收发部和接收天线装置的接收部分别是多个，因此即使不使发送天线装置以及接收天线装置移动也能够进行被测量物的电介体和金属的检查。
(第六实施方式)
第六实施方式的检查装置具有：发送天线装置，分别具有多个发送微波的发送部和接收微波的接收部；以及接收天线装置，具有多个接收微波的具有指向性天线的接收部。第六实施方式的检查装置为，发送天线装置的发送部发送不同频率(例如，f1，f2，f3)的微波的构成。图12的概念图中示出了第六实施方式的检查装置的概念图。在图12的检查装置的构成中，除了收发部的发送频率为f1，f2，f3而分别不同以外，与第五实施方式是同样的。在第六实施方式中，根据发送的位置而改变其频率，因此能够将每个频率的发送部的位置信息传递给接收部，还能够知晓在被测量物中的哪个深度存在电介体、金属。
(第七实施方式)
第七实施方式的检查装置具有：发送天线装置，分别具有多个发送微波的发送部和接收微波的接收部；以及接收天线装置，具有多个接收微波的具有指向性天线的接收部。图13的概念图中示出了第七实施方式的检查装置的概念图。第七实施方式的检查装置具备，吸收能够由发送天线装置和接收天线装置反射的电磁波的电波吸收体。电波吸收体优选设置在收发电波的面中的不存在发送部、收发部以及接收部的面上。通过设置电波吸收体，能够减少接收噪声。
以上，对本发明的实施的方式进行了说明，但本发明不限于这些，在权利要求书记载的发明的主旨的范畴内能够进行各种变更。此外，本发明在实施阶段能够在不脱离该主旨的范围进行各种变形。并且，通过将上述实施方式所公开的多个构成要素适当组合能够形成各种发明。

Claims (12)

1.一种检查装置，其特征在于，
发送天线装置和接收天线装置分别相对于被测量物对置，所述发送天线装置与发送微波的具有发送装置的发送部连接，所述接收天线装置与具有接收装置的接收部连接，
所述接收天线装置接收由所述发送天线装置发送并透射了所述被测量物的微波、相位延迟了的微波和在所述被测量物中蔓延的微波中的至少某一个微波，
所述接收部是指向性天线。
2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述接收部是可变指向性天线。
3.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述发送天线装置具有相对于接收天线装置等距离地配置的一个或多个发送部，
用具有一个接收部的所述接收天线装置接收从所述一个或多个发送部发送的微波。
4.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述发送天线装置具有接收部，
用所述发送天线装置的接收部接收由所述发送天线装置发送并由被测量物反射的微波。
5.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述接收天线装置具有能够相对于所述被测量物在上下、左右或上下及左右中的某一个方向上移动的驱动装置。
6.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述发送天线装置具有多个发送不同的频率的微波的发送部。
7.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
在所述发送天线装置的发送部的外缘部、所述发送天线装置的接收部和所述接收天线装置的接收部的外缘部中的至少某一个外缘部具有电磁波吸收体。
8.如权利要求1至7中任一项所述的检查装置，其特征在于，
所述接收部是超导天线。
9.一种检查系统，具有：
发送单元，对被测量物发送微波；
接收单元，接收透射了所述被测量物的微波、相位延迟了的微波和在所述被测量物中蔓延的微波中的至少某一个微波；以及
检测单元，对接收到的信号进行解析，检测被测量物中的异物，
所述接收单元具有指向性天线。
10.如权利要求9所述的检查系统，其特征在于，
所述检测单元根据接收到的信号，制作包含被测量物中的金属和电介体中的至少某一个的分布图像。
11.如权利要求9所述的检查系统，其特征在于，
所述检测单元对预先按被测量物的每个种类制作的不具有异物的基准数据和测量数据进行比较，来进行异物检测。
12.如权利要求9至11中任一项所述的检查系统，其特征在于，
所述检测单元测量金属和电介体中的某一个的量或分布，在所述量或分布超过了阈值时进行报告。
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