CN104451553A - 蒸镀装置及其防水换料方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种蒸镀装置及其防水换料方法，所述蒸镀装置包含一蒸镀腔体、一第一蒸镀源、一第一遮挡单元、一第二蒸镀源及一第二遮挡单元，所述第一蒸镀源对水气具有反应惰性，所述第二蒸镀源对水气具有反应活性，所述第二遮挡单元具有一第二支架及一第二遮挡盖，所述第二支架可转动的设置在所述第一及第二蒸镀源之间，所述第二支架用以转动所述第二遮挡盖，以遮挡所述第一及第二蒸镀源两者其中之一。

Description

蒸镀装置及其防水换料方法
技术领域
本发明是有关于一种蒸镀装置及其换料操作方法，特别是有关于一种能在换料操作期间防止腔体内壁与水气发生反应的蒸镀装置及其换料操作方法。
背景技术
有机发光二极管(organic light emitting diode,OLED)主要是由有机材料涂层和基板(例如玻璃基板)所构成，所述有机材料当有电流通过时就会发光。有机发光二极管具有全固态、超薄、无视角限制、快速响应、室温工作、易于实现柔性显示和三维(3D)显示等优点，能够显着节省电能，使得在平板显示器领域得到广泛的应用，因而一致被公认为是下一代显示的主流技术。
目前OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜，其中蒸镀机(evaporator)利用加热蒸镀源(靶材)，使由蒸镀源蒸发的材料沉积于被镀物(如OLED基板)上。由于蒸镀源的材料会因蒸发而消耗减少，因此蒸镀机的蒸镀腔体需要定期开腔进行更换蒸镀源的换料作业。然而，蒸镀腔体在开腔过程中，水气不可避免的会吸附在腔壁上。对阴极蒸镀腔体来说，其包含了一镁金属蒸镀源，这使得遮挡蒸镀源的遮挡盖及腔壁两者的表面会因先前加热蒸发镀膜作业时连带被镀上一层镁金属，而镁金属较容易在后续闭腔重新抽真空进行预烘烤的过程中与先前吸附的水气发生反应，其反应公式为：2Mg+2H2O＝Mg(OH)2+H2，进而产生氢气降低真空度，导致难以达成将真空度调整至理想范围，因而造成生产有机发光二极管产品的生产中断和产品的良品率下降。
故，有必要提供一种蒸镀装置及其换料操作方法，以解决现有技术所存在的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种蒸镀装置，其可以通过预镀防水金属层来避免水气在腔体内与活性金属发生反应而产生氢气，以确保后续蒸镀作业的真空度。
本发明的次要目的在于提供一种蒸镀装置的换料操作方法，其可以在换料操作期间通过预先处理腔体镀上防水金属层来防止水气在腔体内与活性金属发生反应而产生氢气，以确保后续蒸镀作业的真空度。
为达成本发明的前述目的，本发明一实施例提供一种蒸镀装置，其中所述蒸镀装置包含一蒸镀腔体、一第一蒸镀源、一第一遮挡单元、一第二蒸镀源及一第二遮挡单元，所述第一蒸镀源对水气具有反应惰性，所述第一遮挡单元具有一第一支架及一第一遮挡盖，所述第一支架可转动的设置在所述第一蒸镀源的一侧，所述第一遮挡盖连接所述第一支架且用以遮挡所述第一蒸镀源，所述第二蒸镀源对水气具有反应活性，并与所述第一蒸镀源相间隔，所述第二遮挡单元具有一第二支架及一第二遮挡盖，所述第二支架可转动的设置在所述第一及第二蒸镀源之间，所述第二遮挡盖连接所述第二支架，所述第二支架用以转动所述第二遮挡盖，以遮挡所述第一及第二蒸镀源两者其中之一。
在本发明的一实施例中，所述第一支架依序具有一第一动力单元、一垂直的第一轴杆及一水平的第一摆动杆，其中所述第一摆动杆连接第一遮挡盖，其中所述第一动力单元通过所述第一轴杆驱动所述第一摆动杆摆动。
在本发明的一实施例中，所述第二支架依序具有一第二动力单元、一垂直的第二轴杆及一水平的第二摆动杆，其中所述第二摆动杆连接第二遮挡盖，其中所述第二动力单元通过所述第二轴杆驱动所述第二摆动杆摆动。
在本发明的一实施例中，所述第二摆动杆的长度大于所述第一摆动杆的长度。
在本发明的一实施例中，所述第一蒸镀源为铝，及所述第二蒸镀源为镁。
在本发明的一实施例中，所述蒸镀装置还包含一第三蒸镀源及一第三遮挡单元，所述第三蒸镀源对水气具有反应惰性，所述第三遮挡单元设置在所述第三蒸镀源的一侧。
在本发明的一实施例中，所述第三蒸镀源为银。
再者，本发明另一实施例提供一种蒸镀装置的防水换料方法，其中所述防水换料方法包含步骤：一蒸镀源遮挡步骤，用以在打开一蒸镀腔体之前，利用一第一遮挡盖遮挡对水气具有反应惰性的一第一蒸镀源，及利用一第二遮挡盖遮挡对水气具有反应活性的一第二蒸镀源；一内壁防水步骤，用以移开所述第一遮挡盖并露出所述第一蒸镀源，对所述第一蒸镀源升温以蒸镀所述蒸镀腔体的一内壁(及所述第二遮挡盖的顶面)，使所述内壁(及所述第二遮挡盖的顶面)覆盖一防水金属薄层；一遮挡盖防水步骤，用以将所述第二遮挡盖由所述第二蒸镀源移动至覆盖于所述第一蒸镀源，保持所述第一蒸镀源的温度以蒸镀所述第二遮挡盖的一底面，使所述第二遮挡盖的底面覆盖一防水底层；及一腔体开启步骤，用以对所述第一蒸镀源进行降温，并打开所述蒸镀腔体。
在本发明的一实施例中，所述第一蒸镀源为铝，及所述第二蒸镀源为镁。
在本发明的一实施例中，在所述腔体开启步骤后，另包含一换料步骤，用以对所述第一蒸镀源及所述第二蒸镀源进行更换新料。
如上所述，利用所述第二转动单元用以驱动所述第二轴杆转动，使所述第二遮挡盖能够在不同时间覆盖于所述第一蒸镀源及所述第二蒸镀源上，不仅使所述内壁(及所述第二遮挡盖的顶面)覆盖一防水金属薄层，所述第二遮挡盖的底面同样也能覆盖一防水底层，进而可以在换料操作期间防止所述蒸镀腔体的内壁及所述第二遮挡盖的(顶面与)底面吸收水气，而能够避免水气在所述蒸镀腔体内发生反应而产生氢气，使后续闭腔重新抽真空时真空度可调整至理想范围，进而有效提高蒸镀生产有机发光二极管产品的良品率。
附图说明
图1是本发明一实施例蒸镀装置的第二遮挡盖遮挡第二蒸镀源的使用状态图。
图2是本发明一实施例蒸镀装置的第二遮挡盖遮挡第一蒸镀源的使用状态图。
图3是本发明一实施例蒸镀装置的防水换料方法的流程图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。再者，本发明所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧面、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。
请参照图1所示，本发明一实施例的蒸镀装置100，其中所述蒸镀装置100包含一蒸镀腔体2、一第一蒸镀源3、一第一遮挡单元4、一第二蒸镀源5、一第二遮挡单元6、一第三蒸镀源7及一第三遮挡单元8。本发明将于下文详细说明各实施例上述各组件的细部构造、组装关系及其运作原理。
请参照图1所示，所述第一蒸镀源3及所述第三蒸镀源7对水气具有反应惰性，也就是所述第一蒸镀源3及所述第三蒸镀源7提供的金属镀材与水气不会发生化学反应(例如产氢反应)；而所述第二蒸镀源5对水气则具有反应活性，也就是所述第二蒸镀源5提供的金属镀材与水气会发生化学反应(例如产氢反应)。所述第一蒸镀源3、第二蒸镀源5及第三蒸镀源7彼此相间隔，且所述第三蒸镀源7位于所述第一蒸镀源3及第二蒸镀源5之间。在本实施例中，所述第一蒸镀源3为铝(Al)，所述第二蒸镀源5为镁(Mg)，且所述第三蒸镀源7为银(Ag)。
请参照图1所示，所述第一遮挡单元4具有一第一支架41及一第一遮挡盖42，其中所述第一支架41可转动的设置在所述第一蒸镀源3的一侧，所述第一遮挡盖42连接所述第一支架41且用以遮挡所述第一蒸镀源3；在本实施例中，所述第一支架41依序具有一第一动力单元411、一垂直的第一轴杆412及一水平的第一摆动杆413，所述第一摆动杆413连接第一遮挡盖42，且所述第一动力单元411用以通过所述第一轴杆412驱动所述第一摆动杆413水平旋转摆动一角度，例如90度～270度；或者也可以通过所述第一轴杆412驱动所述第一摆动杆413纵向朝上摆动一角度，例如45度～90度。
请参照图1所示，所述第二遮挡单元6具有一第二支架61及一第二遮挡盖62，所述第二支架61可转动的设置在所述第一蒸镀源3及第二蒸镀源5之间，所述第二遮挡盖62连接所述第二支架61，所述第二支架61用以转动所述第二遮挡盖62，以遮挡所述第一蒸镀源3及第二蒸镀源5两者其中之一；在本实施例中，所述第二支架61依序具有一第二动力单元611、一垂直的第二轴杆612及一水平的第二摆动杆613，所述第二摆动杆613连接第二遮挡盖62，所述第二动力单元611用以通过所述第二轴杆612驱动所述第二摆动杆613水平旋转摆动一角度，例如90度～270度；或者也可以通过所述第二轴杆612驱动所述第二摆动杆613纵向朝上摆动一角度，例如45度～90度。在本发明中，所述第二摆动杆613的长度大于所述第一摆动杆413的长度，例如，所述第二摆动杆613的长度是所述第一摆动杆413的长度的2倍。
请参照图1所示，所述第三遮挡单元8具有一第三支架81及一第三遮挡盖82，所述第三支架81可转动的设置在所述第三蒸镀源7的一侧，所述第三遮挡盖82连接所述第三支架81且用以遮挡所述第三蒸镀源7；在本实施例中，所述第三支架81依序具有一第三动力单元811、一垂直的第三轴杆812及一水平的第三摆动杆813，所述第三摆动杆813连接第三遮挡盖82，其中所述第三动力单元811用以通过所述第三轴杆812驱动所述第三摆动杆813水平旋转摆动一角度，例如90度～270度；或者也可以通过所述第三轴杆812驱动所述第三摆动杆813纵向朝上摆动一角度，例如45度～90度。在本发明中，所述第三摆动杆813的长度可以与所述第一摆动杆413的长度保持相同。
依据上述的结构，在打开所述蒸镀腔体2之前，如图1所示，先移开所述第一遮挡盖42并露出所述第一蒸镀源3，并对所述第一蒸镀源3升温使其金属材料蒸发，以蒸镀所述蒸镀腔体2的一内壁(未标示)，使所述内壁覆盖一防水金属薄层，同时所述第二遮挡盖62的顶面也覆盖同一防水金属薄层。接着，如图2所示，将所述第二遮挡盖62掀开，并且所述第二转动单元611用以驱动所述第二轴杆612转动，使所述第二遮挡盖62旋转一角度(如水平转动180度)向所述第一蒸镀源3移动，所述第二遮挡盖62自所述第二蒸镀源5转动，直到覆盖于所述第一蒸镀源3上，同时保持所述第一蒸镀源3的温度以蒸镀所述第二遮挡盖62的一底面，使所述第二遮挡盖62的底面也覆盖一防水底层。最后，对所述第一蒸镀源3进行降温停止蒸镀，再打开所述蒸镀腔体2，进而即可对所述第一蒸镀源3、所述第二蒸镀源5及第三蒸镀源7进行更换新料。
如上所述，利用所述第二转动单元611用以驱动所述第二轴杆612转动，使所述第二遮挡盖62能够在不同时间覆盖于所述第一蒸镀源3及所述第二蒸镀源5上，不仅使所述内壁(及所述第二遮挡盖62的顶面)覆盖一防水金属薄层，所述第二遮挡盖62的底面同样也能覆盖一防水底层，进而可以在换料操作期间防止所述蒸镀腔体2的内壁及所述第二遮挡盖62的(顶面与)底面吸收水气，而能够避免水气在所述蒸镀腔体2内发生反应而产生氢气，使后续闭腔重新抽真空时真空度可调整至理想范围，进而有效提高蒸镀生产有机发光二极管产品的良品率。
请参照图3并配合图1，其显示依照本发明的图1实施例的蒸镀装置100的一种蒸镀装置的防水换料方法的流程图，其中所述防水换料方法包含一蒸镀源遮挡步骤201、一内壁防水步骤202、一遮挡盖防水步骤203、一腔体开启步骤204及一换料步骤205。
请参照图1及图3，所述蒸镀源遮挡步骤201用以在打开一蒸镀腔体2之前，利用一第一遮挡盖42遮挡对水气具有反应惰性的一第一蒸镀源3，及利用一第二遮挡盖62遮挡对水气具有反应活性的一第二蒸镀源5；在本实施例中，所述第一蒸镀源3例如为铝，且所述第二蒸镀源5例如为镁。
请参照图1及图3，所述内壁防水步骤202用以移开所述第一遮挡盖42并露出所述第一蒸镀源3，对所述第一蒸镀源3升温以蒸镀所述蒸镀腔体2的一内壁(未标示)，使所述内壁覆盖一防水金属薄层。同时，所述第二遮挡盖62的顶面也覆盖同一防水金属薄层。
请参照图1及图3，所述遮挡盖防水步骤203用以将所述第二遮挡盖62由所述第二蒸镀源5移至覆盖于所述第一蒸镀源3，保持所述第一蒸镀源3的温度以蒸镀所述第二遮挡盖62的一底面，使所述第二遮挡盖62的底面覆盖一防水底层；在本实施例中，所述内壁防水步骤202及遮挡盖防水步骤203的所述第一蒸镀源3的蒸镀速度保持一致。
请参照图1及图3，所述腔体开启步骤204用以对所述第一蒸镀源3进行降温，并打开所述蒸镀腔体2。在本实施例中，所述第一蒸镀源3的降温是降温至室温。
请参照图1及图3，所述换料步骤205中，在所述腔体开启步骤204后，用以对所述第一蒸镀源3、所述第二蒸镀源5进行更换新料。
如上所述，利用所述第二遮挡盖62能够在不同时间覆盖于所述第一蒸镀源3及所述第二蒸镀源5上，不仅使所述内壁(及所述第二遮挡盖的顶面)覆盖一防水金属薄层，所述第二遮挡盖62的底面同样也能覆盖一防水底层，进而可以在换料操作期间防止所述蒸镀腔体2的内壁及所述第二遮挡盖62的(顶面与)底面吸收水气，而能够避免水气在所述蒸镀腔体2内发生反应而产生氢气，使后续闭腔重新抽真空时真空度可调整至理想范围，进而有效提高蒸镀生产有机发光二极管产品的良品率。
本发明已由上述相关实施例加以描述，然而上述实施例仅为实施本发明的范例。必需指出的是，已公开的实施例并未限制本发明的范围。相反地，包含于权利要求书的精神及范围的修改及均等设置均包括于本发明的范围内。

Claims (10)

1.一种蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置包含：
一蒸镀腔体；
一第一蒸镀源，对水气具有反应惰性；
一第一遮挡单元，具有：一第一支架，可转动的设置在所述第一蒸镀源的一侧；及一第一遮挡盖，连接所述第一支架且用以遮挡所述第一蒸镀源；
一第二蒸镀源，对水气具有反应活性，并与所述第一蒸镀源相间隔；
一第二遮挡单元，具有：一第二支架，可转动的设置在所述第一及第二蒸镀源之间；及一第二遮挡盖，连接所述第二支架，所述第二支架用以转动所述第二遮挡盖，以遮挡所述第一及第二蒸镀源两者其中之一。
2.如权利要求1所述的防止腔体吸收水气的蒸镀装置，其特征在于：所述第一支架依序具有一第一动力单元、一垂直的第一轴杆及一水平的第一摆动杆，其中所述第一摆动杆连接第一遮挡盖，其中所述第一动力单元通过所述第一轴杆驱动所述第一摆动杆摆动。
3.如权利要求2所述的防止腔体吸收水气的蒸镀装置，其特征在于：所述第二支架依序具有一第二动力单元、一垂直的第二轴杆及一水平的第二摆动杆，其中所述第二摆动杆连接第二遮挡盖，其中所述第二动力单元通过所述第二轴杆驱动所述第二摆动杆摆动。
4.如权利要求3所述的防止腔体吸收水气的蒸镀装置，其特征在于：所述第二摆动杆的长度大于所述第一摆动杆的长度。
5.如权利要求1所述的防止腔体吸收水气的蒸镀装置，其特征在于：所述第一蒸镀源为铝，及所述第二蒸镀源为镁。
6.如权利要求1所述的防止腔体吸收水气的蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置还包含一第三蒸镀源及一第三遮挡单元，所述第三蒸镀源对水气具有反应惰性，所述第三遮挡单元设置在所述第三蒸镀源的一侧。
7.如权利要求6所述的防止腔体吸收水气的蒸镀装置，其特征在于：所述第三蒸镀源为银。
8.一种蒸镀装置的防水换料方法，其特征在于：所述防水换料方法包含步骤：一蒸镀源遮挡步骤，用以在打开一蒸镀腔体之前，利用一第一遮挡盖遮挡对水气具有反应惰性的一第一蒸镀源，及利用一第二遮挡盖遮挡对水气具有反应活性的一第二蒸镀源；
一内壁防水步骤，用以移开所述第一遮挡盖并露出所述第一蒸镀源，对所述第一蒸镀源升温以蒸镀所述蒸镀腔体的一内壁，使所述内壁覆盖一防水金属薄层；
一遮挡盖防水步骤，用以将所述第二遮挡盖由所述第二蒸镀源移动至覆盖于所述第一蒸镀源，保持所述第一蒸镀源的温度以蒸镀所述第二遮挡盖的一底面，使所述第二遮挡盖的底面覆盖一防水底层；及
一腔体开启步骤，用以对所述第一蒸镀源进行降温，并打开所述蒸镀腔体。
9.如权利要求8所述的蒸镀装置的防水换料方法，其特征在于：所述第一蒸镀源为铝，及所述第二蒸镀源为镁。
10.如权利要求8所述的蒸镀装置的防水换料方法，其特征在于：在所述腔体开启步骤后，另包含一换料步骤，用以对所述第一蒸镀源及所述第二蒸镀源进行更换新料。
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