CN104426322A - 线性输送机用滑动件及线性输送机 - Google Patents

Abstract

本发明提供线性输送机及线性输送机用滑动件，能够实现滑动件的轻量化并且减小滑动件之间的位置检测误差。线性输送机具备将定子及轨道固定而成的固定侧模块和具有动子及与轨道嵌合的轨道引导件并通过线性电动机驱动而能够沿轨道移动地配置的滑动件，滑动件的位置由设于该滑动件的磁刻度尺(40A)和设于固定侧模块的磁传感器检测，磁刻度尺(40A)具备沿轨道的延伸方向延伸并具有多个磁极的塑料磁铁(44)和紧贴于塑料磁铁(44)的背轭(42)，并且塑料磁铁(44)的一部分相对于背轭(42)被固定，除该固定部(44A)以外的部分相对于背轭(42)能够沿磁刻度尺(40A)的延伸方向相对位移。

Description

线性输送机用滑动件及线性输送机

技术领域

本发明涉及线性输送机用滑动件及线性输送机。

背景技术

以往，为了搬运元件而利用使作为搬运台车的滑动件沿轨道移动的线性输送机。在这样的线性输送机中，例如在单元型的固定侧模块设置以直线状延伸的轨道和相对于该轨道被固定并具备多个电枢线圈的定子。另一方面，滑动件设置有与上述轨道嵌合的轨道引导件和与所述定子相向的动子，在动子配置强力的多个永久磁铁而构成磁极。

在这样的线性输送机中，通常由设于滑动件侧的刻度尺和设于固定侧模块侧的传感器构成用于检测沿轨道移动的滑动件的位置的线性刻度尺。近年来，已知有日本特开2013－99208号公报中公开那样的、具备磁气式的线性刻度尺的线性输送机，该线性输送机在滑动件侧设置具备磁铁的磁刻度尺，在模块侧设置磁传感器，通过来自磁刻度尺的磁通来检测滑动件的位置。

上述磁刻度尺采用具备背轭和安装在该背轭的表面的多个钕磁铁的结构。多个钕磁铁例如相对于背轭被粘接而安装。这样一来，在上述的磁刻度尺中作为磁铁使用钕磁铁，但是为了实现磁刻度尺及滑动件的轻量化，作为磁铁优选使用塑料磁铁。

发明内容

但是，在上述具有磁气式的线性刻度尺的线性输送机中，为了滑动件的维修、保管等，有时将滑动件从模块拆下，另行移送到环境温度与线性输送机的工作场所不同的仓库等中。在移送到仓库等的滑动件中，有时由于环境温度的变化，磁刻度尺会因热膨胀而伸长。假设磁刻度尺所用的磁铁是塑料磁铁，则该塑料磁铁与背轭之间的线膨胀系数之差变大。因此，例如在高温环境下磁刻度尺伸长后返回到常温环境的情况下，有时磁刻度尺会产生翘曲，或塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移。当产生这样的塑料磁铁的翘曲或位置偏移时，各滑动件中在检测位置产生偏移，滑动件之间的位置检测误差扩大。

本说明书中公开的技术是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供能够实现滑动件的轻量化并且减小各滑动件的位置检测误差的线性输送机用滑动件及线性输送机。

本说明书中公开的技术涉及一种线性输送机，具备：固定侧模块，在以直线状延伸的框架上固定具有多个电枢线圈的定子及轨道而成；及滑动件，具备具有多个磁极的动子及与所述轨道嵌合的轨道引导件，通过线性电动机驱动而能够沿所述轨道移动地配置，所述滑动件的位置由设于该滑动件的磁刻度尺和设于所述固定侧模块的磁传感器检测，所述磁刻度尺具备：沿所述轨道的延伸方向延伸并具有多个磁极的塑料磁铁；及紧贴于该塑料磁铁的背轭，并且所述塑料磁铁的一部分相对于所述背轭被固定，除该固定部以外的部分相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

在上述线性输送机中，通过由磁传感器检测从磁刻度尺产生的磁通，从而检测出沿轨道配置的滑动件的位置。并且，在磁刻度尺中作为磁铁使用塑料磁铁。因此，与使用钕磁铁等合金类磁铁的情况相比，能够实现磁刻度尺及设置有该磁刻度尺的滑动件的轻量化。

并且，当由于环境温度等的变化使滑动件的磁刻度尺热膨胀时，磁刻度尺的塑料磁铁的除固定部以外的部位相对于背轭沿磁刻度尺的延伸方向相对位移并且伸长。另一方面，当由于环境温度等的变化而使磁刻度尺收缩时，磁刻度尺的塑料磁铁的除固定部以外的部位相对于背轭沿磁刻度尺的延伸方向相对位移并且收缩。这时，若膨胀时和收缩时的环境温度的变化量大致相等(滑动件从常温环境下移动到高温环境下，之后返回到常温环境下的情况等)，则在膨胀时和收缩时的各时刻，塑料磁铁以固定部为基准以大致相等的变形量发生变形。其结果是，塑料磁铁以固定部为基准相对于背轭返回至膨胀前的相对位置。因此，能够抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移，能够减小滑动件之间的位置检测误差。如以上所示，在上述的线性输送机中，能够实现滑动件的轻量化，并能够减小滑动件之间的位置检测误差。

也可以是，所述背轭具备用于安装固定于所述滑动件的安装部，所述塑料磁铁经由所述背轭相对于滑动件被固定。

当通过在塑料磁铁的一部分设置螺纹孔等而将塑料磁铁固定在滑动件时，在塑料磁铁上设置有该螺纹孔等的部位与其他部位之间膨胀时及收缩时的变形量产生差值。在这种情况下，有可能在膨胀及收缩后塑料磁铁的一部分相对于背轭无法返回至膨胀前的相对位置。根据上述结构，以将背轭夹设在塑料磁铁与滑动件之间的形态使该背轭相对于滑动件被固定，所以无需在塑料磁铁设置螺纹孔等，能够有效地抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移。

也可以是，在磁刻度尺中，所述背轭与所述塑料磁铁由将两者一并捆束的树脂制的带部件一体化，所述带部件相对于所述塑料磁铁不能相对位移地被固定，并且相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

根据该结构，带部件相对于塑料磁铁不能沿背轭的延伸方向相对位移地被固定，从而在塑料磁铁由于环境温度的变化等膨胀或收缩的情况下，带部件与塑料磁铁一起以大致相等的变形量发生变形。另一方面，带部件相对于背轭能够沿背轭的延伸方向相对位移，从而在塑料磁铁由于环境温度的变化等而膨胀或收缩的情况下，带部件相对于背轭相对位移并且发生变形。通过如此使用上述带部件，能够实现可抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移的具体结构，能够减小滑动件之间的位置检测误差。另外在该结构中，在上述固定部中，塑料磁铁可以相对于背轭被直接固定，塑料磁铁也可以经由带部件相对于背轭被固定。

另外，构成塑料磁铁的基底的树脂材料相对于背轭大多无法获得良好的粘接性。相对于此，在上述线性输送机中，由于通过树脂制的带部件一并捆束塑料磁铁和背轭，所以能够不使用粘接剂等而实现将背轭与塑料磁铁一体化的磁刻度尺。

所述固定部优选设于所述塑料磁铁的所述磁刻度尺的延伸方向上的中央。

假设固定部设于塑料磁铁的比磁刻度尺的延伸方向上的中央偏向端部侧的位置时，在夹持固定部的一侧与另一侧之间膨胀时及收缩时的塑料磁铁的变化量不同。根据上述结构，固定部设于塑料磁铁的磁刻度尺的延伸方向上的中央，所以在固定部的两侧，膨胀时和收缩时的塑料磁铁的变化量大致相等。因此，在塑料磁铁膨胀及收缩后，能够将塑料磁铁以高精度相对于背轭返回到膨胀前的相对位置。其结果是，能够进一步减小滑动件之间的位置检测误差。

也可以是，在所述滑动件设置有用于进行搭载物向该滑动件的定位的定位部，所述磁刻度尺的所述固定部设于与所述定位部重合的位置。

用于在滑动件进行搭载物的定位的上述定位部以良好的位置精度相对于滑动件设置。根据上述结构，如此以固定部位于与以良好的定位精度设置的定位部重合的位置的方式安装磁刻度尺，从而能够提高磁刻度尺的安装精度。由此，能够进一步减小滑动件之间的位置检测误差。

也可以是，在所述背轭的与所述塑料磁铁的所述固定部对应的部分设置切口部，在所述带部件的与所述切口部对应的部分形成有凸部，所述切口部与所述凸部相互匹配。

例如能够通过将塑料磁铁和背轭安装在成形模型内进行的插入成形来成形上述带部件。根据上述结构，当进行这样的插入成形时树脂进入到固定部的切口部而形成凸部，切口部与凸部相互匹配，所以在固定部背轭相对于带部件被固定。由此，能够实现用于使塑料磁铁在固定部经由带部件相对于背轭被固定的具体结构。

也可以是，所述带部件具有的所述凸部通过使用了树脂的插入成形来成形。

由此，能够提供用于制造具有凸部的带部件的具体方法。

也可以是，在所述塑料磁铁间断地形成突出部，所述带部件以包围所述突出部的方式形成有多个。

例如能够通过将塑料磁铁和背轭安装在成形模型内进行的插入成形来成形上述带部件。根据上述结构，当进行这样的插入成形时树脂包围突出部，从而突出部的周围由树脂掩埋，所以在设置有各突出部的部位塑料磁铁相对于带部件被固定。由此，能够实现塑料磁铁相对于带部件被固定的具体结构。

本说明书中公开的线性输送机用滑动件具备：上板部；侧板部；具有多个磁极并设于所述上板部的动子；设于所述上板部的轨道；及设于所述侧板部的磁刻度尺，所述磁刻度尺具备：沿所述轨道的延伸方向延伸并且具有多极磁极的塑料磁铁；及紧贴于该塑料磁铁的背轭，所述塑料磁铁的一部分具有相对于所述背轭被固定的固定部，除该固定部以外的其他部分相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

根据上述的线性输送机用滑动件，通过由磁传感器等检测从磁刻度尺产生的磁通，从而检测出沿轨道配置的滑动件的位置。并且，在磁刻度尺中作为磁铁使用塑料磁铁。因此，与使用钕磁铁等合金类磁铁的情况相比，能够实现磁刻度尺及设置有该磁刻度尺的滑动件的轻量化。

并且，当由于环境温度等的变化使滑动件的磁刻度尺热膨胀时，磁刻度尺的塑料磁铁的除固定部以外的部位相对于背轭沿磁刻度尺的延伸方向相对位移并且伸长。另一方面，当由于环境温度等的变化而使磁刻度尺收缩时，磁刻度尺的塑料磁铁的除固定部以外的部位相对于背轭沿磁刻度尺的延伸方向相对位移并且收缩。这时，若膨胀时和收缩时的环境温度的变化量大致相等(滑动件从常温环境下移动到高温环境下，之后返回到常温环境下的情况等)，则在膨胀时和收缩时的各时刻，塑料磁铁以固定部为基准以大致相等的变形量发生变形。其结果是，塑料磁铁以固定部为基准相对于背轭返回至膨胀前的相对位置。因此，能够抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移，能够减小滑动件之间的位置检测误差。如以上所示，在上述的线性输送机中，能够实现滑动件的轻量化，并能够减小滑动件之间的位置检测误差。

在上述线性输送机用滑动件中，也可以是，所述背轭具备用于安装固定于所述滑动件的安装部，所述塑料磁铁经由所述背轭相对于滑动件被固定。

当通过在塑料磁铁的一部分设置螺纹孔等而将塑料磁铁固定在滑动件时，在塑料磁铁上设置有该螺纹孔等的部位与其他部位之间膨胀时及收缩时的变形量产生差值。在这种情况下，有可能在膨胀及收缩后塑料磁铁的一部分相对于背轭无法返回至膨胀前的相对位置。根据上述结构，以将背轭夹设在塑料磁铁与滑动件之间的形态使该背轭相对于滑动件被固定，所以无需在塑料磁铁设置螺纹孔等，能够有效地抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移。

在上述线性输送机用滑动件中，也可以是，所述磁刻度尺还具有树脂制的带部件，带部件将所述背轭和所述塑料磁铁作为一体部件而一并捆束，所述带部件相对于所述塑料磁铁不能相对位移地被固定，并且相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

根据该结构，带部件相对于塑料磁铁不能沿背轭的延伸方向相对位移地被固定，从而在塑料磁铁由于环境温度的变化等膨胀或收缩的情况下，带部件与塑料磁铁一起以大致相等的变形量发生变形。另一方面，带部件相对于背轭能够沿背轭的延伸方向相对位移，从而在塑料磁铁由于环境温度的变化等而膨胀或收缩的情况下，带部件相对于背轭相对位移并且发生变形。通过如此使用上述带部件，能够实现可抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移的具体结构，能够减小滑动件之间的位置检测误差。另外在该结构中，在上述固定部中，塑料磁铁可以相对于背轭被直接固定，塑料磁铁也可以经由带部件相对于背轭被固定。

另外，构成塑料磁铁的基底的树脂材料相对于背轭大多无法获得良好的粘接性。相对于此，在上述线性输送机用滑动件中，由于通过树脂制的带部件一并捆束塑料磁铁和背轭，所以能够不使用粘接剂等而实现将背轭与塑料磁铁一体化的磁刻度尺。

在上述线性输送机用滑动件中，也可以是，所述塑料磁铁具有间断配置的多个突出部，所述带部件以包围所述突出部的方式形成有多个。

例如能够通过将塑料磁铁与背轭安装在成形模型内进行的插入成形来成形上述带部件。根据上述结构，当进行这样的插入成形时树脂包围突出部，从而突出部的周围由树脂掩埋，所以在设置有各突出部的部位塑料磁铁相对于带部件被固定。由此，能够实现用于使塑料磁铁相对于带部件被固定的具体结构。

在上述的线性输送机用滑动件中，也可以是，在所述背轭的与所述塑料磁铁的所述固定部对应的部分设置切口部，在所述带部件的与所述切口部对应的部分形成有凸部，所述切口部与所述凸部相互匹配。

例如能够通过将塑料磁铁与背轭安装在成形模型内进行的插入成形来成形上述带部件。根据上述结构，当进行这样的插入成形时树脂进入到固定部的切口部而形成凸部，切口部与凸部相互匹配，所以在固定部背轭相对于带部件被固定。由此，能够实现用于使塑料磁铁在固定部经由带部件相对于背轭被固定的具体结构。

发明效果

根据本说明书中公开的技术，能够提供实现滑动件的轻量化并减小滑动件之间的停止位置误差的线性输送机及线性输送机用滑动件。

附图说明

图1是线性输送机的立体图。

图2是安装有滑动件的固定侧模块的立体图。

图3是安装有滑动件的固定侧模块的侧视图。

图4是拆下板部件的状态下的固定侧模块的俯视图。

图5是拆下板部件的状态下的固定侧模块的主视图。

图6是放大图5中轨道的一端面的主视图。

图7是被连接的两台固定侧模块的俯视图。

图8是被连接的两台固定侧模块的主视图。

图9是放大图7中固定侧模块的连接部的主视图。

图10是滑动件的侧视图。

图11是从表面侧观察滑动件的俯视图。

图12是滑动件的后视图。

图13是表示磁刻度尺的安装形态的滑动件的透视立体图。

图14是磁刻度尺的立体图。

图15是磁刻度尺的主视图。

图16是图9中的XVI-XVI截面的剖视图。

图17是图9中的XVII-XVII截面的剖视图。

图18是磁刻度尺的后视图。

图19是放大图12中固定部附近的后视图。

图20是表示紧贴于背轭的状态下的塑料磁铁的立体图。

图21是放大图14中微小突条附近的立体图。

图22是磁刻度尺的端部侧的横向剖视图。

图23是磁刻度尺的固定部附近的横向剖视图。

图24是拆下板部件的状态下的实施方式2的固定侧模块的俯视图。

图25是拆下板部件的状态下的实施方式2的固定侧模块的主视图。

图26是放大图25中定位部附近的主视图。

附图标记说明

1   线性输送机

2   基台

4A、4B 直线搬运部

6A、6B 滑动件升降装置

10  滑动件

11  上板部

11A 安装孔

11B  弯曲部

11C  定位部

12   侧板部

13   轨道引导件

14   动子罩

16   动子

22   轨道

24   框架

26   定子

30   传感器基板

32   板部件

40A、40B、40C 磁刻度尺

42   背轭

43   安装部

44   塑料磁铁

46A、46B 带部件

具体实施方式

(线性输送机的整体结构)

参照附图说明实施方式1。在实施方式中，例示通过线性电动机驱动来驱动的线性输送机1。另外，在各附图的一部分表示了X轴、Y轴及Z轴，各轴方向在各附图中以成为共同的方向的方式进行描绘。其中，X轴方向与线性输送机1的搬运方向一致，Z轴方向与上下方向一致。

如图1所示，线性输送机1设置在基台2上，沿X轴方向延伸的两个直线搬运部4A、4B配置成上下两段。在各直线搬运部4A、4B安装多个滑动件10，能够沿X轴方向移动。在各直线搬运部4A、4B的两端侧设置有一对滑动件升降装置6A、6B。

两个直线搬运部4A、4B以彼此相等的长度延伸，在上下方向上重合配置。沿一直线搬运部4A(4B)移动而到达其一端的滑动件10载于滑动件升降装置6A(6B)，向另一直线搬运部4B(4A)的一端升降。并且，使滑动件10的前进方向反转，在另一直线搬运部4B(4A)上移动。即，在线性输送机1中，由两个直线搬运部4A、4B和一对滑动件升降装置6A、6B构成循环的滑动件10的搬运路径。

在如此构成的线性输送机1中，滑动件10停止在上述搬运路径上的预定的作业位置，实施元件的供给、螺纹紧固、密封等作业。

(固定侧模块的结构)

各直线搬运部4A、4B分别由在搬运方向上连接而成的四台固定侧模块20构成。如图2所示，各固定侧模块20具备沿滑动件10的移动方向(X轴方向)配置的轨道22、框架24和线性电动机的定子26。

如图2和图3所示，框架24通过将铝合金的挤压成形品切断成预定长度而成，呈沿滑动件10的移动方向左右延伸的细长台座状。框架24由设置在基台2上的设置部24A、从设置部24A的框架24的宽度方向(Y轴方向)大致中央向上方立起的立起部24B和设于立起部24B的上端的轨道固定部24C构成。设置部24A以能够设置在基台2上的方式形成与基台2的板面平行的平板状。立起部24B与设置部24A大致垂直地立起，并且其板面由朝向框架24的宽度方向(Y轴方向)的姿势的两张平板状部件构成。轨道固定部24C与设置部24A平行地配置，并且形成为宽度方向尺寸(Y轴方向尺寸)比该设置部24A短的板状部件。

在轨道固定部24C上，沿框架24的延伸方向延伸的上述轨道22和上述定子26以在框架24的宽度方向(Y轴方向)上邻接的形态配置。轨道22与定子26延伸的长度(搬运方向尺寸)彼此相等。轨道22和定子26都相对于轨道固定部24C被牢固地固定，由此，能够以良好的精度确保轨道22和定子26相对于框架24的位置关系。

轨道22呈端面为矩形状的细长的大致棱柱状。在轨道22上设置有稍向其长边两侧面凹陷的凹陷部22A，形成于后述的滑动件10的轨道引导件13的引导槽13A内表面的凸部嵌合于该凹陷部22A。轨道22与配置于该轨道22上的滑动件10的引导槽13A嵌合，从而作为沿轨道22和定子26对滑动件10进行引导的引导部件发挥功能。

与轨道22同样地，定子26呈端面为矩形状的细长的大致棱柱状。沿定子26的延伸方向排列配置的多个电枢线圈25以埋入该定子26的形态固定在定子26。在线性输送机1中，控制向多个电枢线圈25供给的电流，由此，安装在固定侧模块20的滑动件10通过线性电动机驱动而沿轨道22及定子26移动。在线性输送机1工作时，固定侧模块20以连接多台的形态被使用，多个滑动件10在遍及多个固定侧模块20之间相连的轨道22上移动。

如图4和图5所示，在固定侧模块20的长边侧面，以覆盖接近轨道22侧的立起部24B的外侧面的形态配置有四张传感器基板30。各传感器基板30沿滑动件10的移动方向排列配置，其板面以朝向宽度方向的姿势固定于立起部24B。这些传感器基板30构成用于在与后述的滑动件10的磁刻度尺40A、40B、40C之间检测该滑动件10的位置的线性刻度尺。另外，在图4和图5中，示出了将定子26及后述的板部件32拆下的状态下的固定侧模块20。

如图3所示，在各传感器基板30上设置有在上下方向上以预定的间隔排列配置的三个磁传感器组31A、31B、31C。这些磁传感器组31A、31B、31C由能够检测后述的滑动件10的磁刻度尺40A、40B、40C的霍尔元件或MR元件等构成，在各传感器基板30上配置在共通的位置。在滑动件10安装在固定侧模块20的状态下，各磁传感器组31A、31B、31C设置于与滑动件10的各磁刻度尺40A、40B、40C相向的位置。

这些磁传感器组31A、31B、31C中的配置在最上方的磁传感器组31A(以下称作检测传感器组31A)作为用于检测滑动件10的位置的传感器所利用。检测传感器组31A检测相向的滑动件10的磁刻度尺40A，从而从传感器基板30输出用于检测滑动件10的位置的预定信号。

另外，如图5所示，检测传感器组31A在传感器基板30的滑动件10的移动方向两端侧分别具有第一检测部34、第二检测部35。另外，图5中省略各传感器基板30上的检测传感器组31B、31C的图示。如图6所示，第一检测部34由沿滑动件10的移动方向排列配置的两个读取部34A、34B构成，同样地第二检测部35由两个读取部35A、35B构成。在检测传感器组31A中，由第一检测部34的读取部34A、34B及第二检测部35的读取部35A、35B分别读取来自滑动件10的磁刻度尺40A的磁通，从而检测滑动件10的准确位置。

如图2和图3所示，在线性输送机1工作时，在固定侧模块20的长边面侧以沿立起部24B的长度方向延伸设置并覆盖接近轨道22侧的立起部24B的外侧面和各传感器基板30的方式配置板部件32。该板部件32竖立设于设置部24A，其各端部固定在该设置部24A及立起部24B。板部件32由沿上下方向与传感器基板30的板面平行延伸的第一板部32A和从该第一板部32A的下端向外侧稍鼓出并向下方延伸的第二板部32B构成。板部件32作为例如在将滑动件10安装在固定侧模块20时用于保护滑动件10不与各传感器基板30发生干扰的保护部件发挥功能。

对电枢线圈25供给电力的电力供给用和传感器基板30用的连接器27以沿上下方向排列的形态分别设置在传感器基板30的外侧且与板部件32的第二板部32B相同高度的位置。另外，在第二板部32B上与这些连接器27重合的位置开口，处于能够从固定侧模块20的外侧观察到连接器27的状态。由此，连接器27能够与连接目标的连接器连接。

另外，如图5和6所示，在框架24的轨道固定部24C的与传感器基板30相向的外侧面设置有用于将各传感器基板30安装在框架24上时定位各传感器基板30的定位部24D。在本实施例中，该定位部24D是容纳销钉用的贯通孔(未图示)。另一方面，在各传感器基板30的板面上的上部两处，在与上述定位部24D对应的位置分别配置有贯通构成定位部24D的贯通孔并销钉固定于框架24的定位销36。各传感器基板30通过定位销36销钉固定于框架24上，从而相对于框架24被固定。另外，在各传感器基板30的下侧配置有上述连接器27等，但是图5中省略了这些图示。

构成定位销24D的贯通孔的内径和将贯通孔贯通的定位销36的部位的外径大致相等，各传感器基板30相对于框架24无晃动地被固定。因此，各传感器基板30相对于框架24以高定位精度被定位而固定。因此，框架24与设于各传感器基板30上的各检测部34、35之间也被确保高定位精度。

另外，在制造固定侧模块20时，四张传感器基板30相对于框架24以预定的间隔被定位而固定。在此，假设传感器基板30仅在其板面上的一处相对于框架24被固定，则在将传感器基板30安装在框架24上时传感器基板30绕定位销36的销轴旋转，在各传感器基板30之间可能产生安装误差。关于这一点，在本实施方式中，由于各传感器基板30在其板面上的上部两处相对于框架24被固定，所以能够防止或抑制各传感器基板30之间产生安装误差，能够将各传感器基板30以高精度进行定位并且相对于框架24固定。其结果是，在一个固定侧模块20中，四张传感器基板30的间隔分别以高精度被确保。

接着，说明在使用者侧连接多个固定侧模块20时的连接形态。在此，在本实施方式中，如图4所示，构成固定侧模块20的轨道22和框架24的长度方向上的尺寸(沿轨道22的延伸方向的长度尺寸)彼此不同。具体而言，轨道22在长度方向上的尺寸比框架24稍长，轨道22的长度方向端部22B处于比框架24的长度方向端部24E靠长度方向外侧稍突出的状态(参照图6)。另外，轨道22的端部22B形成与该轨道22的延伸方向垂直的平坦面，确保其平面度的精度。

在连接多个固定侧模块20时，首先将相邻的固定侧模块20的轨道22的端部22B彼此抵接，在该状态下排列多个固定侧模块20(图7和图8所示的状态)。如上所述，轨道22的端部22B形成为确保平面度的精度的平坦面，所以能够将相邻的轨道22的端部22B彼此无间隙地抵接。之后，维持该状态并且由连接部件(未图示)连接相邻的固定侧模块20并固定。由此，如图7所示，相邻的轨道22的端部22B彼此抵接，并且以在相邻的框架24之间形成预定的间隙C的状态将相邻的固定侧模块20彼此连接。

如上所述将确保了平面度的轨道22的端部22B彼此抵接，以该端部22B为基准将相邻的固定侧模块20彼此相互连接，从而能够确保相邻的固定侧模块20之间的间隔精度及相邻的固定侧模块20之间的相邻的传感器基板30的间隔精度。因此，每次在使用者侧对多个固定侧模块20分别进行连接作业时，能够防止或抑制在相邻的固定侧模块20之间相邻的传感器基板30的间隔S1(参照图9)产生偏差。

(滑动件的结构)

接着，说明沿直线搬运部4A、4B在轨道22上移动的滑动件10的结构。以下，以X轴方向作为滑动件10的左右方向、移动方向或长度方向、以Y轴方向作为滑动件10的前后方向或宽度方向、以Z轴方向作为滑动件10的上下方向或高度方向进行说明。如图10所示，滑动件10在侧面观察下呈大致L字状，由当安装在固定侧模块20时配置在轨道22及定子26上的长方形状的上板部11和与框架24的配置有传感器基板30的侧面相向配置的长方形状的侧板部12构成。

如图11所示，在上板部11的表面设置有用于安装基板承接部的多个安装孔11A，该基板承接部用于承接搭载于滑动件10上而被搬运的基板。另外，在上板部11的长度方向上的大致中央位置的宽度方向两侧，分别设置有用于对搭载于滑动件10上的基板进行定位的定位部11C。

如图12所示，在上板部11的背面分别配置有沿搬运方向延伸的两个轨道引导件13。轨道引导件13分别配置在滑动件10的长度方向两端部。在各轨道引导件13形成有向下方开口并沿该轨道引导件13的延伸方向即搬运方向以槽状延伸的引导槽13A。当向该引导槽13A插入轨道22时，沿引导槽13A配置的多个滚珠与轨道22接触而滚动，由此，滑动件10移动。

另外，在上板部11的背面，由动子罩14覆盖的多个永久磁铁15(参照图10)沿该上板部11的长度方向排列配置，由这些多个永久磁铁15构成动子16的多个磁极。如图3所示，动子罩14相对于上板部11通过螺栓连接进行固定，覆盖多个永久磁铁15的部分构成沿该上板部11的板面方向平行的平坦面14A。另外，分别在图10中表示从上板部11拆下动子罩14而露出永久磁铁15的状态的滑动件10，在图3中表示在上板部11固定有动子罩14的状态的滑动件10。

上板部11的宽度方向两端部中的侧板部12延伸的一侧的相反侧的端部构成向下方侧弯曲并稍延伸的弯曲部11B(参照图3)。并且，上述动子16和动子罩14形成配置于弯曲部11B的内侧的形态。通过该弯曲部11B来保护动子16和动子罩14的宽度方向上的一端侧。

如图3、图10、图12和图13所示，在侧板部12设置有以沿上下方向排列的形态配置于侧板部12的背面的三个磁刻度尺40A、40B、40C。各磁刻度尺40A、40B、40C沿滑动件10的左右方向延伸，由固定在侧板部12的刻度尺罩18覆盖。另外，分别在图10、图12、图13中表示从侧板部12拆下刻度尺罩18的状态，在图3中表示在侧板部12安装有刻度尺罩18的状态。

在滑动件10安装在固定侧模块20的状态下，各磁刻度尺40A、40B、40C设置在与传感器基板30的各磁传感器组31A、31B、31C相向的位置。这些磁刻度尺40A、40B、40C中的配置在最上方的磁刻度尺40A为用于检测滑动件10的位置的线性刻度尺。固定侧模块20的磁传感器组31A通过检测相向的磁刻度尺40A而从传感器基板30输出用于检测滑动件10的位置的预定信号。

如上构成的滑动件10以该滑动件10的上板部11与固定侧模块20的轨道固定部24C平行的姿势(参照图3)，将轨道引导件13的引导槽13A与固定侧模块20的轨道22嵌合，从而能够安装在固定侧模块20。安装在固定侧模块20的滑动件10在与引导槽13A嵌合的轨道22上滑动，从而沿左右方向、即直线搬运部4A、4B的延伸方向在固定侧模块20上移动。

(磁刻度尺的结构)

接着，对用于检测滑动件10的位置的磁刻度尺40A的结构进行详细说明。另外，以下以X轴方向作为磁刻度尺40A的左右方向、滑动件10的移动方向或长度方向、以Y轴方向作为磁刻度尺40A的前后方向或厚度方向、以Z轴方向作为磁刻度尺40A的上下方向或宽度方向进行说明。磁刻度尺40A安装在滑动件10的状态下的磁刻度尺40A的上下方向、长度方向、厚度方向分别与滑动件10的上下方向、长度方向、宽度方向一致。如图14、图15及图18所示，磁刻度尺40A由背轭42、紧贴于背轭42的塑料磁铁44及将背轭42和塑料磁铁44两者一并捆束而一体化的多个带部件46A、46B构成。

塑料磁铁44与背轭42同样地构成在长度方向上延伸的板状部件，紧贴于背轭42的一板面上。塑料磁铁44的上下方向尺寸比背轭42的上下方向尺寸稍短，塑料磁铁44配置成在上下方向上收纳在背轭42的板面内。另一方面，塑料磁铁44的长度方向尺寸比背轭42的长度方向尺寸短，塑料磁铁44配置成背轭42的长度方向两端从塑料磁铁44伸出。

如图14和图15所示，在背轭42的长度方向两端设置有相对于滑动件10的侧板部12被安装固定的安装部43。在背轭42上与安装部43对应的部位分别设置有贯通该背轭42的安装孔42A。在该安装孔42A中插通螺钉S(参照图12)，将背轭42销钉固定于滑动件10的侧板部12，从而背轭42被安装于侧板部12。另外，安装孔42A以良好的位置精度设置，能够使用具备定位销(未图示)的定位工具(未图示)。背轭42通过该定位销而进行销钉固定，从而相对于滑动件10的侧板部12以良好的位置精度被固定。

塑料磁铁44通过在作为基底的PPS(Poly Phenylene Sulfide)等树脂中混入磁粉而形成，以紧贴于背轭42的一侧的相反侧的面作为磁极面而沿其延伸方向多极地磁化。磁刻度尺40A以背轭42夹设在侧板部12与塑料磁铁44之间的形态安装在该侧板部12。因此，当在固定侧模块20安装滑动件10时，处于塑料磁铁44的磁极面与安装在固定侧模块20的传感器基板30的磁传感器31A相向的状态。

带部件46A、46B为树脂制，以沿磁刻度尺40A的长度方向彼此以大致等间隔分离的形态配置有七个。各带部件46A、46B呈包围背轭42的塑料磁铁44所紧贴的面的相反侧的面而从上下方向夹持塑料磁铁44的形状，分别将背轭42和塑料磁铁44两者一并捆束。

各带部件46A、46B中的除了配置于长度方向上的大致中央的带部件46B之外的六个带部件46A分别以将塑料磁铁44从其上下夹持的形态仅固定在该塑料磁铁44，相对于背轭42不固定。因此，塑料磁铁44中的除了由带部件46B夹持的部分之外的部分包含由该六个带部件46A夹持的部分，该部分与该带部件46A一起能够沿长度方向(磁刻度尺40A的延伸方向)相对于背轭42相对位移。

另一方面，各带部件46A、46B中的配置于长度方向上的大致中央的带部件46B固定在塑料磁铁44与背轭42两方。因此，塑料磁铁44中的由该带部件46B夹持的部分沿长度方向(磁刻度尺40A的延伸方向)相对于背轭42不能相对位移。另外，以下将塑料磁铁44的部分中的由该带部件46B夹持的部分(不能相对位移的部分)称作固定部44A。在磁刻度尺40A安装在滑动件10时，该固定部44A在左右方向上与滑动件10的定位部11C对应，以配置在与定位部11C相同的垂直平面内的方式安装该磁刻度尺40A。

对各带部件46A、46B相对于背轭42和塑料磁铁44的安装形态进行具体说明。如图20和图21所示，在塑料磁铁44的上下两侧面的由带部件46A、46B夹持的部分间断地形成有沿长度方向(磁刻度尺40A的延伸方向)延伸的微小突条(突出部的一例)44B。这些微小突条44B形成在磁刻度尺40A的厚度方向上偏向背轭42的位置。

另一方面，如图19和图20所示，在背轭42的上下两侧面的长度方向的大致中央位置、即塑料磁铁44的固定部44A所紧贴的部分设置有切口部42B。切口部42B在正面观察下为圆弧状，通过将背轭42的中央部的上下侧面的一部分切除而形成。该切口部42B以在厚度方向上贯通背轭42的形态形成。在固定于塑料磁铁44的固定部44A的带部件46B中，与上述切口部42B对应的部分形成以进入到该切口部42B内的形态突出的凸部46B1(参照图17和图23)。

另外，各带部件46A、46B如以下所示成形。在将如上构成的塑料磁铁44和背轭42安装在成形模型内之后，通过将树脂流入到成形模型的插入成形来成形。在插入成形时，树脂流入到成形模型内的塑料磁铁44的各微小突条44B的周围的空间，以包围微小突条44B的方式分别形成各带部件46A、46B(参照图16、图17和图21)。由此，成形模型内的各微小突条44B的长度方向两侧的空间由树脂填充，形成带部件46A、46B(参照图22)。如此，各带部件46A、46B相对于塑料磁铁44不能在长度方向上相对位移地固定。

另外，在配置在左右方向的大致中央的带部件46B的插入成形时，当树脂流入到成形模型内的微小突条44B的周围的空间时，形成该带部件46B的树脂进入到背轭42的切口部42B。由此，切口部42B由进入到切口部42B的树脂掩埋。由进入到切口部42B的树脂形成带部件46B的上述凸部46B1(参照图17和图23)，该带部件46B相对于背轭42不能在长度方向上相对位移地固定。

通过如此形成的各带部件46A、46B将塑料磁铁44和背轭42两者一并捆束而一体化。在塑料磁铁44的固定部44A塑料磁铁44与背轭42两者由带部件46B不能在长度方向上相对位移地固定，与此相对，在塑料磁铁44的除了固定部44A之外的部位，仅塑料磁铁44由带部件46A在长度方向上相对于带部件46A不能相对位移地固定。

另外，背轭42由于是铁或不锈钢等金属制，所以与塑料磁铁44之间的线膨胀系数的差值大。因此，在磁刻度尺40A从常温环境下移动到高温环境下的情况下，塑料磁铁44由于热膨胀与背轭42相比沿其延伸方向(长度方向)较大地延伸，塑料磁铁44有可能相对于背轭42在长度方向上相对位移。由此，塑料磁铁44有可能从常温环境下的相对于背轭42的初始位置偏离。

相对于此，本实施方式的磁刻度尺40A由于采用如上所述的结构，所以例如在从常温环境下移动到高温环境下的情况下，塑料磁铁44的除固定部44A之外的部位相对于背轭42在长度方向上相对位移，塑料磁铁44的固定部44A相对于背轭42不能在长度方向上相对位移，固定在该场所。并且，当磁刻度尺40A从高温环境下返回到常温环境下时，塑料磁铁44的除固定部44A之外的部位以固定部44A为基准与背轭42相比较大地收缩，相对于背轭42在长度方向上相对位移。其结果是，塑料磁铁44的除固定部44A之外的部位发生变形，返回到相对于背轭42的初始位置。

即，本实施方式的磁刻度尺40A即使在移动到高温环境下的情况下，之后返回到常温环境下而塑料磁铁44与背轭42之间的相对位置也返回到初始的位置。因此，由于塑料磁铁44与背轭42之间的相对位置发生变化，能够防止或抑制产生滑动件10之间的检测传感器31A对磁刻度尺40A的检测误差、换言之滑动件10之间的位置检测误差。

(实施方式的效果)

如以上所示，在本实施方式的线性输送机1中，通过由检测传感器31A检测从磁刻度尺40A产生的磁通，从而检测出沿轨道22配置的滑动件10的位置。并且，在磁刻度尺40A中作为磁铁使用塑料磁铁44。因此，与使用钕磁铁等磁铁的情况相比，能够实现磁刻度尺40A及设置有该磁刻度尺40A的滑动件10的轻量化。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，当由于环境温度等的变化使滑动件10的磁刻度尺40A热膨胀时，磁刻度尺40A的塑料磁铁44的除固定部44A以外的部位相对于背轭42沿磁刻度尺40A的延伸方向(X轴方向)相对位移并且伸长。另一方面，当由于环境温度等的变化使磁刻度尺40A收缩时，磁刻度尺40A的塑料磁铁44的除固定部44A以外的部位相对于背轭42沿磁刻度尺40A的延伸方向相对位移并且收缩。这时，若膨胀时和收缩时的环境温度的变化量大致相等(滑动件从常温环境下移动到高温环境下，之后返回到常温环境下的情况等)，则在膨胀时和收缩时的各时刻塑料磁铁44以固定部44A为基准以大致相等的变形量发生变形。其结果是，塑料磁铁44以固定部44A为基准相对于背轭42发生变形而返回至膨胀前的相对位置。因此，能够抑制膨胀及收缩后塑料磁铁44相对于背轭42产生位置偏移，能够减小滑动件10之间的位置检测误差。如此，在实施方式的线性输送机1中，能够实现滑动件10的轻量化，并能够减小滑动件10之间的位置检测误差。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，在背轭42的长度方向两端设置有安装固定在滑动件10的安装部43。并且，塑料磁铁44经由背轭42相对于滑动件10被固定。在此，当通过在塑料磁铁44的一部分设置螺纹孔等而将塑料磁铁44固定在滑动件10时，在塑料磁铁44设置有该螺纹孔等的部位和未设置螺纹孔的其他部位之间膨胀时及收缩时的变形量产生差值。在这种情况下，有可能在膨胀及收缩后塑料磁铁44的一部分相对于背轭42无法返回至膨胀前的相对位置。相对于此，根据本实施方式的结构，以将背轭42夹设在塑料磁铁44与滑动件10之间的形态使该背轭42相对于滑动件10的侧板部12被固定，所以无需在塑料磁铁44设置螺纹孔等，能够有效地抑制膨胀和收缩后塑料磁铁44相对于背轭42产生位置偏移。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，在磁刻度尺40A，背轭42与塑料磁铁44通过将两者一并捆束的树脂制的带部件46A、46B而一体化。并且，带部件46A、46B相对于塑料磁铁44不能相对位移地被固定，并且除了安装在固定部44A的带部件46B之外的六个带部件46A相对于背轭42能够沿磁刻度尺40A的延伸方向相对位移。通过采用这样的结构，在塑料磁铁44由于环境温度的变化等膨胀或收缩的情况下，带部件46A、46B与塑料磁铁44一起以大致相等的变形量发生变形，而带部件46B相对于背轭42相对位移并且发生变形。通过如此使用带部件46A、46B，能够实现可抑制膨胀及收缩后塑料磁铁44相对于背轭42产生位置偏移的具体结构，能够减小滑动件10之间的位置检测误差。

在塑料磁铁由于环境温度的变化等膨胀或收缩的情况下，带部件相对于背轭相对位移并且发生变形。通过如此使用上述带部件，能够实现可抑制膨胀及收缩后塑料磁铁相对于背轭产生位置偏移的具体结构，能够减小滑动件之间的位置检测误差。另外，在该结构中，在上述固定部中，塑料磁铁可以相对于背轭被直接固定，塑料磁铁也可以经由带部件相对于背轭被固定。

另外，由于背轭42是金属，所以相对于塑料磁铁44难以获得良好的粘接性。相对于此，在本实施方式中，通过树脂制的带部件46A、46B将塑料磁铁44与背轭42一并捆束，所以能够实现不使用粘接剂等而将背轭42与塑料磁铁44一体化的磁刻度尺40A。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，固定部44A设置在塑料磁铁44的磁刻度尺40A的延伸方向(X轴方向)上的中央。在此，假设固定部44A设置在塑料磁铁44的磁刻度尺40A的延伸方向上的比中央偏向端部侧的位置，则在夹持固定部44A的一侧和另一侧之间膨胀时和收缩时的塑料磁铁44的变化量不同。相对于此，在本实施方式中，由于固定部44A设于塑料磁铁44的磁刻度尺40A的延伸方向上的中央，所以在夹持固定部44A的一侧与另一侧膨胀时和收缩时的塑料磁铁44的变化量大致相等。因此，在塑料磁铁44膨胀及收缩后，能够将塑料磁铁44相对于背轭42以高精度返回至膨胀前的相对位置。其结果是，能够进一步减小滑动件10之间的位置检测误差。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，在滑动件以良好的位置精度设置有多个用于定位安装向该滑动件1搭载的搭载物的安装孔11A，其中一个安装孔11A设置在与磁刻度尺40A的固定部44A相同的垂直平面内。如此以一个安装孔11A位于与固定部44A相同的垂直平面内的方式安装磁刻度尺40A，从而本实施方式中能够提高磁刻度尺40A的安装精度。由此，能够进一步减小滑动件10之间的位置检测误差。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，作为磁刻度尺40A的磁铁使用塑料磁铁44，所以与使用钕磁铁等的以往结构相比，能够大幅度降低部件成本。

用于在滑动件对搭载物进行定位的上述定位部相对于滑动件以良好的位置精度设置。根据上述结构，如此以固定部位于与以良好的定位精度设置的定位部重合的位置的方式安装磁刻度尺，从而能够提高磁刻度尺的安装精度。由此，能够进一步减小滑动件之间的位置检测误差。

例如通过将塑料磁铁和所述背轭安装在成形模型内而进行的插入成形来成形带部件，从而在插入成形时树脂进入到固定部的切口部，从而切口部内由树脂掩埋，所以在固定部背轭相对于带部件被固定。由此，能够实现用于塑料磁铁在固定部经由带部件相对于背轭被固定的具体结构。

例如通过将塑料磁铁和所述背轭安装在成形模型内而进行的插入成形来成形带部件，从而在插入成形时树脂包围突出部，从而突出部的周围由树脂掩埋，所以在设置有各突出部的部位塑料磁铁相对于带部件被固定。由此，能够实现用于塑料磁铁相对于带部件被固定的具体结构。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，轨道22与框架24中的轨道22沿该轨道22的延伸方向(X轴方向)的长度稍长。并且，在使该长的一方的轨道22的端部22B彼此抵接的状态下排列多个固定侧模块20，从而以该轨道22的长度为基准，固定侧模块20间的间隔始终是确定的。因此，即使在固定侧模块20在使用者侧连接多台而组装的情况下，对应每次组装也难以产生组装误差，能够提高连接多台的固定侧模块20间的间隔精度。另外，在轨道22与框架24中的沿该轨道22的延伸方向(X轴方向)的长度短的一方的框架24上设置用于定位设置有磁传感器31A的传感器基板30的定位部24D，框架24配置成相对于作为上述基准的轨道22始终保持一定的位置关系。因此，在多个固定侧模块20中的各固定侧模块20中磁传感器31A相对于作为上述基准的轨道22以一定的位置关系组装于传感器基板30上，所以能够提高相邻的固定侧模块20间的磁传感器31A的检测部34、35的间隔精度。如此，通过提高相邻的固定侧模块20间的磁传感器31A的检测部34、35的间隔精度，能够提高在多台排列连接的固定侧模块20移动的滑动件10的位置检测精度，能够减小每个滑动件10的位置检测误差。

另外，本实施方式的线性输送机1具有将磁传感器31A安装在预先规定的预定位置并且安装在固定侧模块20的四张传感器基板30。并且，在各传感器基板30上与定位部24D对应的位置设置有定位销36。因此，固定侧模块20间的间隔始终确定，从而能够提高固定侧模块20间相邻的传感器基板30的间隔精度，所以能够减小每个滑动件10的位置检测误差。

另外，在本实施方式的线性输送机1中，上述定位部24D被设为设置在传感器基板30上的贯通孔，定位销36贯通该贯通孔并且传感器基板30销钉固定于框架24上。因此，以定位销36几乎无间隙地贯通于贯通孔的方式调整贯通孔的内径及定位销36的外径，从而能够以一定的位置关系组装定位销36和贯通孔，能够以一定的位置关系相对于框架24组装各传感器基板30。

<实施方式2>

参照图24～26说明实施方式2。实施方式2与实施方式1的不同之处是轨道122相对于框架124的配置及传感器基板130的定位形态。其他结构与实施方式1相同，其结构、作用、效果的说明省略。

如图24所示，在实施方式2的固定侧模块120中，在轨道固定部124C上轨道122配置在宽度方向上的偏向一端部(配置有传感器基板130的一侧的端部)的位置。另外，在本实施方式中，如图25和图26所示，不在框架124上，而在轨道122的长边侧面的凹陷部122A的下方设置有用于定位各传感器基板130的定位部124D。即，在本实施方式中，在连接多台固定侧模块120时作为基准的轨道122上直接设置有定位部124D。具体而言，定位部124D分别设置在各传感器基板130的上端部的与长度方向两侧对应的位置。即，各传感器基板130分别由两个定位部124D定位。

如图26所示，在轨道122上的定位部124D设置有向下方开口并切成凹状的抵接部122C。另一方面，在各传感器基板130上与设于轨道122上的定位部124D对应的部位分别设置有从该传感器基板130的板面的外端向上方伸出的伸出部130A。这些伸出部130A在图26所示的正面观察下呈大致矩形状，在长度方向、即轨道122的延伸方向上能够与抵接部122C抵接。

各传感器基板130通过两个伸出部130A中的任一伸出部130A与设置于轨道122上的抵接部122C抵接而被定位。在图26所示的例子中，从传感器基板130的外端伸出的两个伸出部130A中的左侧的伸出部130A与抵接部122C在长度方向上抵接。详细而言，伸出部130A的伸出侧面的一方与抵接部122C的凹部的侧内表面的一方抵接。由此，传感器基板130在长度方向上无晃动地以高定位精度被定位而固定。

如以上所示在本实施方式的线性输送机中，形成对轨道122和框架124中的、连接多台固定侧模块120时作为基准的轨道122直接设置定位部124D的结构。并且，在定位部124D，通过设于各传感器基板130上的两个伸出部130A与设于轨道122上的抵接部122C抵接，伸出部130A相对于该抵接部122C无间隙地被定位。由此，能够将各传感器基板130相对于抵接部122C、即轨道122的一部分以一定的位置关系精度良好地组装在框架124上。其结果是，能够提高在固定侧模块120之间相邻的磁传感器的检测部134、135的间隔精度，能够减小每个滑动件110的位置检测误差。

(其他实施方式)

本发明不限于上述已述内容和通过附图所说明的实施方式，例如以下所示的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

(1)在上述各实施方式中，例示了背轭和塑料磁铁由带部件一体化的结构，但是也可以采用由带部件以外的部件将背轭和塑料磁铁组装而成的结构。

(2)在上述各实施方式中，例示了塑料磁铁的固定部设于磁刻度尺的延伸方向上的大致中央的结构，但是也可以采用塑料磁铁的固定部设于磁刻度尺的延伸方向上的大致中央以外的部位的结构。

(3)在上述各实施方式中，例示了在塑料磁铁的上下两侧面由带部件夹持的部分作为突出部的一例形成有微小突条的结构，但是突出部的形状不作限定。突出部只要是通过由带部件包围而使塑料磁铁相对于带部件被固定的形状即可。

(4)在上述各实施方式中，例示了在固定部在背轭的上下两侧面设置切口部且在带部件的与切口部对应的位置设置凸部的结构，但是固定部的结构不限于此。例如，可以采用在背轭侧设置凸部且在带部件侧设置与该凸部嵌合的切口部的结构。

(5)在上述各实施方式中，例示了轨道与框架中轨道的沿着轨道的延伸方向的长度较长的结构，但是也可以采用框架稍长的结构。在这种情况下，通过使框架的端部彼此抵接，在该状态下排列多个固定侧模块，从而能够以该框架为基准来确保多个固定侧模块的间隔精度。

(6)在上述各实施方式中，例示了在基板上设置有磁传感器的结构，但是也可以采用磁传感器直接设置在固定侧模块的结构。在这种情况下，也能够通过提高相邻的固定侧模块之间的间隔精度，来提高固定侧模块间相邻的磁传感器的间隔精度。

以上，对本发明的实施方式进行了详细说明，但是这些方式只不过是例示，并未限定权利要求的范围。在权利要求书所记载的技术中包含能够对以上例示的具体例进行各种变形、变更的技术。

Claims (13)

1.一种线性输送机，具备：固定侧模块，在以直线状延伸的框架上固定具有多个电枢线圈的定子及轨道而成；及滑动件，具备具有多个磁极的动子及与所述轨道嵌合的轨道引导件，并通过线性电动机驱动而能够沿所述轨道移动地配置，所述滑动件的位置由设于该滑动件的磁刻度尺和设于所述固定侧模块的磁传感器检测，

所述磁刻度尺具备：沿所述轨道的延伸方向延伸并具有多个磁极的塑料磁铁；及紧贴于该塑料磁铁的背轭，并且所述塑料磁铁的一部分相对于所述背轭被固定，除该固定部以外的部分相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

2.根据权利要求1所述的线性输送机，其中，

所述背轭具备用于安装固定于所述滑动件的安装部，

所述塑料磁铁经由所述背轭相对于滑动件被固定。

3.根据权利要求1或2所述的线性输送机，其中，

所述磁刻度尺还具有树脂制的带部件，带部件将所述背轭与所述塑料磁铁作为一体部件而一并捆束，

所述带部件相对于所述塑料磁铁不能相对位移地被固定，并且相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

4.根据权利要求3所述的线性输送机，其中，

所述固定部设于所述塑料磁铁的所述磁刻度尺的延伸方向上的中央。

5.根据权利要求3所述的线性输送机，其中，

在所述滑动件设置有用于进行搭载物向该滑动件的定位的定位部，所述磁刻度尺的所述固定部设于与所述定位部对应的位置。

6.根据权利要求3所述的线性输送机，其中，

在所述背轭的与所述塑料磁铁的所述固定部对应的部分设置切口部，

在所述带部件的与所述切口部对应的部分形成有凸部，

所述切口部与所述凸部相互匹配。

7.根据权利要求6所述的线性输送机，其中，

所述带部件具有的所述凸部通过使用了树脂的插入成形来成形。

8.根据权利要求3所述的线性输送机，其中，

在所述塑料磁铁间断地形成突出部，

所述带部件以包围所述突出部的方式形成有多个。

9.一种线性输送机用滑动件，具备：上板部；侧板部；具有多个磁极并设于所述上板部的动子；设于所述上板部的轨道；及设于所述侧板部的磁刻度尺，

所述磁刻度尺具备：沿所述轨道的延伸方向延伸并且具有多极磁极的塑料磁铁；及紧贴于该塑料磁铁的背轭，所述塑料磁铁的一部分具有相对于所述背轭被固定的固定部，除该固定部以外的其他部分相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

10.根据权利要求9所述的滑动件，其中，

所述背轭具备用于安装固定于所述滑动件的安装部，

所述塑料磁铁经由所述背轭相对于滑动件被固定。

11.根据权利要求9或10所述的滑动件，其中，

所述磁刻度尺还具有树脂制的带部件，带部件将所述背轭与所述塑料磁铁作为一体部件而一并捆束，

所述带部件相对于所述塑料磁铁不能相对位移地被固定，并且相对于所述背轭能够沿所述磁刻度尺的延伸方向相对位移。

12.根据权利要求9或10所述的滑动件，其中，

所述塑料磁铁具有间断配置的多个突出部，

所述带部件以包围所述突出部的方式形成有多个。

13.根据权利要求9或10所述的滑动件，其中，

在所述背轭的与所述塑料磁铁的所述固定部对应的部分设置切口部，

在带部件的与所述切口部对应的部分形成有凸部，

所述切口部与所述凸部相互匹配。