CN104419898A - 蒸镀源 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种蒸镀源。根据本发明的一实施例的蒸镀源包括：主体部件，形成为使有机物从上侧排出；加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。根据这种结构，由于主体部件的上侧比下侧能够维持相对较高的温度，因此能够防止有机物在开口部发生凝固。即，蒸镀工艺在有机物于开口部发生凝固而对蒸镀源实施维护期间中断的情形变少，因此使蒸镀源的维护周期变长，从而可提高生产率。

Description

蒸镀源

技术领域

本发明涉及蒸镀源，尤其涉及将有机物蒸镀到基板时所使用的蒸镀源。

背景技术

作为收容蒸镀材料的容器的蒸镀源由电流流过壁（部件）时温度得到提高的电阻材料制成。当蒸镀源中施加有电流时，其内部的蒸镀材料借助来自蒸镀源的壁的辐射热以及来自与壁之间的接触的导热而被加热。蒸镀源的上部部件形成有使被气化的材料蒸气朝外部排出的蒸气排出开口。

另外，由于蒸气排出开口周边的温度相对较低，因而会产生通过开口排出的一部分材料蒸气在开口周边发生凝固的现象。随着蒸镀工艺的进行，材料蒸气在开口周边的凝固得到积累，从而使材料蒸气不能顺畅地排出，这对在基板表面上形成蒸镀膜而言产生较大的影响。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于提供一种能够防止有机物在开口处发生凝固的蒸镀源。

根据本发明的一实施例的蒸镀源包括：主体部件，形成为使有机物从上侧排出；加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。

在一实施例中，所述第一线圈部和第二线圈部可以由相互连接的一个线圈构成。

在一实施例中，所述第二线圈部的长度可形成为比所述第一线圈部的长度更长。

在一实施例中，所述第二线圈部可形成为比所述第一线圈部稠密。

在一实施例中，当沿所述主体部件的高度方向观察时，所述第一线圈部可形成于所述主体部件的中间部分的下侧，所述第二线圈部可形成于所述中间部分的上侧。

在一实施例中，所述蒸镀源可包括向所述第一线圈部和第二线圈部提供电源的一个电源部。

在一实施例中，在所述第二线圈部的热释放量可以为在所述第一线圈部的热释放量的两倍。

在一实施例中，所述第一线圈部和第二线圈部可包围所述主体部件的外周表面而形成。

在一实施例中，所述主体部件形成有内部空间，所述第一线圈部和第二线圈部可形成于围住所述主体部件的内部空间的所述主体部件的内壁面。

附图说明

图1为示出根据本发明的第一实施例的蒸镀源的剖视图。

图2为仅将图1所示的蒸镀源所包含的第一线圈部和第二线圈部抽出而示出的展开图。

图3为示出根据本发明的第二实施例的蒸镀源的剖视图。

图4为示出根据本发明的第三实施例的蒸镀源的剖视图。

符号说明

10：有机物     100、200、300：蒸镀源

110：主体部件  111：开口部

120：加热单元  121、221、321：第一线圈部

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的多个实施例进行详细说明，以使本发明所属技术领域中具有通常知识的技术人员能够容易地实施。本发明可以以各种不同的形态来实现，并不局限于在此进行说明的多个实施例。

而且，在多个实施例中，对于具有相同结构的构成要素使用相同的符号，并仅对具有代表性的第一实施例进行说明，而在除此之外的其他实施例中，仅对与第一实施例不相同的结构进行说明。

为了明确地说明本发明，省略了与说明无关的部分，在整个说明书中，对于相同或相似的构成要素将赋予相同的附图符号。

在整个说明书中，当记载为某一部分与另一部分“连接”时，这不仅包括“直接连接”的情形，还包括其中间隔着其他部件而“电连接”的情形。并且，当记载为某一部分“包括”某一构成要素时，如果没有专门相反的记载，则意指还可包括其他构成要素，而不是要排除其他构成要素。

图1为示出根据本发明的一实施例的蒸镀源的剖视图。

参照图1，蒸镀源100包括主体部件110和加热单元120

主体部件110形成为使有机物10朝上侧排出。主体部件110形成蒸镀源100的外观。作为主体部件110的形状的一例，可形成为圆柱体、四棱柱等。在本发明的一实施例中，假设主体部件110的形状为圆柱体的情形下进行说明。主体部件110的上部A可形成开口部111。开口部111可以是具有特定直径的孔。与此相反，开口部111可以是喷嘴。被气化的有机物10可通过这种开口部111被排出至外部。

加热单元120向如上所述的主体部件110供热。加热单元120可形成于整个主体部件110。用于此的加热单元120可包括第一线圈部121和第二线圈部122。第一线圈部121可形成于主体部件110的下部B。例如，第二线圈部122可形成于主体部件110中没有形成第一线圈部121的、剩余的上部A部分。

基于这样的加热单元120，当第一线圈部121和第二线圈部122被接通电源时，从第一线圈部121和第二线圈部122产生热量。主体部件110的下部B供应有由第一线圈部121产生的热量，而主体部件110的上部A供应有由第二线圈部122产生的热量。在此，第二线圈部122比第一线圈部121形成得更稠密，因此第二线圈部122可比第一线圈部121产生更多的热量。据此，相比于主体部件110的下部B，主体部件110的上部A相对维持较高的温度，因此可防止有机物10在开口部111发生凝固。即，蒸镀工艺被中断的情形趋于最少（在有机物于开口部发生凝固而对蒸镀源实施维护（maintenance）期间蒸镀工艺将被中断），据此使蒸镀源100的维护周期变长，从而可提高生产率。

另外，作为第一线圈部121和第二线圈部122的详细结构的一例，当沿主体部件110的高度方向观察时，第一线圈部121可形成于所述主体部件的中间部分的下侧，第二线圈部122可形成于所述中间部分的上侧。即，从将主体部件110的上部A和下部B的高度分别变为整个高度的1/2的基准点（未图示）开始，第一线圈部121可形成于下部B，第二线圈部122可形成于上部A。

另外，作为如上所述的加热单元120的详细结构的一例，在主体部件110形成有内部空间的状态下，第一线圈部121和第二线圈部122可形成于围住主体部件110的内部空间的主体部件110的内壁面。

如上所述的第一线圈部121和第二线圈部122可由相互连接的一个线圈构成。基于这种结构，可进一步使根据本发明的一实施例的蒸镀源100的结构变得简单。

而且，如果进一步详细说明加热单元120的结构的话，第二线圈部122可以是比第一线圈部121相对形成得更稠密的部件。在此，第二线圈部122比第一线圈部121相对形成得更稠密可以是指，相比于第一线圈部121，第二线圈部122的每单位长度中的线圈更多。单位长度是沿主体部件110的上下方向测量的长度。例如，第二线圈部122可以为每1cm中线圈被缠绕四次的状态，第一线圈部121可以为每1cm中线圈被缠绕两次的状态。即，如果换一种方式来表述，则加热单元120中构成第二线圈部122的一个线圈的长度可形成为比构成第一线圈部121的一个线圈的长度更长。

另外，根据本发明一实施例的蒸镀源100可包括未图示的电源部。这种电源部向第一线圈部121和第二线圈部122提供相同的电源。即，如上所述，根据本发明的蒸镀源100中第一线圈部121和第二线圈部122为由一个线圈构成且从一个电源部（未图示）接收相同的电源的结构。

据此，当增设有用于独立地驱动第一线圈部121和第二线圈部122且独立地控制各个线圈部的控制部等时，整体结构复杂，从而可导致制造成本上升。然而，根据本发明的一实施例的蒸镀源100不仅不需要附加的控制部，而且由一个线圈来构成第一线圈部121和第二线圈部122，因此结构简单，可节省制造成本。

另外，如上所述的根据本发明的蒸镀源100中，在第二线圈部122的热释放量可以为在第一线圈部121的热释放量的两倍。据此，可不损坏所储存的有机物10的同时防止有机物10在开口部111发生凝固。在此，并不用温度来限定主体部件110的上部A的温度和下部B的温度。

图2为仅将图1所示的蒸镀源所包含的第一线圈部和第二线圈部抽出而示出的展开图，图3为示出根据本发明的另一实施例的蒸镀源的剖视图。

如图2所示，作为前述的加热单元120的详细结构的一例，第一线圈部121和第二线圈部122可相对于主体部件110沿上下方向形成（以附图为基准）。与此相反，如图3所示，作为前述的加热单元120的变形例，第一线圈部221和第二线圈部222也可以相对于主体部件110沿左右方向形成（以附图为基准）。而且，虽然未图示，第一线圈部121和第二线圈部122也可以相对于主体部件110沿对角线方向形成。

另外，如图4所示，与前述的结构不同地，作为前述的加热单元120的另一变形例，第一线圈部321和第二线圈部322可包围主体部件110的外周表面而形成。

根据本发明一实施例的蒸镀源，由于主体部件的上侧比下侧能够维持相对较高的温度，因此能够防止有机物在开口部发生凝固。即，蒸镀工艺被中断的情形趋于最少（在有机物于开口部发生凝固而对蒸镀源实施维护（maintenance）期间蒸镀工艺将被中断）（，据此使蒸镀源100的维护周期变长，从而可提高生产率。

到目前为止参照的附图和所记载的发明的详细说明仅仅是本发明的示例性的，其使用的目的仅在于对本发明进行说明，而不是为了对含义进行限定或者限制权利要求书所记载的本发明的范围。因此，应当知晓，如果是本技术领域的具有通常知识的技术人员，则可以由上述说明实现多种变形例和等同的其他实施例。因而，本发明的真正的技术保护范围应当由权利要求书记载的技术思想来确定。

Claims (9)

1.一种蒸镀源，包括：

主体部件，形成为使有机物从上侧排出；

加热单元，包括形成于所述主体部件的下部的第一线圈部和形成于所述主体部件的上部且比所述第一线圈部释放相对更多的热量的第二线圈部。

2.如权利要求1所述的蒸镀源，其中，所述第一线圈部和第二线圈部由相互连接的一个线圈构成。

3.如权利要求2所述的蒸镀源，其中，所述第二线圈部的长度形成为比所述第一线圈部的长度更长。

4.如权利要求2所述的蒸镀源，其中，所述第二线圈部形成为比所述第一线圈部稠密。

5.如权利要求1所述的蒸镀源，其中，当沿所述主体部件的高度方向观察时，所述第一线圈部形成于所述主体部件的中间部分的下侧，所述第二线圈部形成于所述中间部分的上侧。

6.如权利要求1所述的蒸镀源，其中，所述蒸镀源包括向所述第一线圈部和第二线圈部提供电源的一个电源部。

7.如权利要求1所述的蒸镀源，其中，在所述第二线圈部的热释放量为在所述第一线圈部的热释放量的两倍。

8.如权利要求1所述的蒸镀源，其中，所述第一线圈部和第二线圈部包围所述主体部件的外周表面而形成。

9.如权利要求1所述的蒸镀源，其中，所述主体部件形成有内部空间，

所述第一线圈部和第二线圈部形成于围住所述主体部件的内部空间的所述主体部件的内壁面。