CN104340961A - 变压吸附制氧设备及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种变压吸附制氧设备及方法。本设备包括进气管路、有热再生吸附式干燥机、输气管路、变压吸附制氧主机、成品气输出管路、再生管路、尾气回收罐，有热再生吸附式干燥机的入口与进气管路连接，出口与输气管路连接，变压吸附制氧主机的入口与输气管路连接，出口与成品气输出管路连接；变压吸附制氧主机还包括第一吸附塔、第二吸附塔，第一吸附塔的出口通过第三管路与第二吸附塔的入口连接，第二吸附塔的出口通过第四管路与第一吸附塔的入口连接；尾气回收罐设置在再生管路上。采用本发明尾气回收装置、七阀两步不等势均压流程、低速均压控制技术，可大幅降低制氧的单位能耗，提高空气利用率和设备可靠性。

Description

变压吸附制氧设备及方法

技术领域

本发明涉及制氧机械及方法领域，更具体地，涉及一种变压吸附制氧设备及方法。 

背景技术

变压吸附空气分离是一种空气分离技术，主要是依靠分子筛（变压吸附空气分离设备的关键部件）在不同压力下对空气中各组份气体的吸附容量和吸附速率的不同来达到将各组分气体分离的目的。变压吸附空气分离设备分为制氮设备和制氧设备，广泛应用于化工、电子、医疗、煤炭、冶金、食品储存等行业。在变压吸附空气分离设备中，其关键部件分子筛是一种内部含有大量微孔的颗粒状物质（如球型），因此怕油、水和粉尘。而现有技术中，出于成本和效益的考虑，一般都采用喷油螺杆式空压机作为变压吸附制氧设备的压缩空气源，故空压机生产出的压缩空气内含有大量的油分和水分。因此，压缩空气在进入分子筛前要深度除水，除油，除尘。目前一般采用冷冻干燥机已经不能满足其使用需求，必须采用吸附式干燥工艺才能满足需要。由于吸附式干燥必须要用一部分原料气来再生干燥塔中的干燥剂，其中无热再生吸附式干燥机需要15%以上的原料气用来再生，故使用吸附式干燥工艺的能耗比较高，限制了吸附式干燥工艺的推广和使用。

此外，由于变压吸附制氧设备使用的分子筛对水有非常强的亲和力，所以制氧设备的放空尾气的常压露点非常低，通常在-55℃以下，非常适合做吸附式干燥机的再生气，而在目前的变压吸附式制氧工艺中，放空尾气的压力和流量都不够稳定，且直接排放到大气中，未能对放空尾气充分利用。

常规的变压吸附制氧设备一般采用单步均压流程，要么吸附饱和的吸附塔的出口对再生完全的吸附塔出口进行均压（即俗称的“顶-顶均压”），要么是吸附饱和的吸附塔的出口对再生完全的吸附塔入口进行均压（即俗称的“顶-底均压”），而且均压速度没有有效控制，导致上述均压流程不能有效地利用吸附饱和了的吸附塔中富氧空气，而使空气利用率不高，制氧单位能耗高。 

发明内容

本发明的目的在于克服上述变压吸附制氧设备及方法的不足，提供一种空气利用率高、空气净化彻底、制氧单位能耗低、设备可靠性高的变压吸附制氧设备及方法。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种变压吸附制氧设备，包括进气管路、有热再生吸附式干燥机、输气管路、变压吸附制氧主机、成品气输出管路、再生管路，还包括尾气回收罐，所述有热再生吸附式干燥机包括第一干燥塔、第二干燥塔，第一干燥塔的入口与进气管路连接，出口与输气管路连接，第二干燥塔的入口与进气管路连接，出口与输气管路连接；

所述变压吸附制氧主机包括第一吸附塔、第二吸附塔，第一吸附塔的入口通过第一管路与输气管路连接，出口与成品气输出管路连接，第二吸附塔的入口通过第二管路与输气管路连接，出口与成品气输出管路连接，所述第一吸附塔的出口通过第三管路与第二吸附塔的入口连接，所述第二吸附塔的出口通过第四管路与第一吸附塔的入口连接，第一吸附塔出口通过第五管路与第二吸附塔的出口相连，第一吸附塔的入口通过第六管路与再生管路相连，第二吸附塔的入口通过第七管路与再生管路相连，在各个管路上设置有可通断阀门；

所述尾气回收罐设置在再生管路上，尾气回收罐的出口分别通过管道与第一干燥塔和第二干燥的出口连接。

所述第一吸附塔出口连接管道上设置有第一均压孔板，所述第二吸附塔出口连接管道上设置有第二均压孔板；所述第三管路上设置有第二均压阀，所述第二均压阀的入口通过管道与第一均压孔板的出口连接，出口通过管道与第二吸附塔的入口连接；所述第四管路上设置有第三均压阀，所述第三均压阀的入口通过管道与第二均压孔板的出口连接，出口与第一吸附塔的入口连接。

所述第一管路上设置有第一进气阀，所述第一进气阀的入口与输气管路连接，出口通过管道与第一吸附塔的入口连接；所述第二管路上设置有第二进气阀，所述第二进气阀的入口与输气管路连接，出口通过管道与第二吸附塔的入口连接；所述第五管路上设置有第一均压阀，所述第一均压阀的一端通过管道与第一均压孔板的出口连接，另一端通过管道与第二均压孔板的出口连接；所述第六管路上设置有第一放空阀，所述第一放空阀的入口通过管道与第一吸附塔的入口连接，出口与再生管路连接；所述第七管路上设置有第二放空阀，所述第二放空阀的入口通过管道与第二吸附塔的入口连接，出口与再生管路连接。

所述进气管路上依次串联设置有预过滤器、精过滤器，所述预过滤器的出口通过管道与精过滤器的入口连接，精过滤器的出口通过管道与有热再生吸附式干燥机的入口连接；所述输气管路上设置有超精过滤器、空气储罐，所述超精过滤器的入口通过管道与有热再生吸附式干燥机的出口连接，出口通过管道与空气储罐的入口连接，空气储罐的出口通过管道与变压吸附制氧主机的入口连接；所述成品气输出管路上依次串联设置有出气孔板、氧气储罐和粉尘过滤器，所述出气孔板的入口通过管道与变压吸附制氧主机的出口连接，出口通过管道与氧气储罐的入口连接，氧气储罐的出口通过管道与粉尘过滤器的入口连接；所述再生管路上设置有电加热器，所述电加热器的入口通过管道与尾气回收罐的出口连接，出口分别通过管道与第一干燥塔和第二干燥的出口连接。

所述有热再生吸附式干燥机包括第一干燥塔、第二干燥塔、充压管路，所述第一干燥塔的入口与进气管路连接，出口与输气管路连接；所述第二干燥塔的入口与进气管路连接，出口与输气管路连接；第一干燥塔的出口和第二干燥塔的出口分别通过管道与再生管路连接；所述充压管路上串联设置有充压阀、充压节流孔板，所述充压阀与第一干燥塔的出口通过管道连接；充压节流孔板与第二干燥塔的出口通过管道连接。

所述变压吸附制氧主机还包括第八管路，所述第八管路上串联设置有再生孔板、球阀，所述再生孔板的入口通过管道与第一均压孔板的出口连接，出口通过管道与球阀的入口连接，球阀的出口通过管道与第二均压孔板的出口连接。

所述充压节流孔板、第一均压孔板、第二均压孔板、再生孔板、出气孔板均是节流孔板。

本发明还提供了一种变压吸附制氧方法，包括以下步骤：

步骤1，压缩空气经过滤、干燥后再进入第一吸附塔；

步骤2，第一吸附塔进入工作状态，生产出的部分成品氧气输出，部分成品氧气被引流逆向流入第二吸附塔内，对第二吸附塔内的分子筛进行吹扫再生；

步骤3，第一吸附塔顶部残留的部分富氧空气流入第二吸附塔的顶部出口，进行第一吸附塔顶部对第二吸附塔顶部均压过程；

步骤4，第一吸附塔顶部残留的部分富氧空气流入第二吸附塔的底部入口，进行第一吸附塔顶部对第二吸附塔底部均压过程；

步骤5，第一吸附塔中残留的部分尾气部分放空，部分回收利用；

步骤6，第二吸附塔进入工作状态，生产出部分成品氧气输出，部分成品氧气被引流逆向回吹入第一吸附塔内，对第一吸附塔内的分子筛进行吹扫再生；

步骤7，第二吸附塔顶部残留的部分富氧空气流入第一吸附塔的顶部出口，进行第二吸附塔顶部对第一吸附塔顶部均压过程；

步骤8，第二吸附塔顶部残留的部分富氧空气流入第一吸附塔的底部入口，进行第二吸附塔顶部对第一吸附塔底部均压过程；

步骤9，第二吸附塔中残留的部分尾气部分放空，部分回收利用；

步骤10，重复步骤2-9。

所述步骤5中回收的尾气，经过节流阀后进入第一干燥塔或第二干燥塔再利用；所述步骤9中回收的尾气，经过节流阀后进入第一干燥塔或第二干燥塔再利用。

本发明的有益效果是：1、采用有热再生吸附式干燥工艺，能有效干燥压缩空气；2、采用尾气回收罐回收放空尾气，用作吸附式干燥机的再生气，不仅节省吸附式干燥机的再生气消耗，大幅度降低设备能耗，并且提高吸附式干燥机的再生效果；3、采用七阀两步不等势均压流程、低速均压控制技术，一方面能有效利用吸附饱和的吸附塔中的富氧空气，大幅提高空气利用率，减少制氧的单位能耗，另一方面采用低速均压控制技术，减轻了气流对分子筛床层的冲刷，既能保护分子筛，延长设备使用寿命，又能去掉制氧设备中分子筛的压紧机构，提高设备可靠性。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。

图1为本发明的一个具体实施例的示意图。

其中：1、进气管路；2、输气管路；3、成品气输出管路；4、再生管路；5、尾气回收罐；6、第一吸附塔；7、第二吸附塔；8、第一管路；9、第二管路；10、第三管路；11、第四管路；12、第五管路；13、第六管路；14、第七管路；15、第一均压孔板；16、第二均压阀；17、第二均压孔板；18、第三均压阀；19、第一进气阀；20、第二进气阀；21、第一均压阀；22、第一放空阀；23、第二放空阀；24、预过滤器；25、精过滤器；26、超精过滤器；27、空气储罐；28、出气孔板；29、氧气储罐；30、粉尘过滤器；31、流量计；32、电加热器；33、第一干燥塔；34、第二干燥塔；35、消声器；36、充压管路；37、充压阀；38、充压节流孔板；39、第八管路；40、再生孔板；41、第三进气阀；42、第四进气阀；43、第三放空阀；44、第四放空阀；45、排空管路；46、气动阀。

具体实施方式

为更好地理解本发明，下面结合具体实施例对本发明作进一步的描述。

如图1所示的变压吸附式制氧设备，主要包括进气管路1、有热再生吸附式干燥机、输气管路2、变压吸附制氧主机、成品气输出管路3、再生管路4、尾气回收罐5，所述有热再生吸附式干燥机的入口与进气管路1连接，出口与输气管路2连接，所述变压吸附制氧主机包括第一吸附塔6、第二吸附塔7，第一吸附塔6的入口通过第一管路8与输气管路2连接，出口与成品气输出管路3连接，第二吸附塔7的入口通过第二管路9与输气管路2连接，出口与成品气输出管路3连接，所述第一吸附塔6的出口通过第三管路10与第二吸附塔7的入口连接，所述第二吸附塔7的出口通过第四管路11与第一吸附塔6的入口连接，第一吸附塔6出口通过第五管路12与第二吸附塔7的出口相连，第一吸附塔6的入口通过第六管路13与再生管路4相连，第二吸附塔7的入口通过第七管路14与再生管路4相连，所述尾气回收罐5设置在再生管路4上。

与第一吸附塔6出口连接的管道上设置有第一均压孔板15，与第二吸附塔7出口连接的管道上设置有第二均压孔板17；第三管路10上设置有第二均压阀16，第二均压阀16的入口通过管道与第一均压孔板15的出口连接，出口通过管道与第二吸附塔7的入口连接；所述第四管路11上设置有第三均压阀18，所述第三均压阀18的入口通过管道与第二均压孔板17的出口连接，出口通过管道与第一吸附塔6的入口连接。

第一管路8上设置有第一进气阀19，第一进气阀19的入口与输气管路2连接，出口通过管道与第一吸附塔6的入口连接；第二管路9上设置有第二进气阀20，第二进气阀20的入口与输气管路2连接，出口通过管道与第二吸附塔7的入口连接；第五管路12上设置有第一均压阀21，第一均压阀21的一端通过管道与第一均压孔板15的出口连接，另一端通过管道与第二均压孔板17的出口连接；第六管路13上设置有第一放空阀22，第一放空阀22的入口通过管道与第一吸附塔6的入口连接，出口与再生管路4连接；第七管路14上设置有第二放空阀23，第二放空阀23的入口通过管道与第二吸附塔7的入口连接，出口与再生管路4连接。

进气管路1上依次串联设置有预过滤器24、精过滤器25，预过滤器24的出口通过管道与精过滤器25的入口连接，精过滤器25的出口通过管道与有热再生吸附式干燥机的入口连接；输气管路2上设置有超精过滤器26、空气储罐27，超精过滤器26的入口通过管道与有热再生吸附式干燥机的出口连接，出口通过管道与空气储罐27的入口连接，空气储罐27的出口分两路，一路为设备运行提供仪表气，另一路经过截止阀与变压吸附制氧主机的入口连接；成品气输出管路3上依次串联设置有出气孔板28、氧气储罐29和粉尘过滤器30，出气孔板28为节流孔板，变压吸附制氧主机的出口经球阀与出气孔板28的入口通过管道连接，氧气储罐29的出口通过管道与粉尘过滤器30的入口连接，粉尘过滤器30的出口分两路，一路经节流阀提供仪表分析样气，一路经调压阀与流量计31的入口通过管道连接，流量计31的出口分别通过管道与出气阀、放空阀连接（分别为合格氧气、不合格氧气提供输出管路）；再生管路4上还设置有电加热器32，所述电加热器32的入口经节流阀与尾气回收罐5的出口连接，出口通过管道与有热再生吸附式干燥机的出口连接。

有热再生吸附式干燥机包括第一干燥塔33、第二干燥塔34、消声器35、充压管路36，所述第一干燥塔33的入口经第三进气阀41与进气管路1上的精过滤器25的出口通过管道连接，出口经出气单向阀与输气管路2上的超精过滤器26的入口连接；第二干燥塔34的入口经第四进气阀42与进气管路1上的精过滤器25的出口通过管道连接，出口经出气单向阀与输气管路2上的超精过滤器26的入口连接；所述第一干燥塔33的入口经第三放空阀43与消声器35的入口通过管道连接，第二干燥塔34的入口经第四放空阀44与消声器35的入口通过管道连接；所述第一干燥塔33的出口经单向阀与再生管路4上的电加热器32的出口通过管道连接，第二干燥塔34的出口经单向阀与再生管路4上的电加热器32的出口通过管道连接；所述充压管路36上串联设置有充压阀37、充压节流孔板38，充压节流孔板38为节流孔板，充压阀37与第一干燥塔33的出口通过管道连接；充压节流孔板38与第二干燥塔34的出口通过管道连接。

变压吸附制氧主机还包括第八管路39，所述第八管路39上串联设置有再生孔板40、球阀，再生孔板40为节流孔板，入口通过管道与第一均压孔板15的出口连接，出口经球阀与第二均压孔板17的出口通过管道连接；第一吸附塔6的出口和第二吸附塔7的出口分别通过管道经出气单向阀与成品气输出管路3上的球阀连接。

本制氧设备还包括一个排空管路45，排空管路45上设置有气动阀46和消音器35，变压吸附制氧主机的第一吸附塔6经第六管路13与排空管路45上的气动阀46连接，第二吸附塔7经第七管路14与排空管45的气动阀46连接。

空气进入变压吸附式制氧主机进行制氧之前，必须在有热再生吸附式干燥机中进行干燥，除去空气中的水、油和粉尘等，有热再生吸附式干燥机的具体工作过程包括以下几个步骤：

步骤1，将第三进气阀41、第四放空阀44开启一定时间，第二干燥塔34塔内残留气经第四放空阀44和消声器35排入大气；压缩空气经第三进气阀41流入第一干燥塔33；

步骤2，第一干燥塔33进入工作状态，压缩空气在第一干燥塔33内除去水分后进入输气管路2，由超精过滤器26流入空气储罐27；同时电加热器32通电，尾气回收罐5贮存的制氧尾气经节流阀流入电加热器32，加热后经单向阀流入第二干燥塔34，对塔内干燥剂进行吹扫（以吸收其从干燥压缩空气的水分，使塔内干燥剂获得再生），然后经第四放空阀44和消声器35排入大气；

步骤3，电加热器32断电，尾气回收罐5贮存的制氧尾气经节流阀流入电加热器32，未经加热的尾气经单向阀流入第二干燥塔34，对塔内干燥剂进行吹扫冷却（冷却后的干燥剂干燥空气的效果更好），然后经第四放空阀44和消声器35排入大气；

步骤4，将第三进气阀41、充压阀37开启一定时间，在第一干燥塔33内干燥后的压缩空气一部分进入输气管路2，经超精过滤器26流入空气储罐27；另一部分经充压管路36流入第二干燥塔34，为第二干燥塔34充压直至到额定吸附压力；

步骤5，将第四进气阀42、第三放空阀43开启一定时间，第一干燥塔33塔内残留气经第三放空阀43和消声器35排入大气；压缩空气经第四进气阀42流入第二干燥塔34；

步骤6，第二干燥塔34进入工作状态，压缩空气在第二干燥塔34内除去水分后进入输气管路2，经超精过滤器26流入空气储罐27；同时电加热器32通电，尾气回收罐5贮存的制氧尾气经节流阀流入电加热器32，加热后的尾气流入第一干燥塔33，对塔内干燥剂进行吹扫（以吸收其从干燥压缩空气的水分，使塔内干燥剂获得再生），然后经第三放空阀43和消声器35排入大气；

步骤7，电加热器32断电，尾气回收罐5贮存的制氧尾气流入电加热器32，未经加热的尾气流入第一干燥塔33，对塔内干燥剂进行吹扫冷却（冷却后的干燥剂干燥空气的效果更好），然后经第三放空阀43和消声器35排入大气；

步骤8，将第四进气阀42、充压阀37开启一定时间，在第二干燥塔34内干燥后的压缩空气一部分进入输气管路2，经超精过滤器26流入空气储罐27，另一部经充压管路36流入第一干燥塔33，为第一干燥塔33充压直至到额定吸附压力；

步骤9，重复步骤1-8。

干燥后的压缩空气进入变压吸附制氧主机后进行制氧，具体制氧过程包括以下几个步骤：

步骤1，将第一进气阀19、第二放空阀23、气动阀46开启一定时间，压缩空气经第一进气阀19流入第一吸附塔6，第一吸附塔6工作生产出氧气，经第一均压孔板15后分两部分，一部分经过单向阀进入成品气输出管路3；另一部分经第八管路39回流入第二吸附塔7，对塔内分子筛进行吹扫再生，然后与第二吸附塔7中残存的尾气一起经第七管路14进入排空管路45排入大气；

步骤2，将第一均压阀21开启一定时间，第一吸附塔6顶部残留的富氧空气一部分经第五管路12流入第二吸附塔7，实现第一吸附塔6顶部对第二吸附塔7顶部的均压过程；

步骤3，将第二均压阀16开启一定时间，第一吸附塔6顶部残留的富氧空气经第三管路10流入第二吸附塔7，实现第一吸附塔6顶部对第二吸附塔7底部的均压过程；

步骤4，将第二进气阀20、第一放空阀22开启一定时间，第一吸附塔6残留尾气的一部分通过第六管路13进入再生管路4中的尾气回收罐5储存，经节流阀控制流量后输入有热再生吸附式干燥机的第一干燥塔33或第二干燥塔34再利用，第二吸附塔7进入工作状态；

步骤5，将第二进气阀20、第一放空阀22、气动阀46开启一定时间，压缩空气经第二进气阀20流入第二吸附塔7，第二吸附塔7工作生产出氧气，经第二均压孔板17后分两部分，一部分经过单向阀进入成品气输出管路3；另一部分经第八管路39回流入第一吸附塔6，对塔内分子筛进行吹扫再生，然后与第一吸附塔6中残存的尾气一起经第六管路13进入排空管路45排入大气；

步骤6，将第一均压阀21开启一定时间，第二吸附塔7顶部残留的富氧空气一部分经第五管路12流入第一吸附塔6，实现第二吸附塔7顶部对第一吸附塔6顶部的均压过程；

步骤7，将第三均压阀18开启一定时间，第二吸附塔7顶部残留的富氧空气经第四管路11流入第一吸附塔6，实现第二吸附塔7顶部对第一吸附塔6底部的均压过程；

步骤8，将第一进气阀19、第二放空阀23开启一定时间，第二吸附塔7残留尾气的一部分通过第七管路14流入再生管路4上的尾气回收罐5储存，经节流阀控制流量后输入有热再生吸附式干燥机的第一干燥塔33或第二干燥塔34再利用，第一吸附塔6进入工作状态；

步骤9，重复步骤1-8。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。 

Claims (9)

1.一种变压吸附制氧设备，包括进气管路（1）、有热再生吸附式干燥机、输气管路（2）、变压吸附制氧主机、成品气输出管路（3）、再生管路（4），其特征在于，还包括尾气回收罐（5），所述有热再生吸附式干燥机包括第一干燥塔（33）、第二干燥塔（34），第一干燥塔（33）的入口与进气管路（1）连接，出口与输气管路（2）连接，第二干燥塔（34）的入口与进气管路（1）连接，出口与输气管路（2）连接；

所述变压吸附制氧主机包括第一吸附塔（6）、第二吸附塔（7），第一吸附塔（6）的入口通过第一管路（8）与输气管路（2）连接，出口与成品气输出管路（3）连接，第二吸附塔（7）的入口通过第二管路（9）与输气管路（2）连接，出口与成品气输出管路（3）连接，所述第一吸附塔（6）的出口通过第三管路（10）与第二吸附塔（7）的入口连接，所述第二吸附塔（7）的出口通过第四管路（11）与第一吸附塔（6）的入口连接，第一吸附塔（6）出口通过第五管路（12）与第二吸附塔（7）的出口相连，第一吸附塔（6）的入口通过第六管路（13）与再生管路（4）相连，第二吸附塔（7）的入口通过第七管路（14）与再生管路（4）相连，在各个管路上设置有可通断阀门；

所述尾气回收罐（5）设置在再生管路（4）上，尾气回收罐的出口分别通过管道与第一干燥塔（33）和第二干燥塔（34）的出口连接。

2.如权利要求1所述的变压吸附制氧设备，其特征在于，所述第一吸附塔（6）出口连接管道上设置有第一均压孔板（15），所述第二吸附塔（7）出口连接管道上设置有第二均压孔板（17）；所述第三管路（10）上设置有第二均压阀（16），所述第二均压阀（16）的入口通过管道与第一均压孔板（15）的出口连接，出口通过管道与第二吸附塔（7）的入口连接；所述第四管路（11）上设置有第三均压阀（18），所述第三均压阀（18）的入口通过管道与第二均压孔板（17）的出口连接，出口通过管道与第一吸附塔（6）的入口连接。

3.如权利要求1所述的变压吸附制氧设备，其特征在于，所述第一管路（8）上设置有第一进气阀（19），所述第一进气阀（19）的入口与输气管路（2）连接，出口通过管道与第一吸附塔（6）的入口连接；所述第二管路（9）上设置有第二进气阀（20），所述第二进气阀（20）的入口与输气管路（2）连接，出口通过管道与第二吸附塔（7）的入口连接；

所述第五管路（12）上设置有第一均压阀（21），所述第一均压阀（21）的一端通过管道与第一均压孔板（15）的出口连接，另一端通过管道与第二均压孔板（17）的出口连接；所述第六管路（13）上设置有第一放空阀（22），所述第一放空阀（22）的入口通过管道与第一吸附塔（6）的入口连接，出口与再生管路（4）连接；所述第七管路（14）上设置有第二放空阀（23），所述第二放空阀（23）的入口通过管道与第二吸附塔（7）的入口连接，出口与再生管路（4）连接。

4.如权利要求2所述的变压吸附制氧设备，其特征在于，所述进气管路（1）上依次串联设置有预过滤器（24）、精过滤器（25），所述预过滤器（24）的出口通过管道与精过滤器（25）的入口连接，精过滤器（25）的出口通过管道与有热再生吸附式干燥机的入口连接；

所述输气管路（2）上设置有超精过滤器（26）、空气储罐（27），所述超精过滤器（26）的入口通过管道与有热再生吸附式干燥机的出口连接，出口通过管道与空气储罐（27）的入口连接，空气储罐（27）的出口通过管道与变压吸附制氧主机的入口连接；

所述成品气输出管路（3）上依次串联设置有出气孔板（28）、氧气储罐（29）、粉尘过滤器（30），所述出气孔板（28）的入口通过管道与变压吸附制氧主机的出口连接，出口通过管道与氧气储罐（29）的入口连接，氧气储罐（29）的出口通过管道与粉尘过滤器（30）的入口连接；

所述再生管路（4）上还设置有电加热器（32），所述电加热器（32）的入口通过管道与尾气回收罐（5）的出口连接，出口分别通过管道与第一干燥塔（33）和第二干燥（34）的出口连接。

5.如权利要求4所述的变压吸附制氧设备，其特征在于，所述有热再生吸附式干燥机包括第一干燥塔（33）、第二干燥塔（34）、充压管路（36），所述第一干燥塔（33）的入口通过管道与与进气管路（1）连接，出口通过管道与输气管路（2）连接；第二干燥塔（34）的入口通过管道与进气管路（1）连接，出口通过管道与输气管路（2）连接；第一干燥塔（33）的出口和第二干燥塔（34）的出口分别通过管道与再生管路（4）连接；所述充压管路（36）上串联设置有充压阀（37）、充压节流孔板（38），所述充压阀（37）与第一干燥塔（33）的出口通过管道连接；充压节流孔板（38）与第二干燥塔（34）的出口通过管道连接。

6.如权利要求5所述的变压吸附制氧设备，其特征在于，所述变压吸附制氧主机还包括第八管路（39），所述第八管路（39）上串联设置有再生孔板（40）、球阀，所述再生孔板（40）的入口通过管道与第一均压孔板（15）的出口连接，出口通过管道与球阀的入口连接，球阀的出口通过管道与第二均压孔板（17）的出口连接。

7.如权利要求6所述的变压吸附制氧设备，其特征在于：所述充压节流孔板（38）、第一均压孔板（15）、第二均压孔板（17）、再生孔板（40）、出气孔板（28）均是节流孔板。

8.一种利用权利要求1所述变压吸附制氧设备的制氧方法，其特征在于：它包括以下步骤：

步骤1，压缩空气经过滤、干燥后再进入第一吸附塔（6）；

步骤2，第一吸附塔（6）进入工作状态，生产出部分成品氧气输出，部分成品氧气被引流逆向流入第二吸附塔（7）内，对第二吸附塔（7）内的分子筛进行吹扫再生；

步骤3，第一吸附塔（6）顶部残留的部分富氧空气流入第二吸附塔（7）的顶部出口，进行第一吸附塔（6）顶部对第二吸附塔（7）顶部均压过程；

步骤4，第一吸附塔（6）顶部残留的部分富氧空气流入第二吸附塔（7）的底部入口，进行第一吸附塔（6）顶部对第二吸附塔（7）底部均压过程；

步骤5，第一吸附塔（6）中残留的部分尾气部分放空，部分回收利用；

步骤6，第二吸附塔（7）进入工作状态，生产出部分成品氧气输出，部分成品氧气被引流逆向回吹入第一吸附塔（6）内，对第一吸附塔（6）内的分子筛进行吹扫再生；

步骤7，第二吸附塔（7）顶部残留的部分富氧空气流入第一吸附塔（6）的顶部出口，进行第二吸附塔（7）顶部对第一吸附塔（6）顶部均压过程；

步骤8，第二吸附塔（7）顶部残留的部分富氧空气流入第一吸附塔（6）的底部入口，进行第二吸附塔（7）顶部对第一吸附塔（6）底部均压过程；

步骤9，第二吸附塔（7）中残留的部分尾气部分放空，部分回收利用；

步骤10，重复步骤2-9。

9.如权利要求8所述的利用权利要求1所述变压吸附制氧设备的制氧方法，其特征在于，所述步骤5中回收的尾气，经过节流阀后进入第一干燥塔（33）和第二干燥塔（34）再利用；所述步骤9中回收的尾气，经过节流阀后进入第一干燥塔（33）和第二干燥塔（34）再利用。