CN104302810B - 流化床反应器设备用的高温级钢 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案。所述衬管具有：上部；中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及下部，所述下部包含马氏体不锈钢合金。所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。

Description

流化床反应器设备用的高温级钢
相关申请的交叉参考
本申请要求2012年12月21日提交的美国临时申请号61/745,377的权益，通过参考将所述申请以其完整形式并入本文中。
发明领域
本发明涉及一种与流化床反应器一起使用的衬管，所述流化床反应器为例如用于含硅气体的热解分解以生产硅包覆的粒子的流化床反应器。
背景技术
含硅气体在流化床中的热解分解对于生产用于光伏和半导体行业的多晶硅是一种富有吸引力的工艺，因为其传质和传热优异、用于沉积的表面增大且可连续生产。与西门子(Siemens)型反应器相比，在很小部分的能量消耗下流化床反应器提供明显更高的生产速率。流化床反应器能够连续且高度自动化而明显降低劳动力成本。
通过涉及在流化床反应器中对含硅物质如硅烷、乙硅烷或卤代硅烷如三氯硅烷或四氯硅烷进行热解的化学气相沉积法来制造微粒多晶硅，对于本领域技术人员是熟知的且可示例地有包括如下专利和公布的许多公布：US8,075,692、US7,029,632、US5,810,934、US5,798,137、US5,139,762、US5,077,028、US4,883,687、US4,868,013、US4,820,587、US4,416,913、US4,314,525、US3,012,862、US3,012,861、US2010/0215562、US2010/0068116、US2010/0047136、US2010/0044342、US2009/0324479、US2008/0299291、US2009/0004090、US2008/0241046、US2008/0056979、US2008/0220166、US2008/0159942、US2002/0102850、US2002/0086530和US2002/0081250。
在反应器中通过分解含硅气体将硅沉积到粒子上，所述含硅气体选自：硅烷(SiH4)、乙硅烷(Si2H6)、高级硅烷(SinH2n+2)、二氯硅烷(SiH2Cl2)、三氯硅烷(SiHCl3)、四氯化硅(SiCl4)、二溴硅烷(SiH2Br2)、三溴硅烷(SiHBr3)、四溴化硅(SiBr4)、二碘硅烷(SiH2I2)、三碘硅烷(SiHI3)、四碘化硅(SiI4)及其混合物。可以将含硅气体与一种或多种含卤素气体混合，所述含卤素气体被定义为氯(Cl2)、氯化氢(HCl)、溴(Br2)、溴化氢(HBr)、碘(I2)、碘化氢(HI)及其混合物中的任意一种。还可以将所述含硅气体与一种或多种其他气体混合，所述其他气体包括氢气(H2)或选自如下气体中的一种或多种惰性气体：氮气(N2)、氦气(He)、氩气(Ar)和氖气(Ne)。在具体实施方案中，所述含硅气体为硅烷，并将所述硅烷与氢气混合。将所述含硅气体以及任意伴随的氢气、含卤素的气体和/或惰性气体引入流化床反应器中并在反应器内发生热分解以产生硅，所述硅沉积在反应器内的种子粒子上。
在流化床反应器方面的一个共同问题是在高运行温度下用于构造反应器及其元件的材料对流化床造成污染。例如，已经显示，镍从某些含镍合金中的基础金属扩散到流化粒子上的硅层中。可以使用陶瓷衬管以使得污染最小化。然而，陶瓷衬管随其长度增大而经历巨大的热和机械应力，使其极易发生机械性损伤。
发明概述
用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案具有内表面，其被构造为限定出反应室的一部分。所述衬管包括：上部；中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及下部，其中所述内表面的至少一部分为马氏体不锈钢合金。所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。
在一些实施方案中，所述不锈钢合金包含小于20％(w/w)的铬如11～18％(w/w)的铬、和小于3％(w/w)的镍如小于1％(w/w)的镍。在一个实施方案中，所述不锈钢合金不包含铜或硒。
在一个实施方案中，所述不锈钢合金包含11.5～13.5％(w/w)的铬和0.7～0.8％(w/w)的镍。在另一个实施方案中，所述合金包含12～14％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。在这些实施方案中的任意一个实施方案中，所述合金还可包含≤0.15％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。
在另一个实施方案中，所述不锈钢合金包含16～18％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。所述合金可还包含0.5～1.5％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。
在一些实施方案中，所述不锈钢合金具有大于40Rc的洛氏硬度如45～60Rc的洛氏硬度。
有利地，所述不锈钢合金在0℃～315℃的温度范围内具有小于15×10-6m/m·℃的平均热膨胀系数。在某些实施方案中，所述平均热膨胀系数为9.9×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。在一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为10.7×10-6m/m·℃～10.9×10- 6m/m·℃。在另一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为11.3×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。又在另一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为10.0×10-6m/m·℃～10.2×10-6m/m·℃。
在一些实施方案中，通过对不锈钢合金体进行机械加工并随后通过热处理对所述不锈钢合金进行硬化以及任选地回火，来制备衬管的下部。
在一些实施方案中，所述衬管的中部的内表面的至少一部分为陶瓷、石墨或玻璃。在某些实施方案中，所述中部基本由陶瓷、石墨或玻璃构成。在一个实施方案中，所述陶瓷为碳化硅。在另一个实施方案中，所述陶瓷为氮化硅。在一个实施方案中，所述玻璃为石英。
所公开衬管的实施方案适用于加热过的硅沉积反应器中。所述反应器包括：容器，所述容器具有外壁；至少一个加热器，所述加热器位于所述外壁内部；衬管，所述衬管位于所述至少一个加热器内部，使得所述衬管的内表面限定出反应室的一部分；具有开口的至少一个入口，其被放置以允许包含含硅气体的初级气体进入所述反应室；多个流化入口，其中各个流化入口具有向所述反应室内开口的出口；以及至少一个出口，所述出口用于从所述容器移出硅包覆的产品粒子。
从下面参考附图进行的详细说明，本发明的上述和其他目的、特征和优势将变得更明显。
附图简述
图1是示例性流化床反应器的示意性横断面视图。
图2是用于流化床反应器的衬管的一个实施方案的示意图。
发明详述
除非有其他说明，否则如说明书或权利要求书中所使用的表示性质如百分比、热膨胀系数等的所有数值都应理解为被术语“约”修饰。除非有其他说明，否则如说明书或权利要求书中所使用的非数值性质如无定形、结晶、均质等应理解为被术语“基本上”修饰，所述术语意味着在很大范围或程度上。因此，除非隐含地或明确地有其他说明，否则提出的数值参数和/或非数值性质为近似说法，其依赖于所探究的期望性质、在标准试验条件/方法下的检测限、加工方法的限制、和/或参数或性质的本质。当直接并明确地将实施方案与所讨论的现有技术区分开时，除非引用单词“约”，否则实施方案的数值不是近似值。
本文中公开的是用于流化床反应器系统的衬管的实施方案，所述流化床反应器系统为例如用于通过将含硅气体热解分解并将硅沉积到流化的硅粒子或其他种子粒子(例如氧化硅、石墨或石英粒子)上以形成多晶硅的流化床反应器系统。优选地，用于流化床反应器的衬管产生较少或不产生流化粒子的污染。理想的衬管材料包括陶瓷(例如碳化硅、氮化硅)、石墨和玻璃(例如石英)。然而，流化床反应器中的衬管随其长度增大而经历巨大的热和机械应力。陶瓷、石墨和玻璃衬管极易发生机械性损伤如裂纹和/或断裂，且在反应器运行期间不能保持完整。本发明公开的衬管的实施方案降低机械和热应力，同时也使得产品污染最小化。
图1是用于制造硅包覆的粒子的流化床反应器10的简化示意图。反应器10一般性垂直延伸，具有外壁20，中心轴A1，并可以在不同高度上具有不同的横断面尺寸。图1中所示的反应器具有在各个高度下横断面尺寸不同的五个区域I～V。反应室可由横断面尺寸不同的壁来限定，这可造成气体通过反应器的向上流动在不同高度下具有不同的速度。通过在反应室30内热解分解含硅气体并将硅沉积到流化床内的粒子上来生长硅包覆的粒子。提供一个或多个入口40，以允许初级气体如含硅气体或含硅气体、氢气和/或惰性气体(例如氦气、氩气)的混合物进入反应室。所述反应器还包括一个或多个流化气体入口50。通过流化入口50能够将额外的氢气和/或惰性气体输送至反应器内以提供足够的气体流动而将反应器床内的粒子流化。在开始生产时以及在正常运行期间，通过种子入口60将种子粒子引入反应器10中。通过一个或多个产品出口70从反应器10中移出硅包覆的粒子来进行收获。
衬管80垂直延伸通过反应器10。在一些布置中，衬管与反应器同心。所示的衬管通常为圆柱形，具有一般为圆形的横断面。然而，衬管的部分可以具有不同直径。例如，如果反应器10的区域V的直径比区域IV的大，则衬管在区域V中的部分的直径可同样大于衬管延伸通过区域II～IV的部分的直径。在一些布置中，膨胀接合系统包括线性膨胀装置90，所述线性膨胀装置90从衬管80的上表面向上延伸。线性膨胀装置90能够压缩以容许衬管80在反应器10运行期间发生热膨胀。所述衬管能够具有与反应器容器不同的材料，但有利地是由不会污染硅产品粒子并适用于承受与流化床的加热和产品的冷却相关的温度梯度的材料构成。因为衬管内部与外部的压力类似，所以衬管可以是薄的。在一些系统中，衬管的厚度为2～20mm如5～15mm或8～12mm。
反应器10还包括一个或多个加热器。在一些实施方案中，反应器包括加热器100的圆形阵列，所述加热器100位于衬管80与外壁20之间共中心地围绕反应室30。在一些系统中，与加热器100一起使用多个辐射加热器100，其彼此等距隔开。
反应器中的温度在反应器的各个部分中不同。例如，当利用硅烷作为含硅化合物运行时，区域I即底部区中的温度为环境温度到100℃(图1)，其中在制造多晶硅中从所述含硅化合物释放硅。在区域II即冷却区中，温度典型地为50～700℃。在区域III即中间区中，温度与区域IV中的基本相同。区域IV的中心部分即反应和飞溅区保持在620～760℃下，有利地在660～690℃下，同时在接近区域IV的壁处即辐射区的温度升至700～900℃。区域V即急冷区的上部的温度为400～450℃。
为了分散并减轻机械和热应力，陶瓷、石墨和石英衬管可以包括上部和/或下部金属片段。然而，金属片段能够成为产品污染源。例如，软金属易于因与流化的硅粒子接触而磨伤(在相对运动条件下直接接触的金属表面之间的材料磨损和转移)。硅粒子能够被转移的金属污染。磨伤也造成金属片段的磨损和撕裂，导致由于更换衬管或对金属表面进行研磨或机械加工以使其返回至可用于重新使用的状况而造成的反应器停工。由此，需要一种改进的金属片段，以更好地承受反应器的条件、降低产品的污染或实现所述两者。
衬管80的公开的实施方案包括上部80a、中部80b和下部80c(图2)。80a、80b和80c部分的相对高度可以与图2所示的实施方案不同。例如，上部80a的高度可以与下部80c的不同。中部80b可以为整片，或其可以由多个切片构成。在一些实施方案中，下部80c延伸通过反应器10的区域I(图1)。在某些实施方案中，下部80c也延伸通过反应器的区域II。有利地，中部80b延伸通过反应器的区域III和IV。上部80a可以位于反应器的区域V中。
下部80c的内表面的至少一部分为不锈钢合金。在一些实施方案中，下部80c主要由不锈钢合金构成。中部80b包含不同于不锈钢合金的材料。在一些实施方案中，中部的内表面的至少一部分为陶瓷、石墨或玻璃。在某些实施方案中，中部的内表面的至少一部分为碳化硅、氮化硅、石墨或石英。在一个实施方案中，中部主要由陶瓷、石墨或玻璃构成。在一些布置中，中部80b由碳化硅、氮化硅、石墨或石英构成，且下部80c由不锈钢合金构成。在一些实施方案中，上部80a由陶瓷、石墨、玻璃、不锈钢或其组合构成。在一个实施方案中，上部80a和中部80b由相同的材料构成。在另一个实施方案中，上部80a和中部80b由不同的材料构成。在某些实施方案中，上部80a由不锈钢合金构成。上部80a和下部80c可以由相同或不同的不锈钢合金构成。
不锈钢合金包含铁和铬。不锈钢合金典型地还包括至少痕量的一种或多种其他元素，所述其他元素包括但不限于，碳、镍、锰、钼、硅、磷、氮、硫、铝、砷、锑、铋、钴、铜、铌、硒、钽、钛、钨、钒或其组合。不锈钢合金基于其晶体结构分为奥氏体、铁素体、马氏体或双相不锈钢(混合的奥氏体和铁素体的微结构)。
奥氏体不锈钢具有面心立方晶体结构、最少16％(w/w)的铬，并包含足够的镍和/或锰以稳定奥氏体结构。普通的奥氏体不锈钢是具有18％(w/w)的铬和8％(w/w)的镍的304型。奥氏体不锈钢不会因热处理而硬化，且不具有磁性。
铁素体不锈钢具有体心立方晶体结构，典型地10.5～27％(w/w)的铬，和较少或不含镍；几种铁素体不锈钢还包括钼。铁素体不锈钢比奥氏体不锈钢的抗腐蚀性更差，且是铁磁体。铁素体不锈钢不会因热处理而硬化。
马氏体不锈钢具有体心四方晶系晶体结构，小于20％(w/w)的铬和小于6％(w/w)的镍。其可包括高达1.2％(w/w)的碳。马氏体不锈钢可以包括痕量(例如≤1％(w/w))的其他元素，所述其他元素包括但不限于，硅、锰、磷、硫、钼、铌、钨、钒、氮、铜、硒或其组合。马氏体不锈钢的抗腐蚀性比奥氏体和铁素体不锈钢的小，但是极其坚固，具有高度的可机械加工性，并能够因热处理而硬化。马氏体不锈钢是铁磁体。
公开的衬管80的实施方案包括下部80c，所述下部80c包含马氏体不锈钢合金。下部80c的不锈钢合金包含小于20％(w/w)的铬如11～18％(w/w)的铬、和小于6％(w/w)的镍。在一些实施方案中，所述不锈钢合金包含小于3％(w/w)的镍如小于1％(w/w)的镍、小于0.8％(w/w)的镍、小于0.5％(w/w)的镍、或基本不含镍。在某些实施方案中，所述不锈钢合金不含铜和/或硒。
在一个实施方案中，所述不锈钢合金包含11.5～13.5％(w/w)的铬和0.7～0.8％(w/w)的镍。在另一个实施方案中，所述合金包含12～14％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。在这些实施方案中的任意一个实施方案中，所述合金可还包含≤0.15％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。
又在另一个实施方案中，所述不锈钢合金包含16～18％(w/w)的铬。所述合金可还包含0.5～1.5％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。
在一些实施方案中，衬管80的上部80a包含不锈钢合金，其组成可与下部80c的不锈钢合金的相同、基本类似或不同。术语“基本类似的”组成是指不锈钢合金的铬含量相差不超过2％(w/w)。
化学组成和热处理有助于马氏体不锈钢的硬度。增加的硬度通过例如减少磨伤而降低产品的污染，所述磨伤将材料从衬管转移到与衬管相接触的流化的硅粒子。洛氏硬度是基于压痕硬度的硬度等级，所述压痕硬度即在特定负载下压头的穿透深度。能够利用金刚石锥或钢球在几种等级中的一种上测量洛氏硬度。洛氏硬度等级C(“Rc”)例如利用150kgf的负载和120°的金刚石锥压头。硬度的数值越大，表明材料越硬。在一些实施方案中，衬管的下部由具有大于40Rc的洛氏硬度如45～60Rc的洛氏硬度的马氏体不锈钢合金构成。
在一些实施方案中，通过对不锈钢合金体进行机械加工，然后通过热处理使得经机械加工的衬管部分硬化，制备衬管的下部80c。例如，将合金加热至900～1100℃的温度并持续有效的时间周期，然后在空气、水或油中急冷(即快速冷却)。任选地，在硬化之后对合金进行回火以降低其脆性。
在一些实施方案中，衬管的下部80c包含不锈钢合金，所述不锈钢合金在0℃～315℃的温度范围内具有小于15×10-6m/m·℃如9.9×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃的平均热膨胀系数。在一个实施方案中，所述不锈钢合金的平均热膨胀系数为10.0×10-6m/m·℃～10.2×10-6m/m·℃。在另一个实施方案中，所述不锈钢合金的平均热膨胀系数为10.7×10-6m/m·℃～10.9×10-6m/m·℃。又在另一个实施方案中，所述不锈钢合金的平均热膨胀系数为11.3×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。
用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案具有内表面，其被构造为限定出反应室的一部分，其中所述内表面包括：上部；中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及下部，其中所述下部的内表面的至少一部分为马氏体不锈钢合金。在一些实施方案中，所述不锈钢合金包含小于20％(w/w)的铬和小于3％(w/w)的镍如小于1％(w/w)的镍。在任意一个或全部上述实施方案中，所述不锈钢合金不包含铜或硒。
在任意一个或全部上述实施方案中，所述不锈钢合金可以包含18％(w/w)的铬。在一个实施方案中，所述不锈钢合金包含11.5～13.5％(w/w)的铬和0.7～0.8％(w/w)的镍。在另一个实施方案中，所述不锈钢合金可以包含12～14％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。在任意一个实施方案中，所述不锈钢合金可以还包含≤0.15％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。在另一个实施方案中，所述不锈钢合金包含16～18％(w/w)的铬和小于0.5％(w/w)的镍。在该实施方案中，所述不锈钢合金可还包含0.5～1.5％(w/w)的碳、≤1％(w/w)的硅、≤1％(w/w)的锰、≤0.04％(w/w)的磷和≤0.03％(w/w)的硫。
在任意一个或全部上述实施方案中，所述不锈钢合金的洛氏硬度大于40Rc。在一些实施方案中，所述洛氏硬度为45～60Rc。
在任意一个或全部上述实施方案中，所述不锈钢合金在0℃～315℃的温度范围内具有小于15×10-6m/m·℃的平均热膨胀系数。在一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为9.9×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。在另一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为10.7×10-6m/m·℃～10.9×10-6m/m·℃。又在另一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为11.3×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。又在另一个实施方案中，所述平均热膨胀系数为10.0×10-6m/m·℃～10.2×10-6m/m·℃。
在任意一个或全部上述实施方案中，通过对不锈钢合金体进行机械加工并随后通过热处理对所述不锈钢合金进行硬化以及任选地回火，来制备衬管的下部。在任意一个或全部上述实施方案中，衬管的上部的组成与下部的基本类似。
在任意一个或全部上述实施方案中，所述中部的内表面的至少一部分可以为陶瓷、石墨或玻璃。在一些实施方案中，所述中部基本由陶瓷、石墨或玻璃构成。所述陶瓷可以为碳化硅或氮化硅。所述玻璃可以为石英。
加热过的硅沉积反应器的实施方案包括：(i)容器，所述容器具有外壁；(ii)至少一个加热器，所述加热器位于所述外壁内部；(iii)根据任意一个或全部上述实施方案的衬管，其中所述衬管位于所述至少一个加热器内部，使得所述衬管的内表面限定出反应室的一部分；(iv)具有开口的至少一个入口，其被放置以允许包含含硅气体的初级气体进入所述反应室；(v)多个流化入口，其中各个流化入口具有向所述反应室内开口的出口；以及(vi)至少一个出口，所述出口用于从所述容器移出硅包覆的产品粒子。
鉴于本发明原理可以应用于许多可能的实施方案，所以应理解，所示实施方案仅是本发明的优选实例且不应被用于限制本发明的范围。相反，本发明的范围由权利要求书限定。因此我们主张所有来自于这些权利要求的范围和精神内的均是我们的发明。

Claims (25)

1.一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管，所述衬管具有内表面，其被构造为限定出反应室的一部分，所述内表面包含：
上部；
中部，所述中部包含不同于不锈钢合金的材料；以及
下部，其中所述下部的内表面的至少一部分为马氏体不锈钢合金。
2.权利要求1的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金包含小于20重量％的铬和小于3重量％的镍。
3.权利要求2的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金包含小于1重量％的镍。
4.权利要求1的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金不包含铜或硒。
5.权利要求1的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金包含11～18重量％的铬。
6.权利要求5的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金包含11.5～13.5重量％的铬和0.7～0.8重量％的镍。
7.权利要求6的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金还包含≤0.15重量％的碳、≤1重量％的硅、≤1重量％的锰、≤0.04重量％的磷和≤0.03重量％的硫。
8.权利要求5的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金包含12～14重量％的铬和小于0.5重量％的镍。
9.权利要求8的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金还包含≤0.15重量％的碳、≤1重量％的硅、≤1重量％的锰、≤0.04重量％的磷和≤0.03重量％的硫。
10.权利要求5的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金包含16～18重量％的铬和小于0.5重量％的镍。
11.权利要求10的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金还包含0.5～1.5重量％的碳、≤1重量％的硅、≤1重量％的锰、≤0.04重量％的磷和≤0.03重量％的硫。
12.权利要求1的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金具有大于40Rc的洛氏硬度。
13.权利要求12的衬管，其中所述洛氏硬度为45～60Rc。
14.权利要求1的衬管，其中所述马氏体不锈钢合金在0℃～315℃的温度范围内的平均热膨胀系数小于15×10-6m/m·℃。
15.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为9.9×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。
16.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为10.7×10-6m/m·℃～10.9×10-6m/m·℃。
17.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为11.3×10-6m/m·℃～11.5×10-6m/m·℃。
18.权利要求14的衬管，其中所述平均热膨胀系数为10.0×10-6m/m·℃～10.2×10-6m/m·℃。
19.权利要求1的衬管，其中通过对马氏体不锈钢合金进行机械加工并随后通过热处理对所述马氏体不锈钢合金进行硬化和任选地回火，来制备所述衬管的下部。
20.权利要求1的衬管，其中所述衬管的上部包含不锈钢合金，其铬含量与所述衬管的下部的马氏体不锈钢合金的铬含量相差不超过2重量％。
21.权利要求1的衬管，其中所述中部的内表面的至少一部分为陶瓷、石墨或玻璃。
22.权利要求21的衬管，其中所述中部基本由陶瓷、石墨或玻璃构成。
23.权利要求21的衬管，其中所述陶瓷为碳化硅或氮化硅。
24.权利要求21的衬管，其中所述玻璃为石英。
25.一种加热过的硅沉积反应器系统，其包含：
容器，所述容器具有外壁；
至少一个加热器，所述加热器位于所述外壁内部；
权利要求1～24中任一项的衬管，其中所述衬管位于所述至少一个加热器内部，使得所述衬管的内表面限定出反应室的一部分；
具有开口的至少一个入口，其被放置以允许包含含硅气体的初级气体进入所述反应室；
多个流化入口，其中各个流化入口具有向所述反应室内开口的出口；以及
至少一个出口，所述出口用于从所述容器移出硅包覆的产品粒子。
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