CN104285509A - 运算装置、部件安装装置以及程序 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种与部件安装装置有关，能够降低异常发生率的技术。本部件安装装置(100)(运算装置150)进行以下的处理：取得或计算表示进行取出并保持的动作时的部件保持构件和部件之间的相对位置关系或距离的状态参数值的处理；计算状态参数的波动的值的处理；在波动的值超过第一阈值的情况下，修正部件保持构件的保持位置、停止时间、动作速度、动作加速度的参数值中的、对波动降低有效并且节拍时间的增加量小的参数的处理。

Description

运算装置、部件安装装置以及程序

基于参考的引入

本申请主张2012年3月7日申请的日本专利申请第2012-049915号的优先权，通过参照将其内容引入到本申请中。

技术领域

本发明涉及一种与电子设备的生产有关的、将部件(电子部件)安装到基板(电路基板)上的装置(部件安装装置)等的技术，特别涉及进行用于计算/决定/修正部件安装装置的部位(头：head、部件保持构件等)的动作控制的设定的参数值的运算(信息处理)的技术。

背景技术

部件安装装置，通过内部被减压后的吸附嘴(以下也称为“嘴”)吸附被部件供给装置(供给器：feeder)保持的部件，运送到基板的预定的位置来装配(以下包含吸附和装配地称为“安装”)。关于部件安装装置，将与重力方向交叉(可以斜着)的方向设为X、Y方向(X-Y平面)，将与X、Y方向(X-Y平面)垂直地交叉的方向设为Z方向。在该情况下，部件安装装置在进行上述装配动作时，使嘴(具备嘴的头等)在X、Y方向以及Z方向上移动，由此使其移动到被供给器保持的部件(吸附对象)的附近的位置(预定的X、Y、Z位置)，使其停止预定的时间，通过将嘴的内部减压来吸附部件，使得在将部件吸附在嘴上的状态下以预定的动作速度在X、Y方向以及Z方向上移动，由此将部件装配到基板的预定的位置。

存在日本专利4607820号(专利文献1)。在专利文献1中记载了以下的方法，即在部件吸附时的异常的发生率增加的情况下，增加吸附嘴的停止时间。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利4607820号

发明内容

发明要解决的问题

在上述那样的部件安装装置中，必须与被供给器装载/保持的部件的位置、部件的形状/重量等对应地，适当地设定嘴的吸附时的位置、嘴的吸附时的停止时间、嘴的吸附后的动作速度等。

例如，在部件的装载位置相对于Z方向的嘴停止位置(部件的稍上方)向相反侧一方的位置偏离的情况(例如装载部件的供给器(凹部)在Z方向上稍向下偏离的情况)下，部件和嘴之间的距离变大，难以适当地将部件吸附在嘴上(图5)。由此，会发生在倾斜的状态下吸附部件这样的吸附异常、无法吸附部件这样的吸附异常。在这样的情况下，例如必须使嘴的吸附位置(停止位置)向Z方向的接近部件的位置移动。

另外，例如在与嘴有关的压力控制机构劣化的情况下，直到嘴的内部被减压为止花费时间，因此，嘴会在嘴的内部没有被充分减压的状态下动作，会发生倾斜地吸附部件这样的吸附异常、无法吸附部件这样的吸附异常。在这样的情况下，例如必须增加嘴的部件吸附时的停止时间，或者与嘴内部的减压状况对应地降低动作速度(嘴/头等的移动时的速度)、动作加速度，使得嘴内部被充分减压。

为了降低上述那样的异常的发生率，例如必须通过运算来计算出嘴对部件进行吸附时的位置、停止时间、动作速度、动作加速度等并适当地进行设定(修正)。

在现有技术例子中存在以下这样的2个问题点。在上述专利文献1的技术中，在发生吸附异常后变更参数，因此无法提前预防部件异常。另外，在发生吸附异常时，只变更能够变更的多个参数中的嘴的部件吸附时的停止时间，因此例如即使在能够通过变更嘴的停止位置来抑制吸附异常，并且与变更嘴的停止时间的情况相比，变更嘴的停止位置的情况下与生产相关的时间(节拍时间)的增加量小的情况下，也增加停止时间。在该情况下，由于节拍时间的增加，生产量降低。

鉴于以上情况，本发明的主要目的(课题)在于：提供一种技术，其与部件安装装置有关，通过在考虑到节拍时间的同时，适当地计算/决定/修正部件吸附时的部件保持构件的包含Z方向的位置、停止时间、动作速度、动作加速度等，能够预防异常发生。

用于解决问题的手段

为了达到上述目的，其特征在于具有以下所示的结构。

作为一种运算装置，其计算将部件安装到基板上的部件安装装置的动作控制的设定，上述部件安装装置具备：供给装置，其供给上述部件；装配装置，其包含取出并保持上述部件的部件保持构件；整体控制装置，其对安装动作中的包含上述供给装置和装配装置的各部位的动作进行控制，其中，该安装动作包括依照上述设定的信息通过上述部件保持构件取出并保持上述部件的动作、以及将通过上述部件保持构件取出并保持的部件向基板装配的装配动作；检测装置，其检测进行上述取出并保持的动作时的与上述部件保持构件以及部件有关的状态，上述运算装置具备：运算控制部，其进行计算处理；存储部，其存储用于该计算处理的数据信息，其中，上述运算控制部进行以下的处理：(1)利用上述检测装置，取得或计算表示进行上述取出并保持的动作时的上述部件保持构件和部件之间的距离、或者相对位置的状态参数，将该信息存储到上述存储部中的第一处理；(2)计算所存储的上述取出并保持的动作的上述状态参数的波动的值，将该信息存储到上述存储部中的第二处理；(3)在上述状态参数的波动的值超过第一阈值的情况下，在表示上述部件保持构件的保持位置、停止时间、动作速度、动作加速度的参数值中，根据进行了修正的情况下对上述状态参数的波动降低的有效性、进行了修正的情况下的基板生产所花费的时间的增加量的信息，选择应该修正的参数值来进行修正的第三处理。

另外，在上述第三处理中，在上述参数值的修正前的状态参数的波动的值和上述参数值的修正后的状态参数的波动的值之间的差高于第二阈值的情况下，判定为该参数值是对波动降低有效的参数值。

另外，使在用于波动的值的计算的数据数多的情况下使用的上述第二阈值的值比在上述数据数小的情况下使用的第二阈值的值小。另外，计算出方差值作为上述状态参数的波动的值来利用。另外，在上述部件安装装置或运算装置所具备的输出装置的画面中，显示上述状态参数的波动的值和与上述设定的参数有关的包含上述修正前后的值的修正内容信息，在由用户进行确认的基础上执行上述修正。

发明效果

根据本发明，能够在抑制节拍时间的增加量的同时，降低异常发生率。根据与附图相关的以下的本发明的实施例的记载，能够了解本发明的其他目的、特征以及优点。

附图说明

图1是表示作为本发明的一个实施方式的部件安装装置(包含运算装置)的结构例子的图。

图2是表示本部件安装装置中的处理例子的流程图。

图3是示意地表示本部件安装装置中的供给器、头等部位的结构例子、以及部件向基板的安装的结构例子的图。

图4是表示头和嘴的结构例子的图。

图5是从侧面看吸附时的部件和嘴的位置的例子的图。

图6是表示侧面检测部的图像的例子的图。

图7是从上面看吸附时的部件和嘴的位置的例子的图。

图8是表示下面检测部的图像的例子的图。

图9是表示本运算装置的处理例子(动作信息的计算/修正处理)的流程图。

图10是表示装配信息的表例子的图。

图11是表示动作信息的表例子的图。

图12是表示吸附结果信息的表例子的图。

图13是表示波动信息的表例子的图。

图14是表示阈值信息的表例子的图。

图15是表示降低效果信息的表例子的图。

图16是表示节拍变化量信息的表例子的图。

图17是表示修正内容确认的画面例子的图。

图18是表示吸附异常的发生率和部件把持位置的标准偏差之间的关系的图。

具体实施方式

以下，使用图1～图18说明本发明的一个实施方式(运算装置、部件安装装置等)。此外，在用于说明实施方式的全部附图中，原则上向相同部件赋予相同的符号，省略其重复的说明。作为说明上的记号，例如将供给器设为F，将嘴设为N，将部件设为P。

在本实施方式的部件安装装置100(运算装置150)中，基于图1、图3、图4等的硬件/软件的结构，进行图2、图9那样的处理(包含计算/决定/修正部件安装装置100的部件安装方法(动作控制的设定信息)的处理)。对图10～图16那样的数据信息进行管理。用户(利用/管理包含本部件安装装置100的系统的操作者等)能够在图17那样的画面中进行信息输入输出。

作为特征之一，在图2的处理步骤S109(详细内容是图9)中，使用与嘴N对部件P的把持位置(HX、HY)、嘴N和部件P之间的距离(KZ)有关的波动信息，计算吸附时的嘴N的停止位置(Z)或停止时间(T)或动作速度(V)等参数的修正值(适合于谋求降低异常发生率的修正值)，将其结果反映到部件安装装置100的动作控制的设定信息。

[部件安装装置]

在图1中表示作为本发明的一个实施方式的部件安装装置100和运算装置150的结构。运算装置150被设置在部件安装装置100的内部。此外，既可以是运算装置150与部件安装装置100的外部连接的形式，也可以是将运算装置150和整体控制装置140合并为一个的形式等。

部件安装装置100具备供给装置110、装配装置120、部件检测装置130、整体控制装置140、运算装置150、输入装置170、输出装置171、通信IF装置172等，经由总线173将它们相互连接起来。输入装置170是接受用户操作的信息输入的例如鼠标、键盘等。输出装置171是向用户输出信息的显示器、打印机等。通信IF装置172是用于经由总线173、外部网络等与其他装置、系统(也能够与现存的生产管理系统等连接)连接并进行信息收发的接口。总线173将各部(110～172)连结起来。各装置(110～150)的IF部(112～163等)是用于经由总线173进行信息收发的接口。

供给装置110具备具有多个供给器F的供给器基座111、IF部112等。详细地说，供给装置110具有图3内所示例的物理结构(此外，这是一个例子，能够进行各种应用)。

装配装置120具备头121、梁122、嘴(吸附嘴)123、驱动控制部124、压力控制部125、IF部126等。详细地说，装配装置120具有图3所示例的物理结构(此外，这是一个例子，能够进行各种应用)。驱动控制部124与来自整体控制装置140的指示对应地，控制头121、梁122以及嘴123等部位(图3～图5等)，使得将部件装配到后述的装配信息142(图10)所示的装配顺序、以及基板上的部件装配位置坐标。压力控制部125与来自整体控制装置140的指示对应地，控制嘴123的内部的压力。例如，压力控制部125从整体控制装置140接受指示，使得降低嘴123的内部的压力来使部件P吸附到嘴123上。

部件检测装置130具备侧面检测部131、下面检测部132、IF部133等。侧面检测部131接受整体控制部140的指示，从横向(侧面)摄像吸附了部件P的嘴123(N)，使用该图像，通过图案匹配(图像处理)等手段，测定/计算Z方向(图5)上的嘴N和部件P之间的距离(KZ)(后述，图5、图6等)。侧面检测部131例如如图4那样，具备装载在头121上的受光部131a和投光部131b而构成，包含上述值(KZ)的计算处理功能。

另外，下面检测部132接受整体控制部140的指示，从下方摄像吸附了部件P的嘴123(N)，使用该图像，通过图案匹配(图像处理)等手段，测定/计算X、Y方向(图3)上的嘴N对部件P的把持位置(HX、HY)(后述，图7、图8等)。下面检测部132例如如图3那样，被配置在供给器基座111和基板90之间，包含上述值(HX、HY)的计算处理功能。

此外，在本实施方式中，上述KZ、HX、HY值的计算处理是通过侧面检测部131、下面检测部132进行，并由运算装置150取得其结果的形式，但也可以在运算装置150等其他部位进行该计算处理。在通过运算装置150进行的情况下，从侧面检测部131、下面检测部132取得各数据信息(例如图像数据)，通过运算装置150计算各值。另外，用于得到上述值的手段并不限于摄像、图案匹配等手段，能够进行各种应用。

整体控制装置140是部件安装装置100的主控制部，具备整体控制部144、存储部141、IF部145等。在存储部141的存储区域中存储装配信息D1(后述，图10)、动作信息D2(后述，图11)等。

整体控制部144控制通过供给装置110、装配装置120、部件检测装置130、运算装置150、输入部170、输出部171以及通信IF部172等进行的处理。整体控制装置140依照装配信息D1和动作信息D2控制供给装置110、装配装置120、部件检测装置130等各部位(包含供给器F、嘴N等)的动作。整体控制部144依照存储在装配信息D1中的顺序，从预定的供给器F通过预定的嘴N，依照存储在动作信息D2中的设定，吸附部件P。在吸附时，整体控制部144使部件检测部130计算部件把持位置HX、HY、距离HZ等。然后，整体控制部144使得将部件P装配到存储在装配信息D1中的基板的位置。

装配信息D1和动作信息D2(其存储信息)是用于控制部件安装装置100的各部位的动作(安装动作)的信息(设定信息)之一。

[运算装置]

运算装置150具备运算控制部160、存储部151、输入部161、输出部162、IF部163等。在存储部151的存储区域中，存储吸附结果信息D3(后述，图12)、波动信息D4(后述，图13)、阈值信息D5(后述，图14)、降低效果信息D6(后述，图15)、节拍变化量信息D7(后述，图16)等。

能够通过普通的计算机、IC等实现运算装置150。例如，能够通过CPU、存储器(ROM、RAM等)等硬件、以及基于它的软件程序处理(本实施方式的程序的处理)等来实现运算控制部160。例如，通过由运算控制部160装载并执行存储在存储部151或外部等的程序来实现各处理功能(包含图2内、图9内所示的处理)。能够通过各种存储器、HDD等外部存储装置、针对CD、DVD等存储介质读写信息的读写装置、或对外部网络的数据进行读写的装置等来实现存储部151。能够通过接受用户操作的信息输入的键盘、鼠标等输入装置来实现输入部161，通过向用户输出信息的显示器等输出装置来实现输出部162，通过用于与总线173连接并经由总线173进行信息的收发的接口来实现IF部163。

运算控制部160进行以下处理：使用存储在吸附结果信息D3中的信息(实绩数据)，计算与部件把持位置HX、HY以及距离KZ有关的波动等，根据判定来修正存储在动作信息D2中的信息(设定信息)(后述，图2、图9等)。

将存储在运算装置150内的吸附结果信息D3、波动信息D4、阈值信息D5、降低效果信息D6、节拍变化量信息D7作为在运算装置150的处理中必需的信息来管理。此外，根据需要，也可以将这些信息与整体控制装置140内的各信息(装配信息D1、动作信息D2)合并或分离。

[供给装置/装配装置]

图3表示与图1的供给装置110和装配装置120有关的、供给器基座111、头121、梁122以及导轨122a等的概要结构(上面)。在供给器基座111中具备多个供给器111a(F)。部件供给装置(供给器基座111)作为一个例子是带形，例如在每个供给器F上装载作为供给对象的多个部件P。例如，如果通过头121的嘴N(图4)吸附了容纳在供给器F中的一个部件P，则与整体控制装置140的指示对应地，该供给器F自动地将剩余的部件P中的下一个运送到能够通过该嘴N吸附的位置(在图3中为Y方向)。

与整体控制装置140的指示对应地控制头121和梁122等的动作。头121构成为能够沿着梁122在一个坐标轴方向(在图3中是X方向)上移动。梁122构成为能够沿着导轨122a在与头121移动的坐标轴方向交叉的其他坐标轴方向(在图3中是Y方向)上移动。进而，构成为能够使头121(装载在头121上的嘴N)在与X、Y方向垂直的方向(Z方向)上移动。

构成为能够使头121和梁122在X、Y方向上移动，使头121所具备的嘴N在Z方向上移动，通过预定的嘴N从预定的供给器F吸附预定的部件P(50)，进而能够同样地使各部在X、Y、Z方向上移动，将部件P(50)装配到基板90上的预定的位置。

[头/嘴]

作为头121的结构例子，图4表示下面。本头121在下面部具备多个嘴123(N)，进而装载有作为侧面检测部131的构成要素的受光部131a和投光部131b。在本例子中，圆状地配置有多个(例如12个)嘴N，是能够通过旋转控制等利用希望的嘴N的机构。另外，是同样能够通过旋转控制等用受光部131a摄像希望的嘴N的机构。用编号识别各嘴N的位置。

除此以外，关于头121、嘴N，能够应用各种形式。例如，可以列举将多个头121、嘴N装载在一个单元中的结构。

[侧面检测部、距离KZ]

在侧面检测部131中，受光部131a(图4)接受从投光部131b发出的光，根据成为光的影子的部分制作(摄像)例如图6所示那样的图像。然后，侧面检测部131根据该摄像的图像，计算部件P相对于嘴N的相对距离KZ。

图5表示从侧面看吸附时的供给器F的部件P和嘴N的位置的例子。是将部件50(P)容纳在供给器F的每个凹部520中的情况。(a)例如是设定上的标准位置(停止位置L)的情况，(b)是从(a)稍微偏离的情况。

在(a)中，500是头121移动时的嘴N的停止位置。501是与嘴N的位置(停止位置L)有关的Z方向的基准线(Z方向位置(z)＝0)。例如相对于基准线501，将下方向(嘴N下降方向)设为+(正)，将上方向设为-(负)。500和501之间的距离是LZ。503表示嘴N的前端(下端)的嘴停止位置L的线。502表示与503的停止位置L对应的嘴N的Z方向位置(z)。504表示部件P的上端的部件位置的线。505表示嘴N下端和部件P上端之间的距离。506表示嘴N下端和部件P下端(凹部520底面)之间的距离。

供给器F(凹部520)中的部件P的位置在包含Z方向的方向上可能产生偏离、波动。例如可以考虑以下的情况，即在供给器F如上述那样进行运送而移动的情况下，凹部520的面在Z方向上稍微偏离。由此，部件P相对于嘴N的相对位置(距离)稍微偏离。

(b)是相对于(a)部件P的位置以相对于嘴N位置向相反侧(+Z方向)远离的方式偏离的情况。509表示部件P的上端的部件位置的线。504和509的线之间的距离相当于偏离的大小。在该情况下，与(a)相比，嘴N和部件P之间的距离(507或508)大。即，难以通过嘴N吸附部件P，容易产生异常(斜着吸附部件P、吸附部件P的端部、无法吸附部件P、吸附后落下等异常)。

图6是侧面检测部131的摄像的图像例子，是二值图像数据的情况。在(a)的图像700a中，711是相当于嘴N的部分，712是相当于部件P的部分。701是Z方向的测定基准线，是通过嘴N的前端(下端)的直线。702是部件P的下端的直线。703表示基于701和702的距离KZ。另外，在(b)的图像700b中，为了容易理解地表示距离KZ的概念，表示出吸附时的部件P的倾斜大的情况。704是部件P的下端的直线。705表示基于701和704的距离KZ。

在此处定义的距离KZ中具有以下的关系，即与(a)相比，如(b)那样通过嘴N进行吸附时的部件P的倾斜越大，则KZ值越大。如(b)那样KZ值越大，则异常发生率越高。在本实施方式中，与距离KZ的波动值的大小对应地，进行与吸附时的嘴N的位置等有关的修正。

在本实施方式中，距离KZ的定义简单地是Z方向上的从嘴N到部件P的距离。在图6的例子中，作为距离KZ的计算方法，是从嘴N前端(701)到部件P下端(702等)的距离。

距离KZ也可以为其他定义(计算方法)。例如并不限于下端、上端等，也可以为基准点之间的距离。进而也可以为将距离值等作为输入而根据预定的式子计算的值等。另外，并不限于Z方向，也可以包含X、Y方向地计算距离值。

[下面检测部、部件把持位置HX、HY]

下面检测部132从摄像的图像，根据X、Y方向上的部件P中心和嘴N中心之间的位置的差，计算部件把持位置HX、HY。

图7表示从上面看吸附时的部件P和嘴N的位置的例子。是在X、Y方向(与图3相同)上圆形的嘴N的中心重叠在长方形的部件P的中心上的情况。外侧的圆是嘴N的外形，内侧的圆是嘴N的内径。CP表示部件P中心点，CN表示嘴N中心点。601、602表示通过CP的X、Y方向的基准线。在许多部件中，CN和CP一致的情况是理想的吸附状态。

图8是下面检测部132的摄像的图像例子(与图7对应关系)。在图8的图像800中，C是测定基准点，是与CP一致的点。801、802通过C，不是绝对坐标系的基准线，而是依照以部件P为单位的坐标系(例如在图7、图8的情况下，与长边平行的方向是X，与短边平行的方向是Y)的测定基准线。作为X、Y方向的测定基准线的801是与部件的相对关系与图7的601相同的直线。例如，在图7中，601是与部件的短边平行的直线，但在该情况下，801也为与部件的短边平行的直线。同样，802是与部件的相对关系与图7的602相同的直线。801、802不是绝对坐标系的基准线，而是依照以部件P为单位的坐标系(例如长边为X，短边为Y)的基准线。820是相当于部件P的部分。810(用虚线表示的区域)是相当于嘴N的部分。803、804是通过嘴中心CN的与X、Y方向的测定基准线801、802平行的直线。810是从下面的摄像，因此在图像800上被部件P(820)遮盖而没有显示，但通过使嘴N移动到预先确定的位置(例如摄像部位的中心)，能够掌握嘴中心CN。

图7的PX、PY和图8的部件把持位置HX、HY对应。HX、HY是将部件P装载在供给器F时的、方向与部件P的X、Y方向(绝对坐标系中的X、Y方向)一致的对应的方向上的差。例如，在将长方形的部件P装载到供给器F时，部件P的长边与图3的X方向平行，短边与图3的Y方向平行的情况下，部件把持位置HX表示与部件P的长边平行的方向上的部件中心CP和嘴中心CN之间的差，同样，部件把持位置HY表示与部件P的短边平行的方向上的CP和CN之间的差。

HX、HY值越大则波动越大，越难以通过嘴N吸附部件P，容易产生异常(斜着吸附部件P、吸附部件P的端部、无法吸附部件P、吸附后落下等异常)。

[处理概要(图2)]

图2表示包含本实施方式的特征的部件安装装置100中的整体处理概要的流程(S101等表示处理步骤)。特别在后面使用图9说明S109的详细的结构例子。

(S101)整体控制装置140的整体控制部144使用装配信息D1(图10)、动作信息D2(图11)，向包含供给装置110、装配装置120的各部指示安装动作。

(S102)根据S1的指示，供给装置110使供给器F(111a)等动作，装配装置120使头121、梁122、嘴N(123)等动作。特别地，使对象的头121/嘴N在X、Y方向(图3)上移动，移动到对象的供给器F-部件P(吸附对象)的位置。

(S103)接着，使嘴123(N)在Z方向(图5)上移动(下降)，移动到对象的部件P的中心(上)的预定的位置(嘴N的停止位置Z)而停止。此外，在本实施方式中，是将S2(X、Y方向移动)和S3(Z方向移动)分开的形式，但也可以是将S2和S3汇总为一个而同时进行控制(X、Y、Z方向移动)的形式。

(S104)使嘴N在停止位置Z停止预定的时间(停止时间T)，通过压力控制部125对嘴N内部进行减压，从而吸附/把持部件P。

(S105)使嘴N以预定的动作速度VZ在Z方向(图5)上从停止位置L移动(上升)到500。

另外，在本实施方式中，在S4、S5时使用侧面检测部131从侧面摄像吸附/把持了部件P的状态的嘴N，由此计算距离KZ。

(S106)进而，使头121/嘴N等在X、Y、Z方向上移动，移动到基板的部件装配位置，通过解除吸附来装配部件P(图3)。

另外，在本实施方式中，在S106时使用下面检测部131从下面摄像吸附/把持了部件P的状态的嘴N，由此计算部件把持位置HX、HY。

(S107)针对在上述S1～S6中动作的供给器F、嘴N等的组合，制作成为实绩数据的吸附结果信息152，存储在运算装置150的存储部151中。在吸附结果信息152中包含上述距离KZ、部件把持位置HX、HY的信息。此外，也可以在其他定时进行该存储。例如，运算装置150也可以根据需要从外部(整体控制装置140等)取得吸附结果信息152等。针对多次的各次部件安装动作同样地存储实绩数据。

(S108)在上述部件P的装配后，整体控制装置140的整体控制部144针对在上述S1～S7中动作的供给器F、嘴N等的组合，向运算装置150指示动作信息D2的修正(包含其是否需要的判断)。

(S109)运算装置150的运算控制部160根据指示，使用吸附结果信息152，进行用于动作信息D2的计算/修正的处理(详细的是图9)。作为修正的对象、候选，包含嘴N的停止位置Z(11c)、停止时间T(11d)、动作速度VZ(11e)。

(S110)运算装置150的运算控制部160等例如在画面中显示S109的修正内容信息，使用户对修正执行进行确认(后述，图17)。在确认的基础上，向整体控制装置140应答发送S109的修正内容信息(包含是否需要修正)，由此，整体控制部144更新(再设定)动作信息143的内容。此外，也可以为省略了上述画面/用户的确认的形式，在该情况下，为自动地更新整体控制装置140内的设定信息的形式。

[装配信息]

图10表示作为装配信息D1的一个实施方式的装配信息表例子。本表具有顺序10a、部件装配位置坐标10b、供给器编号10c、吸附嘴编号10d等各字段。D1(其存储信息)包含在通过嘴N从供给器F吸附部件P时、以及将该部件P装配到基板上时的顺序、位置、供给器F、嘴N等的信息。此外，虽然没有图示，但也可以具有部件ID等其他字段。

顺序10a存储表示部件P向基板的装配顺序的信息、表示嘴N对该部件P的吸附顺序的信息。在本实施方式中，构成为装配顺序和吸附顺序相同，但也可以不同。部件装配位置坐标10b，作为表示将该部件P装配到基板(图3的90)的位置的信息，存储基板上的X、Y方向的坐标的信息。

供给器编号10c存储表示保持该部件P的供给器F(位置)的信息。在本实施方式中，存储唯一地识别供给器基座111(图3)中的该供给器F(111a)的装载位置的供给器编号。吸附嘴编号10d存储表示吸附该部件P的嘴N的信息。在本实施方式中，作为确定与该嘴N关联的头121(图4)中的该嘴N的位置的信息，使用以唯一地识别该嘴N的装载位置的方式被分配的吸附嘴编号(例如1～12)。

[动作信息]

图11表示作为动作信息D2的一个实施方式的动作信息表例子。本表具有供给器编号11a、吸附嘴编号11b、停止位置(L)11c{X方向位置(x)、Y方向位置(y)、Z方向位置(z)}、停止时间(T)11d、动作速度(VZ)11e(修正系数)等各字段。D2(其存储信息)包含通过嘴N从供给器F吸附部件P时的嘴N的停止位置L、停止时间T、动作速度V等信息。

供给器编号11a存储确定相应供给器F(装载对象的部件P)的位置的信息(与10c相同)。吸附嘴编号11b存储确定相应嘴N(吸附对象的部件P)的位置的信息(与10d相同)。停止位置11c(L{x、y、z})存储确定通过11b所示的嘴N吸附装载在11a所示的位置(供给器F)的部件P的情况下的、嘴N的停止位置Z(换言之是吸附位置)的信息。停止位置Z表示图5的Z方向的位置。例如，如图5所示，使嘴N下降到相对于基准线501(z＝0)的距离与11c的z的存储值相同的位置而停止。

停止时间(T)11d存储通过相应嘴N吸附相应位置(供给器F)的部件P时的、11c的停止位置Z处的嘴N(对应的头121等)的停止时间T相关的修正值的信息。在本例子中，使嘴N停止11d的值的量。例如在11d的值是1的情况下，T＝0.01秒。

在动作速度(VZ)11e(修正系数)中，存储确定通过相应嘴N吸附相应位置(供给器)的部件P时的、嘴N的动作速度V的信息。在本实施方式中，作为动作速度V，至少包含动作速度VZ。动作速度VZ是使吸附了部件P的状态的嘴N在Z方向上上升时的动作速度。另外，用修正系数表示11e。将把11e所示的值乘以设定上的预定的标准动作速度值所得的值作为实际使用的动作速度(修正值)。对于11e(VZ)的控制，也可以应用于其他的移动时。例如，也可以应用于X、Y方向的移动、以及头121和梁122等的移动。

[整体控制例子]

以下是整体控制装置140(整体控制部144)使用装配信息D1(图10)和动作信息D2(图11)进行的部件安装动作的控制例子。整体控制部144向供给装置110和装配装置120等发出指示，使得按照装配信息D1的顺序10a，通过吸附嘴编号10d的嘴N(d11)吸附装载在供给器编号10c的供给器F位置(d10)的部件P，使其移动到基板上的部件装配位置坐标10b而装配。d10等是用于区别的符号。

整体控制部144在X方向、Y方向上，将部件定位(停止)于嘴的中心和部件的中心一致的位置，在Z方向上，将嘴N(d11)定位(停止)于动作信息D2的11c的停止位置Z(d12)，向压力控制部125发出指示使得对相应嘴N(d11)的内部进行减压，使嘴N(d11)停止11d的停止时间T(d13)，由此吸附部件P。然后，整体控制部144在经过停止时间T(d13)后，使相应嘴N(d11)等以11e的动作速度VZ(d14)移动。

另外，在上述吸附后，整体控制部144使吸附了部件P的状态的嘴N(d11)移动到能够通过侧面检测部131(图4)进行摄像的位置，从侧面进行摄像。由此，计算出上述的距离KZ(d15)。另外，整体控制部144使吸附了部件P的状态的嘴N(d11)移动到能够通过下面检测部132(图3)进行摄像的预先确定的位置，从下面进行摄像。由此，计算出上述的部件把持位置HX(d16)、HY(d17)。

整体控制部144将上述动作的10c的供给器位置(d10)、10d的嘴N(d11)、11c的停止位置Z(d12)、11d的停止时间T(d13)、11e的动作速度VZ(d14)、上述计算出的距离KZ(d15)、部件把持位置HX(d16)、HY(d17)的值等存储在吸附结果信息D3(图12)的最终行的相应字段(12a～12h)中。

然后，整体控制部144使嘴N(d11)在X、Y、Z方向上移动到基板上的部件装配位置坐标10b，向压力控制部125指示使得解除嘴N(d11)的内部的减压，由此使得将部件P装配在该位置。

[吸附结果信息]

图12表示作为吸附结果信息152的一个实施方式的吸附结果信息表例子。吸附结果信息D3存储包含使用部件检测装置130检测/计算出的信息的部件吸附结果的信息(实绩数据)。本表具有供给器编号(12a)、吸附嘴编号(12b)、停止位置(Z)(12c)、停止时间(T)(12d)、动作速度(VZ)(12e)、部件把持位置HX(12f)、部件把持位置HY(12g)、距离KZ(12h)等各字段。12a～12e是与图11的11a～11e对应的字段，如在上述S7和[整体控制例子]中说明的那样，将上述那样的值(d10～d17)存储在这些各字段中。

在部件把持位置HX(12f)、HY(12g)中，存储确定通过上述(图7、图8)的下面检测部132检测/计算出的部件把持位置HX、HY的信息。在本例子中，是将图7的CP＝CN时设为0的值。在距离KZ(12h)中存储确定通过上述(图5、图6)的侧面检测部131检测/计算出的距离KZ的信息。在本例子中，是嘴N前端和部件P前端之间的Z方向的距离。

[波动信息]

图13表示作为波动信息D4的一个实施方式的波动信息表例子。本表具有供给器编号(13a)、吸附嘴编号(13b)、修正前部件把持位置方差VarXY(B)(13c)、修正前距离方差VarZ(B)(13d)、修正前数据数M(B)(13e)、修正后部件把持位置方差VarXY(A)(13f)、修正前距离方差VarZ(A)(13g)、修正后数据数M(A)(13h)等各字段。在波动信息D4中存储通过图9的处理计算出的信息。

供给器编号13a存储供给器F位置的信息(与10c相同)。吸附嘴编号13b存储嘴N位置的信息(与10d相同)。

另外，在修正前部件把持位置方差VarXY(B)(13c)中，存储根据动作信息修正前的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)计算出的方差值(为VarXY(B))的信息。修正前距离方差VarZ(B)(13d)存储根据动作信息修正前的距离KZ(12h)计算出的方差值(为VarZ(B))的信息。这些方差(VarXY、VarZ)表示波动程度。此外，以上述供给器F-部件P嘴N的单位(组合)取得13c、13d的方差(也可以与嘴N无关地，取得与同一供给器F有关的方差，另外也可以与供给器F无关地，取得与同一嘴N有关的方差)。另外，取得基于过去多次的安装动作的实绩数据的方差。

修正前数据数M(B)(13e)存储用于计算VarXY(B)、VarZ(B)的部件把持位置HX、HY、距离KZ的数据数的信息。

在修正后部件把持位置方差VarXY(A)(13f)中，存储根据动作信息修正后的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)计算出的方差值(为VarXY(A))的信息。修正后距离方差VarZ(A)(13g)存储根据动作信息修正后的距离KZ(12h)计算出的方差值(为VarZ(A))的信息。这些方差(VarXY、VarZ)表示波动程度。此外，以上述供给器F-部件P嘴N的单位(组合)取得13f、13g的方差(也可以与嘴N无关地，取得与同一供给器F有关的方差。另外也可以与供给器F无关地，取得与同一嘴N有关的方差)。另外，取得基于过去多次的安装动作的实绩数据的方差。

修正后数据数M(A)(13h)存储用于计算VarXY(A)、VarZ(A)的部件把持位置HX、HY、距离KZ的数据数的信息。

[阈值信息]

图14表示作为阈值信息D5的一个实施方式的阈值信息表例子。本表具有执行判定阈值Th1(14a)、效果判定阈值(数据数20)ThE20(14b)、效果判定阈值(数据数40)ThE40(14c)、效果判定阈值(数据数60)ThE60(14d)等各字段。阈值信息D5是与吸附时的嘴N的动作的修正有关的、在图9的判定(s203、s210)中使用的设定信息，能够由用户对各字段值进行设定变更。

执行判定阈值Th1(14a)存储用于判定(s203)是否实施嘴N的Z方向位置(z)、停止时间(T)、动作速度(VZ)等的修正处理的信息。

在效果判定阈值(数据数20)ThE20(14b)、效果判定阈值(数据数40)ThE40(14c)、效果判定阈值(数据数60)ThE60(14d)中，存储判定动作信息的修正是否有波动降低效果的信息。如果用于计算动作信息修正前的方差的数据数M(B)(13e)为20以上不满40，则利用效果判定阈值(数据数20)ThE20(14b)，如果为40以上不满60，则利用效果判定阈值(数据数40)ThE40(14c)，如果为60以上，则利用效果判定阈值(数据数60)ThE60(14d)。如果数据数M(B)的值变大，则效果判定用阈值的值变小。这表示在数据数大的情况下，即使动作修正前和动作修正后的波动的大小的差小，也判定为有波动降低效果。此外，在本实施例中，在切换所利用的阈值时使用了动作修正前的数据数M(B)，但在使用了动作修正后的数据数M(A)的情况下，也可以同样地设定如果数据数M(A)变大则值变小的阈值。

[降低效果信息]

图15表示作为降低效果信息D6的一个实施方式的降低效果信息表例子。本表具有停止位置(Z)效果(15a)、停止时间(T)效果(15b)、动作速度(VZ)效果15c等字段。降低效果信息D6存储在图9的处理中用于判定的信息。

停止位置(Z)效果(15a)存储表示作为动作信息之一的停止位置(Z)的修正的波动降低效果的有无的信息。停止时间(T)效果(15b)存储表示作为动作信息之一的停止时间(T)的修正的波动降低效果的有无的信息。动作速度(VZ)效果(15c)存储表示作为动作信息之一的动作速度(VZ)的修正的波动降低效果的有无(对波动降低的有效性)的信息。

在降低效果信息D6的各字段中，在启动了安装装置等情况下，作为初始值存储表示未实施效果有无的判定的-。另外，降低效果信息D6的字段，在图9的处理中将值修正为表示有降低效果的○、或表示没有降低效果的×。

[节拍变化量信息]

图16表示作为节拍变化量信息D7的一个实施方式的节拍变化量信息表例子。本表具有停止位置(Z)节拍变化量(16a)、停止时间(T)节拍变化量(16b)、动作速度(VZ)节拍变化量(16c)等字段。节拍变化量信息D7在图9的处理中存储值，另外在图9的处理中将其存储的值用于判定。

停止位置(Z)节拍变化量(16a)存储表示作为动作信息之一的停止位置(Z)的修正时的每一次吸附动作的节拍时间增加量的信息。停止时间(T)节拍变化量(16b)存储表示作为动作信息之一的停止时间(T)的修正时的每一次吸附动作的节拍时间增加量的信息。存储表示作为动作信息之一的动作速度(VZ)的修正时的每一次吸附动作的节拍时间的增加量的信息。各字段的节拍时间增加量，正表示增加，负表示减少。在本实施例中，存储表示每一次吸附动作的节拍时间增加量的信息，但也可以存储表示每生产一枚基板的节拍时间增加量的信息。

[处理详细(图9)]

图9表示与图2的S109有关的用于通过运算装置150(主要是运算控制部160)计算/修正动作信息D2的处理例子(s201等表示处理步骤)。运算控制部160例如如果从整体控制装置140(整体控制部144)经由IF部163等接收到指定成为动作信息D2(表)的修正的对象的供给器F(供给器位置)(d201)和嘴N(嘴位置)(d202)的组合等的信息、动作信息D2的修正处理的指示，则执行图9的处理。

(s201)运算控制部160计算部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)、距离KZ的平均值(AveZ)。此外，取得以供给器F、嘴N、部件P等为单位的平均(Ave)。

首先，运算控制部160在动作信息D2的表中，确定供给器编号(11a)与d201相等、并且吸附嘴编号(11b)与d202相等的行，读入存储在该行中的停止位置(Z)(11c)(MIold1)、停止时间(T)(11d)(MIold2)、动作速度(VZ)(11e)(MIold3)。进而，运算控制部160在吸附结果信息D3的表中检索全部的行，确定符合下述的条件1的行，读入符合条件1的行中的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)、距离KZ(12h)的信息。

(条件1)供给器编号12a的存储值与d201相等、吸附嘴编号12b的存储值与d202相等、停止位置(z)的存储值与MIold1相等、停止时间(T)的存储值与MIold2相等、动作速度(VZ)的存储值与MIold3相等。

在此，将符合条件1的行中的从上数第i行中的部件把持位置HX(12f)的信息称为Xi，将部件把持位置HY(12g)的信息称为Yi，将距离KZ(12h)的信息称为Zi，将符合条件1的行的个数称为n。

进而，运算控制部160计算部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)、以及距离KZ的平均值(AveZ)。在数据的个数n为预定的阈值Th0(例如20)以下的情况下，为数据数少，前进到随后的S202，结束处理。在n比Th0大的情况下，运算控制部160依照以下的式(1)、式(2)以及式(3)计算AveX、AveY、AveZ。

[式1]

$\mathrm{AveX}=\left(\underset{i=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{X}_i\right)/n...\left(1\right)$

[式2]

$\mathrm{AveY}=\left(\underset{i=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{Y}_i\right)/n...\left(2\right)$

[式3]

$\mathrm{AveZ}=\left(\underset{i=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{Z}_i\right)/n...\left(3\right)$

(S202)运算控制部160在数据的个数n为预定的阈值Th0(例如20)以下的情况下，为数据数少，结束处理。在n比Th0大的情况下，前进到随后的S203。

(s203)运算控制部160计算出HX、HY的方差(VarXY)作为表示部件把持位置HX、HY的波动的值，计算出KZ的方差(VarZ)作为表示距离KZ的波动的值。运算控制部160依照以下的式(4)、式(5)计算VarXY、VarZ。

[式4]

$\mathrm{VarXY}=\left(\underset{i=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}\right\{{(X_i-\mathrm{AveX})}^2+{(Y_i-\mathrm{AveY})}^2\left\}\right)/(n-1)...\left(4\right)$

[式5]

$\mathrm{VarZ}=\left(\underset{i=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}\right\{Z_i-\mathrm{AveZ}\left\}\right)/(n-1)...\left(5\right)$

运算控制部160将上述VarXY存储在波动信息D4的表的13c中，将VarZ存储在13d中。另外，将数据的个数n存储在波动信息D4的表的13e中。

(s204)运算控制部160使用在s203中计算出的HX、HY的波动(方差VarXY)、距离KZ的波动(方差VarZ)的数据、以及阈值信息D5的执行判定阈值Th1(14a)，进行用于决定接着要进行的处理的判定。运算控制部160在VarXY或VarZ比执行判定阈值Th1(14a)大的情况下，接着进行s205以后的处理，在VarXY以及VarZ都为执行判定阈值Th1(14a)以下的情况下，不需要进行波动降低，结束处理。

(s205)运算控制部160使用降低效果信息D6进行用于决定接着要进行的处理的判定。运算控制部160在降低效果信息D6的表中在全部字段(15a、15b、15c)中存储有表示没有效果的×的情况下，即使变更任意的动作信息也无法预见波动降低效果，而结束处理。在任意的字段中存储有表示有效果的○、或表示未实施效果判定的-的情况下，执行s206以后的处理。在s206以后的处理中，修正嘴N的停止位置Z、或停止时间T、或动作速度VZ。

(s206)运算控制部160计算变更了各动作信息的情况下的节拍时间的变化量，更新节拍变化量信息D7。运算控制部160使用由用户设定的动作信息的修正量即IV1(表示停止位置(Z)的修正量)、IV2(表示停止时间(T)的修正量)、IV3(表示动作速度(VZ)的修正量)，通过以下的式(6)、式(7)、式(8)计算变更了各动作信息的情况下的节拍时间变化量。在本实施例中，IV1＝0.1，IV2＝0.5，IV3＝-0.1。

[式6]

TC1＝IV1/MIold1…(6)

[式7]

TC2＝IV2…(7)

[式8]

TC3＝(LZ+MIold1)/{VMax×(MIold3+IV3)}

-(LZ+MIold1)/(VMax×MIold3)  …(8)

在式(6)、式(7)、式(8)中，TC1表示因停止位置(Z)的修正产生的节拍时间的变化量，TC2表示因停止时间(T)的修正产生的节拍时间的变化量，TC3表示因动作速度(VZ)的修正产生的节拍时间的变化量。Vmax表示动作速度的最大值。

进而，运算控制部160将TC1存储在16a中，将TC2存储在16b中，将TC3存储在16c中。

(s207)运算控制部160使用降低效果信息D6和节拍变化量信息D7，确定要进行修正的动作信息。运算控制部160将在停止位置(Z)、停止时间(T)、动作速度(VZ)中、在降低效果信息的字段15a、15b、15c中存储有○或-、在节拍变化量信息的字段15a、16b、16c中存储有最小的值的动作信息选择为要进行修正的动作信息。在图16、图17的例子中，选择动作速度(T)。

(s208)运算控制部160计算动作信息的修正值。使用以下的式(9)计算在s207中选择出的动作信息。Minewi表示各动作信息的修正值。在式(9)中，在选择了停止位置(Z)的情况下向i输入1，在选择了停止时间(T)的情况下向i输入2，在选择了动作速度(VZ)的情况下向i输入3。

[式9]

MInewi＝MIoldi+IVi  …(9)

此外，作为上述修正方法，也可以不是加法运算而是乘法运算等。

(s209)运算控制部160使用动作信息的修正值，进行部件吸附和部件把持位置的测量。运算控制部160根据在s207中选择出的动作信息为MInewi、在s207中没有选择出的动作信息为MIoldi的设定值，用d202的嘴从d201的供给器进行吸附动作，测量部件把持位置HX、HY和距离KZ。本动作是与s102、s103、s104、s105以及s106的测量动作相同的处理。根据测量出的结果，制作成为实绩数据的吸附结果信息152，存储在运算装置150的存储部151中。在吸附结果信息152中包含上述距离KZ、部件把持位置HX、HY的信息。此外，也可以在其他定时进行该存储。执行预定次数(在本实施例中为20次)的该吸附动作和测量动作。此外，在本实施例中，废弃在此吸附的部件，但也可以安装到基板上、还可以回收。

(s210)运算控制部160计算动作信息修正后的设定值下的部件把持位置的方差VarXY、距离的方差VarZ。此处的处理是与s201和s203相同的处理。

运算控制部160在吸附结果信息D3的表中检索全部的行，确定符合下述的条件1的行，读入符合条件2的行中的部件把持位置HX(12f)、HY(12g)、距离KZ(12h)的信息。

(条件2)供给器编号12a的存储值与d201相等、吸附嘴编号12b的存储值与d202相等、停止位置(z)的存储值与MIold1(在s207中选择出的情况下是MInew1)相等、停止时间(T)的存储值与MIold2(在s207中选择出的情况下是MInew2)相等、动作速度(VZ)的存储值与MIold3(在s207中选择出的情况下是MInew3)相等。

在此，将符合条件2的行中的从上数第i行中的部件把持位置HX(12f)的信息设为Xi，将部件把持位置HY(12g)的信息设为Yi，将距离KZ(12h)的信息设为Zi，而更新Xi、Yi、Zi的值。另外，将符合条件2的数据的个数设为n，而更新n的值。

运算控制部160计算部件把持位置HX的平均值(AveX)、部件把持位置HY的平均值(AveY)以及距离KZ的平均值(AveZ)。运算控制部160依照式(1)、式(2)以及式(3)计算AveX、AveY、AveY。

进而，运算控制部160依照式(4)、式(5)计算HX、HY的方差(VarXY)作为表示部件把持位置HX、HY的波动的值，计算KZ的方差(VarZ)作为表示距离KZ的波动的值。

运算控制部160将上述的VarXY存储在波动信息D4的表的13f中，将VarZ存储在13g中。另外，将数据的个数n存储在波动信息D4的表的13h中。

(s211)运算控制部160使用以下的式(10)判定在s207中选择出的动作信息的修正是否有波动降低效果。

[式10]

VarB/VarA＞ThE  …(10)

在式(10)中，VarB输入存储在13c或13d中的信息，VarA输入存储在13f或13g中的信息，如果用于计算动作信息修正前的方差的数据数M(B)(13e)为20以上不满40，则ThE输入14b，如果为40以上不满60则ThE输入14c，如果为60以上则ThE输入14d。运算控制部160在13c和13f的组合、或13d和13g的组合中式(10)成立的情况下，判定为有波动降低效果，在任意的组合中都不成立的情况下，判定为没有波动降低效果。在判定为有波动降低效果的情况下，将降低效果信息D6的字段15a、15b、15c中的相当于在s207中选择出的动作信息的字段更新为表示有效果的○。在判定为没有波动降低效果的情况下，将降低效果信息D6的字段15a、15b、15c中的相当于在s207中选择出的动作信息的字段更新为表示没有效果的×。在降低效果信息D6的字段15a、15b、15c中的相当于在s207中选择出的动作信息的字段以外，将存储了表示有效果的○的字段更新为表示未实施的-。

在此，判定波动降低效果的理由是用于防止由于变更没有波动降低效果的动作信息造成的节拍时间的降低。

(s212)运算控制部160在s211中判定为有波动降低效果的情况下，接着执行s213的处理，在判定为没有波动降低效果的情况下，再次进行s205的处理。

(s213)运算控制部160根据到s10为止的处理结果，输出Z方向位置(z)的修正值、停止时间T的修正值、动作速度VZ的修正值等信息(修正内容信息)。在本实施方式中，进行将修正内容信息显示在画面中的处理，能够由用户进行修正内容的确认、以及修正执行(图17)。通过部件安装装置100的输出部171(或运算装置150的输出部162)显示画面。

图17表示在s213中显示的画面例子。在本画面中显示：成为修正对象的供给器F的编号(g11)、嘴N的编号(g12)、动作信息修正前的部件把持位置HX、HY的波动(方差值)(g13)、距离KZ的波动(方差值)(g14)、修正前的动作信息D2{停止位置(Z)(g15)、停止时间(T)(g16)、动作速度(VZ)(g17)等}、修正后的动作信息D2{停止位置(Z)(g18)、停止时间(T)(g19)、动作速度(VZ)(g20)等}、因动作信息的修正造成的部件把持位置HX、HY的波动的变化量(g21)、距离KZ的波动的变化量(g22)、节拍时间的变化量(g23)、停止位置(Z)的修正的波动降低效果的有无(g24)、停止时间(T)的修正的波动降低效果的有无(g25)、动作速度(VZ)的修正的波动降低效果的有无(g26)的信息、以及可否执行修正的按键(g27、g28)等。

运算控制部160在g11中显示d201，在g12中显示d202，在g13中显示13c，在g14中显示13d，在修正前的g15中显示MIold1，在g16中显示MIold2，在g17中显示MIold13，在修正后的g18中，在15a是○的情况下显示MInew1，在15a是×或-的情况下显示MIold1，在g19中，在15b是○的情况下显示MInew2，在15b是×或-的情况下显示MIold2，在g20中，在15c是○的情况下显示MInew3，在15c是×或-的情况下显示MIold3，在修正的变化的g21中显示将13f除以13c所得的值，在g22中显示将13g除以13d所得的值，在g23中，在15a中存储了○的情况下显示16a，在15b中存储了○的情况下显示16b，在15c中存储了○的情况下显示16c，在修正效果的g24中显示15a，在g25中显示15b，在g26中显示16c。

(s214)运算控制部160接受用户通过s213(图17的画面)的输入结果(通过“是”按键(g27)产生的可执行修正等)。在可执行修正(是)的情况下(Y)，进行s215的处理，在不可执行修正(否)的情况下，不进行s215而结束。此外，如上述那样，也可以省略s213、s214而自动地执行s215的修正(例如能够预先设定自动执行)。

(s215)运算控制部160使用上述处理结果(修正内容信息)，修正动作信息D2(Z、T、VZ等)。例如，确定动作信息D2的表中的供给器编号11a的存储值与d201相等、吸附嘴编号11b的存储值与d202相等的行，在15a是○的情况下，将该行中的11c的停止位置(Z)的数据修正为MInew1，在15b是○的情况下，将该行中的停止时间(T)(11d)的数据修正为MInew2，在15c是○的情况下，将该行中的动作速度(VZ)(11e)的数据修正为MInew3，结束处理。

此外，也可以设定控制S105中的Z方向的嘴上升的加速度(动作加速度)的参数(AZ)，在图9的处理中，代替动作速度VZ，或与动作速度VZ一起降低参数(AZ)。

另外，在图9的处理中即使修正停止位置(Z)、停止时间(T)、动作速度(VZ)、动作加速度(AZ)等也产生吸附异常的情况下，再次执行图9的处理，进一步修正停止位置(Z)、停止时间(T)、动作速度(VZ)、动作加速度(AZ)等。

[效果等]

将一定时间内进行的多个吸附动作设为1组，考虑该组中的发生吸附异常的比例(吸附异常的发生率)、吸附动作中的部件把持位置的标准偏差。如果在多个组中计算吸附异常的发生率和部件把持位置的标准偏差，并将部件把持位置的标准偏差设为X轴的值，将吸附异常的发生率设为Y轴的值，在XY平面上描绘各组，则得到图18那样的图表。如在图18的图表中可以看到的那样，如果部件把持位置的标准偏差小，则吸附异常的发生率也小。

因此，如以上说明的那样，在本实施方式的部件安装装置100(运算装置150)中，将基于实绩数据(吸附结果信息D3)的吸附部件P后的嘴N的部件把持位置HX、HY、吸附时的嘴N的Z方向位置(z)等作为输入信息，适当地计算/修正吸附时的嘴N的停止位置(Z)、停止时间(T)、动作速度(VZ)等，由此能够在抑制节拍时间的增加的基础上，降低部件把持位置的标准偏差，能够降低吸附异常的发生率。

此外，在上述实施方式中，作为取出并保持部件的部件保持构件而以嘴为例子进行了说明，但对于除了嘴以外而使用了夹住并取出部件的卡盘等的情况，也能够应用本发明。

以上，根据实施方式具体说明了由本发明人提出的发明，但本发明并不限于上述实施方式，在不脱离其主要内容的范围内当然能够进行各种变更。

符号说明

50：部件(P)；90：基板；100：部件安装装置；110：供给装置；111：供给器基座；111a：供给器(F)；112、125、133、145、163：IF部；120：装配装置；121：头；122：梁；122a：导轨；123：嘴(吸附嘴)(N)；124：驱动控制部；125：压力控制部；130：部件检测装置；131：侧面检测部；132：下面检测部；140：整体控制装置；141：存储部；144：整体控制部；150：运算装置；151：存储部；D1：装配信息；D2：动作信息；D3：吸附结果信息；D4：波动信息；D5：阈值信息；160：运算控制部；161：输入部；162：输出部；170：输入装置；171：输出装置；172：通信IF装置；173：总线。

Claims (15)

1.一种运算装置，其计算将部件安装到基板上的部件安装装置的动作控制的设定，该运算装置的特征在于，

上述部件安装装置具备：供给装置，其供给上述部件；装配装置，其包含取出并保持上述部件的部件保持构件；整体控制装置，其对安装动作中的包含上述供给装置和装配装置的各部位的动作进行控制，其中，该安装动作包括依照上述设定的信息通过上述部件保持构件取出并保持上述部件的动作、以及将通过上述部件保持构件取出并保持的部件向基板装配的装配动作；检测装置，其检测进行上述取出并保持的动作时的与上述部件保持构件以及部件有关的状态，

上述运算装置具备：运算控制部，其进行计算处理；存储部，其存储用于该计算处理的数据信息，其中，

上述运算控制部进行以下的处理：

(1)利用上述检测装置，取得或计算表示进行上述取出并保持的动作时的上述部件保持构件和部件之间的距离、或者相对位置的状态参数，将该信息存储到上述存储部中的第一处理；

(2)计算所存储的上述取出并保持的动作的上述状态参数的波动的值，将该信息存储到上述存储部中的第二处理；以及

(3)在上述状态参数的波动的值超过第一阈值的情况下，在表示上述部件保持构件的保持位置、停止时间、动作速度、动作加速度的参数值中，根据进行了修正的情况下对上述状态参数的波动降低的有效性、以及进行了修正的情况下的基板生产所花费的时间的增加量的信息，选择应该修正的参数值来进行修正的第三处理。

2.根据权利要求1所述的运算装置，其特征在于，

在上述第三处理中，在上述参数值的修正前的状态参数的波动的值和上述参数值的修正后的状态参数的波动的值之间的差高于第二阈值的情况下，判定为该参数值是对波动降低有效的参数值。

3.根据权利要求2所述的运算装置，其特征在于，

使在用于波动的值的计算的数据数多的情况下使用的上述第二阈值的值比在上述数据数小的情况下使用的第二阈值的值小。

4.根据权利要求1所述的运算装置，其特征在于，

计算出方差值作为上述状态参数的波动的值来利用。

5.根据权利要求1所述的运算装置，其特征在于，

在上述部件安装装置或运算装置所具备的输出装置的画面中，显示上述状态参数的波动的值和与上述设定的参数有关的包含上述修正前后的值的修正内容信息，在由用户进行确认的基础上执行上述修正。

6.一种部件安装装置，其将部件安装到基板上，该部件安装装置的特征在于，具备：

供给装置，其供给上述部件；装配装置，其包含取出并保持上述部件的部件保持构件；整体控制装置，其对安装动作中的包含上述供给装置和装配装置的各部位的动作进行控制，其中，该安装动作包括依照上述设定的信息通过上述部件保持构件取出并保持上述部件的动作、以及将通过上述部件保持构件取出并保持的部件向基板装配的装配动作；检测装置，其检测进行上述取出并保持的动作时的与上述部件保持构件以及部件有关的状态；运算装置，其计算上述部件安装装置的动作控制的设定，

上述运算装置具备：运算控制部，其进行计算处理；存储部，其存储用于该计算处理的数据信息，

上述运算控制部进行以下的处理：

(1)利用上述检测装置，取得或计算表示进行上述取出并保持的动作时的上述部件保持构件和部件之间的距离、或者相对位置的状态参数，将该信息存储到上述存储部中的第一处理；

(2)计算所存储的上述取出并保持的动作的上述状态参数的波动的值，将该信息存储到上述存储部中的第二处理；以及

(3)在上述状态参数的波动的值超过第一阈值的情况下，在表示上述部件保持构件的保持位置、停止时间、动作速度、动作加速度的参数值中，根据进行了修正的情况下对上述状态参数的波动降低的有效性、进行了修正的情况下的基板生产所花费的时间的增加量的信息，选择应该修正的参数值来进行修正的第三处理。

7.根据权利要求6所述的部件安装装置，其特征在于，

在上述第三处理中，在上述参数值的修正前的状态参数的波动的值和上述参数值的修正后的状态参数的波动的值之间的差高于第二阈值的情况下，判定为该参数值是对波动降低有效的参数值。

8.根据权利要求7所述的部件安装装置，其特征在于，

使在用于波动的值的计算的数据数多的情况下使用的上述第二阈值的值比在上述数据数小的情况下使用的第二阈值的值小。

9.根据权利要求6所述的部件安装装置，其特征在于，

计算出方差值作为上述状态参数的波动的值来利用。

10.根据权利要求6所述的部件安装装置，其特征在于，

在上述部件安装装置或运算装置所具备的输出装置的画面中，显示上述状态参数的波动的值和与上述设定的参数有关的包含上述修正前后的值的修正内容信息，在由用户进行确认的基础上执行上述修正。

11.一种程序，其使运算装置执行以下的信息处理，即计算将部件安装到基板上的部件安装装置的动作控制的设定，该程序的特征在于，

上述部件安装装置具备：供给装置，其供给上述部件；装配装置，其包含取出并保持上述部件的部件保持构件；整体控制装置，其对安装动作中的包含上述供给装置和装配装置的各部位的动作进行控制，其中，该安装动作包括依照上述设定的信息通过上述部件保持构件取出并保持上述部件的动作、以及将通过上述部件保持构件取出并保持的部件向基板装配的装配动作；检测装置，其检测进行上述取出并保持的动作时的与上述部件保持构件以及部件有关的状态，

上述运算装置具备：运算控制部，其进行上述计算处理；存储部，其存储用于该计算处理的数据信息，其中，

作为根据上述程序执行的处理，上述运算控制部进行以下的处理：

(1)利用上述检测装置，取得或计算表示进行上述取出并保持的动作时的上述部件保持构件和部件之间的距离、或者相对位置的状态参数，将该信息存储到上述存储部中的第一处理；

(2)计算所存储的上述取出并保持的动作的上述状态参数的波动的值，将该信息存储的第二处理；以及

(3)在上述状态参数的波动的值超过第一阈值的情况下，在表示上述部件保持构件的保持位置、停止时间、动作速度、动作加速度的参数值中，根据进行了修正的情况下对上述状态参数的波动降低的有效性、进行了修正的情况下的基板生产所花费的时间的增加量的信息，选择应该修正的参数值来进行修正的第三处理。

12.根据权利要求11所述的程序，其特征在于，

在上述第三处理中，在上述参数值的修正前的状态参数的波动的值和上述参数值的修正后的状态参数的波动的值之间的差高于第二阈值的情况下，判定为该参数值是对波动降低有效的参数值。

13.根据权利要求12所述的程序，其特征在于，

使在用于波动的值的计算的数据数多的情况下使用的上述第二阈值的值比在上述数据数小的情况下使用的第二阈值的值小。

14.根据权利要求11所述的程序，其特征在于，

计算出方差值作为上述状态参数的波动的值来利用。

15.根据权利要求11所述的程序，其特征在于，

在上述部件安装装置或运算装置所具备的输出装置的画面中，显示上述状态参数的波动的值和与上述设定的参数有关的包含上述修正前后的值的修正内容信息，在由用户进行确认的基础上执行上述修正。