CN104271794A - 热蒸镀用高效载体 - Google Patents

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CN104271794A CN201280072540.XA CN201280072540A CN104271794A CN 104271794 A CN104271794 A CN 104271794A CN 201280072540 A CN201280072540 A CN 201280072540A CN 104271794 A CN104271794 A CN 104271794A
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Abstract

本发明涉及一种热蒸镀用高效载体，其特征在于包括：外壳，其对将用于热蒸镀的蒸镀物质进行收容，并且可将热传递至所述蒸镀物质，所述热由加热器传递而来；以及网状物(mesh)，其设置于所述外壳内部，从而防止所述蒸镀物质的流动。

Description

热蒸镀用高效载体
技术领域
本发明涉及热蒸镀用高效载体，更为详细地涉及一种热蒸镀用载体，其包括外壳构造及网状物(mesh)构造，其中所述外壳构造收容蒸镀物质并进行热传递，其中所述网状物构造设置于所述外壳内部，从而防止蒸镀物质的流动。
背景技术
作为制造物体的表面的涂覆(coating)方法，具有溅射(sputtering)、电子束蒸镀(E-beam evaporation)、脉冲激光沉积(PLD；Pulsed LaserDeposition)、热蒸镀(Thermal Evaporation)等，在以上涂覆方法中，热蒸镀法具有较多优点从而被广泛使用，所述优点为工艺简单，蒸镀速度快且设备价格相对低廉。
观察所述热蒸镀法中所使用的热蒸镀装置，现有的热蒸镀装置的形态为，在中央设置有加热器(heater)及载体，且周围设置有器材(为了提高生产性可构成为能够进行公转或公自转的形态)，在所述形态中，通过加热器对载体进行加热，并对载体中所含有的蒸镀物质进行蒸发，从而蒸镀至器材的表面。此外，现有的热蒸镀装置中使用多孔性物质的载体，所述载体将陶瓷(ceramic)或者金属粒子/纤维进行压缩而成型，构成(图2或图3)为如下形态：所述多孔性物质的载体位于无方向性地设置的钨丝(tungsten filament)(加热器)或钼舟(molybdenum boat)(加热器)之上。
但是，所述现有的热蒸镀装置具有诸多缺点，首先，如上面所观察到的，因为使用多孔性性物质的载体来进行热蒸镀工艺，所以如图1所示，缺点在于气化的物质中的一部分接触到被加热的加热器。由此其中一部分物质通过高温被热分解，从而缺点在于可能降低蒸镀物质的使用效果，并且产生异物，从而可能污染蒸镀产品。
此外，如上所观察到的，现有的热蒸镀装置，如图2或图3所示，设置为多孔性物质的载体位于设置在中央的加热器之上的形态，因为所述的无方向性的形态，所以缺点在于，仅蒸镀物质的50％以下朝向位于较近的器材，而剩下的50％的蒸镀物质可过以载体及加热器为中心排列的公转夹具(jig)的直击距离而到达对面器材表面。(由于所述缺点，可能产生如下问题，蒸镀物质的使用效率非常低，并且可能与杂质反应而降低蒸镀质量，并且难以进行器材表面的均匀蒸镀。)
由此，需要一种能够解决所述问题的新的热蒸镀装置，尤其，需要开发一种可替代现有多孔性物质载体的新的热蒸镀用载体。
本发明是根据所述技术开发的要求进行发明的，不仅解决上面所观察的问题，而且附加本发明技术领域具有通常知识的人难以轻易发明的构成，从而进行发明的。
发明内容
根据本发明一实施例的热蒸镀用高效载体的解决课题为，显著提高热蒸镀用载体制造的生产性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体的解决课题为，改善现有通过多孔性物质所形成的热蒸镀用载体的构造，从而消除产品不良的危险性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体的解决课题为，有效地减少加热所致的蒸镀不均匀，并且防止蒸镀物质相互结合所产生的烟雾。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体的解决课题为，显著地提高蒸镀物质的使用效率，并且完全切断气化的蒸镀物质和已加热的加热器的接触。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体的解决课题为，将载体所承载的蒸镀物质更加稳定地进行固定。
为了解决所述问题，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体包括：外壳，其可对将用于热蒸镀的蒸镀物质进行收容，并且可将热传递至所述蒸镀物质，所述热由加热器传递而来；以及网状物(mesh)，其设置于所述外壳内部，从而防止所述蒸镀物质的流动。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述外壳包括开口部，并且所述蒸镀物质从所述外壳的内部向形成有所述开口部的方向扩散。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述蒸镀物质为在热蒸镀工艺过程中可具有粘性和流动性的物质。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述外壳和所述网状物由相同材料的金属形成。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述网状物向所述蒸镀物质传递热。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，向所述外壳传递热的加热器为板型的金属加热器，并且所述板型的金属加热器向所述外壳的底面传递热。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述外壳的底面为凹凸形状。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述板型的金属加热器设置为与器材的公转轴平行，并且所述板型的金属加热器前面设置有所述外壳。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述板型金属加热器前面形成有用于固定所述外壳的支架。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述板型金属加热器前面形成有用于支撑的弹簧。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体中，所述外壳形成有环结构，所述环结构可夹插入于所述板型金属加热器。
根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可显著提高热蒸镀用载体制造的生产性。具体地，作为现有所使用的多孔性载体原料的粉末、纤维质有单价较高且难以处理、生产性较低的问题，而将所述现有载体替换为新形态的载体，从而可显著提高生产性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其对现有通过多孔性物质所形成的热蒸镀用载体的构造进行改善，从而可消除产品不良的危险性。具体地，现有所使用的多孔性物质的载体因为成形粉末或纤维质来制造，所以处理时可能产生微细灰尘而导致产品不良，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体因为不会产生微细灰尘，所以可切断所蒸镀的产品的不良危险性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可有效降低加热所致的蒸镀不均匀。具体地根据本发明的一个实施例的载体通过外壳和网状物(mesh)的构成，可均匀地保持加热时载体内的温度分布，由此可有效减少急剧加热所致的蒸镀不均匀，并且可防止因为温度差，蒸镀物质相互结合而产生的烟雾。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可显著提高蒸镀物质的使用效率。具体地，根据本发明的实施例的热蒸镀用高效载体中，因为蒸镀物质的气化方向仅向一个方向形成(开口部方向)，所以可使器材位于所述方向(例如，将载体固定于板型的金属加热器，并可通过将所述板型的金属加热器以平行于器材的公转轴的方式加以设置来实现)，从而可显著提高高价的蒸镀物质的使用效率。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可完全切断气化的蒸镀物质与被加热的加热器的接触。由此，不会产生现有的如下问题：所气化的蒸镀物质的一部分和被加热的加热器接触，从而产生的蒸镀物质的使用效率减少及杂质产生危险性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可将载体所承载的蒸镀物质进行更加稳定地固定。具体地，通过形成凹凸形状的外壳底面和网形状的网状物，进一步抑制蒸镀物质的流动。
附图说明
图1是表示蒸镀物质通过现有多孔性物质的载体而气化的状态的图。
图2是表示现有的钨丝(tungsten filament)加热器和载体的使用状态及蒸镀过程的图。
图3是表示现有的钼舟(molybdenum boat)加热器和载体的使用状态及蒸镀过程的图。
图4是表示根据本发明一个实施例的高效载体的构成的图。
图5是表示蒸镀物质通过根据本发明一个实施例的高效载体而气化的状态的图。
图6是表示根据本发明一个实施例的高效载体设置于包括支架的板型加热器的形态的图。
图7是表示根据本发明一个实施例的高效载体设置于包括弹簧(spring)的板型加热器的形态的图。
图8是表示根据本发明一个实施例的高效载体利用环结构设置于板型加热器的形态的图。
图9是表示根据本发明一个实施例的高效载体的构成的图。
标号说明
100：外壳  110：底面
130：开口部  150：环结构
200：网状物(mesh)  300：蒸镀物质
400：加热器  410:热
430:支架  450：弹簧
500：器材
具体实施方式
以下，参照附图对根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体进行详细说明。说明的实施例是为了使从业者能够易于理解本发明的技术思想而提供的，并非通过其来限定本发明。此外，附图所表示的事项是为了易于说明本发明的实施例而进行图示化的图，可与实际所体现的形态不同。
以下，参照图4至图5，对根据本发明一个实施例的热蒸镀用高效载体进行详细说明。
参照图4，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其包括：外壳100，其可对将用于热蒸镀的蒸镀物质300进行收容，并且可将热传递至所述蒸镀物质300，所述热由加热器400传递而来；网状物(mesh)200，其设置于所述外壳100内部，从而防止所述蒸镀物质300的流动。
所述蒸镀物质300作为用于热蒸镀工艺的来源(source)物质，意味着通过工艺过程中的加热所气化，并且气化后移动至器材500表面而被蒸镀的物质。
所述蒸镀物质300以承载于载体中的形态应用于热蒸镀工艺中，优选地，用在工艺过程中能够具有粘性和流动性的物质来形成。例如，所述蒸镀物质300可由用于耐指纹(Anti Finger)涂覆(coating)的氟(fluorine)系等耐指纹物质构成，所述耐指纹物质在工艺过程中以具有若干粘性和流动性的状态收容(作为参考，所述耐指纹预防物质在工艺开始前，可以以与挥发性物质混合的液体形态承载于载体，并且工艺开始后，随着所述挥发性物质的挥发而可变为具有若干粘性和流动性的溶胶(sol)或凝胶(gel)状态)于载体，并且在所述状态下可利用于热蒸镀。
所述外壳100意味着如下构成：可收容将用于热蒸镀的所述蒸镀物质300，并且将从加热器400传递而来的热410传递至所述蒸镀物质300。
在此，优选地，所述外壳100由热传导性物质形成，通过所述传导性材料，将从外部加热器400传递而来的热410传递至所述蒸镀物质300，并且使所述蒸镀物质300气化后蒸镀。此外，优选地，所述外壳100的热传导性材料可由金属材料形成，此时，优选地，所述金属材料为熔点超过1000℃的铜、铁、不锈钢(stainless)等金属材料。这是因为：具有1000℃以下熔点的类似于锡、锌的物质在通过加热器400加热时，可能熔化或气化，因此不能有效地将热传递至载体，并且蒸镀工艺中可能产生杂质。
另外，如图4所示，所述外壳100可包括朝向特定方向所形成的开口部130，通过所述开口部130可一定地保持蒸镀物质300的移动方向。具体地，因为在所述外壳100内部所气化的所述蒸镀物质300仅可通过所述开口部130才能向外部移动，所以可相对一定地保持蒸镀物质300的移动方向，并且使得即将蒸镀的器材500位于所述开口部130朝向的方向，从而可提高蒸镀物质300的蒸镀效果。
此外，所述外壳100，以所气化的蒸镀物质300无法向所述开口部130所形成的方向之外的所有方向进行移动的方式进行切断，通过所述构造，可完全切断所述蒸镀物质300与被加热的加热器400的接触。由此，可解决现有由于所气化的蒸镀物质300的一部分与被加热的加热器400接触而发生的问题，所述问题为蒸镀物质300的使用效率降低及杂质产生的危险。
所述网状物(mesh)200意味着如下构成：设置于所述外壳100内部，从而防止所述蒸镀物质300的流动。
如图4所示，所述网状物200在所述外壳100内部设置为与所述外壳100接触的形态，优选地，根据所述构造使如下成为可能：防止具有流动性和粘性的所述蒸镀物质300的流动，并且进行所述蒸镀物质300的稳定固定。具体地，通过名称中所表现的网(mesh)构造，可防止所述蒸镀物质300的流动，为了提高所述流动预防的功能，将两个以上所述网状物200设置于所述外壳100，或也可将所述网状物200的规格形成为10行/英寸(line/inch)以上。
此外，所述网状物200可用与所述外壳100相同的热传导性材料形成，通过所述构成可提高传递至所述蒸镀物质300的热传递的效率。具体地，因为对通过所述外壳100的热传递进行补充，从而进行额外的热传递，所以可提高热传递的效率，并且对通过所述外壳100难以直接受热的蒸镀物质300的部位也将热进行补充性传递，从而可进行均匀加热。
另外，所述网状物200可用与所述外壳100相同的材料的热传导性材料形成，通过所述相同材料构成从而可易于载体的清洗。具体地，可用与所述外壳100相同的金属材料形成，并且优选地，可由熔点超过1000℃的铜、铁、不锈钢等金属材料形成。(如上面所观察的，这是因为：具有1000℃以下熔点的类似于锡、锌的物质在通过加热器400进行加热时可熔化或气化，因此不能有效地将热传递至载体，并且蒸镀工艺中可能产生杂质。)
如上面所观察的，根据本发明的一个实施例的高效载体，其包括所述外壳100和网状物200，其在工艺过程中可对载体所收容的蒸镀物质300进行均匀的加热。具体地，通过所述外壳100，对所述加热器400的热进行基本传递的同时，通过所述网状物200将热补充传递至从所述外壳100不能充分受热的蒸镀物质300的部位，从而可对蒸镀物质300全部进行均匀的加热。由此，通过所述均匀加热，可减少蒸镀偏差，并且可防止非均匀加热时可发生的烟雾。
此外，根据本发明的一个实施例的高效载体，其包括所述外壳100和网状物200，因为蒸镀物质300的气化方向仅朝向特定方向形成，所以将器材500放置于所述特定方向，从而可显著提高高价蒸镀物质300的使用效率。具体地，如图5所示，所述蒸镀物质300的气化方向可限定为朝向所述外壳100的开口部130方向，将器材500位于所述开口部130方向，从而可显著提高高价的蒸镀物质300的使用效率。
以下，参照图5至图8，对根据本发明的热蒸镀用高效载体设置于板型金属加热器400的实施例进行观察。
以下所观察的实施例可提高蒸镀物质300的使用效率，并提高蒸镀产品的品质，具体地，通过加热而气化的蒸镀物质300仅喷射至所述载体的开口部130方向，并且仅朝向最靠近的器材500，因此可提高蒸镀物质300的使用效率。此外，可降低含有杂质的可能性，并且可实现器材500表面的均匀蒸镀。
参照图5至图8具体进行观察，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，可从外部的加热器接受用于对蒸镀物质300进行气化的热，在此优选地，所述加热器400为板型的金属加热器400，并且如图6至图8所示，优选地，以所述载体的底面110与所述板型金属加热器400接触的状态进行设置。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，可以以所述外壳100设置于所述板型金属加热器400的状态应用于热蒸镀工艺中，在此优选地，所述热蒸镀工艺可通过包括可进行公转或公自传的器材搭载用夹具(jig)的热蒸镀装置进行，并且优选地，设置有所述载体的板型的金属加热器400设置为在热蒸镀装置内部与器材(器材搭载用夹具)的公转轴相平行的状态(如图6至图8所示，只有设置为所述状态，器材500才能位于所述载体的开口部130方向上，并且随着所述夹具的公转或公自传运动实现蒸镀的夹具500也依次交替)。
另外，根据如上所观察的实施例，所述载体需设置于所述板型金属加热器400的前面，为了实现所述设置，可在所述金属加热器400或所述外壳100额外形成固定工具。参照图6进行观察，用于设置所述外壳100的支架430可形成于所述板型的金属加热器400的前面，并且通过所述支架430，可固定所述载体。此外，参照图7进行观察，所述板型金属加热器400前面可形成有用于支撑的弹簧450，并且通过所述支撑用弹簧450，所述板型的金属加热器400和所述外壳100可紧贴并固定。并且，参照图8进行观察，所述外壳100可形成有环结构150，所述环结构可夹插入于所述板型金属加热器400，并且通过所述环结构150可固定所述载体和所述金属加热器400。
以下，参照图9，对根据本发明的另一个实施例的热蒸镀用高效载体进行观察。
参照图9，根据本发明的另一个实施例的热蒸镀用高效载体的所述外壳100的底面110可形成为凹凸形状，通过所述凹凸形状的底面110，可额外抑制所述蒸镀物质300的流动。由此，使用网状物200和凹凸形状的底面110两种构成，从而抑制所述蒸镀物质300的流动，因此可更加稳定地固定所述蒸镀物质300。
此外，根据本发明的另一个实施例的热蒸镀用高效载体，在通过上面所观察的板型加热器400对所述外壳100的底面110进行加热时，可对所述底面110进行更加均匀的加热，由此，可进一步抑制因为不均匀加热而可能产生的蒸镀偏差。具体地，所述载体通过形成于所述底面110的凹凸形状，可与所述板型加热器400更加均匀地接触，通过所述均匀接触，可均匀地加热所述底面110。(作为参考，将底面形成为平面时，难以将所述底面和所述板型加热器面的细微曲折进行完全的一致，从而有产生不均匀加热的危险。)
如上面所观察到的，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可显著提高热蒸镀用载体制造的生产性。具体地，现有所使用的多孔性载体的原料粉末、纤维质有单价较高且难以处理、生产性较低的问题，而将所述现有载体替换为新形态的载体，从而可显著提高生产性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其对现有通过多孔性物质所形成的热蒸镀用载体的构造进行改善，从而可消除产品不良的危险性。具体地，现有所使用的多孔性物质的载体因为形成粉末或纤维质来制造，所以处理时可能产生微细灰尘而导致产品不良，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体因为不会产生微细灰尘，所以可切断所蒸镀的产品的不良危险性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可有效降低加热所致的蒸镀不均匀。具体地根据本发明的一个实施例的载体通过外壳和网状物(mesh)200的构成，可均匀地保持加热时载体内的温度分布，由此可有效减少急剧加热所致的蒸镀不均匀，并且可防止因为温度差，蒸镀物质300相互结合而产生的烟雾。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可显著提高蒸镀物质300的使用效率。具体地，根据本发明的实施例的热蒸镀用高效载体中，因为蒸镀物质300的气化方向仅向一个方向形成(开口部130方向)，所以可使器材500位于所述方向(例如，将载体固定于板型的金属加热器400，并可通过将所述板型的金属加热器400以平行于器材500的公转轴的方式加以设置来实现)，从而可显著提高高价的蒸镀物质300的使用效率。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可完全切断气化的蒸镀物质300与被加热的加热器400的接触。由此，不会产生现有的如下问题：所气化的蒸镀物质300的一部分和被加热的加热器400接触，从而产生的蒸镀物质300的使用效率减少及杂质产生危险性。
此外，根据本发明的一个实施例的热蒸镀用高效载体，其可将载体所承载的蒸镀物质300进行更加稳定地固定。具体地，通过形成凹凸形状的外壳底面110和网形状的网状物200，进一步抑制蒸镀物质300的流动。
上面所说明的本发明的实施例仅仅是为了举例而提出的，应理解为，在本发明的技术领域内具有通常知识的人员在本发明的思想和范围内可进行各种修正、变更、附加，并且所述修正、变更及附加应看做属于本专利请求范围。

Claims (11)

1.一种热蒸镀用高效载体，其特征在于，包括：
外壳，其对将用于热蒸镀的蒸镀物质进行收容，并且将热传递至所述蒸镀物质，所述热由加热器传递而来；以及
网状物，其设置于所述外壳内部，从而防止所述蒸镀物质的流动。
2.根据权利要求1所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述外壳包括开口部，并且所述蒸镀物质从所述外壳的内部向形成有所述开口部的方向扩散。
3.根据权利要求1所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述蒸镀物质为在热蒸镀工艺过程中可具有粘性和流动性的物质。
4.根据权利要求1所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述外壳和所述网状物由相同材料的金属形成。
5.根据权利要求4所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述网状物向所述蒸镀物质传递热。
6.根据权利要求2所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
向所述外壳传递热的加热器为板型金属加热器，并且所述板型的金属加热器向所述外壳的底面传递热。
7.根据权利要求6所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述外壳的底面为凹凸形状。
8.根据权利要求6所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述板型的金属加热器设置为与器材的公转轴平行，并且所述板型的金属加热器前面设置有所述外壳。
9.根据权利要求8所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述板型的金属加热器前面形成有用于固定所述外壳的支架。
10.根据权利要求8所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述板型金属加热器前面形成有用于支撑的弹簧。
11.根据权利要求8所述的热蒸镀用高效载体，其特征在于：
所述外壳形成有环结构，所述环结构可夹插入于所述板型金属加热器。
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WO (1) WO2013157723A1 (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1111955A (en) * 1966-05-10 1968-05-01 Mullard Ltd Improvements in or relating to devices for evaporating powdered material
US5104695A (en) * 1989-09-08 1992-04-14 International Business Machines Corporation Method and apparatus for vapor deposition of material onto a substrate
JPH06340966A (ja) * 1993-03-29 1994-12-13 Seiko Epson Corp 表面処理方法及びそれに用いられる蒸着材料
JPH08239756A (ja) * 1995-02-28 1996-09-17 Nissin Electric Co Ltd 電子ビーム蒸発源のるつぼ、成膜装置及び成膜方法
CN1464917A (zh) * 2001-06-04 2003-12-31 日本板硝子株式会社 覆膜的形成方法及装置
JP2006225717A (ja) * 2005-02-17 2006-08-31 Stanley Electric Co Ltd 蒸着用るつぼ
US20110076389A1 (en) * 2009-09-25 2011-03-31 Samsung Mobile Display Co. Ltd. Deposition source and method of manufacturing organic light-emitting device

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004315911A (ja) * 2003-04-17 2004-11-11 Stanley Electric Co Ltd 蒸発装置、蒸発方法及びそれによる生成物
JP2007154253A (ja) * 2005-12-05 2007-06-21 Denso Corp 蒸着パターン形成装置及び蒸着パターン形成方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1111955A (en) * 1966-05-10 1968-05-01 Mullard Ltd Improvements in or relating to devices for evaporating powdered material
US5104695A (en) * 1989-09-08 1992-04-14 International Business Machines Corporation Method and apparatus for vapor deposition of material onto a substrate
JPH06340966A (ja) * 1993-03-29 1994-12-13 Seiko Epson Corp 表面処理方法及びそれに用いられる蒸着材料
JPH08239756A (ja) * 1995-02-28 1996-09-17 Nissin Electric Co Ltd 電子ビーム蒸発源のるつぼ、成膜装置及び成膜方法
CN1464917A (zh) * 2001-06-04 2003-12-31 日本板硝子株式会社 覆膜的形成方法及装置
JP2006225717A (ja) * 2005-02-17 2006-08-31 Stanley Electric Co Ltd 蒸着用るつぼ
US20110076389A1 (en) * 2009-09-25 2011-03-31 Samsung Mobile Display Co. Ltd. Deposition source and method of manufacturing organic light-emitting device

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