WO2013157723A1

WO2013157723A1 - 열 증착용 고효율 담체

Info

Publication number: WO2013157723A1
Application number: PCT/KR2012/011420
Authority: WO
Inventors: 김윤택; 임조섭; 최영림
Original assignee: (주)엠엠티
Priority date: 2012-04-20
Filing date: 2012-12-26
Publication date: 2013-10-24
Also published as: KR101354985B1; CN104271794A; KR20130118546A

Abstract

본 발명은 열 증착용 고효율 담체에 관한 것으로서, 열 증착에 사용될 증착 물질을 수용할 수 있으며, 히터로부터 전달된 열을 상기 증착 물질에 전달하는 외함; 및 상기 외함 내부에 설치되어 상기 증착 물질의 유동을 방지하는 메쉬(mesh)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

열 증착용 고효율 담체

본 발명은 열 증착용 고효율 담체에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 증착 물질을 수용하고 열을 전달하는 외함 구조 및 상기 외함 내부에 설치되어 증착 물질의 유동을 방지하는 메쉬(mesh) 구조를 포함하는 열 증착용 담체에 관한 것이다.

물체의 표면을 제조하는 코팅 방법으로는, 스퍼터링(Sputtering), 전자빔 증착(E-beam evaporation), 펄스파 레이저 증착(PLD;Pulsed Laser Deposition), 열 증착(Thermal Evaporation) 등이 있는데, 이 중에서 열 증착법이, 공정이 단순하고 증착속도가 빠르며 장비의 가격이 상대적으로 저렴하다는 장점이 있어서 많이 사용되고 있다.

이러한 열 증착법에 사용되는 열 증착 장치를 살펴보면, 종래의 열 증착 장치는, 중앙에 히터 및 담체를 배치하고 주변에 기재(생산성을 높이기 위해 공전 또는 공자전 가능한 형태로 구성될 수 있음)를 배치한 형태였는데, 이러한 형태상에서 히터로 담체를 가열하고 담체에 함유된 증착 물질을 증발시켜서 기재의 표면을 증착시키는 방식이었다. 또한, 종래의 열 증착 장치에는 세라믹 또는 금속 입자/섬유를 압축하고 성형시킨 다공성 물질의 담체가 사용되었는데, 이러한 다공성 물질의 담체가 방향성 없이 설치된 텅스텐 필라멘트(히터)나 몰리브덴 보트(히터) 상에 올려지는 형태로 구성(도 2 또는 도3)되었다.

하지만, 이러한 종래의 열 증착 장치는 여러 가지 단점이 있었는데, 먼저 위에서 살펴본 것처럼 다공성 물질의 담체를 사용하여 열 증착 공정을 진행하므로, 도 1에서와 같이 기화된 물질 중 일부가 가열된 히터와 만나게 된다는 단점이 있었다. 따라서 이 중 일부 물질이 고열에 의해 열분해 되어 증착 물질의 사용 효율을 감소시킬 수 있었고, 이물질도 발생시켜 증착 제품을 오염시킬 수 있다는 문제점이 있었다.

또한, 종래의 열 증착 장치는, 위에서 살펴본 것처럼 다공성 물질의 담체가 도 2 또는 도 3과 같이 중앙에 설치된 히터 위에 올려진 형태로 설치되었는데, 이러한 방향성 없는 형태로 인해, 증착 물질의 50% 이하만이 가까이 위치한 기재로 향하였으며, 나머지 50%의 증착 물질은 담체 및 히터를 중심으로 배열된 공전 지그의 직격 정도의 거리를 지나 반대편 기재 표면에 도달하게 된다는 단점이 있었다. (이러한 담점에 의해, 증착 물질의 사용 효율이 매우 낮았고, 불순물과 반응하여 증착 품질을 저하시킬 수 있었으며, 기재 표면의 고른 증착이 어렵다는 문제점이 발생할 수 있었다)

따라서 이러한 문제점들을 해결할 수 있는 새로운 열 증착 장치가 요구되고 있으며, 특히, 기존의 다공성 물질의 담체를 대체할 수 있는 새로운 열 증착용 담체의 개발이 요구되고 있다.

본 발명은 이러한 기술 개발의 요구에 따라 발명되었으며, 위에서 살펴본 문제점들을 해결함은 물론, 본 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 발명할 수 없는 구성들이 부가되어서 발명되었다.

본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 열 증착용 담체 제작의 생산성을 현저하게 향상시키는 것을 해결과제로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 종래 다공성 물질로 형성되던 열 증착용 담체의 구조를 개선하여, 제품 불량의 위험성을 제거하는 것을 해결과제로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 가열에 의한 증착 편파를 효과적으로 줄이며, 증착 물질이 서로 결합하여 생기는 연무를 방지시키는 것을 해결과제로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 증착 물질의 사용 효율을 현저하게 향상시키며, 기화된 증착 물질과 가열된 히터의 접촉을 완전하게 차단하는 것을 해결과제로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 담체에 담지되는 증착 물질을 더욱 안정적으로 고정시키는 것을 해결과제로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 열 증착에 사용될 증착 물질을 수용할 수 있으며, 히터로부터 전달된 열을 상기 증착 물질에 전달하는 외함; 및 상기 외함 내부에 설치되어 상기 증착 물질의 유동을 방지하는 메쉬(mesh)를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 외함이 개구부을 포함하되, 상기 증착 물질이 상기 외함의 내부에서 상기 개구부가 형성된 방향으로 확산 되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 증착 물질이 열 증착 공정 과정 중에 점성과 유동성을 가질 수 있는 물질인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 외함과 상기 메쉬가, 동일 재질의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 메쉬가, 상기 증착 물질에 열을 전달하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 외함에 열을 전달하는 히터가 판형의 금속 히터이고, 상기 판형의 금속 히터가 상기 외함의 바닥면에 열을 전달하는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 외함의 바닥면이 요철 형상인 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 판형의 금속 히터가 기재의 공전축에 평행하게 설치되며, 상기 판형의 금속 히터 전면에 상기 외함이 설치되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 판형의 금속 히터 전면에 상기 외함을 고정하기 위한 지지대가 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 판형의 금속 히터 전면에 지지용 스프링이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 외함에, 상기 판형의 금속 히터에 끼울 수 있는 고리 구조가 형성된 것을 특징으로 한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 열 증착용 담체 제작의 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 종래에 사용되던 다공성 담체의 원료인 분말, 섬유질은 재료의 단가가 높고, 취급이 어려우며, 생산성이 낮다는 문제점이 있었는데, 이러한 종래의 담체를 새로운 형태의 담체로 대체하여 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 종래 다공성 물질로 형성되던 열 증착용 담체의 구조를 개선하여, 제품 불량의 위험성을 제거할 수 있다. 구체적으로, 종래에 사용되던 다공성 물질의 담체는 분말 혹은 섬유질을 성형하여 만들기 때문에 취급시 미세먼지 발생에 의한 제품 불량을 야기할 수 있었는데, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는 미세먼지 발생이 없기 때문에, 증착되는 제품의 불량 위험성을 차단할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 가열에 의한 증착 편파를 효과적으로 줄일 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 담체는 외함과 메쉬(mesh)의 구성을 통해, 가열시 담체 내의 온도 분포를 균일하게 유지할 수 있는데, 이에 따라 급격한 가열에 의한 증착 편파를 효과적으로 줄일 수 있으며, 온도 차로 인해 증착 물질이 서로 결합하여 생기는 연무를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 증착 물질의 사용 효율을 현저하게 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 증착 물질의 기화 방향이 한 방향(개구부 방향)으로만 형성되므로, 이러한 방향에 기재가 위치(일례로, 판형의 금속 히터에 담체를 고정 시키고, 이러한 판형의 금속 히터를 기재의 공전축에 평행하게 설치함으로써 달성될 수 있음) 하도록 하여 고가의 증착 물질의 사용 효율을 현저하게 증가시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 기화된 증착 물질과 가열된 히터의 접촉을 완전하게 차단할 수 있다. 따라서, 종래에, 기화된 증착 물질의 일부와 가열된 히터가 접촉함으로써 발생했던, 증착 물질의 사용효율 감소 및 이물질 발생 위험성의 문제가 발생하지 않는다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 담체에 담지되는 증착 물질을 더욱 안정적으로 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 요철 형상으로 형성되는 외함 바닥면과 망 형상의 메쉬(mech)를 통해, 증착 물질의 유동을 더욱 억제할 수 있다.

도 1은 종래의 다공성 물질의 담체를 통해 증착 물질이 기화되는 상태를 나타내는 도면이다.

도 2는 종래의 텅스텐 필라멘트 히터와 담체의 사용 형태 및 증착 과정을 보여주는 도면이다.

도 3은 종래의 몰리브덴 보트 히터와 담체의 사용 형태 및 증착 과정을 보여주는 도면이다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체의 구성을 나타내는 도면이다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체를 통해 증착 물질이 기화되는 상태는 나타내는 도면이다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체가 지지대를 포함하는 판형 히터에 설치된 모습을 나타내는 도면이다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체가 스프링 포함하는 판형 히터에 설치된 모습을 나타내는 도면이다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체가 고리구조를 이용하여 판형 히터에 설치된 모습을 나타내는 도면이다.

도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 고효율 담체의 구성을 나타내는 도면이다.

[부호의 설명]

100 : 외함 110 : 바닥면

130 : 개구부 150 : 고리구조

200 : 메쉬 300 : 증착 물질

400 : 히터 410 : 열

430 : 지지대 450 : 스프링

500 : 기재

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체를 상세하게 설명한다. 설명하는 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시 예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.

이하, 도 4 내지 도 5를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체를 상세하게 설명한다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 열 증착에 사용될 증착 물질(300)을 수용할 수 있으며, 히터(400)로부터 전달된 열(410)을 상기 증착 물질(300)에 전달하는 외함(100), 상기 외함(100) 내부에 설치되어 상기 증착 물질(300)의 유동을 방지하는 메쉬(mesh, 200)를 포함할 수 있다.

상기 증착 물질(300)은, 열 증착 공정에 사용되는 소스 물질로서 공정 과정 중의 가열에 의해 기화되며, 기화된 이후에는 기재(500) 표면으로 이동하여 증착되는 물질을 의미한다.

이러한 상기 증착 물질(300)은 담체에 담지된 형태로 열 증착 공정에 이용되는데, 바람직하게는 공정 과정 중에 점성과 유동성을 가질 수 있는 물질로 형성되는 것이 바람직하다. 예를 들어, 상기 증착 물질(300)은 내지문(Anti Finger) 코팅을 위한 플루오르 계열 등의 내지문 물질로 구성될 수 있는데, 이러한 내지문 물질이 공정 과정 중에 약간의 점성과 유동성을 가지는 상태로 담체에 수용(참고로, 이러한 내지문 방지 물질은, 공정 시작 전에는 휘발성 물질들과 배합된 액체 형태로 담체에 담지될 수 있으며, 공정 시작 이후에 상기 휘발성 물질들이 날아가면서 약간의 점성과 유동성을 가지는 졸 또는 겔과 같은 상태로 변화할 수 있다)되며, 이러한 상태에서 열 증착에 이용될 수 있다.

상기 외함(100)은, 열 증착에 사용될 상기 증착 물질(300)을 수용할 수 있으며, 히터(400)로부터 전달된 열(410)을 상기 증착 물질(300)에 전달하는 구성을 의미한다.

여기서 상기 외함(100)은 바람직하게는 열 전도성 물질로 형성되는데, 이러한 전도성 재질에 의해 외부 히터(400)로부터 전달된 열(410)을 상기 증착 물질(300)에 전달하며, 상기 증착 물질(300)이 기화되어 증착될 수 있게 한다. 또한, 상기 외함(100)의 열 전도성 재질은 바람직하게는 금속 재질로 형성될 수 있는데, 이 경우 상기 금속 재질은 융점이 1000℃를 넘는 동, 철, 스텐레스 등의 금속 재질인 것이 바람직하다. 1000℃ 이하의 융점을 가지는 주석 아연과 같은 물질은 히터(400)로 가열하는 경우에 녹거나 기화될 수 있으므로, 담체에 효과적으로 열을 전달할 수 없고, 증착 공정 중에 불순물을 발생시킬 수 있기 때문이다.

한편, 상기 외함(100)은 도 4와 같이 특정방향으로 형성되는 개구부(130)를 포함할 수 있는데, 이러한 개구부(130)를 통해 증착 물질(300)의 이동 방향을 일정하게 유지시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 외함(100) 내부에서 기화된 상기 증착 물질(300)이 이러한 개구부(130)를 통해서만 외부로 이동할 수 있으므로, 증착 물질(300)의 이동 방향을 상대적으로 일정하게 유지시킬 수 있으며, 이러한 상기 개구부(130)가 향하는 방향에 증착할 기재(500)가 위치하도록 하여 증착 물질(300)의 증착 효율을 항상 시킬 수 있다.

또한, 상기 외함(100)은, 상기 개구부(130)가 형성된 방향 이외의 모든 방향으로는 기화된 증착 물질(300)이 이동할 수 없도록 차단하는데, 이러한 구조에 의하여 상기 증착 물질(300)이 가열된 히터(400)와 접촉되는 것을 완전하게 차단하게 된다. 따라서, 종래에 기화된 증착 물질(300)의 일부와 가열된 히터(400)가 접촉함으로써 발생했던, 증착 물질(300)의 사용 효율 감소 및 이물질 발생 위험의 문제가 해결될 수 있다.

상기 메쉬(200)는, 상기 외함(100) 내부에 설치되어 상기 증착 물질(300)의 유동을 방지하는 구성을 의미한다.

이러한 상기 메쉬(200)는 도 4와 같이 상기 외함(100) 내부에서 상기 외함(100)과 접촉한 형태로 설치되는데, 이러한 구조에 의해서 바람직하게는 유동성과 점성을 가지는 상기 증착 물질(300)의 유동을 방지하고, 상기 증착 물질(300)의 안정적인 고정을 가능하게 한다. 구체적으로, 명칭에서 나타나 있는 망(mesh) 구조를 통해 상기 증착 물질(300)의 유동을 방지할 수 있는데, 이러한 유동 방지의 기능을 향상시키기 위해 상기 메쉬(200)를 2개 이상 외함(100)에 설치하거나, 상기 메쉬(200)의 규격을 10 line/inch 이상으로 형성할 수도 있다.

또한, 상기 메쉬(200)는 상기 외함(100)과 마찬가지로 열 전도성의 재질로 형성될 수 있는데, 이러한 구성에 의해 상기 증착 물질(300)로 전달되는 열 전달의 효율을 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 외함(100)에 의한 열 전달을 보충하여 추가적인 열 전달을 하기 때문에 열 전달의 효율을 향상시킬 수 있으며, 상기 외함(100)에 의해 열을 직접 전달받기 힘든 증착 물질(300)의 부위에도 열을 보충적으로 전달하여, 균일한 가열을 가능하게 한다.

한편, 상기 메쉬(200)는 상기 외함(100)과 같은 재질의 열 전도성 재질로 형성될 수 있는데, 이렇게 같은 재질로 구성되어서 담체의 세정을 용이하게 할 수 있다. 구체적으로 상기 외함(100)과 마찬가지로 금속 재질로 형성될 수 있으며, 바람직하게는 융점이 1000℃를 넘는 동, 철, 스텐레스 등의 금속 재질로 형성될 수 있다. (위에서 살펴본 것처럼, 1000℃ 이하의 융점을 가지는 주석 아연과 같은 물질은 히터(400)로 가열하는 경우에 녹거나 기화될 수 있으므로, 담체에 효과적으로 열을 전달할 수 없고, 증착 공정 중에 불순물을 발생시킬 수 있기 때문이다.)

이상에서 살핀 상기 외함(100)과 메쉬(200)를 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체는, 공정 과정에서 담체가 수용하는 증착 물질(300)을 균일하게 가열시킬 수 있다. 구체적으로, 상기 외함(100)을 통해 상기 히터(400)의 열을 기본적으로 전달하면서, 상기 외함(100)으로부터 충분한 열이 전달받지 못하는 증착 물질(300)의 부위에는 상기 메쉬(200)를 통해 열을 보충적으로 전달하여, 증착 물질(300) 전체를 균일하게 가열시킬 수 있다. 따라서, 따라서 이러한 균일한 가열에 의해 증착 편차가 줄어들 수 있으며, 비 균일 가열시 발생할 수 있었던 연무가 방지될 수 있다.

또한, 상기 외함(100)과 메쉬(200)를 포함하는 본 발명의 일 실시예에 따른 고효율 담체는, 증착 물질(300)의 기화 방향이 특정 방향으로만 형성되므로, 이러한 특정 방향에 기재(500)를 위치시켜서 고가인 증착 물질(300)의 사용 효율을 현저하게 증가시킬 수 있다. 구체적으로 상기 증착 물질(300)의 기화 방향이 도 5와 같이 상기 외함(100)의 개구부(130) 방향으로 한정될 수 있는데, 이러한 개구부(130) 방향에 기재(500)를 위치시켜서 고가의 증착 물질(300)의 사용 효율을 현저하게 증가시킬 수 있다.

이하, 도 5 내지 도 8을 참조하여, 본 발명에 따른 열 증착용 고효율 담체가 판형의 금속 히터(400)에 설치되는 실시예들을 살펴본다.

이하에서 살필 실시예들은 증착 물질(300)의 사용 효율을 증가시키고 증착 제품의 품질을 향상시킬 수 있는데, 구체적으로, 가열에 의해 기화된 증착 물질(300)이 상기 담체의 개구부(130) 방향으로만 분사되고 가장 가까이 위치한 기재(500)로만 향하게 되므로, 증착 물질(300) 사용의 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 불순물 함유의 가능성을 낮출 수 있으며, 기재(500) 표면의 고른 증착도 가능하게 할 수 있다.

도 5 내지 도 8을 참조하면 구체적으로 살펴보면, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 증착 물질(300)을 기화시키기 위한 열을 외부의 히터(400)로부터 전달받을 수 있는데, 여기서 상기 히터(400)는 판형의 금속 히터(400)인 것이 바람직하며, 상기 담체는 도 6 내지 도 8과 같이 바닥면(110)이 상기 판형의 금속 히터(400)와 접촉된 상태로 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 상기 외함(100)이 상기 판형의 금속 히터(400)에 설치된 상태로 열 증착 공정에 이용될 수 있는데, 여기서 상기 열 증착 공정은 공전 또는 공자전할 수 있는 기재탑재용 지그를 포함하는 열 증착 장치에 의해 진행되는 것이 바람직하며, 상기 담체가 설치된 판형의 금속 히터(400)는 열 증착 장치 내부에서 기재(기재 탑재용 지그)의 공전축과 평행한 상태로 설치(이러한 상태로 설치되어야 도 6 내지 도 8과 같이, 상기 담체의 개구부(130) 방향 상에 기재(500)가 위치하게 되고, 상기 지그의 공전 또는 공자전 운동에 따라 증착이 이루지는 기재(500)도 순차적으로 교체됨)되는 것이 바람직하다.

한편, 위에서 살핀 실시예들에 따르면 상기 담체가 상기 판형의 금속 히터(400)의 전면에 설치되어야 하는데, 이러한 설치를 위해 상기 금속 히터(400) 또는 상기 외함(100)에 고정 수단이 추가로 형성될 수 있다. 도 6을 참조하여 살펴보면, 상기 외함(100)을 위치시키기 위한 지지대(430)가 상기 판형의 금속 히터(400)의 전면에 형성될 수 있으며, 이러한 지지대(430)를 통해 상기 담체가 고정될 수 있다. 또한, 도 7을 참조하여 살펴보면, 상기 판형의 금속 히터(400) 전면에 지지용 스프링(450)이 형성될 수 있으며, 이러한 지지용 스프링(450)에 의해 상기 판형의 금속 히터(400)와 상기 외함(100)이 밀착되고 고정될 수 있다. 그리고, 도 8을 참조하여 살펴보면, 상기 외함(100)에 상기 판형의 금속 히터(400)에 끼울 수 있는 고리 구조(150)가 형성될 수 있으며, 이러한 고리 구조(150)를 통해 상기 담체와 상기 금속히터(400)가 고정될 수 있다.

이하, 도 9를 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체를 살펴본다.

도 9를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는 상기 외함(100)의 바닥면(110)이 요철 형상으로 형성될 수 있는데, 이러한 요철 형상의 바닥면(110)을 통해 상기 증착 물질(300)의 유동을 추가적으로 억제할 수 있다. 따라서, 메쉬(200)와 요철 형상의 바닥면(110)이라는 두 가지 구성을 사용하여 상기 증착 물질(300)의 유동을 억제하므로, 상기 증착 물질(300)을 더욱 안정적으로 고정할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 위에서 살펴본 판형 히터(400)로 상기 외함(100)의 바닥면(110)을 가열하는 경우에, 상기 바닥면(110)이 보다 균일하게 가열되도록 할 수 있는데, 이에 따라 불균일한 가열에 의해 발생할 수 있는 증착 편차를 더욱 억제할 수 있다. 구체적으로, 상기 담체는 상기 바닥면(110)에 형성된 요철 형상을 통해 상기 판형 히터(400)와 보다 균일하게 접촉할 수 있는데, 이러한 균일한 접촉에 의해 상기 바닥면(110)이 균일하게 가열되도록 할 수 있다. (참고로, 바닥면을 평면으로 형성하는 경우에는, 상기 바닥면과 상기 판형 히터 면의 미세한 굴곡을 완전하게 일치시키기가 어려워서, 불균일한 가열이 발생할 위험이 있었다)

이상에서 살핀, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 열 증착용 담체 제작의 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 종래에 사용되던 다공성 담체의 원료인 분말, 섬유질은 재료의 단가가 높고, 취급이 어려우며, 생산성이 낮다는 문제점이 있었는데, 이러한 종래의 담체를 새로운 형태의 담체로 대체하여 생산성을 현저하게 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 가열에 의한 증착 편파를 효과적으로 줄일 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 담체는 외함과 메쉬(mesh, 200)의 구성을 통해, 가열시 담체 내의 온도 분포를 균일하게 유지할 수 있는데, 이에 따라 급격한 가열에 의한 증착 편파를 효과적으로 줄일 수 있으며, 온도 차로 인해 증착 물질(300)이 서로 결합하여 생기는 연무를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 증착 물질(300)의 사용 효율을 현저하게 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 증착 물질(300)의 기화 방향이 한 방향(개구부(130) 방향)으로만 형성되므로, 이러한 방향에 기재(500)가 위치(일례로, 판형의 금속 히터(400)에 담체를 고정 시키고, 이러한 판형의 금속 히터(400)를 기재(500)의 공전축에 평행하게 설치함으로써 달성될 수 있음) 하도록 하여 고가의 증착 물질(300)의 사용 효율을 현저하게 증가시킬 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 기화된 증착 물질(300)과 가열된 히터(400)의 접촉을 완전하게 차단할 수 있다. 따라서, 종래에, 기화된 증착 물질(300)의 일부와 가열된 히터(400)가 접촉함으로써 발생했던, 증착 물질(300)의 사용효율 감소 및 이물질 발생 위험성의 문제가 발생하지 않는다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 열 증착용 고효율 담체는, 담체에 담지되는 증착 물질(300)을 더욱 안정적으로 고정시킬 수 있다. 구체적으로, 요철 형상으로 형성되는 외함 바닥면(110)과 망 형상의 메쉬(200)를 통해, 증착 물질(300)의 유동을 더욱 억제할 수 있다.

위에서 설명된 본 발명의 실시 예는 예시의 목적을 위해 개시된 것이고, 본 발명에 대한 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 사상과 범위 안에서 다양한 수정, 변경, 부가가 가능할 것이며, 이러한 수정, 변경 및 부가는 본 특허청구범위에 속하는 것으로 보아야 할 것이다.

Claims

열 증착에 사용될 증착 물질을 수용할 수 있으며, 히터로부터 전달된 열을 상기 증착 물질에 전달하는 외함; 및

상기 외함 내부에 설치되어 상기 증착 물질의 유동을 방지하는 메쉬(mesh);

를 포함하는 열 증착용 고효율 담체.
제 1 항에 있어서,

상기 외함은 개구부을 포함하되,

상기 증착 물질이 상기 외함의 내부에서 상기 개구부가 형성된 방향으로 확산 되는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 1 항에 있어서,

상기 증착 물질은, 열 증착 공정 과정 중에 점성과 유동성을 가질 수 있는 물질인 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 1 항에 있어서,

상기 외함과 상기 메쉬는, 동일 재질의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 4 항에 있어서,

상기 메쉬는, 상기 증착 물질에 열을 전달하는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 2 항에 있어서,

상기 외함에 열을 전달하는 히터는 판형의 금속 히터이고,

상기 판형의 금속 히터가 상기 외함의 바닥면에 열을 전달하는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 6 항에 있어서,

상기 외함의 바닥면이 요철 형상인 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 6 항에 있어서,

상기 판형의 금속 히터가 기재의 공전축에 평행하게 설치되며,

상기 판형의 금속 히터 전면에 상기 외함이 설치되는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 8 항에 있어서,

상기 판형의 금속 히터 전면에 상기 외함을 고정하기 위한 지지대가 형성되는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 8 항에 있어서,

상기 판형의 금속 히터 전면에 지지용 스프링이 형성되는 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.
제 8 항에 있어서,

상기 외함에, 상기 판형의 금속 히터에 끼울 수 있는 고리 구조가 형성된 것을 특징으로 하는 열 증착용 고효율 담체.