CN104174613B - 光刻机工件台的清洁装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光刻机工件台的清洁装置及方法，该清洁装置包括：导杆，设置于工件台的旁侧；清洁滚筒机构，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；吸尘风刀，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；清洁液喷淋液刀，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及驱动机构，驱动所述吸尘风刀和/或清洁滚筒机构沿所述导轨移动。本发明采用吸尘风刀和清洁滚筒机构结合的清洁方式代替传统的人工擦拭，解决了擦拭空间狭小而造成的操作不便的问题，可以节省工艺停止时间，提高产能，同时降低人员操作可能引起的周围紧密设备元件损伤的风险。
Description
技术领域
本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种光刻机工件台的清洁装置及方法。
背景技术
在平板显示的TFT（薄膜晶体管，英文全称：Thin Film Transistor）面板制造制程中，TFT器件的每层图形目前基本上都是靠步进扫描光刻设备来完成的，在通常生产过程中这种机台的清洁频度一般为半个月一次或者一个月一次，但是，生产过程中工件台经常还有其它的突发污染，如：光阻污染，粉尘污染（包含机台内金属粉尘和外来异物等）以及破片污染的情况。如果不及时清理污染，会直接影响后续产品的质量，引起线宽异常或者缺陷的存在，进而造成产品的良率下降，所以制程人员还要经常对工件台进行清洁处理。
在清洁过程中，由于该设备的光学镜头与工件台之间距离不大，在这两者之间还有一些对准和调焦装置，所剩工件台上方的高度空间很小，一般平板显示TFT面板制造厂家的制程人员靠爬扶在工件台的支撑架上，身体弯曲在对准和调焦装置下方来实施人工清洁动作，费时费力，并且，如果擦拭人员不小心还有可能触碰到周围的精密元件，造成机器损坏。
发明内容
本发明提供一种光刻机工件台的清洁装置及方法，以解决人工擦拭光刻机工件台费时费力，操作不便且易造成机台损伤的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种光刻机工件台的清洁装置，包括：导杆，设置于工件台的旁侧；清洁滚筒机构，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；吸尘风刀，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；清洁液喷淋液刀，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及驱动机构，驱动所述吸尘风刀和/或清洁滚筒机构沿所述导轨移动。
作为优选，还包括清洁液供给装置，所述清洁液供给装置包括清洁液容器和导管，所述清洁液容器通过导管与所述清洁液喷淋液刀相连。
作为优选，所述清洁液供给装置还包括自动控制阀，所述自动控制阀设置于所述导管上。
作为优选，所述清洁液容器中采用乙醇类清洁液或/和丙酮类清洁液。
作为优选，所述清洁滚筒机构包括：三角支架，与所述导杆铰接；以及第一滚筒、第二滚筒及第三滚筒，分别设置于所述三角支架的三个顶角横杆并可绕杆转动。
作为优选，还包括第一马达和第二马达，所述第一马达驱动所述第二滚筒滚动，并带动第一滚筒转动；所述第二马达驱动所述第三滚筒转动。
作为优选，所述驱动机构包括第三马达，用以驱动所述清洁滚筒机构在所述导杆上移动。
作为优选，所述第一滚筒用于缠绕干净的无尘布，所述第二滚筒为海绵滚筒，所述第三滚筒用于缠绕使用后的无尘布，清洁工件台时，所述清洁滚筒机构沿所述导杆移动，所述清洁液喷淋液刀向所述第一滚筒喷洒清洁液，所述第二滚筒转动并带动第一滚筒转动以从第一滚筒处获取干净的无尘布，并由所述第二滚筒与所述工件台表面之间的作用力使所述干净的无尘布贴合所述工件台表面实施清洁，第三滚筒转动收集从第二滚筒处放出的使用后的无尘布。
作为优选，所述驱动机构还包括一风刀驱动马达，所述风刀驱动马达驱动所述吸尘风刀在导杆上移动。
作为优选，所述光刻机工件的清洁装置还包括一吸气气泵，所述吸气气泵与所述吸尘风刀相连。
作为优选，所述光刻机工件台的清洁装置由计算机的软体操控模块控制。
作为优选，所述第一滚筒的转速大于三角支架以及第二滚筒在工件台上的移动速度。
一种光刻机工件台的清洁方法，应用于所述的光刻机工件台的清洁装置中，包括：启动吸尘风刀清洁所述工件台；查看工件台是否已清洁干净，若是，光刻机继续工作；若否，清洁液喷淋液刀向清洁滚筒机构喷淋清洁液；吸尘风刀与清洁滚筒机构同时清洁工件台；再次确认工件台是否已清洁干净，若是，光刻机继续工作；若否，吸尘风刀与清洁滚机构筒重复清洁动作。
作为优选，通过产品确认或强光灯检查的方式检查所述工件台是否清洁干净。
作为优选，吸尘风刀与清洁滚筒同时清洁工件台步骤包括：所述吸尘风刀在工件台表面移动；所述清洁滚筒机构在工件台表面移动，同时所述清洁机构中的三个滚筒转动。
与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明中的吸尘风刀与清洁滚筒机构分别沿着所述导杆移动，对工件台进行清洁。本发明采用吸尘风刀和清洁滚筒机构结合的清洁方式代替传统的人工擦拭，解决了擦拭空间狭小而造成的操作不便的问题，可以节省工艺停止时间，提高产能，同时降低人员操作可能引起的周围紧密设备元件损伤风险。
附图说明
图1为本发明一具体实施方式中光刻机工件台的清洁装置的组装图；
图2为本发明一具体实施方式中光刻机工件台的清洁装置的俯视图；
图3为本发明一具体实施方式中安装有清洁装置的光刻机的结构示意图；
图4为本发明一具体实施方式中工件台的俯视图；
图5为本发明一具体实施方式中光刻机工件台的清洁方法的流程图。
图中：10-导杆、20-三角支架、30-吸尘风刀、40-清洁液喷淋液刀、51-第一滚筒、52-第二滚筒、53-第三滚筒、60-清洁液供给装置、61-清洁液容器、62-导管、63-自动控制阀、70-第三马达、80-风刀驱动马达、90-工件台、91-沟槽、92-气孔、93-预对准支架。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。需说明的是，本发明附图均采用简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
本发明的光刻机工件台的清洁装置，请参照图1～2，并结合图3～4，该清洁装置安装于光刻机工件台90的旁侧，其包括：
导杆10，设置于工件台90旁侧；
清洁滚筒机构，所述清洁滚筒机构与所述导杆10铰接，并沿着所述导杆10在所述工件台90表面移动；
吸尘风刀30，与所述导杆10铰接，沿着所述导杆10在所述工件台90表面移动；
清洁液喷淋液刀40，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及
驱动机构，驱动所述吸尘风刀和/或清洁滚筒机构沿所述导轨10移动。，由于工件台90用于接触基板的上表面为非平整结构，它由很多沟槽91构成，沟槽91中有很多气孔92，另外还有接受基板传入传出的预对准支架93，此预对准支架93可以升降，除用于接受传入和传出玻璃基板外，其它时间预对准支架93均回落并嵌入工件台90内，且预对准支架93上表面与沟槽91平面一致。因此，本发明的清洁装置优选安装于玻璃基板的送出方向，即，导杆10平行于工件台90上玻璃基板的进出方向放置，吸尘风刀30与清洁滚筒机构沿着所述导杆10移动，对工件台90进行清洁，可以防止玻璃基板进出时撞击的风险。本发明采用吸尘风刀30和清洁滚筒机构结合的清洁方式代替传统的人工擦拭，解决了擦拭空间狭小而造成的操作不便的问题，可以节省工艺停止时间，提高产能，同时降低人员操作可能引起的周围紧密设备元件损伤的风险。
需要说的是，所述吸尘风刀30与所述清洁滚筒机构可以安装在工件台90的同侧，也可以安装于所述工件台90的异侧。本实施例以吸尘风刀30与所述清洁滚筒机构安装于工件台90的同侧为例。
请继续参照图1，本发明的清洁装置还包括清洁液供给装置60，所述清洁液供给装置60包括清洁液容器61、导管62以及自动控制阀63，所述清洁液容器61通过导管62与所述清洁液喷淋液刀40相连，所述自动控制阀63设置于所述导管62上。进一步的，所述清洁液容器61中采用乙醇类清洁液、丙酮类清洁液或乙醇类清洁液与丙酮类清洁液的混合液。需要说明的是，乙醇类清洁液为含有乙醇成分的清洁液，同理，所述丙酮类清洁液为含有丙酮成分的清洁液，具体清洁液的种类可由所述自动控制阀63控制。
请继续参照图1～2，作为优选，所述清洁滚筒机构包括：与所述导杆10铰接的三角支架20；以及分别设置于所述三角支架20的三个顶角横杆上的第一滚筒51、第二滚筒52和第三滚筒53，并且所述第一滚筒51、第二滚筒52和第三滚筒53能够绕横杆转动。
请继续参照图1和图2，所述清洁滚筒机构还包括第一马达（未图示）和第二马达（未图示），所述第一马达驱动所述第二滚筒52滚动，并带动第一滚筒51转动；所述第二马达驱动所述第三滚筒53转动。进一步的，所述第一滚筒51用于缠绕干净的无尘布，所述第二滚筒52为海绵滚筒，所述第三滚筒53用于缠绕使用后的无尘布。清洁工件台90时，所述清洁滚筒机构沿所述导杆10移动，所述清洁液喷淋液刀40向所述第一滚筒51喷洒清洁液，所述第二滚筒52转动并带动第一滚筒51转动以从第一滚筒51处获取干净的无尘布，并由所述第二滚筒52与所述工件台90表面之间的作用力使所述干净的无尘布贴合所述工件台90表面实施清洁，第三滚筒53转动收集从第二滚筒52处放出的使用后的无尘布。此外，所述海绵滚筒采用慢回弹海绵，由于慢回弹海绵的弹性比较低小，且该材料的分子在受到外力压迫时会发生“流动”而移位以贴合施压物（本实施例为工件台90）的接触面轮廓，从而将压力均匀分散至整个接触面，确保接触面的清洁效果，而当压力消除时会慢慢恢复到原来的形状，恢复时间为3-5秒。
请参照图1～2，作为优选，所述驱动装置还包括第三马达70和风刀驱动马达80，其中，所述第三马达70驱动所述清洁滚筒机构沿所述导杆10移动，所述风刀驱动马达80驱动所述吸尘风刀30在导杆10上移动。进一步的，所述光刻机工件台的清洁装置还包括一吸气气泵（未图示），所述吸气气泵与所述吸尘风刀30相连。进行清洁工作时，所述风刀驱动马达80带动吸尘风刀30沿着导杆10移动一个来回，将工件台90上的非粘着性异物带走，第三马达70同样带动三角支架20以及第一、第二、第三滚筒51、52、53沿着导杆10移动，从而将工件台90上的黏着物清除干净。
需要说明的是，本实施例中，所述清洁装置由计算机的软体操控模块控制。当机台按照工件台90的清洁频度或者工件台90有突发异常如光阻污染、破片、外来异物等需要清洁时，机台操作人员可启动所述软体操控模块来实现自动清洁。此外，在软体操控模块中可设置无尘布的极限使用长度，当所述无尘布到达临界使用极限时，可自动报警，对整个清洁装置的滚筒进行手动更换。当然，本发明的清洁装置不仅可用于光刻机的工件台90的清洁，同样也可以用于其他载台的清洁。
请参照图5，并结合图1～4，本发明还提供一种光刻机工件台90的清洁方法，应用于上述的清洁装置中，其步骤包括：
判断工件台90是否需要清洗，也就是判断工件台90是否达到清洁频度，或者说工件台90是否有突发异常（光阻污染、破片、外来异物等）需要清洁，若否，即上述情况均未发生，工件台90无需清洗，则光刻机正常工作；
若工件台90需要清洗，则启动吸尘风刀30清洁所述工件台90，即，操作人员开启所述软体操控模块，由风刀驱动马达80带动吸尘风刀30沿着导杆10移动一个来回；
接着，查看工件台90是否已清洁干净，较佳的，可以通过产品确认或人工强光灯检查的方式对工件台90的清洁效果进行确认；
若工件台90已清洁干净，则光刻机继续工作；
若工件台90依然存有灰尘颗粒，操作人员再启动软体操控模块，清洁液喷淋液刀40向第一滚筒51喷淋清洁液，在此之前，需先将清洁滚筒机构上的三个滚筒空转适当时间，使裸露在外的无尘布卷入第三滚筒53，再喷淋清洁液，清洁液的类型可以通过自动控制阀63选择，换句话说，在开启清洁液喷淋液刀40之前，需先打开第一马达和第二马达；
接着，吸尘风刀30与清洁滚筒机构同时清洁工件台90；具体地，风刀驱动马达80带动吸尘风刀30在工件台90表面移动；第三马达70带动清洁滚筒机构在工件台90表面移动，第一马达带动第二滚筒52转动，第二马达带动第三滚筒53转动，此时，海绵滚筒以适当的压力压着湿润的无尘布滚动，工件台90表面的沟槽91、气孔92以及预对准支架93都将被清洁；较佳的，所述第一滚筒51的转速大于三角支架20以及清洁滚筒在工件台90上的移动速度，这样，当清洁装置向前移动到一个位置，第二滚筒52在第一滚筒51的带动下可以在该位置上多次转动来提高清洁效果；清洁完成后，吸尘风刀30和三角支架20自动回到初始位置处；
然后，同样通过产品确认或人工强光灯检查的方式确认工件台90是否已清洁干净，若清洁完成，光刻机继续工作；
若未清洁完成，则重复上述的清洁动作，即吸尘风刀30与清洁滚筒机构再次对工件台90进行清洁，直至所述工件台90被清洁干净。
综上所述，本发明提供一种光刻机工件台的清洁装置及方法，该清洁装置包括：导杆10，设置于工件台90的旁侧；清洁滚筒机构，与所述导杆10铰接，沿着所述导杆10在所述工件台90表面移动；吸尘风刀30，与所述导杆10铰接，沿着所述导杆10在所述工件台90表面移动；清洁液喷淋液刀40，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及驱动机构，驱动所述吸尘风刀30和/或清洁滚筒机构沿所述导轨10移动。本发明的光刻机工件台90的清洁装置可以在目前人工擦拭的较落后的基础上，实现自动化，大大降低在狭小空间里因人工操作引起的周围精密设备元件损坏的风险；几乎不需要花费额外的工艺停止时间，明显地提高产能；并且可以由原来在发现产品异常后再处理的后清洁方式，变更为适当地提高自动清洁频度的方式，进而可以减少工件台90污染引起产品的异常，进一步提高良品率。
显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包括这些改动和变型在内。
Claims (13)
1.一种光刻机工件台的清洁装置，包括：
导杆，设置于工件台的旁侧；
清洁滚筒机构，与所述导杆铰接，并沿着所述导杆在所述工件台表面移动；
吸尘风刀，与所述导杆铰接，沿着所述导杆在所述工件台表面移动；
清洁液喷淋液刀，置于清洁滚筒机构侧，用于提供清洁液给清洁滚筒机构；以及
驱动机构，驱动所述吸尘风刀和/或清洁滚筒机构沿所述导杆移动；
所述清洁滚筒机构包括：三角支架，与所述导杆铰接；
第一滚筒、第二滚筒及第三滚筒，分别设置于所述三角支架的三个顶角横杆并绕横杆转动；
以及
第一马达和第二马达，所述第一马达驱动所述第二滚筒滚动，并带动第一滚筒转动；所述第二马达驱动所述第三滚筒转动。
2.如权利要求1所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，还包括清洁液供给装置，所述清洁液供给装置包括清洁液容器和导管，所述清洁液容器通过导管与所述清洁液喷淋液刀相连。
3.如权利要求2所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述清洁液供给装置还包括自动控制阀，所述自动控制阀设置于所述导管上。
4.如权利要求2所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述清洁液容器中采用乙醇类清洁液或/和丙酮类清洁液。
5.如权利要求1所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述驱动机构包括第三马达，所述第三马达驱动所述清洁滚筒机构在所述导杆上移动。
6.如权利要求1～5任一项所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述第一滚筒用于缠绕干净的无尘布，所述第二滚筒为海绵滚筒，所述第三滚筒用于缠绕使用后的无尘布，清洁工件台时，所述清洁滚筒机构沿所述导杆移动，所述清洁液喷淋液刀向所述第一滚筒喷洒清洁液，所述第二滚筒转动并带动第一滚筒转动以从第一滚筒处获取干净的无尘布，并由所述第二滚筒与所述工件台表面之间的作用力使所述干净的无尘布贴合所述工件台表面实施清洁，第三滚筒转动收集从第二滚筒处放出的使用后的无尘布。
7.如权利要求5所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述驱动机构还包括一风刀驱动马达，所述风刀驱动马达驱动所述吸尘风刀在导杆上移动。
8.如权利要求1所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述光刻机工件台的清洁装置还包括一吸气气泵，所述吸气气泵与所述吸尘风刀相连。
9.如权利要求1所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述光刻机工件台的清洁装置由计算机的软体操控模块控制。
10.如权利要求1所述的光刻机工件台的清洁装置，其特征在于，所述第一滚筒的转速大于三角支架以及第二滚筒在工件台上的移动速度。
11.一种光刻机工件台的清洁方法，应用于如权利要求1～10中任一项所述的光刻机工件台的清洁装置中，其特征在于，包括：
启动吸尘风刀清洁所述工件台；
查看工件台是否已清洁干净，若是，光刻机继续工作；
若否，清洁液喷淋液刀向清洁滚筒机构喷淋清洁液；
吸尘风刀与清洁滚筒机构同时清洁工件台；
再次确认工件台是否已清洁干净，若是，光刻机继续工作；
若否，吸尘风刀与清洁滚筒机构重复清洁动作。
12.如权利要求11所述的光刻机工件台的清洁方法，其特征在于，通过产品确认或强光灯检查的方式检查所述工件台是否清洁干净。
13.如权利要求12所述的光刻机工件台的清洁方法，其特征在于，吸尘风刀与清洁滚筒机构同时清洁工件台步骤包括：所述吸尘风刀在工件台表面移动；所述清洁滚筒机构在工件台表面移动，同时所述清洁滚筒机构中的第一、第二以及第三滚筒转动。
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