CN104148205A - 真空喷镀装置用原料气体喷嘴 - Google Patents

Abstract

本发明涉及真空喷镀装置用原料气体喷嘴。根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：连接管，一侧与用于供给原料气体的原料气体供给部相连接；第一气体移动管，外周面形成有连通孔以及第一喷射孔，所述连通孔与连接管的一端相连接，以使与连接管连通，所述第一喷射孔用于喷射通过连接管流入的原料气体；第二气体移动管，内部收容有第一气体移动管，外周面形成有第一插入孔以及第二喷射孔，所述第一插入孔使连接管的预定部分插入，以使连接管的一端与第一气体移动管的连通孔相连接，所述第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体。

Description

真空喷镀装置用原料气体喷嘴

技术领域

本发明涉及一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴，更详细地，涉及一种向气体移动管的中央流入原料气体，随着离气体移动管的两侧越近，用于喷射原料气体的喷射孔的数量越多，以使能够向基板的一面喷射均匀量的原料气体的真空喷镀装置用原料气体喷嘴。

背景技术

一般而言，真空喷镀装置是一种利用对原料物质实施蒸发而获得的原料气体，向基板喷镀薄膜的装置。更详细地，真空喷镀装置是一种在真空状态下对原料物质实施蒸发，并通过喷嘴来向基板喷射原料物质经蒸发而生成的原料气体，以此来向基板喷镀薄膜的装置。

以往的真空喷镀装置包括：第一气体移动管，使所述原料气体供给并移动，且外周面形成有用于喷射所述原料气体的喷射孔；第二气体移动管，用于收容所述第一气体移动管，向基板的一面喷射从所述第一气体移动管喷射的所述原料气体。所述第一气体移动管的一侧与原料气体供给部相连接，接收由所述原料气体供给部供给的原料气体。在此情况下，所述第一气体移动管的所述喷射孔的数量密度以与所述原料气体供给部相连接的所述第一气体移动管的一侧为中心，随着与所述第一气体移动管的一侧的距离增加而增加或者所述喷射孔密集形成在所述第一气体移动管的中央。随之，流入所述第一气体移动管的所述原料气体通过所述喷射孔来流入到第二气体移动管，并向所述基板的一面喷射。

但是，当所述喷射孔以其数量密度随着与所述第一气体移动管的一侧的距离增加而增加的方式形成时，从与所述原料气体供给部相连接的所述第一气体移动管的一侧喷射的原料气体的量多于未与所述原料气体供给部相连接的所述第一气体移动管的另一侧喷射的原料气体的量。并且，当所述喷射孔密集形成在所述第一气体移动管的中央时，从所述第一气体移动管的中央喷射的原料气体的量多于从所述第一气体移动管的两侧喷射的量。即，由于从第一气体移动管喷射的原料气体的量不均匀，因此存在所述喷嘴无法向基板的一面喷射均匀量的原料气体的问题。

发明内容

为了解决所述技术问题，本发明的目的在于，提供一种能够使可通过喷嘴来喷射的原料气体均匀地分布在基板的真空喷镀装置用原料气体喷嘴。

本发明的目的不限于所述提及内容，本发明所属技术领域的普通技术人员可从如下记载内容中明确了解未被提及的其他目的。

为了解决所述问题，根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：连接管，一侧与用于供给原料气体的原料气体供给部相连接；第一气体移动管，外周面形成有连接孔以及第一喷射孔，所述连接孔与所述连接管的一端相连接，以使与所述连接管连通，所述第一喷射孔用于喷射通过连接管而流入的所述原料气体；第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有第一插入孔以及第二喷射孔，所述第一插入孔供所述连接管的预定部分插入，以使所述连接管的一端与所述第一气体移动管的所述连通孔相连接，所述第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体。

并且，所述连接管的外周面的预定位置可连接有辅料供给部。

并且，所述连通孔可形成在所述第一气体移动管的长度方向的外周面的中央。

并且，多个所述第一喷射孔可形成在所述第一气体移动管的外周面；多个所述第一喷射孔能够以多个所述第一喷射孔的密度能够以所述连通孔为中心，随着与所述连通孔的距离增加而增加的方式形成在第一气体移动管的外周面。

并且，还能够包括：第一加热器，收容在所述第一气体移动管的内部；温度传感器，以与所述第一加热器相隔预定间距的方式收容在所述第一气体移动管的内部。

并且，所述第一喷射孔与第二喷射孔能够以所述第一加热器为中心相对配置。

并且，所述第一气体移动管及所述第二气体移动管可由石英(quartz)形成。

并且，还能够包括：第三气体移动管，内部收容有所述第二气体移动管，外周面形成有第二插入孔以及第三喷射孔，所述第二插入孔供所述连接管选择性地插入，所述第三喷射孔用于喷射从所述第二气体移动管流入的所述原料气体。

并且，所述连通孔与所述第一喷射孔能够以所述第一加热器为中心相对配置；所述第一喷射孔与所述第二喷射孔能够以所述第一加热器为中心相对配置；所述第二喷射孔与所述第三喷射孔能够以所述第一加热器为中心相对配置。

并且，所述第一插入孔可形成在所述第二气体移动管的长度方向的外周面的中央。

并且，多个所述第二喷射孔可形成在所述第二气体移动管的外周面，多个所述第二喷射孔能够以多个所述第二喷射孔的密度能够以所述第一插入孔为中心，随着与所述第一插入孔的距离增加而增加的方式形成在第二气体移动管的外周面。

并且，还能够包括：第二加热器，配置在所述第三气体移动管的外周面的预定位置。

并且，所述第一气体移动管、所述第二气体移动管以及所述第三气体移动管由石英(quartz)形成。

根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，本发明可通过以其数量密度随着与连通孔的中心的距离增加而增加的方式形成的多个第一喷射孔来喷射通过形成在第一气体移动管的外周面的中央的连通孔来供给的气体原料，由此可沿着第一气体移动管的长度方向来排出均匀量的原料气体。即，根据本发明的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，随着第一气体移动管沿着长度方向排出均匀量的原料气体，可向配置在第二气体移动管的下部的基板喷射均匀量的原料气体。

并且，借助于根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴来向基板喷射均匀量的原料气体，可使形成在基板的薄膜具有规定的厚度。

本发明的效果不限于所述提及内容，本发明所属技术领域的普通技术人员可从如下记载内容中明确了解未被提及的其他效果。

附图说明

图1是简要表示根据本发明的一实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴的剖面的图。

图2是以图1所示的Ⅱ-Ⅱ线为基准，简要表示根据本发明的一实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴的剖面的图。

图3是表示图1所示的第一气体移动管的表面的平面图。

图4是简要表示根据本发明的另一个实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴的剖面的剖视图。

图5是以图4所示的V-V线为基准，简要表示根据本发明的另一个实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴的剖面的剖视图。

图6是表示图4所示的第二气体移动管的表面的平面图。

符号说明：

100、200:真空喷镀装置用原料气体喷嘴    110、210:连接管

120、220:第一气体移动管                130、230:第二气体移动管

140、240:第一加热器                    150、250:温度传感器

160、260:喷射罩                        270:第三气体移动管

280:第二加热器

具体实施方式

以下参照附图详细说明的实施例会让本发明的目的和效果以及实现这些目的和效果的技术结构更加明确。在对本发明进行说明时，如认为对公知的功能或结构的具体说明可能对本发明的要旨产生不必要的混淆时，将省略相关的具体说明。而且，后述的术语均为考虑到本发明的结构、作用及功能等来下定义的，根据使用者、应用者的意图或惯例等，其含义可能有所不同。

但是本发明并不限于如下公开的实施例，能够以不同的多种形态来实现。本实施例仅仅是为了使本发明的公开完整，给本发明所属技术领域的普通技术人员完整地告诉发明的范围而提供的，本发明应由权利要求书所记载的权利要求的范围来下定义。因此，应以本说明书全文内容为基础来下定义。

在说明书全文中，当涉及某个部分“包括”或“具有”某个构成要素时，除非有特别相反的记载，将意味着还可以包括其他构成要素，而不是将其他构成要素排除在外。

以下，将参照附图对根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴进行详细说明。

图1是简要表示根据本发明的一实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100的剖面的图。图2是以图1所示的Ⅱ-Ⅱ线为中心，简要表示根据本发明的一实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100的剖面的图。

参照图1及图2，根据本发明的实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100可包括：连接管110，一侧与用于供给原料气体的原料气体供给部(未图示)相连接；第一气体移动管120，外周面形成有连通孔121以及第一喷射孔122，所述连通孔121与所述连接管110的一端相连接，以使与所述连接管110连通，所述第一喷射孔122用于喷射通过连接管110而流入的所述原料气体；以及第二气体移动管130，内部收容有所述第一气体移动管120，外周面形成有第一插入孔131以及第二喷射孔132，所述第一插入孔131供所述连接管110的预定部分插入，以使所述连接管110的一端与所述第一气体移动管120的所述连通孔121相连接，所述第二喷射孔132用于喷射从所述第一气体移动管120流入的所述原料气体。

连接管110能够以柱子形状形成。例如，连接管110能够以四角柱或圆柱形状形成，但不限于所述例。以下，为了便于进行说明，将以连接管110以圆柱形状形成的情况为例进行说明。

连接管110能够以圆柱形状形成。连接管110能够以两侧开口的方式形成。连接管110的一侧开口可与所述原料气体供给部相连接。因此，连接管110可使由所述原料气体供给部供给的所述原料气体向内部流入，流入到连接管110的内部的所述原料气体可通过连接管110的另一侧开口向连接管110的外部排出。

连接管110的外周面的预定位置可连接有用于供给辅料气体的辅料供给部(未图示)。连接管110可使由所述辅料供给部供给的辅料气体向内部流入。即，连接管110的内部可供所述原料气体及所述辅料气体流入并混合。以下，为了便于进行说明，将以连接管110的内部仅流入所述原料气体的情况为例进行说明。

第一气体移动管120能够以柱子形状形成。例如，第一气体移动管120能够以四角柱或圆柱形状形成，但不限于所述例。以下，为了便于进行说明，将以第一气体移动管120以圆柱形状形成的情况为例进行说明。

第一气体移动管120能够以圆柱形状形成。第一气体移动管120可在长度方向的外周面的中央形成连通孔121。连通孔121可与连接管110的所述另一侧开口相连通。在此情况下，连接管110可选择性地与第一气体移动管120相结合，以便与连通孔121相连通。例如，第一气体移动管120可设置有单独的连接口123，以便从连通孔121延伸，连接管110可选择性地与连接口123相结合，以此来与连通孔121相连通，但不限于所述例。并且，本发明为了使连接管110和连通孔121相连通，可包括能够将连接管110选择性地与第一气体移动管120相结合的所有构成及结构。

随着连接管110和连通孔121相连通，从连接管110排出的所述原料气体可流入到第一气体移动管120的内部。在此情况下，第一气体移动管120可由热稳定性优秀的石英(quartz)形成。因此，可防止第一气体移动管120因高温的所述原料气体而导致形状变形。

图3是表示图1所示的第一气体移动管120的表面的俯视图。

参照图3，第一气体移动管120的外周面可形成有第一喷射孔122。第一喷射孔122能够以与连通孔121相邻接的方式形成在第一气体移动管120的外周面。在此情况下，多个第一喷射孔122可形成在第一气体移动管120的外周面。并且，多个第一喷射孔122能够以其密度以连通孔121为中心，随着与连通孔121的距离增加而增加的方式形成在第一气体移动管120的外周面。即，第一喷射孔122能够以三角形形态配置在第一气体移动管120的外周面。第一气体移动管120可通过多个第一喷射孔122，沿着第一气体移动管120的长度方向排出均匀量的原料气体。

更详细地，由于连通孔121形成在第一气体移动管120的外周面的中央，因此向第一气体移动管120的内部流入的所述原料气体的压力可能在第一气体移动管120的中央呈最高。在此情况下，可以使第一气体移动管120的中央形成的第一喷射孔122的数量少于在第一气体移动管120的两侧形成的第一喷射孔122的数量。即，虽然所述原料气体以最高的压力流入第一气体移动管120的中央，但由于所形成的第一喷射孔122的数量少，因此第一气体移动管120在其中央可排出少量的所述原料气体。相反，所述原料气体能够以相比第一气体移动管120的中央相对低的压力流入第一气体移动管120的两侧。但是由于第一气体移动管120的两侧形成有很多的第一喷射孔122，因此第一气体移动管120在其两侧可排出多量的所述原料气体。在此情况下，由于所述原料气体流入第一气体移动管120的中央的压力大于流入第一气体移动管120的两侧的压力，因此通过配置在第一气体移动管120的中央的第一喷射孔122来排出的所述原料气体的量和通过配置在第一气体移动管120的两侧的第一喷射孔122来排出的所述原料气体的量能够呈相近值。随之，第一气体移动管120可沿着长度方向排出均匀量的原料气体。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴100还能够包括第一加热器140。第一加热器140可收容在第一气体移动管120的内部。第一加热器140可与第一气体移动管120的内周面相隔预定间距，并收容在第一气体移动管120的内部。第一加热器140可收容在第一气体移动管120的内部，并向流入到第一气体移动管120的内部的所述原料气体传递预定的热。在此情况下，第一加热器140在其内部可包括用于产生预定的热的热线，但不限于所述例。并且，本发明在第一加热器140中可包括能够产生热的所有部件及元件等。

即，第一加热器140能够补偿因所述原料气体流入到第一气体移动管120的内部，并向第一气体移动管120的第一喷射孔122喷射的时间内流动时所产生的热损失而引起的能耗。随之，流入到第一气体移动管120的内部的所述原料气体从第一加热器140接收预定的热，以保持规定的温度，保持能量状态不变，因此可保持稳定的状态。

第一加热器140沿着第一气体移动管120的长度方向，划分为预定数量的区域，可收容在第一气体移动管120的内部，第一加热器140的划分的各个区域可单独控制温度。因此，本发明的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100能够易于补偿因流入第一气体移动管120的所述原料气体的热损失而引起的能耗。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴100还能够包括温度传感器150。温度传感器150与第一加热器140相隔预定间距，可收容在第一气体移动管120的内部。温度传感器150可测量第一气体移动管120的内部温度。并且，温度传感器150可测量第一加热器140的划分的各个区域分别配置的第一气体移动管120的内部温度。

温度传感器150可通过测量第一气体移动管120的内部温度来生成温度数据。用户从温度传感器150接收到所述温度数据，来确认被第一加热器140划分的各个区域所配置的第一气体移动管120的内部温度，以此来控制第一加热器140的划分的各个区域。因此，根据本发明的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100能够更为有效地补偿因流入到第一气体移动管120的内部的所述原料气体的热损失而引起的能耗。

第二气体移动管130能够以柱子形状形成。例如，第二气体移动管130能够以四角柱或圆柱形状形成，但不限于所述例。以下，为了便于进行说明，将以第二气体移动管130以圆柱形状形成的情况为例进行说明。

第二气体移动管130能够以圆柱形状形成。第二气体移动管130能够以内部呈中空的形状形成。第二气体移动管130的横截面直径可大于第一气体移动管120的横截面直径。即，第一气体移动管120可收容在第二气体移动管130的内部，从第一气体移动管120喷射的所述原料气体可流入到第一气体移动管120的外周面和第二气体移动管130的内周面之间的空间。在此情况下，第二气体移动管130可由热稳定性优秀的石英(quartz)形成。因此，可防止第二气体移动管130因从第一气体移动管120流入的所述原料气体的温度而导致形状变形。

第二气体移动管130在其外周面可形成有第一插入孔131。第一插入孔131能够以贯通第二气体移动管130的外周面的方式形成。连接管110的预定部分可通过第一插入孔131来插入到第二气体移动管130的内部。插入到第二气体移动管130的内部的连接管110的预定部分可与第一气体移动管120的连通孔121相连接。

第二气体移动管130在其外周面可形成有第二喷射孔132。在此情况下，第二喷射孔132和第一喷射孔122能够以第一加热器140为中心相对配置的方式形成在第二气体移动管130及第一气体移动管120的外周面。并且，第二喷射孔132与第一插入孔131能够以第一加热器140为中心相对配置的方式形成在第二气体移动管130的外周面。因此，通过第一喷射孔122来喷射的所述原料气体的喷射方向和通过第二喷射孔132来喷射的所述原料气体的喷射方向呈相反。并且，随着通过第一喷射孔122和第二喷射孔132来喷射的所述原料气体的喷射方向呈相反，由此所述原料气体在真空喷镀装置用原料气体喷嘴100内移动的移动路径可成最大，从而可提高从真空喷镀装置用原料气体喷嘴100喷射的所述原料气体的均匀性。

第二喷射孔132能够以沿着长度方向延伸的方式形成在第二气体移动管130的外周面。或者，多个第二喷射孔132能够以沿着长度方向相隔预定距离的方式形成在第二气体移动管130的外周面，但不限于所述例。第二气体移动管130可通过在其外周面形成的第二喷射孔132来向配置在第二气体移动管130的下部的基板喷射从第一气体移动管120流入的所述原料气体。在此情况下，如上所述，第一气体移动管120可沿着长度方向而向第二气体移动管130的内部喷射均匀量的所述原料气体。因此，第二气体移动管130可通过第二喷射孔132，沿着长度方向来喷射均匀量的所述原料气体。一方面，第二气体移动管130沿着长度方向喷射均匀量的所述原料气体，使得根据本发明的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100可向配置在第二气体移动管130的下部的所述基板的一面喷射均匀量的所述原料气体。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴100还包括喷射罩160。喷射罩160可形成在第二气体移动管130的外周面。喷射罩160可在第二气体移动管130的外周面，以呈预定角度张开的方式形成。喷射罩160可引导从第二喷射孔132喷射的所述原料气体的扩散方向。因此，真空喷镀装置用原料气体喷嘴100能够有效地向所述基板喷射所述原料气体。

图4是简要表示根据本发明的另一个实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴200的剖面的剖视图。图5是以图4所示的V-V线为中心，简要表示根据本发明的另一个实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴200的剖面的剖视图。

以下，对于与根据本发明的一实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴100相同的部分将省略说明，下面将主要以两者的不同点为重点，对根据本发明的另一个实施例的真空喷镀装置用原料气体喷嘴200进行说明。

参照图4及图5，连接管210能够以两侧开口的圆柱形状形成。连接管210的一侧开口可连接有用于供给原料气体的原料气体供给部，可供从所述原料气体供给部供给的原料气体流入到连接管210的内部。连接管210可通过另一侧开口来排出所述原料气体。在此情况下，连接管210的外周面的预定位置可连接有用于供给辅料气体的所述辅料供给部，可供所述辅料气体流入到连接管210的内部。连接管210的内部可供所述原料气体及所述辅料气体流入并混合。随之，连接管210可通过所述另一侧开口来排出所述原料气体与所述辅料气体相混合的混合气体。以下为了便于进行说明，以连接管210的内部仅流入所述原料气体的情况为例进行说明。

第一气体移动管220在长度方向的外周面的中央可形成有连通孔221。连通孔221可与连接管210的所述另一侧开口相连通。从连接管210的所述另一侧开口排出的所述原料气体可通过连通孔221来流入到第一气体移动管220的内部。

第一气体移动管220的外周面可形成有第一喷射孔222。在此情况下，第一喷射孔222和连通孔221能够以下述的第一加热器240为中心相对配置的方式形成在第一气体移动管220的外周面。第一气体移动管220可通过第一喷射孔222来喷射流入到第一气体移动管220的内部的所述原料气体。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴200还可以包括第一加热器240，所述第一加热器240收容在第一气体移动管220的内部，可向流入到第一气体移动管220的内部的所述原料气体传递预定的热。并且，真空喷镀装置用原料气体喷嘴200还可以包括温度传感器250，所述温度传感器250以与第一加热器240相隔预定间距的方式收容在第一气体移动管220的内部，可通过测量配置有第一加热器240的第一气体移动管220内部空间的温度来生成温度数据。

第二气体移动管230能够以圆柱形状形成，其内部可收容第一气体移动管220。第二气体移动管230在其内部收容第一气体移动管220，以使从第一气体移动管220喷射的所述原料气体能够流入到第一气体移动管220的外周面和第二气体移动管230的内周面之间的空间。

第二气体移动管230的外周面可形成有第一插入孔231，所述第一插入孔231供连接管210的预定部分插入，以使连接管210的一端与第一气体移动管220的连通孔221相连接。

第二气体移动管230的外周面可形成有第二喷射孔232。在此情况下，第二喷射孔232和第一喷射孔222能够以第一加热器240为中心相对配置的方式形成在第二气体移动管230和第一气体移动管220的外周面。因此，所述原料气体在真空喷镀装置用原料气体喷嘴200内移动的路径成最大。

图6是表示图4所示的第二气体移动管230的表面的俯视图。

参照图6，第二喷射孔232能够以与第一插入孔231相邻接的方式形成在第二气体移动管230的外周面。在此情况下，多个第二喷射孔232可形成在第二气体移动管230的外周面。并且，多个第二喷射孔232能够以其密度以第一插入孔231为中心，随着与第一插入孔231的距离增加而增加的方式形成在第二气体移动管230的外周面。即，多个第二喷射孔232能够以三角形形态配置在第二气体移动管230的外周面。第二气体移动管230可通过多个第二喷射孔232，沿着第二气体移动管230的长度方向排出均匀量的原料气体。

更详细地，流入到第二气体移动管230的内部的所述原料气体的压力可能在第二气体移动管230的中央呈最高。在此情况下，可以使第二气体移动管230的中央形成的第二喷射孔232的数量少于在第二气体移动管230的两侧形成的第二喷射孔232的数量。即，虽然所述原料气体以最高的压力流入第二气体移动管230的中央，但由于所形成的第二喷射孔232的数量少，因此第二气体移动管230在其中央可排出少量的所述原料气体。相反，所述原料气体能够以相比第二气体移动管230的中央相对低的压力流入第二气体移动管230的两侧，但是由于第二气体移动管230的两侧形成有很多的第二喷射孔232，因此第二气体移动管230在其两侧可排出多量的所述原料气体。在此情况下，由于所述原料气体流入第二气体移动管230的中央的压力大于流入第二气体移动管230的两侧的压力，因此通过配置在第二气体移动管230的中央的第二喷射孔232来排出的所述原料气体的量和通过配置在第二气体移动管230的两侧的第二喷射孔232来排出的所述原料气体的量能够呈相近值。随之，第二气体移动管230可沿着长度方向排出均匀量的原料气体。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴200还能够包括第三气体移动管270。第三气体移动管270能够以圆柱形状形成。例如，第三气体移动管270能够以四角柱或圆柱形状形成。以下，为了便于进行说明，将以第三气体移动管270以圆柱形状形成的情况为例进行说明。

第三气体移动管270能够以圆柱形状形成。第三气体移动管270的横截面直径可大于第二气体移动管230的横截面直径。即，第二气体移动管230可收容在第三气体移动管270的内部，从第二气体移动管230喷射的所述原料气体可流入到第二气体移动管230的外周面与第三气体移动管270的内周面之间的空间。在此情况下，第三气体移动管270可由热稳定性优秀的石英(quartz)形成。因此，可防止第三气体移动管270因从第二气体移动管230流入的所述原料气体的温度而导致形状变形。

第三气体移动管270在外周面可形成有第二插入孔271。连接管210的预定部分可通过第二插入孔271来插入到第三气体移动管270的内部。插入到第三气体移动管270的内部的连接管210的预定部分可插入到第二气体移动管230的内部。

第三气体移动管270在外周面可形成有第三喷射孔272。第三喷射孔272能够以沿着第三气体移动管270的长度方向延伸的方式形成在第三气体移动管270的外周面。或者，多个第三喷射孔272能够以沿着第三气体移动管270的长度方向相隔预定距离的方式形成在第三气体移动管270的外周面，但不限于所述例。以下，为了便于进行说明，将以多个第三喷射孔272以沿着长度方向相隔预定间距的方式形成在第三气体移动管270的情况为例进行说明。

第三气体移动管270的外周面可形成有多个第三喷射孔272。第三气体移动管270可通过多个第三喷射孔272来向配置在第三气体移动管270的下部的基板喷射所述原料气体。在此情况下，如上所述，第二气体移动管230可向第三气体移动管270的内部喷射均匀量的所述原料气体。因此，第三气体移动管270可通过第三喷射孔272，沿着长度方向而向配置在第三气体移动管270的下部的所述基板喷射均匀量的所述原料气体。

第三喷射孔272和第二喷射孔232能够以第一加热器240为中心相对配置的方式形成在第三气体移动管270和第二气体移动管230的外周面。因此，通过第二喷射孔232来喷射的所述原料气体的喷射方向和通过第三喷射孔272来喷射的所述原料气体的喷射方向呈相反。即，可能会增加所述原料气体在真空喷镀装置用原料气体喷嘴200内移动的移动路径，在本发明中，所述原料气体在真空喷镀装置用原料气体喷嘴200内移动的移动路径增加，因此可提高从真空喷镀装置用原料气体喷嘴200喷射的所述原料气体的均匀性。并且，通过根据本发明的真空喷镀装置用原料气体喷嘴200来向所述基板喷射均匀性得到提高的所述原料气体，由此可提高所述原料气体喷射在基板而形成的薄膜的质量。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴200还包括喷射罩260。喷射罩260可形成在第三气体移动管270的外周面。喷射罩260可在第三气体移动管270的外周面，以呈预定角度张开的方式形成。喷射罩260可引导从第三喷射孔272喷射的所述原料气体的扩散方向。因此，真空喷镀装置用原料气体喷嘴200能够有效地向所述基板喷射所述原料气体。

真空喷镀装置用原料气体喷嘴200还包括第二加热器280。第二加热器280可配置在第三气体移动管270的外周面的预定位置。第二加热器280可配置在第三气体移动管270的外周面，并向第三气体移动管270传递预定的热。在此情况下，第二加热器270在其内部可包括用于产生预定的热的热线，但不限于所述例。并且，本发明在第二加热器280中可包括能够产生热的所有部件及元件等。随着从第二加热器280向第三气体移动管130的外周面传递预定的热，第三气体移动管270可向在其内部流动的所述原料气体传递预定的热。即，第二加热器280能够补偿因所述原料气体流入到第三气体移动管270的内部，并向第三气体移动管270的第三喷射孔272喷射的时间内流动时所产生的热损失而引起的能耗。随之，流入到第三气体移动管270的内部的所述原料气体通过第三气体移动管270来从第二加热器280接收预定的热，以保持规定的温度，保持能量状态不变，因此可保持稳定的状态。

以上对本发明的实施例进行了说明，本发明所属技术领域的普通技术人员在不脱离权利要求书所记载的本发明的要旨的前提下，可通过技术特征的附加、变更、删除等方式来对本发明进行各种修改和变更，这些都应视为包含在本发明的权利范围内。

Claims (13)

1.一种真空喷镀装置用原料气体喷嘴，包括：

连接管，一侧与用于供给原料气体的原料气体供给部相连接；

第一气体移动管，外周面形成有连通孔以及第一喷射孔，所述连通孔与所述连接管的一端相连接，以使与所述连接管连通，所述第一喷射孔用于喷射通过连接管而流入的所述原料气体；

第二气体移动管，内部收容有所述第一气体移动管，外周面形成有第一插入孔以及第二喷射孔，所述第一插入孔使所述连接管的预定部分插入，以使所述连接管的一端与所述第一气体移动管的所述连通孔相连接，所述第二喷射孔用于喷射从所述第一气体移动管流入的所述原料气体。

2.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述连接管在其外周面的预定位置上连接有辅料供给部。

3.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述连通孔形成于所述第一气体移动管的长度方向的外周面的中央。

4.根据权利要求3所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，多个所述第一喷射孔形成于所述第一气体移动管的外周面，且多个所述第一喷射孔的密度以所述连通孔为中心，并随着与所述连通孔的距离增加而增加。

5.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，还包括：

第一加热器，收容于所述第一气体移动管的内部；

温度传感器，以与所述第一加热器相隔预定间距的方式收容在所述第一气体移动管的内部。

6.根据权利要求5所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一喷射孔与所述第二喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置。

7.根据权利要求1所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一气体移动管及所述第二气体移动管由石英形成。

8.根据权利要求5所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，还包括：

第三气体移动管，内部收容有所述第二气体移动管，外周面形成有第二插入孔以及第三喷射孔，所述第二插入孔使所述连接管选择性地插入，所述第三喷射孔用于喷射从所述第二气体移动管流入的所述原料气体。

9.根据权利要求8所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，

所述连通孔与所述第一喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置；

所述第一喷射孔与所述第二喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置；

所述第二喷射孔与所述第三喷射孔以所述第一加热器为中心相对配置。

10.根据权利要求8所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一插入孔形成于所述第二气体移动管的长度方向的外周面的中央。

11.根据权利要求10所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，多个所述第二喷射孔形成于所述第二气体移动管的外周面，且多个所述第二喷射孔的密度以所述第一插入孔为中心，并随着与所述第一插入孔的距离增加而增加。

12.根据权利要求8所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，还包括：

第二加热器，其配置于所述第三气体移动管的外周面的预定位置。

13.根据权利要求8所述的真空喷镀装置用原料气体喷嘴，其中，所述第一气体移动管、所述第二气体移动管以及所述第三气体移动管由石英形成。