CN104121975A - 监控储液罐内液量的系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种监控储液罐内液量的系统及方法，包括：设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报，以此来减少人工成本，避免没有及时补充液体而导致的产品报废等问题。

Description

监控储液罐内液量的系统及方法

技术领域

本发明涉及半导体工艺技术领域，更具体地说，涉及一种监控储液罐内液量的系统及方法。

背景技术

目前，涂胶机所需的光阻液或显影机所需的显影液等都是密闭储存在具有一定体积的储液罐内。在涂胶或显影的过程中，会从相应的储液罐中抽取光阻液或显影液，进行涂胶或显影的工序。

在涂胶或显影的过程中，并不能直接观看到储液罐内液体的剩余量，而是需要工作人员先打开储液罐的盖子，然后用手电筒查看储液罐内液体的剩余量，这种查看储液罐内剩余液量的方式相当麻烦。并且，当液体的用量过大时，需要专人定期查看储液罐内的剩余液量，定期向储液罐中补充液体，但是，这样不但会导致人力成本过高，而且在人工定期查看剩余液量时，难免会出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成没有及时补充液体，导致储液罐内的液体消耗殆尽，使得生产的产品报废等问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种监控储液罐内液量的系统及方法，以解决现有技术中通过人工监控储液罐内液体剩余量时，出现的人工成本高，以及工作人员忘记查看或者没有查看到实际的剩余液量，而造成没有及时补充液体导致产品报废等问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种监控储液罐内液量的系统，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内提供液体，包括：

设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；

与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；

与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；

与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报。

优选的，所述传感器为设置于所述储液罐的外侧底部的重力传感器。

优选的，所述控制处理器包括：

处理模块，用于根据接收到的所述液量数据获得相应的显示数据。

优选的，还包括：

与所述控制处理器相连的显示输入模块，用于显示所述控制处理器发送的显示数据或输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。

优选的，所述控制处理器还包括：

存储模块，用于存储所述传感器发送的液量数据以及所述显示输入模块输入的预设参数。

一种监控储液罐内液量的方法，包括：

实时获取储液罐内的液量数据；

根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号，并根据所述第一信号执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号，并根据所述第二信号发出补液警报。

优选的，还包括：

输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。

优选的，所述实时获取储液罐内的液量数据之后，还包括：

根据所述液量数据获得相应的显示数据，并显示所述显示数据。

与现有技术相比，本发明所提供的技术方案具有以下优点：

本发明所提供的监控储液罐内液量的系统及方法，通过传感器实时获取储液罐内的液量数据，通过控制处理器判断所述液量是否低于第一预设液量和第二预设液量，并根据判断结果控制主机模块或报警模块分别执行相应的动作，使应用所述液体的设备停止生产，或者发出补液警报，提示工作人员向储液罐内补充液体，从而不需要工作人员定期查看储液罐内的液量，减少了人工成本，也避免了人工定期查看液量时，出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体导致产品报废等问题。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的一个实施例提供的监控储液罐内液量的系统的结构示意图；

图2为本发明的另一个实施例提供的监控储液罐内液量的方法流程图。

具体实施方式

正如背景技术所述，现有技术中都是通过人工定期查看储液罐内的剩余液量，来定期向储液罐中补充液体，这样不但会导致人力成本过高，而且在人工定期查看剩余液量时，难免会出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体，导致储液罐内的液体消耗殆尽，使得生产的产品报废等问题。

基于此，本发明提供了一种监控储液罐内液量的系统，以克服现有技术存在的上述问题，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内提供液体，包括：

设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报。

本发明还提供了一种监控储液罐内液量的方法，包括：

实时获取储液罐内的液量数据；根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号，并根据所述第一信号执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号，并根据所述第二信号发出补液警报。

本发明所提供的监控储液罐内液量的系统及方法，通过传感器实时获取储液罐内的液量数据，通过控制处理器判断所述液量是否低于第一预设液量和第二预设液量，并根据判断结果控制主机模块或报警模块分别执行相应的动作，使应用所述液体的设备停止生产，或者发出补液警报，提示工作人员向储液罐内补充液体，从而不需要工作人员定期查看储液罐内的液量，减少了人工成本，也避免了人工定期查看液量时，出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体导致产品报废等问题。

以上是本发明的核心思想，为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明，但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。

其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大，而且所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。此外，在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。

下面通过几个实施例详细描述。

本发明的一个实施例提供了一种监控储液罐内液量的系统，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内提供液体。本实施例中，所述设备可以为涂胶机或显影机，相应地，与所述设备相连的储液罐内的液体为光阻液或显影液。当然，本发明并不仅限于此，在其他实施例中，也可以采用本发明提供的系统监控与其他设备相连的储液罐内的液体剩余量。

本实施例提供的监控储液罐内液量的系统的结构示意图，如图1所示，包括设置于储液罐上的传感器101、与传感器101相连的控制处理器102、与控制处理器102相连的主机模块103、以及与控制处理器102相连的报警模块104。

本实施例中，传感器101为重力传感器，可设置于储液罐的外侧底部，通过感应储液罐内剩余液体的重力来实时获取储液罐内剩余液体的质量等数据，并将实时获取的液量数据发送至控制处理器102，当然，在其他实施例中，也可以采用设置在储液罐内的传感器感应液体的水位，并以此获取储液罐内剩余液体的质量数据；

控制处理器102根据接收到的所述液量数据判断储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，控制处理器102生成第一信号并发送至主机模块103，主机模块103在接收到该第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产，从而能够避免由于液体消耗殆尽而导致的产品报废等问题；

如果上述判断结果为储液罐内的液量大于第一预设液量，则控制处理器102生成第二信号并发送至报警模块104，报警模块104在接收到第二信号后，发出补液警报，提示工作人员执行向储液罐内补充液体的动作，以免储液罐内的液体消耗殆尽；如果工作人员未向储液罐内补充液体，则传感器101会实时向控制处理器102发送液量数据，当实时液量数据小于第一预设液量时，则执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产。

其中，第一预设液量小于第二预设液量，第一预设液量为预设的能够进行产品生产的最低液体剩余量，第二预设液量为预设的能够维持一段时间的产品生产，但需要尽快向储液罐中补充液体的液体剩余量。第一预设液量和第二预设液量的具体数值可以根据实际情况进行设定。

此外，本实施例提供的监控储液罐内液量的系统，还包括：与控制处理器相连的显示输入模块105。控制处理器102在接收到传感器101发送的液量数据后，控制处理器102中的处理模块对这些液量数据进行处理，即根据接收到的液量数据获得相应的显示数据后，将这些显示数据发送至显示输入模块105进行显示。其中，所述显示数据包括储液罐内液体的剩余量、每个产品需要的液体的质量以及剩余液体能够生产的产品的数量等。

显示输入模块105除了可以显示储液罐内的液量等数据之外，还可以输入相关的预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量，还包括报警模块104发出的补液警报的声音质量和每个产品消耗的液体质量等。

在传输液量数据的过程中，需要对这些数据进行存储，基于此，控制处理器102还包括存储模块，用于存储所述传感器发送的液量数据以及所述显示输入模块输入的预设参数等。

本实施例提供的监控储液罐内液量的系统，通过传感器实时获取储液罐内的液量数据，通过控制处理器判断所述液量是否低于第一预设液量和第二预设液量，并根据判断结果控制主机模块或报警模块分别执行相应的动作，使应用所述液体的设备停止生产，或发出补液警报，提示工作人员向储液罐内补充液体，从而不需要工作人员定期查看储液罐内的液量，减少了人工成本，也避免了人工定期查看液量时，出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体导致产品报废等问题。

本发明的另一个实施例提供了一种监控储液罐内液量的方法，其流程图如图2所示，包括：

S201：实时获取储液罐内的液量数据；

通过设置在储液罐内的重力传感器实时感应储液罐内剩余液体的重力，实时获取储液罐内剩余液体的质量数据，并将这些数据发送至控制处理器。所述储液罐内存储的是特定设备生产产品所需的化学用液，如显影机所需的显影液，涂胶机所需的光阻液等。为了避免储液罐内的液体消耗殆尽影响产品的质量，因此，需要实时获取储液罐内的液量数据，以便及时向储液罐内补充液体。

在实时获取储液罐内的液量数据后，需要将这些数据发送至控制处理器进行液量的判断处理，同时，控制处理器中的处理模块也会对这些数据进行处理，根据这些液量数据获得相应的显示数据，并通过显示输入模块显示所述显示数据，以便工作人员实时了解储液罐内的液量信息等。

S202：根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，进入步骤S203，如果否，进入步骤S204；

控制处理器接收到所述液量数据后，对所述液量数据进行处理，并判断储液罐内的液体剩余量是否小于第一预设液量，如果是，进入步骤S203，如果否，进入步骤S204。

S203：生成第一信号，并根据所述第一信号执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；

如果储液罐内的液体剩余量小于第一预设液量，则控制处理器生成第一信号，并将所述第一信号发送至主机模块，该主机模块根据所述第一信号执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产。

S204：判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，进入步骤S205。

如果储液罐内的液体剩余量大于第一预设液量，则说明储液罐内的液体能够维持一段时间的生产，但是，需要进一步判断所述液量是否小于第二预设液量，其中，第二预设液量大于第一预设液量，第二预设液量为预设的能够维持一段时间的产品生产，但需要尽快向储液罐中补充液体的液体剩余量。

如果否，即如果所述液量大于第二预设液量，说明储液罐内的液体充足，不需要补液，因此，不需要执行任何动作；如果是，即如果所述液量小于第二预设液量，此时，需要向储液罐内补充液体，则进入步骤S205。

其中，第一预设液量和第二预设液量为工作人员通过显示输入模块预先设置的能够进行产品生产的最低液体剩余量。即在实时获取储液罐内的液量数据之前，还包括：输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。

S205：生成第二信号，并根据所述第二信号发出补液警报。

如果储液罐内的液量小于第二预设液量，则控制处理器生成第二信号，并将所述第二信号发送至报警模块，该报警模块发出补液警报，提醒工作人员向储液罐内补充液体。

如果工作人员长期不执行补液的动作，则系统会将后续实时获得的液量数据与第一预设液量进行比较，在储液罐内的液量小于第一预设液量时，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产，从而可以避免储液罐内的液体消耗殆尽，影响产品的生产。

本实施例提供的监控储液罐内液量的方法，实时获取储液罐内的液量数据后，判断所述液量是否低于第一预设液量和第二预设液量，并根据不同的判断结果执行相应的动作，使应用所述液体的设备停止生产，或发出补液警报，提示工作人员向储液罐内补充液体，从而不需要工作人员定期查看储液罐内的液量，减少了人工成本，也避免了人工定期查看液量时，出现忘记查看或没有查看到实际的剩余液量，而造成的没有及时补充液体导致产品报废等问题。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种监控储液罐内液量的系统，所述储液罐与特定的设备相连，以向所述设备内提供液体，其特征在于，包括：

设置于储液罐上的传感器，用于实时获取储液罐内的液量数据，并将所述液量数据发送至控制处理器；

与所述传感器相连的控制处理器，用于根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号并发送至主机模块，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号并发送至报警模块；

与所述控制处理器相连的主机模块，用于在接收到所述第一信号后，执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产；

与所述控制处理器相连的报警模块，用于在接收到所述第二信号后，发出补液警报。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述传感器为设置于所述储液罐的外侧底部的重力传感器。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，所述控制处理器包括：

处理模块，用于根据接收到的所述液量数据获得相应的显示数据。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，还包括：

与所述控制处理器相连的显示输入模块，用于显示所述控制处理器发送的显示数据或输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述控制处理器还包括：

存储模块，用于存储所述传感器发送的液量数据以及所述显示输入模块输入的预设参数。

6.一种监控储液罐内液量的方法，其特征在于，包括：

实时获取储液罐内的液量数据；

根据所述液量数据判断所述储液罐内的液量是否小于第一预设液量，如果是，生成第一信号，并根据所述第一信号执行相应地动作，使应用所述液体的设备停止生产，如果否，判断所述液量是否小于第二预设液量，如果是，生成第二信号，并根据所述第二信号发出补液警报。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

输入预设参数，所述预设参数包括第一预设液量和第二预设液量。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述实时获取储液罐内的液量数据之后，还包括：

根据所述液量数据获得相应的显示数据，并显示所述显示数据。