CN103984454B - 触控面板 - Google Patents

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CN103984454B CN201410040111.5A CN201410040111A CN103984454B CN 103984454 B CN103984454 B CN 103984454B CN 201410040111 A CN201410040111 A CN 201410040111A CN 103984454 B CN103984454 B CN 103984454B
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Abstract

本发明公开了一种触控面板及其制造方法，触控面板包括一基板；多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；多个第一桥接单元，用以电连接两相邻第一感应单元；多个第二桥接单元，跨过所述多个第一桥接单元上方，用以电连接两相邻第二感应单元；及多个绝缘单元，分别设置于相对应的第一桥接单元及第二桥接单元之间；其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是于一第一导电层上形成一第二导电层后，对所述第一导电层及所述第二导电层进行同一微影蚀刻步骤所形成。本发明触控面板可具有较短的反应时间以及较佳的信号完整性。

Description

触控面板
技术领域
本发明涉及一种触控显示面板及其制造方法，尤指一种具有双层导电层结构的触控面板及其制造方法。
背景技术
电容式触控面板通常会包括多个沿一第一方向(例如水平方向)设置的第一感应单元，及多个沿一第二方向(例如垂直方向)设置的第二感应单元。电容式触控面板的驱动器可输出驱动信号至第一感应单元，并接收第二感应单元产生的相对应感应信号，之后电容式触控面板再根据接收到的感应信号相对应产生触控位置信号。一般而言，电容式触控面板的第一感应单元及第二感应单元是由透明导电材料所形成。然而，透明导电材料的电阻值会影响电容式触控面板的反应时间及信号完整性。此外，如感应单元是由非透明导电材料(例如:金属细线)所形成，则若其线宽过小，也会有电阻较高的问题。因此，如何降低电容式触控面板的第一感应单元及第二感应单元的电阻值是相当重要的课题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：为了弥补现有技术的不足，提供一种触控面板，包括一基板；多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；多个第一桥接单元，用以电连接两相邻第一感应单元；多个第二桥接单元，跨过所述多个第一桥接单元上方，用以电连接两相邻第二感应单元；及多个绝缘单元，设置于相对应的第一桥接单元及第二桥接单元之间；其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是于一第一导电层上形成一第二导电层后，对所述第一导电层及所述第二导电层进行同一微影蚀刻步骤所形成。
根据本发明一实施例，本发明还提供一种触控面板，包括一基板；多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；多个第一桥接单元，用以电连接两相邻第一感应单元；多个第二桥接单元，用以电连接两相邻第二感应单元，所述第二桥接单元是跨过相对应的第一感应单元上方；及多个绝缘单元，设置于相对应的第一感应单元及第二桥接单元之间；其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括一第一导电层及一第二导电层所形成，所述第二导电层是设置于所述第一导电层上方。
根据本发明一实施例，本发明还提供一种触控面板，包括一基板；多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；多个第一桥接单元，设置于两相邻第一感应单元之间；多个第二桥接单元，跨过所述多个第一桥接单元上方，用以电连接两相邻第二感应单元；多个第一连接单元，用以电连接所述第一感应单元及所述第一桥接单元；及多个绝缘单元，设置于相对应的第一桥接单元及第二桥接单元之间；其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括两层导电层所形成。
根据本发明一实施例，本发明还提供一种触控面板包括一基板；多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；多个第一桥接单元，设置于两相邻第一感应单元之间；多个第一连接单元，用以电连接所述第一感应单元及所述第一桥接单元；多个第二桥接单元，跨过所述多个第一连接单元上方，用以电连接两相邻第二感应单元；及多个绝缘单元，设置于相对应的第一连接单元及第二桥接单元之间；其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括一第一导电层及一第二导电层所形成，所述第二导电层是设置于所述第一导电层上方，所述多个第一连接单元及所述多个第一桥接单元是由所述第一导电层所形成，所述多个第二桥接单元是由所述第二导电层所形成。
根据本发明一实施例，本发明还提供一种触控面板，包括一基板；多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；多个第一桥接单元，设置于两相邻第一感应单元之间；多个第二桥接单元，用以电连接两相邻第二感应单元；多个第一连接单元，跨过于所述多个第二桥接单元上方，用以电连接所述第一感应单元及所述第一桥接单元；及多个绝缘单元，设置于相对应的第一连接单元及第二桥接单元之间；其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括一第一导电层及一第二导电层所形成，所述第二导电层是设置于所述第一导电层上方，所述多个第一桥接单元及所述多个第二桥接单元是由所述第一导电层所形成，所述多个第一连接单元是由所述第二导电层所形成。
相较于现有技术，本发明触控面板具有双层导电层结构以减少第一感应单元及第二感应单元的电阻值。因此本发明触控面板可具有较短的反应时间以及较佳的信号完整性。
附图说明
图1为本发明触控面板的第一实施例的制造方法的示意图。
图2为本发明触控面板的第一实施例的制造方法的示意图。
图3为本发明触控面板的第一实施例的结构示意图。
图4为本发明触控面板的第二实施例的制造方法的示意图。
图5为本发明触控面板的第二实施例的制造方法的示意图。
图6为本发明触控面板的第二实施例的结构示意图。
图7为本发明触控面板的第三实施例的制造方法的示意图。
图8为本发明触控面板的第三实施例的制造方法的示意图。
图9为本发明触控面板的第三实施例的结构示意图。
图10为本发明触控面板的第四实施例的制造方法的示意图。
图11为本发明触控面板的第四实施例的制造方法的示意图。
图12为本发明触控面板的第四实施例的结构示意图。
图13为本发明触控面板的第五实施例的制造方法的示意图。
图14为本发明触控面板的第五实施例的制造方法的示意图。
图15为本发明触控面板的第五实施例的结构示意图。
其中，附图标记说明如下：
100,200,300,400,500 触控面板
110,210,310,410,510 基板
120,220,320,420,520 第一感应单元
130,230,330,430,530 第二感应单元
140,240,340,440,540 第一桥接单元
150,250,350,450,550 绝缘单元
160,260,360,460,560 第二桥接单元
222 延伸部
370、470、570 第一连接单元
L1 第一导电层
L2 第二导电层
M 金属网格层
L 透明导电层
A 第一方向
B 第二方向
具体实施方式
为了方便说明，本发明图式中只显示两个第一感应单元及两个第二感应单元以代表触控面板。本发明触控面板应包括更多第一感应单元及第二感应单元所形成的感应数组。因此，图式中出现的单一组件在本发明触控面板中的数目可为多个。
请同时参考图1及图2。图1及图2为本发明触控面板100的第一实施例的制造方法的示意图。如图所示，本发明首先于一基板110上形成一第一导电层L1。对第一导电层L1进行一道微影蚀刻步骤后，会形成第一桥接单元140。之后绝缘单元150会形成于第一桥接单元140上方(例如沉积一绝缘层后，再对绝缘层进行蚀刻)。在形成绝缘单元150后，一第二导电层L2被覆盖于所有组件上方，本发明再对第一导电层L1及第二导电层L2同时进行另一道微影蚀刻步骤以形成沿一第一方向A设置的第一感应单元120、沿相异于第一方向A的一第二方向B设置的第二感应单元130及第二桥接单元160。
请参考图3，并一并参考图1及图2。图3为本发明触控面板100的第一实施例的结构示意图。如图所示，第一桥接单元140是用以电连接两相邻第一感应单元120。第二桥接单元160是用以电连接两相邻第二感应单元130，且第二桥接单元160是跨过第一桥接单元140上方。绝缘单元150是设置于第一桥接单元140及第二桥接单元160之间，用以对第一桥接单元140及第二桥接单元160绝缘。第一桥接单元140是由第一导电层所形成。第二桥接单元160是由第二导电层所形成。当然，第一桥接单元140外露于绝缘单元150的二端上方亦可选择地迭置第二导电层，以进一步降低原先相对第一感应单元120为狭窄的第一桥接单元140的阻值。另一提的是，第一桥接单元140的型态并不局限于以上实施例而已，在其他未绘示的实施例中，第一桥接单元140在对第一导电层L1进行一道微影蚀刻步骤后，可以成型成为未与其他第一导电层区域连接的独立岛状型态，换句话说，围绕在此独立岛状第一桥接单元的邻近第一导电层都会被蚀刻掉，之后再进行相同的后续制程。
依据上述配置，第一感应单元120及第二感应单元130皆是由两层导电层所形成，亦即第一感应单元120及第二感应单元130的截面积增加，因此第一感应单元120及第二感应单元130的电阻值会减少。由于第一感应单元120及第二感应单元130是对第一导电层L1及第二导电层L2进行同一微影蚀刻步骤所形成，因此第一感应单元120及第二感应单元130的上下层导电层不会有错位问题。换言之，第一感应单元120与第二感应单元130的轮廓实质上相同，因此，对于图案轮廓较复杂的感应单元(例如:雪花状、梳状等具有多个凹部与凸部或是其他不规则轮廓的感应单元)来说，更是可以通过本实施例所述的只需对第一导电层及第二导电层进行同一道微影蚀刻即可形成感应单元的技术，来降低制程的困难度。
请同时参考图4及图5。图4及图5为本发明触控面板200的第二实施例的制造方法的示意图。如图所示，本发明首先于一基板210上形成一第一导电层L1。对第一导电层L1进行一道微影蚀刻步骤后，会形成沿第一方向A设置的第一感应单元220的第一层部分、沿第二方向B设置的第二感应单元230的第一层部分及第一桥接单元240。之后绝缘单元250会形成于第一感应单元220的第一层部分上方(例如沉积一绝缘层后，再对绝缘层进行微影蚀刻)。在形成绝缘单元250后，一第二导电层L2被覆盖于所有组件上方，本发明再对第二导电层L2进行另一道微影蚀刻步骤以形成第一感应单元220的第二层部分、第二感应单元230的第二层部分及第二桥接单元260。
请参考图6，并一并参考图4及图5。图6为本发明触控面板200的第二实施例的结构示意图。如图所示，第一桥接单元240是用以电连接两相邻第一感应单元220。第二桥接单元260是用以电连接两相邻第二感应单元230，且第二桥接单元260是跨过第一感应单元220的延伸部222上方。绝缘单元250是设置于第一感应单元220及第二桥接单元260之间，用以对第一感应单元220及第二桥接单元260绝缘。第一桥接单元240是由第一导电层所形成。第二桥接单元260是由第二导电层所形成。
相似地，第一感应单元220及第二感应单元230皆是由两层导电层所形成，因此第一感应单元220及第二感应单元230的电阻值会减少。另外，第一桥接单元240的部分上方亦可保留部分第二导电层，以减少第一桥接单元240的电阻值，但亦可省去不设。在本实施例中，第一感应单元220包括向外凸出的延伸部222，以使第二桥接单元260跨过第一感应单元的延伸部222上方，但在本发明其他实施例中，延伸部222亦可省去不设，换言之，第二桥接单元亦可跨过第一感应单元的任何其他部位。
请同时参考图7及图8。图7及图8为本发明触控面板300的第三实施例的制造方法的示意图。如图所示，本发明首先于一基板310上形成一金属网格层M。对金属网格层M进行一道微影蚀刻步骤后，会形成个沿第一方向A设置的第一感应单元320的第一层部分、沿第二方向B设置的第二感应单元330的第一层部分及第一桥接单元340。之后绝缘单元350会形成于第一桥接单元340上方(例如沉积一绝缘层后，再对绝缘层进行微影蚀刻)。在形成绝缘单元350后，一透明导电层L被覆盖于所有组件上方，本发明再对透明导电层L进行另一道微影蚀刻步骤以形成第一感应单元320的第二层部分、第二感应单元330的第二层部分、第二桥接单元360及第一连接单元370。
请参考图9，并一并参考图7及图8。图9为本发明触控面板的第三实施例的结构示意图。如图所示，第一连接单元370是用以电连接第一感应单元320及第一桥接单元340，进而让两相邻第一感应单元320电连接。第一连接单元370的一端是设置于第一桥接单元340的上方。第二桥接单元360是用以电连接两相邻第二感应单元330，且第二桥接单元360是跨过第一桥接单元340上方。绝缘单元350是设置于第一桥接单元340及第二桥接单元360之间，用以对第一桥接单元340及第二桥接单元360绝缘。第一桥接单元340是由金属网格层所形成。第二桥接单元360及第一连接单元370是由透明导电层所形成。
依据上述配置，第一感应单元320及第二感应单元330皆是由两层导电层(金属网格层及透明导电层)所形成，亦即第一感应单元320及第二感应单元330的截面积增加，因此第一感应单元320及第二感应单元330的电阻值会减少。另外，金属网格层可进一步减少第一感应单元320及第二感应单元330的电阻值。第一桥接单元340的部分上方亦可保留部分透明导电层，以减少第一桥接单元340的电阻值，但亦可省去不设。另一提的是，在其他未绘示的衍生实施例中，金属网格层M与透明导电层L的形成顺序亦可对调，如此一来，透明导电层即会位在金属网格层的下方，第一桥接单元即是由透明导电层所形成，第二桥接单元即是由金属网格层所形成。另一提的是，在其他未绘示的衍生实施例中，金属网格层亦可以是不具有网格的整面金属薄层，或是透明导电层。
请同时参考图10及图11。图10及图11为本发明触控面板400的第四实施例的制造方法的示意图。如图所示，本发明首先于一基板410上形成一第一导电层L1。对第一导电层L1进行一道微影蚀刻步骤后，会形成沿第一方向A设置的第一感应单元420的第一层部分、沿第二方向B设置的第二感应单元430的第一层部分、第一桥接单元440及第一连接单元470，且第一桥接单元440相较第一连接单元470为宽。之后绝缘单元450会形成于第一连接单元470上方(例如沉积一绝缘层后，再对绝缘层进行微影蚀刻)。在形成绝缘单元450后，一第二导电层L2被覆盖于所有组件上方，本发明再对第二导电层L2进行另一道微影蚀刻步骤以形成第一感应单元420的第二层部分、第二感应单元430的第二层部分及第二桥接单元460。
请参考图12，并一并参考图10及图11。图12为本发明触控面板的第四实施例的结构示意图。如图所示，第一连接单元470是用以电连接第一感应单元420及第一桥接单元440，进而让两相邻第一感应单元420电连接。第二桥接单元460是用以电连接两相邻第二感应单元430，且第二桥接单元460是跨过第一连接单元470上方。绝缘单元450是设置于第一连接单元470及第二桥接单元460之间，用以对第一连接单元470及第二桥接单元460绝缘。第一连接单元470及第一桥接单元440是由第一导电层所形成。第二桥接单元460是由第二导电层所形成。
依据上述配置，第一感应单元420及第二感应单元430皆是由两层导电层所形成，亦即第一感应单元420及第二感应单元430的截面积增加，因此第一感应单元420及第二感应单元430的电阻值会减少。另外，第一桥接单元440的部分上方亦可保留部分第二导电层(亦可省去不设)，且第一桥接单元440的宽度大于第一连接单元470的宽度，故可减少连接相邻两第一感应单元420的单元的整体电阻值。
请同时参考图13及图14。图13及图14为本发明触控面板500的第五实施例的制造方法的示意图。如图所示，本发明首先于一基板510上形成一第一导电层L1。对第一导电层L1进行一道微影蚀刻步骤后，会形成沿第一方向A设置的第一感应单元520的第一层部分、沿第二方向B设置的第二感应单元530的第一层部分及第一桥接单元540及第二桥接单元560。之后绝缘单元550会形成于第二桥接单元560上方(例如沉积一绝缘层后，再对绝缘层进行蚀刻)。在形成绝缘单元550后，一第二导电层L2被覆盖于所有组件上方，本发明再对第二导电层L2进行另一道微影蚀刻步骤以形成第一感应单元520的第二层部分、第二感应单元530的第二层部分及第一连接单元570。
请参考图15，并一并参考图13及图14。图15为本发明触控面板的第五实施例的结构示意图。如图所示，第一连接单元570是用以电连接第一感应单元520及第一桥接单元540，进而让两相邻第一感应单元520电连接。第一连接单元570是跨过第二桥接单元560上方。第二桥接单元560是用以电连接两相邻第二感应单元530。绝缘单元550是设置于第一连接单元570及第二桥接单元560之间，用以对第一连接单元570及第二桥接单元560绝缘。第一桥接单元540及第二桥接单元560是由第一导电层所形成。第一连接单元570是由第二导电层所形成。
依据上述配置，第一感应单元520及第二感应单元530皆是由两层导电层所形成，亦即第一感应单元520及第二感应单元530的截面积增加，因此第一感应单元520及第二感应单元530的电阻值会减少。另外，第一桥接单元540及第二桥接单元560的部分上方亦可保留部分第二导电层，以减少电阻值，但亦可省去不设。
在上述实施例中，第一导电层及第二导电层可以是为透明导电层，例如是由铟锡氧化物(Indium Tin Oxide,ITO)所形成的透明导电层，且第一导电层的阻值低于第二导电层的阻值，第一导电层的膜厚高于第二导电层的膜厚，但并不限于此，例如:第一、第二导电层的材料亦可为其他已知的透明导电材料。此外，在上述实施例中，第一导电层及第二导电层的其中一层可以是金属导电层(例如:金属网格层或整面金属薄层)，另一层则可以是透明导电层。
相较于现有技术，本发明触控面板具有双层导电层结构以减少第一感应单元及第二感应单元的电阻值。因此本发明触控面板可具有较短的反应时间以及较佳的信号完整性。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种触控面板，其特征在于，包括：
一基板；
多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；
多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；
多个第一桥接单元，设置于两相邻第一感应单元之间；
多个第一连接单元，用以电连接所述第一感应单元及所述第一桥接单元；
多个第二桥接单元，跨过所述多个第一连接单元上方，用以电连接两相邻第二感应单元；及
多个绝缘单元，设置于相对应的第一连接单元及第二桥接单元之间；
其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括一第一导电层及一第二导电层所形成，所述第二导电层是设置于所述第一导电层上方，所述多个第一连接单元及所述多个第一桥接单元是由所述第一导电层所形成，所述多个第二桥接单元是由所述第二导电层所形成。
2.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元的轮廓相同。
3.如权利要求2所述的触控面板，其特征在于，所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元的轮廓具有多个凹部与凸部。
4.如权利要求1所述的触控面板，其特征在于，所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括一金属网格层及一透明导电层所形成，所述透明导电层是设置于所述金属网格层上方，所述多个第一桥接单元是由所述金属网格层所形成，所述多个第二桥接单元及所述多个第一连接单元是由所述透明导电层所形成。
5.一种触控面板，其特征在于，包括：
一基板；
多个第一感应单元，沿一第一方向设置于所述基板上；
多个第二感应单元，沿相异于所述第一方向的一第二方向设置于所述基板上；
多个第一桥接单元，设置于两相邻第一感应单元之间；
多个第二桥接单元，用以电连接两相邻第二感应单元；
多个第一连接单元，跨过于所述多个第二桥接单元上方，用以电连接所述第一感应单元及所述第一桥接单元；及
多个绝缘单元，设置于相对应的第一连接单元及第二桥接单元之间；
其中所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元是由包括一第一导电层及一第二导电层所形成，所述第二导电层是设置于所述第一导电层上方，所述多个第一桥接单元及所述多个第二桥接单元是由所述第一导电层所形成，所述多个第一连接单元是由所述第二导电层所形成。
6.如权利要求5所述的触控面板，其特征在于，所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元的轮廓相同。
7.如权利要求6所述的触控面板，其特征在于，所述多个第一感应单元及所述多个第二感应单元的轮廓具有多个凹部与凸部。
8.如权利要求5所述的触控面板，其特征在于，所述第一导电层及第二导电层中的其中一层是金属导电层，另一层是透明导电层。
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