CN103969728B - 光学模块、电子设备以及分光照相机 - Google Patents
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Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013-020168 | 2013-02-05 | ||
| JP2013020168A JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2013-02-05 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103969728A CN103969728A (zh) | 2014-08-06 |
| CN103969728B true CN103969728B (zh) | 2019-04-19 |
Family
ID=50097551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410043550.1A Active CN103969728B (zh) | 2013-02-05 | 2014-01-29 | 光学模块、电子设备以及分光照相机 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9297997B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| EP (1) | EP2762948A1 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| JP (1) | JP6107186B2 (cg-RX-API-DMAC7.html) |
| CN (1) | CN103969728B (cg-RX-API-DMAC7.html) |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010002558A1 (de) | 2009-11-20 | 2011-06-01 | Symrise Ag | Verwendung physiologischer Kühlwirkstoffe und Mittel enthaltend solche Wirkstoffe |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
| JP6413325B2 (ja) | 2014-05-01 | 2018-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター装置、電子機器、及び制御方法 |
| US9780134B2 (en) * | 2014-05-16 | 2017-10-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Semiconductor device and method of forming the same |
| JP6601007B2 (ja) * | 2015-06-18 | 2019-11-06 | セイコーエプソン株式会社 | 分光測定装置、画像形成装置、及び分光測定方法 |
| JP6897226B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2021-06-30 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール及び光学モジュールの駆動方法 |
| KR102669193B1 (ko) * | 2017-06-13 | 2024-05-28 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광학 필터 시스템 |
| KR102289043B1 (ko) | 2017-07-25 | 2021-08-10 | 삼성전자주식회사 | 스펙트럼 측정 장치 및 방법 |
| US11434220B2 (en) | 2017-08-31 | 2022-09-06 | Basf Se | Use of physiological cooling active ingredients, and compositions comprising such active ingredients |
| CN107479185A (zh) * | 2017-09-30 | 2017-12-15 | 广东欧珀移动通信有限公司 | 滤光片、显示装置和电子装置 |
| CN107561684B (zh) * | 2017-09-30 | 2021-02-23 | Oppo广东移动通信有限公司 | 滤光片、镜头模组和成像模组 |
| DE102018200380A1 (de) * | 2018-01-11 | 2019-07-11 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben eines durchstimmbaren optischen Resonators und optischer Resonator |
| DE102019210707A1 (de) * | 2019-07-19 | 2021-01-21 | Robert Bosch Gmbh | Interferometereinrichtung und Verfahren zum Betreiben einer Interferometereinrichtung |
| CN113946014B (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-04 | 南京高华科技股份有限公司 | 一种可调光谐振器 |
Family Cites Families (36)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0194312A (ja) * | 1987-10-06 | 1989-04-13 | Sharp Corp | 可変干渉装置 |
| JPH07243963A (ja) | 1994-03-07 | 1995-09-19 | Yazaki Corp | 光共振器とその製造方法 |
| US5751469A (en) | 1996-02-01 | 1998-05-12 | Lucent Technologies Inc. | Method and apparatus for an improved micromechanical modulator |
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| US6747775B2 (en) * | 2000-03-20 | 2004-06-08 | Np Photonics, Inc. | Detunable Fabry-Perot interferometer and an add/drop multiplexer using the same |
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| JP3982349B2 (ja) | 2001-07-05 | 2007-09-26 | 株式会社デンソー | 波長可変デバイス |
| US6781208B2 (en) | 2001-08-17 | 2004-08-24 | Nec Corporation | Functional device, method of manufacturing therefor and driver circuit |
| JP4019847B2 (ja) | 2001-08-17 | 2007-12-12 | 株式会社デンソー | 機能デバイス |
| JP2003215473A (ja) | 2002-01-21 | 2003-07-30 | Yokogawa Electric Corp | ファブリペローフィルタ |
| WO2004041710A1 (ja) | 2002-11-06 | 2004-05-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 変位検出機能を備えたマイクロアクチュエータ、および当該マイクロアクチュエータを備えた可変形ミラー |
| TW200408824A (en) | 2002-11-21 | 2004-06-01 | Delta Electronics Inc | Method for finesse compensation in a Fabry-Perot device and a Fabry-Perot device with high finesse |
| JP4548288B2 (ja) | 2005-09-22 | 2010-09-22 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ |
| JP4466634B2 (ja) * | 2006-01-19 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイス、波長可変フィルタ、波長可変フィルタモジュール、および光スペクトラムアナライザ |
| JP2008151544A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-03 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| JP2008183350A (ja) * | 2007-01-31 | 2008-08-14 | Olympus Corp | 可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| JP5230952B2 (ja) * | 2007-02-13 | 2013-07-10 | オリンパス株式会社 | 内視鏡用可変分光素子、分光装置および内視鏡システム |
| JP2008197362A (ja) | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Olympus Corp | 可変分光素子 |
| DE102009001381A1 (de) | 2009-03-06 | 2010-09-09 | Robert Bosch Gmbh | Antriebselement und Verfahren zum Betrieb eines Antriebselements |
| IL201742A0 (en) | 2009-10-25 | 2010-06-16 | Elbit Sys Electro Optics Elop | Tunable spectral filter |
| JP2011106936A (ja) | 2009-11-17 | 2011-06-02 | Seiko Epson Corp | 分光測定装置、および分析装置 |
| JP5589459B2 (ja) | 2010-03-15 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
| JP6010275B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5348032B2 (ja) | 2010-03-16 | 2013-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5834418B2 (ja) | 2011-02-04 | 2015-12-24 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器及び光機器 |
| JP5909850B2 (ja) | 2011-02-15 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、及び光分析装置 |
| JP5807353B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-11-10 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
| JP5874271B2 (ja) | 2011-09-27 | 2016-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP5879910B2 (ja) | 2011-10-18 | 2016-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器 |
| JP5888080B2 (ja) | 2012-04-11 | 2016-03-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6015090B2 (ja) | 2012-04-18 | 2016-10-26 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6019863B2 (ja) | 2012-07-18 | 2016-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 |
| JP2014059497A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びmemsデバイス |
| JP6107186B2 (ja) | 2013-02-05 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ |
| JP6543884B2 (ja) | 2014-01-27 | 2019-07-17 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、電子機器、及びアクチュエーター制御方法 |
-
2013
- 2013-02-05 JP JP2013020168A patent/JP6107186B2/ja active Active
-
2014
- 2014-01-29 CN CN201410043550.1A patent/CN103969728B/zh active Active
- 2014-02-04 EP EP14153779.5A patent/EP2762948A1/en not_active Withdrawn
- 2014-02-04 US US14/171,866 patent/US9297997B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103969728A (zh) | 2014-08-06 |
| EP2762948A1 (en) | 2014-08-06 |
| US20140218586A1 (en) | 2014-08-07 |
| JP6107186B2 (ja) | 2017-04-05 |
| JP2014153389A (ja) | 2014-08-25 |
| US9297997B2 (en) | 2016-03-29 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |