CN103913958A - 基板边缘光刻胶的去除装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及光刻胶去除设备技术领域，公开了一种基板边缘光刻胶的去除装置。所述基板边缘光刻胶的去除装置包括喷洗装置，喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，气体喷嘴和液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴；狭缝状气体喷嘴喷出的气体落于基板表面形成第一狭缝区，狭缝状液体喷嘴喷出的液体落于基板表面形成第二狭缝区，第一狭缝区和第二狭缝区不相重叠。在本发明技术方案中，由于采用狭缝状气体喷嘴或狭缝状液体喷嘴，更易于气体或液体流畅喷出，不会导致光刻胶溶解剂溅射，避免了基板内部溅射光刻胶溶解剂而导致的基板不良现象的发生。

Description

基板边缘光刻胶的去除装置

技术领域

本发明涉及光刻胶去除设备技术领域，特别是涉及一种基板边缘光刻胶的去除装置。

背景技术

在平板显示装置中，薄膜晶体管液晶显示器（Thin Film Transistor LiquidCrystal Display，简称TFT-LCD）具有体积小、功耗低、制造成本相对较低和低辐射等特点，在当前的平板显示器市场占据了主导地位。

在TFT-LCD的制作过程中，阵列工艺（Array）主要由三大工序组成，分别为沉积（Deposition）工序，掩膜（Mask）工序和刻蚀（Etch）工序。在掩膜工序中，在已经进行过沉积工序的基板上均匀地涂覆一层光阻剂（PhotoResist，又称光刻胶），透过掩膜板经过曝光机曝光形成薄膜晶体管图案（TFT-pattern），最后经过刻蚀工序将无光刻胶保护的沉积层刻蚀出需要的薄膜晶体管图案。而在掩膜工序的涂覆光刻胶的过程中，目前大体上的涂覆方式分为两种：一种是采用涂覆狭缝进行预涂覆，然后通过旋转（Spin）单元高速旋转形成需要的光刻胶厚度，另外一种则是采用涂覆狭缝直接一次涂覆出需要的光刻胶厚度。在旋涂过程中，由于旋转导致基板边缘部分不需要涂覆光刻胶的地方也被涂覆上，所以需要进行基板边缘光刻胶的去除操作。

基板边缘光刻胶的去除操作采用专门的装置，如图1所示，图1为现有的基板边缘光刻胶的去除装置的结构示意图，包括喷洗装置1，喷洗装置1上设置有气体喷嘴2和液体喷嘴3，其中气体喷嘴2和液体喷嘴3均采用针形喷嘴（Nozzle）。在喷洗过程中，液体喷嘴3喷出光刻胶溶解剂将基板10的边缘光刻胶进行溶解，气体喷嘴喷出气体将基板10边缘溶解有光刻胶的光刻胶溶解剂吹到基板外侧。但是在基板边缘光刻胶的去除过程中，针形喷嘴的针孔过细，进异物后容易堵塞，遇外力时也容易变形，气体喷嘴堵塞或变形后不能及时将光刻胶溶解剂吹到基板外，而液体喷嘴堵塞或变形后使得光刻胶溶解剂喷射时受阻力过大，更易出现喷溅现象。并且，当光刻胶溶解剂溅射到基板内部不需要去除光刻胶的位置后，该位置的光刻胶被溶解，在后续刻蚀工序中该位置的膜层被刻蚀掉，进而在基板上形成不良点，造成面板的不良。

发明内容

本发明提供了一种基板边缘光刻胶的去除装置，用以有效防止喷嘴堵塞现象的发生，进而减少基板上的不良点。

本发明实施例提供一种基板边缘光刻胶的去除装置，包括喷洗装置，所述喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，所述气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，所述气体喷嘴和所述液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴；所述狭缝状气体喷嘴喷出的气体和基板表面形成第一狭缝区，所述狭缝状液体喷嘴喷出的液体和基板表面形成第二狭缝区，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区不相重叠。

在本发明技术方案中，由于采用狭缝状气体喷嘴或狭缝状液体喷嘴，相对于现有的针形喷嘴来说不易堵塞，更易于气体或液体流畅喷出，不会导致光刻胶溶解剂因针形喷嘴堵塞或变形而发生溅射，避免了基板内部溅射光刻胶溶解剂而导致的基板不良现象的发生。另外，本发明采用狭缝状气体喷嘴喷出气体，替代原有针形气体喷嘴，能形成气帘保护，避免了光刻胶溶解剂溅射到基板内部，进一步减少了基板上的不良点。狭缝状气体喷嘴喷出的气体为惰性气体，例如氮气。第一狭缝区和第二狭缝区不相重叠，能够保证未落到基板的光刻胶溶解剂不被气体吹到基板外侧，保证光刻胶溶解剂接触基板边缘光刻胶后才被气体吹到基板外，充分利用了狭缝状液体喷嘴喷出的光刻胶溶解剂。

优选的，所述狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度为0.02～0.10毫米，所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度为0.02～0.10毫米。具体设计时，可根据光刻胶溶解剂和气体的流量而定，只要能够达到预期的清洗效果即可。较佳的，狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度为0.05毫米，所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度为0.03毫米。

优选的，所述狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度大于所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度。

优选的，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区为条形，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区平行且所述第一狭缝区和所述第二狭缝区的间距为0.5～1.0毫米。

当第一狭缝区和所述第二狭缝区的距离为0.5～1.0毫米时，可以保证光刻胶溶解剂能较好溶解基板边缘光刻胶后才被气体吹到基板外，大大提高了清洗的效果。

优选的，所述狭缝状气体喷嘴到基板的距离大于所述狭缝状液体喷嘴到基板的距离。

狭缝状液体喷嘴距离基板的高度不易过高，过高时会发生液体溅射，而狭缝状气体喷嘴形成气帘防止液体溅射到基板内部，因此，需要设计狭缝状气体喷嘴到基板的距离大于狭缝状液体喷嘴到基板的距离。

优选的，所述狭缝状气体喷嘴和所述狭缝状液体喷嘴到基板的距离差为1～5毫米。

对于上述任一种实施方式，所述狭缝状气体喷嘴包括：具有气路的第一部件；以及第二部件，所述第二部件固定于所述第一部件的气路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口；

所述狭缝状液体喷嘴包括：具有液路的第三部件；以及第四部件，所述第四部件固定于所述第三部件的液路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口。

对于狭缝状气体喷嘴的狭缝状喷口的形成来说，可以通过在第一部件上开台阶槽或在第二部件上开台阶槽，也可以通过在第一部件和第二部件间夹置垫片。同理，狭缝状液体喷嘴的狭缝状喷口也可通过上述方式形成。

优选的，所述第三部件设置有位于液路出口的第一凹槽，所述第四部件对应所述第一凹槽设置有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽构成储液腔。

当液体流速过快且液路发生变化时，液体可能出现断流现象，在液路出口增加了储液腔，可保证液体不断流，防止液体中气泡的产生。

优选的，所述第一部件和所述第三部件为一体结构。

第一部件和第三部件为一体结构，提高了整个清洗装置的统一性，也提高了清洗装置的可靠性，在安装时也提高了安装效率。

优选的，所述基板边缘光刻胶的去除装置还包括固定所述喷洗装置的机架，所述机架可沿基板边缘往复运动。

在喷洗时，喷洗装置随机架沿基板边缘做往复运动，大大节省了基板边缘光刻胶的去除时间，提高了基板边缘光刻胶的去除效率。

附图说明

图1为现有的基板边缘光刻胶的去除装置的结构示意图；

图2为本发明一实施例的基板边缘光刻胶的去除装置的结构示意图；

图3为本发明另一实施例基板边缘光刻胶的去除装置的结构示意图；

图4为本发明另一实施例基板边缘光刻胶的去除装置的爆炸结构示意图。

附图标记：

1-喷洗装置         2-气体喷嘴         3-液体喷嘴   10-基板

11-狭缝状气体喷嘴  12-狭缝状液体喷嘴  21-第一部件

22-第二部件        23-第三部件        24-第四部件  31-气路

32-液路            33-第一凹槽        34-第二凹槽  40-机架

具体实施方式

为了有效有效防止喷嘴堵塞现象的发生，本发明实施例提供了一种基板边缘光刻胶的去除装置。该技术方案中，由于采用狭缝状气体喷嘴或狭缝状液体喷嘴，相对于现有的针形喷嘴来说不易堵塞，更易于气体或液体流畅喷出，不会导致光刻胶溶解剂因针形喷嘴堵塞或变形而发生溅射，避免了基板内部溅射光刻胶溶解剂而导致的基板不良现象的发生。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举具体实施例对本发明作进一步详细说明。

本发明实施例提供一种基板边缘光刻胶的去除装置，如图2所示，图2为本发明一实施例的基板边缘光刻胶的去除装置的结构示意图，所述基板边缘光刻胶的去除装置包括喷洗装置，喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，气体喷嘴和液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴11和狭缝状液体喷嘴12；狭缝状气体喷嘴11喷出的气体落于基板10表面形成第一狭缝区，狭缝状液体喷嘴12喷出的液体落于基板10表面形成第二狭缝区，第一狭缝区和第二狭缝区不相重叠。

狭缝状液体喷嘴喷出的液体即光刻胶溶解剂，在本发明技术方案中，由于采用狭缝状气体喷嘴11或狭缝状液体喷嘴12，相对于现有的针形喷嘴来说不易堵塞，更易于气体或液体流畅喷出，不会导致光刻胶溶解剂因针形喷嘴堵塞或变形而发生溅射，避免了基板内部溅射光刻胶溶解剂而导致的基板不良现象的发生。另外，本发明采用狭缝状气体喷嘴11喷出气体，替代原有针形气体喷嘴，能形成气帘保护，避免了光刻胶溶解剂溅射到基板内部，进一步减少了基板上的不良点。狭缝状气体喷嘴11喷出的气体为惰性气体，例如氮气。第一狭缝区和第二狭缝区不相重叠，能够保证未落到基板10的光刻胶溶解剂不被气体吹到基板10外侧，保证光刻胶溶解剂接触基板边缘光刻胶后才被气体吹到基板10外，充分利用了狭缝状液体喷嘴12喷出的光刻胶溶解剂。优选的，第一狭缝区和第二狭缝区平行，且第一狭缝区长于第二狭缝区。这样可以更好地防止液体的喷溅到基板内部，防止不良点的出现。

请继续参照图2所示，优选的，狭缝状气体喷嘴11的狭缝宽度为0.02～0.10毫米，狭缝状液体喷嘴12的狭缝宽度为0.02～0.10毫米。具体设计时，可根据光刻胶溶解剂和气体的流量而定，只要能够达到预期的清洗效果即可。较佳的，狭缝状气体喷嘴11的狭缝宽度为0.05毫米，狭缝状液体喷嘴12的狭缝宽度为0.03毫米。

请继续参照图2所示，优选的，狭缝状气体喷嘴11的狭缝宽度大于所述狭缝状液体喷嘴12的狭缝宽度。

狭缝状气体喷嘴11的狭缝宽度较大，可以形成较厚的气帘，进一步防止液体溅射到基板10内部引起的基板的不良点。

优选的，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区为条形，第一狭缝区和第二狭缝区平行且第一狭缝区和第二狭缝区的间距为0.5～1.0毫米。

当第一狭缝区和第二狭缝区的间距为0.5～1.0毫米时，可以保证光刻胶溶解剂能较好溶解基板边缘光刻胶后才被气体吹到基板外，大大提高了清洗的效果。

请继续参照图2所示，优选的，狭缝状气体喷嘴11到基板10的距离大于狭缝状液体喷嘴12到基板10的距离。

狭缝状液体喷嘴12距离基板10的高度不易过高，过高时会发生液体溅射，而狭缝状气体喷嘴11形成气帘防止液体溅射到基板10内部，因此，需要设计狭缝状气体喷嘴11到基板10的距离大于狭缝状液体喷嘴12到基板10的距离。

请继续参照图2所示，优选的，狭缝状气体喷嘴11和狭缝状液体喷嘴12到基板10的距离差为1～5毫米。

当所述距离差为1～5毫米时，液体滴落到边缘光刻胶上，有充分时间对光刻胶进行溶解，当光刻胶被充分溶解后，距离基板较远的狭缝状气体喷嘴喷出气体将液体吹出基板外，大大提高了清洗效率。

请继续参照图2所示，对于上述任一种实施方式，狭缝状气体喷嘴11包括：具有气路31的第一部件21；以及第二部件22，第二部件22固定于第一部件21的气路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口；

所述狭缝状液体喷嘴12包括：具有液路32的第三部件23；以及第四部件24，第四部件24固定于第三部件23的液路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口。

对于狭缝状气体喷嘴11的狭缝状喷口的形成来说，可以通过在第一部件21上开台阶槽或在第二部件22上开台阶槽，也可以通过在第一部件21和第二部件22间夹置垫片。同理，狭缝状液体喷嘴12的狭缝状喷口也可通过上述方式形成。

如图3所示，图3为本发明另一实施例基板边缘光刻胶的去除装置的结构示意图，优选的，第三部件23设置有位于液路出口的第一凹槽33，第四部件24对应第一凹槽33设置有第二凹槽34，第一凹槽33和第二凹槽34构成储液腔。

当液体流速过快且液路发生变化时，液体可能出现断流现象，在液路出口增加了储液腔，可保证液体不断流，防止液体中气泡的产生。

请继续参照图2或图3所示，优选的，第一部件21和第三部件23为一体结构。

第一部件21和第三部件23为一体结构，提高了整个清洗装置的统一性，也提高了清洗装置的可靠性，在安装时也提高了安装效率。

请继续参照图3所示，优选的，所述基板边缘光刻胶的去除装置还包括固定喷洗装置的机架40，机架40可沿基板边缘往复运动。

在喷洗时，喷洗装置随机架40沿基板边缘做往复运动，大大节省了基板边缘光刻胶的去除时间，提高了基板边缘光刻胶的去除效率。例如，机架40可在马达的带动下进行往复运动。

下述列举一个基板边缘光刻胶的去除装置具体的结构形式，如图4所示，图4为本发明另一实施例基板边缘光刻胶的去除装置的爆炸结构示意图，包括第二部件22，第四部件34以及一体结构的第一部件和第三部件，在第二部件22设置有台阶槽，可形成狭缝状喷口，在第四部件24上也设置有台阶槽，可形成狭缝状喷口。一体结构的液路出口设置有第一凹槽33，对应地，第四部件24上设置有第二凹槽34，第一凹槽33和第二凹槽34可以形成储液腔。第一凹槽33和第二凹槽34可以为半圆柱形凹槽，第二部件22和第四部件24可以分别通过螺栓固定于一体结构上。

本发明实施例还提供另外两种基板边缘光刻胶的去除装置，一种是在原有清洗装置的基础上，将喷出光刻胶溶解剂和气体的针的数量都减半，并且针的孔径都加大到原来的1.4倍。这样可以起到针变的不易因外力引起形变和不容易堵塞的作用。但是针形喷嘴的孔径加大后，清洗效果不理想。

另一种是在原有清洗装置的基础上，只将喷射氮气的针形喷嘴改为狭缝状喷嘴，喷射光刻胶溶解剂的针形喷嘴不做改变。这样可以使得喷射氮气的狭缝形成气帘，阻止光刻胶溶解剂的溅射。但是这种方案无法防止喷射光刻胶溶解剂的针形喷嘴发生形变或堵塞现象的发生。

上述基板边缘光刻胶的去除装置的材质为钢材质，例如不锈钢，硬度较大，并且可以防止光刻胶溶解剂对去除装置的腐蚀，提高去除装置的使用寿命。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种基板边缘光刻胶的去除装置，包括喷洗装置，所述喷洗装置具有喷射光刻胶溶解剂的液体喷嘴和喷射气体的气体喷嘴，所述气体喷嘴喷出的气体将落于基板边缘的光刻胶溶解剂吹向基板外侧，其特征在于，所述气体喷嘴和所述液体喷嘴分别为狭缝状气体喷嘴和狭缝状液体喷嘴；所述狭缝状气体喷嘴喷出的气体落于基板表面形成第一狭缝区，所述狭缝状液体喷嘴喷出的液体落于基板表面形成第二狭缝区，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区不相重叠。

2.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度为0.02～0.10毫米，所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度为0.02～0.10毫米。

3.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴的狭缝宽度大于所述狭缝状液体喷嘴的狭缝宽度。

4.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区为条形，所述第一狭缝区和所述第二狭缝区平行且所述第一狭缝区和所述第二狭缝区的间距为0.5～1.0毫米。

5.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴到基板的距离大于所述狭缝状液体喷嘴到基板的距离。

6.如权利要求5所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴和所述狭缝状液体喷嘴到基板的距离差为1～5毫米。

7.如权利要求1～6任一项所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述狭缝状气体喷嘴包括：具有气路的第一部件；以及第二部件，所述第二部件固定于所述第一部件的气路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口；

所述狭缝状液体喷嘴包括：具有液路的第三部件；以及第四部件，所述第四部件固定于所述第三部件的液路出口所在侧面，且与所述侧面构成狭缝状喷口。

8.如权利要求7所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述第三部件设置有位于液路出口的第一凹槽，所述第四部件对应所述第一凹槽设置有第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽构成储液腔。

9.如权利要求7所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，所述第一部件和所述第三部件为一体结构。

10.如权利要求1所述的基板边缘光刻胶的去除装置，其特征在于，还包括固定所述喷洗装置的机架，所述机架可沿基板边缘往复运动。