CN103904005B - 测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括其的衬底加工装置 - Google Patents

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Abstract

公开了测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底处理装置，该多功能装置可通过在同一腔体执行测试和刻蚀操作而提高空间效率和制造效率。该多功能装置包括：在一侧具有入口、另一侧具有出口的腔体，衬底通过入口被输入腔体并通过出口从腔体输出；传送单元，设置于腔体内，被配置为在从入口到出口的方向传送输入的衬底；激光刻蚀单元，设置于传送单元上方，被配置为刻蚀设置于传送单元上的衬底的一部分；以及测试单元，配置为测试设置于传送单元上的衬底。

Description

测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括其的衬底加工装置
相关申请的交叉引用
本申请要求于2012年12月27日向韩国知识产权局（KIPO）提交的韩国专利申请第10-2012-0155324号的优先权，其全部内容通过引用并入本文。
技术领域
本发明的实施方式的方面涉及测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底加工装置。
背景技术
通常，用于制造有机发光显示装置的可比过程顺序包括：形成包括发射层的有机材料的第一沉积操作，在有机材料上形成电极的第二沉积操作，去除多余的沉积材料的刻蚀操作，形成封闭层以保护有机发光装置（OLED）免受外部杂质影响的操作，和制造的有机发光显示装置的性能测试操作。
然而，用于制造有机发光显示装置的上述可比的过程是有问题的，由于执行上述操作的单元占用大量的空间，因而其空间效率较低。
而且，根据用于制造有机发光显示装置的可比过程，尽管由于制造过程（例如沉积操作）期间的未对准而导致制造出有缺陷的有机发光显示装置，但是这样的缺陷在形成封闭层操作之后的测试操作期间被检测。这样，尽管在测试期间为了检测特定面板（衬底）的缺陷而为该特定面板停止制造过程，但是随后的面板（衬底）仍然通过沉积操作制造，而该沉积操作可能是有缺陷的，在检测到面板（衬底）的缺陷之前不会停止，这是有问题的，引起制造效率低下。
发明内容
为了针对用于制造有机发光显示装置的可比过程的缺点和/或其它问题，本发明实施方式的各个方面涉及能够通过在同一腔体内执行测试和刻蚀操作来提高空间效率和制造效率的用于测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底加工装置。
根据本发明的实施方式，提供了一种测试和刻蚀衬底的多功能装置，所述多功能装置包括：腔体，在一侧具有入口，另一侧具有出口，所述衬底通过所述入口被输入腔体并通过所述出口从腔体输出；传送单元，设置于所述腔体内，被配置为在从所述入口到所述出口的方向传送输入的衬底；激光刻蚀单元，设置于所述传送单元上方，被配置为刻蚀设置于所述传送单元上的所述衬底的一部分；以及测试单元，配置为测试设置于所述传送单元上的所述衬底。
测试单元可以设置在传送单元下方。
腔体可在其下部具有下部开口。多功能装置可进一步包括用于使得所述测试单元上下移动的上下单元，其中，所述测试单元配置为通过所述上下单元向上移动，从而被设置为与所述腔体的下部开口相邻，从而测试所述衬底。在一个实施方式中，当所述测试单元通过所述上下单元向上移动时，所述测试单元遮蔽所述腔体的下部开口。
多功能装置可进一步包括上下单元，所述上下单元使得所述测试单元上下移动通过所述下部开口，从而所述测试单元置于所述腔体的内部或外部。所述测试单元可通过所述上下单元向上移动，从而被设置在所述腔体内部以测试所述衬底。
所述测试单元可包括板和多个测试装置，所述板中形成有多个孔，所述测试装置接合到所述多个孔的至少一部分中。所述测试装置能够可拆卸地结合到所述多个孔的至少一部分中。
多功能装置可进一步包括旋转单元，用于使设置于所述传送单元上的所述衬底旋转以面向所述腔体的侧面，其中，所述测试单元设置为接近所述传送单元并配置为对被旋转的衬底进行测试。
激光刻蚀单元可包括：激光束照射单元，用于将激光束照射到所述衬底上；第一传送单元，用于在从所述入口到所述出口的方向上或者在与从所述入口到所述出口的方向相反的方向上传送所述激光束照射单元；以及第二传送单元，用于在与从所述入口到所述出口的方向相交的方向上传送所述激光束照射单元。所述第一传送单元和所述第二传送单元中的一个传送单元被配置为与所述激光束照射单元一起，被所述第一传送单元和所述第二传送单元中的另一个传送单元传送。
激光刻蚀单元可包括：激光束照射单元，用于将激光束照射到所述衬底上；引导单元，配置为将从所述激光束照射单元发出的激光束照射到所述衬底上；第一传送单元，用于在从所述入口到所述出口的方向上或者在与从所述入口到所述出口的方向相反的方向上传送所述引导单元；以及第二传送单元，用于在与从所述入口到所述出口的方向相交的方向上传送所述引导单元。所述第一传送单元和所述第二传送单元中的一个传送单元被配置为与所述引导单元一起，被所述第一传送单元和所述第二传送单元中的另一个传送单元传送。所述激光束照射单元关于所述腔体的相对位置是固定的。
多功能装置可进一步包括刻蚀单元支撑单元，配置为从所述腔体外部支撑所述激光刻蚀单元，其中，所述腔体具有形成于上部的上部开口并包括遮蔽所述上部开口的传输窗口，其中，所述激光束照射单元配置为通过所述传输窗口将激光束照射到衬底上。所述刻蚀单元支撑单元可配置为不接触所述腔体。
腔体的内部维持为氮气环境。
测试和刻蚀衬底的多功能装置配置为制造底部发射显示装置。传送单元可接触和传送所述衬底，光线穿过所述衬底，所述衬底是所述底部发射显示装置的部件。
根据本发明的另一个实施方式，提供一种衬底处理装置，包括：第一处理腔体；第二处理腔体；以及测试和刻蚀衬底的多功能装置，所述多功能装置设置在所述第一处理腔体与所述第二处理腔体之间。
衬底处理装置可进一步包括：第一腔体支撑单元，用于支撑所述第一处理腔体；以及第二腔体支撑单元，用于支撑所述第二处理腔体，其中，测试和刻蚀衬底的所述多功能装置由所述第一腔体支撑单元和所述第二腔体支撑单元支撑。
第一处理腔体可以是沉积腔体或等离子刻蚀腔体。
第二处理腔体可以是封装腔体。
衬底处理装置可被配置为制造底部发射显示装置。测试和刻蚀衬底的多功能装置的传送单元可以接触和传送所述衬底，光线穿过所述衬底，所述衬底是所述底部发射显示装置的部件。
附图说明
本发明的上述特征和其它特征以及优势将会通过参照附图对其示例性实施方式的详细描述而变得明显，其中：
图1是示出根据本发明一个实施方式的用于测试和刻蚀衬底的多功能装置的示意性截面图；
图2是根据本发明一个实施方式的图1的测试和刻蚀衬底的多功能装置的测试单元的示意性立体图；
图3是根据本发明一个实施方式的图1的测试和刻蚀衬底的多功能装置的激光刻蚀单元和传送单元的示意性立体图；
图4是根据本发明一个实施方式的图1的测试和刻蚀衬底的多功能装置的传送单元的变型的示意性立体图；
图5是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置的示意性截面图；
图6是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置的示意性截面图；
图7是根据本发明一个实施方式的图6的测试和刻蚀衬底的多功能装置的激光刻蚀单元的示意性立体图；
图8是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置的示意性截面图；
图9是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置的示意性截面图；
图10是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置的示意性截面图；以及
图11是解释根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置的测试单元和传送单元的操作的示意性截面图。
具体实施方式
现在将详细描述本发明的实施方式，其实施例在附图中示出，全文中相同附图标记表示相同的部件。为了解释本发明的各个方面，将参考附图描述这些实施方式。在附图中，为了便于描述，部件的大小可以放大或者缩小。
在下面的实施方式中，x，y和z轴并不限于正交坐标系统的三个轴，而是可以被解释为任何三个合适的轴。例如，x，y和z轴可以彼此正交或者可以指代彼此不正交的不同方向。
而且，图中部件的大小和厚度是为了描述的方便而示例性示出的，但本发明不限于此。
进一步，在附图中，为了清楚或描述方便，层和区域的厚度可被放大或者缩小。可以理解，当部件（例如层，薄膜，区域，板等）被称为在另一个部件之“上”，则该部件可以直接位于另一个部件之上，或者其间可插入有一个或多个中间部件。
图1是示出根据本发明实施方式的用于测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的示意性截面图。图2是根据本发明实施方式的图1的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的测试单元140方案的立体图。图3是根据本发明一个实施方式的图1的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的激光刻蚀单元130和传送单元120的示意性立体图。
根据本发明实施方式的测试和刻蚀衬底的多功能装置100包括腔体110、传送单元120、激光刻蚀单元130和测试单元140。
腔体110可形成根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的整体外观。腔体110在其一侧（-x方向）具有入口110a，在其另外一侧（+x方向）具有出口110b。衬底10可以通过入口110a输入腔体110和通过出口110b从腔体110输出。就这一点而言，衬底10可以仅为衬底，或者可以是其上形成有薄膜晶体管（TFT）、像素电极、包括发射层的中间层和相反电极的衬底。这将应用于下面描述的本申请实施方式及其变型。
腔体110可以从外部遮蔽腔体110的内部，以防止内部被外部影响。腔体110的内部可维持为氮气环境，从而防止刻蚀或者测试的衬底10被杂质影响。为了这个目的，提供氮气的挑剔线（未示出）可连接于腔体110。
测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可用于制造有机发光显示装置的过程。例如，测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可放置于第一处理腔体200和第二处理腔体300之间。就这一点而言，第一处理腔体200可以是，例如等离子刻蚀腔和沉积腔。第二处理腔体300可以是，例如，封装腔。这将在以后详细描述。
第一处理腔体200可被第一腔体支撑单元270支撑。第二处理腔体300可被第二腔体支撑单元370支撑。在这种情况，测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的腔体110可被第一腔体支撑单元270和第二腔体支撑单元370支撑。与此不同，额外的支撑单元可被用于支撑腔体110。然而，通过使测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的腔体110被第一腔体支撑单元270和第二腔体支撑单元370所支撑，在腔体110的较低位置（-z方向）可获得空间，该空间可被用于各种合适的应用。第一腔体支撑单元270可与腔体110成为一体或与其分离。第二腔体支撑单元370可与腔体110成为一体或与其分离。
传送单元可设置于腔体110之内，可从入口110a到出口110b（+x方向）传送进入的衬底10。这样的传送单元120可具有各种合适的形状。可通过使多个轮121、122和123旋转而传送衬底10。在一个实施方式中，衬底10可通过直接与轮121、122和123接触而被传送。可通过使用夹具（未示出）将衬底10固定至承载件20上并使承载件20与轮121、122和123接触而传送衬底10。在使用承载件的方案中，承载件20可以在其中心部分具有开口部分，从而允许测试单元140测试衬底10，以下将详细描述。
在图1-3中，尽管传送单元120包括轮121、122和123以及被配置为使轮121、122和123旋转的固定的传送框架125（参考图3），但本发明并不限制于此。例如，传送单元120可以具有两个平行传送带结构，这两个传送带在传送方向（+x方向）上延伸，并且在与传送方向相交的方向（+y方向）上彼此隔开。
而且，如图4（传送单元120的变型的示意性立体图）所示，传送单元可以不包括在传送方向（+x方向）延伸的轮，而是包括固定于传送框架125或者腔体110的轨道127。在这种情况下，其中安放有衬底10的承载件20包括轮121’和122’，从而承载件20在轨道127上传送。
就这一点而言，传送单元可以包括轨道127，轨道127在传送方向（+x方向）上延伸并且在与传送方向（+x方向）交叉的方向（+y方向）上彼此隔开（图4仅显示了轨道127之一），并且其中安放有衬底10的承载件20可包括轮121’和122’，轮121’和122’在轨道127方向上可旋转地固定于承载件20的侧表面并且上下（z轴方向）彼此隔开。在这种情况下，轨道127置于在承载件20的侧表面彼此上下隔开的轮121’和122’之间，从而下部的和上部的轮121’和122’的旋转方向彼此相反，这样承载件20可在轨道127上传送。
激光刻蚀单元130可被置于传送单元120上方（+z方向）。通过将激光束照射与衬底10设置在传送单元120上的先前设置部分上，激光刻蚀单元130刻蚀该先前设置部分。就这一点而言，刻蚀的部分可以是，例如，形成于衬底上的、由有机或者无机材料形成的层的一部分。如上所述，如果在带有轮221的第一处理腔体200中执行沉积，然后衬底10输入到测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，则激光束可照射到在第一处理腔体200中沉积的材料层的特定区域，从而去除被照射的区域。
带有轮321的等离子刻蚀腔体300在去除沉积层的一部分的制造过程期间被适当使用。这里，在实施方式的情况下，需要通过使用掩模来掩蔽不应被去除的部分。相应的，如果将要制造的有机发光显示装置的规范及制造过程变化，则改变掩模是不方便的。然而，根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100选择一部分去除并且照射激光束到选择的部分上，从而极大提高了制造效率。
特别的，为了这个目的，除了激光束照射单元133之外，刻蚀单元130可包括第一传送单元131和第二传送单元132。而且，例如，第一传送单元131和第二传送单元132的其中之一连同激光束照射单元133可被其中另一个传送。
激光束照射单元133是最终发射激光束到衬底10上的部件。第一传送单元131可在从腔体110的入口110a到出口110b的方向（+x方向）上或者与该方向（+x方向）相反的方向（-x方向）上传送激光束照射单元133。第一传送单元131可以各种合适的方式实现。例如，第一传送单元131可包括旋转轴和电机，该旋转轴在从腔体110的入口110a到出口110b的方向（+x方向）上延伸，并在其圆周表面上具有螺纹，电机使得旋转轴正向或反向旋转。在这种情况下，激光束照射单元133包括使旋转轴通过的通孔，通孔内表面具有螺纹，从而当旋转轴通过电机正向或反向旋转时，激光束照射单元133能够在旋转轴延伸的方向（+x方向）或者在与旋转轴延伸的方向相反的方向（-x方向）上被传送。
第二传送单元132在与从腔体110的入口110a到出口110b的方向（+x方向）相交的方向（+y方向或者-y方向）上传送激光束照射单元133。由于第二传送单元132在与从腔体110的入口110a到出口110b的方向（+x方向）相交的方向（+y方向或者-y方向）上传送第一传送单元131，因而使得设置于第一传送单元131上的激光束照射单元133得以传送。第二传送单元132也可以多种方式实现。如第一传送单元131的示例性结构所描述的，第二传送单元132也可包括在其圆周表面具有螺纹的旋转轴和使得旋转轴旋转的电机。在这种情况下，第一传送单元131中可形成有使得第二传送单元132的旋转轴通过的、在其内表面具有螺纹的通孔。
如上所述，因为激光刻蚀单元130可容易从外部改变和控制激光束照射单元133的位置而不用打开腔体110，因此即使要制造的有机发光显示装置的规范及其制造过程变化，这个问题也可被迅速处理。
而且，虽然到目前为止，描述了在第一处理腔体200内执行沉积、然后将衬底10输入到用于测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，但本发明并不限制于此。例如，第一处理腔体200可以是等离子刻蚀腔体，在到达第一处理腔体200之前对衬底10执行沉积之后，通过使用等离子体刻蚀沉积在不必要的部分之上的沉积材料。其后，等离子刻蚀腔体粗略去除沉积在不必要部分上的沉积材料，接着衬底10被输入根据本发明的实施方式的用于测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的腔体110中，激光刻蚀单元130可进一步精确去除沉积在不必要部分的沉积材料。
测试单元140可测试置于传送单元120上的衬底10。更具体地，测试单元140可置于传送单元120下方（-z方向），对置于传送单元120上的衬底10进行测试。如图2所示，这样的测试单元140可包括其中形成有多个孔的板142以及接合到多个孔的至少一部分中的测试装置141。就这一点而言，测试装置141可拆卸地接合到多个孔的至少一部分中。相应的，当有必要改变测试装置141的位置或者交换测试装置141时，可容易改变位置或可容易交换测试装置141。
测试装置141例如可以是显微镜或者照相机，从而测试正在被制造的有机发光显示装置是否具有缺陷点或在整个表面的均匀的亮度。测试结果可直接反馈到第一处理腔体200，从而有助于制造产量的增加。
测试单元140置于传送单元120下方（-z方向）并且测试置于传送单元120上的衬底10（例如正在被制造的有机发光显示装置）。这样，该装置（例如正在被制造的有机发光显示装置）可以是底部发射显示装置，其向设置有测试单元140的下部发出光并通过衬底10。
传送单元120可传送通过夹具（未示出）固定在承载件20上的衬底10。在这种情况，传送单元120可接触承载件20。另一方面，传送单元120通过直接接触衬底10，无需承载件20而传送衬底10，当衬底10为底部发射显示装置的元件时，光将通过衬底10。
在根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，其上部执行刻蚀以去除衬底10上的多余部分，其下部测试衬底10，从而极大提高了空间效率，而与传统有机发光显示装置等的制造设施不同，其单独使用或需要刻蚀腔体和测试腔体，需要巨大的空间。
而且，测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可置于第一处理腔体200与第二处理腔体300之间，第一处理腔体200是沉积腔体或者等离子刻蚀腔体，第二处理腔体300300是封装腔体。
用于制造有机发光显示装置的可比装置包括形成包括发射层的有机材料的第一沉积腔体、在有机材料上形成电极的第二沉积腔体、去除多余沉积材料的刻蚀腔体、保护OLED免受外部杂质影响的封装层形成腔体、以及测试所制造的有机发光显示装置性能的测试腔体，该可比装置通过顺序传送衬底使其通过上述腔体来制造有机发光显示装置。这样，即使由于诸如沉积过程中的未对准而导致制造出有缺陷的有机发光显示装置，但这样的缺陷可在封装层形成腔体之后的测试腔体中被检测到。因此，尽管特定面板（衬底）的制造过程由于在测试腔体中对该特定面板（衬底）的缺陷进行检测而停止，但后续面板（衬底）仍然在可能有缺陷的第一和第二沉积腔体中进行制造，直到检测出面板（衬底）的缺陷都不停止，这样的问题导致了低的制造效率。
根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可置于第一处理腔体200与第二处理腔体300之间，第一处理腔体200是沉积腔体或者等离子刻蚀腔体，第二处理腔体300是封装腔体。这样，在封闭腔体中形成封装层之前，需要从衬底10去除的多余沉积材料能够被去除（刻蚀掉）。
相应的，在封装层形成操作之前进行测试。也就是说，测试单元140检测由于在封装层形成操作之前的制造过程中的未对准而导致制造出的有缺陷的有机发光显示装置。这样，如果测试和刻蚀衬底10的多功能装置100检测到特定面板（衬底）的缺陷并且停止制造过程，则尽管在检测出后续面板（衬底）的缺陷前这些后续面板（衬底）已经连续输入沉积腔体，但先前输入的面板（衬底）的数目可被大量减少。这可产生了增加制造收益并且减少制造成本的效果。
图5是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的示意性截面图。根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100在激光刻蚀单元130方面，不同于根据先前实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100。根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的激光刻蚀单元130除了激光束照射单元133之外还包括引导单元134，激光刻蚀单元130还包括第一传送单元131和第二传送单元132。
激光束照射单元133可发射激光束但并不直接将激光束发射至衬底10上。引导单元134可将激光束从激光束照射单元133发射至衬底10上。这样的引导单元134例如可包括具有倾斜趋向的反射表面。
第一传送单元131和第二传送单元132可传送引导单元134。更具体地，第一传送单元131可在从入口110a到出口110b的方向（+x方向）或者在与该方向（+x方向）相反的方向（-x方向）上传送引导单元134，第二传送单元132在与从入口110a到出口110b的方向（+x方向）相交的方向（+y方向或者-y方向）上传送引导单元134。第一传送单元131和第二传送单元132的其中一个单元可与引导单元134一起，被另一个单元传送。在图5中，第一传送单元131和引导单元134可被第二传送单元132传送。
沉积操作可在第一处理腔体200中执行，或者，封闭操作可在第二处理腔体300中执行。在相邻腔体中执行的这些操作需要非常高的精度，因而需要使得振动的发生最小化。相应的，当激光束照射单元133的位置改变以去除沉积在衬底10上沉积的多余材料，可导致过度振动并且对相邻腔体具有较坏影响。
然而，在根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，激光束照射单元133并为被第一传送单元131或者第二传送单元132传送，而是引导单元134被传送。相应的，被第一传送单元131或第二传送单元132传送的部件的重量和尺寸被减小或最小化，因此在传送过程中可能发生的振动可被减小或最小化。特别地，激光束照射单元133的相对位置关于腔体110是固定的，从而最小化了振动的产生。
图6是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的示意性截面图。图7是图6的根据本发明实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的激光刻蚀单元130的示意性立体图。根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可进一步包括从腔体110的外部支撑激光刻蚀单元130的刻蚀单元支撑单元150。刻蚀单元支撑单元150可不接触腔体110。
激光刻蚀单元130可置于腔体110之外。而且，腔体110具有形成于其上部的上部开口和遮蔽该上部开口的传输窗口110c。相应的，激光束照射单元133可通过传输窗口110c发射激光束至衬底10上。
在根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，尽管激光束发射单元133的位置可移动，但由于支撑激光束刻蚀单元130的刻蚀单元支撑单元150并不接触腔体110，因此在移动激光束发射单元133的位置的操作期间可能产生的振动可能并不会传送到腔体110。
作为根据本实施方式的刻蚀衬底10的多功能装置100的一种变型，激光束照射单元133可在腔体110外部被第一支撑单元支撑，引导单元134也可被腔体110外部的第二支撑单元支撑，从而根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可以各种方式进行修改。
图8是通过本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的示意性截面图。
在根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，腔体110在其下部具有下部开口110d。腔体110进一步包括上下单元160，使测试单元140上下（+z方向或-z方向）移动。相应的，如果测试单元140被上下单元160在+z方向向上移动，则与腔体110的下部开口110d相邻的测试单元140可测试衬底10。如果测试单元140被上下单元160在+z方向向上移动，腔体110的下部开口110d可被测试单元140遮蔽。
在根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，当有必要更换测试单元140的测试装置141或者调整测试装置141的位置时，测试装置141可被更换，或者它的位置可通过上下单元160向下移动测试单元140而进行调整，并且衬底10可通过上下单元160向上移动测试单元140而进行测试
特别的，当第一处理腔体200被第一腔体支撑单元270支撑，第二处理腔体300被第二腔体支撑单元370支撑时，测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的腔体110可被第一腔体支撑单元270和第二腔体支撑单元370支撑。在这种情况下，当测试单元140在下部时，上下单元160可置于腔体110的下部空间。
图9是示出根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的示意性截面图。在图8中，当测试单元140向上移动时，腔体110的下部开口110d被测试单元140的板142遮蔽。在根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100中，上下单元160也可上下移动其中安装有测试单元140的遮蔽板110e，并且当遮蔽板110e向上移动时，腔体110的下部开口110d被遮蔽板110e所遮蔽。因此，上下单元160可使测试单元140上下移动通过下部开口110d，从而使得测试单元140可置于腔体110内部或外部。测试单元140被上下单元160向上移动，并置于腔体110内部以测试衬底10。
在这种情况下，为了确保遮蔽，诸如螺钉等的接合部件110f可被用于使遮蔽板110e与腔体110联接。诸如橡胶等的弹性元件可置于遮蔽板110e与腔体110之间，从而分开腔体110的内部和外部。
而且，在这种情况下，腔体110可进一步包括附加的上下单元，其使测试单元140从遮蔽板110e向上或者向下移动，这样各种修改是可能的。
图10是根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的示意性截面图。根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可在腔体110内安装上下单元160来向上和向下移动遮蔽板110e。这样的上下单元160例如可包括：在圆周表面上具有螺纹的旋转轴和使旋转轴前向或后向旋转的电机。遮蔽板110e可包括通孔（旋转轴通过该通孔），通孔的内表面具有螺纹。
图11是用于解释根据本发明另一个实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100的测试单元和传送单元的操作的示意性截面图。
参考图11，根据本实施方式的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100进一步包括旋转单元（未示出），使置于传送单元120上的衬底10旋转以面向腔体110的侧表面。而且，测试单元140可置于侧表面上，以在一方向（-y方向或+y方向）上面向传送单元，从而沿另一方向（-z方向）测试旋转的衬底10。在这种情况下，测试单元140可通过置于腔体110的朝内侧表面的上下单元160，在朝着腔体110中心部分的方向（+y方向）向上移动或者在与方向（+y方向）相反的方向（-y方向）向下移动。
旋转单元可仅旋转承载件20，其中，衬底10通过使用夹具固定至承载件20，或者如图11所示，可旋转承载件20和传送单元120。在后面一种情况下，例如参考图4所描述，传送单元120可包括轨道127，衬底10安放至其的承载件20可包括轮121’和122’。
这里，如图3所示，传送单元120可包括轮121、122和123，轮121、122和123在传送框架125两侧可旋转地安装于传送框架125中。在这种情况下，当置于传送单元120下部的测试单元140测试有机发光显示装置的发射状态时，有机发光显示装置可被连接轮121、122和123的轴部分遮蔽。因此，衬底10或者衬底10通过使用夹具固定至其的承载件20被旋转单元（未示出）相对于x轴旋转例如90度，因此整个表面可被置于腔体110的朝内侧表面处（上）的测试单元140测试。
尽管测试和刻蚀衬底10的多功能装置100如上描述，但本发明并并不限制于此。例如，如图1所示，衬底处理装置包括第一处理腔体200，第二处理腔体300以及置于第一处理腔体200和第二处理腔体300之间的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100，该衬底处理装置也属于本发明的范围。就这一点而言，包括在衬底处理装置中的测试和刻蚀衬底10的多功能装置100可被修改为以上描述的各种合适的方式。
而且，各种合适的修改是可能的，例如门、缓冲腔体或者缓冲区可置于第一处理腔体200与测试和刻蚀衬底10的多功能装置100之间，或者置于测试和刻蚀衬底10的多功能装置100与第二处理腔体300之间。
如上所述，本发明的一个或者多个实施方式提供了测试和刻蚀衬底的多功能装置以及包括该多功能装置的衬底处理装置，该多功能装置可通过在同一腔体执行测试和刻蚀操作而提高空间效率和制造效率。
尽管已经参考本发明的示例性的实施方式具体地示出和描述了本发明，但是本领域技术人员将理解可在本文内进行形式和细节的各种改变而不背离如由权利要求限定的本发明的精神和范围。

Claims (26)

1.测试和刻蚀衬底的多功能装置，所述多功能装置包括：
腔体，在一侧具有入口，另一侧具有出口，所述衬底通过所述入口被输入腔体并通过所述出口从腔体输出；
传送单元，设置于所述腔体内，被配置为在从所述入口到所述出口的方向传送输入的衬底；
激光刻蚀单元，设置于所述传送单元上方，被配置为刻蚀设置于所述传送单元上的所述衬底的一部分；
测试单元，配置为测试设置于所述传送单元上的所述衬底；以及
上下单元，配置为使得所述测试单元上下移动。
2.如权利要求1所述的多功能装置，其中，所述测试单元设置在所述传送单元下方。
3.如权利要求2所述的多功能装置，其中，所述腔体在其下部具有下部开口。
4.如权利要求3所述的多功能装置，其中，所述测试单元配置为通过所述上下单元向上移动，从而被设置为与所述腔体的下部开口相邻，从而测试所述衬底。
5.如权利要求4所述的多功能装置，其中，当所述测试单元通过所述上下单元向上移动时，所述测试单元遮蔽所述腔体的下部开口。
6.如权利要求3所述的多功能装置，其中，所述上下单元配置为使得所述测试单元上下移动通过所述下部开口，从而所述测试单元置于所述腔体的内部或外部。
7.如权利要求6所述的多功能装置，其中，所述测试单元配置为通过所述上下单元向上移动，从而被设置在所述腔体内部以测试所述衬底。
8.如权利要求1所述的多功能装置，其中，所述测试单元包括板和多个测试装置，所述板中形成有多个孔，所述测试装置接合到所述多个孔的至少一部分中。
9.如权利要求8所述的多功能装置，其中，所述测试装置可拆卸地结合到所述多个孔的至少一部分中。
10.如权利要求1所述的多功能装置，进一步包括旋转单元，用于使设置于所述传送单元上的所述衬底旋转以面向所述腔体的侧面，
其中，所述测试单元设置为接近所述传送单元并配置为对被旋转的衬底进行测试。
11.如权利要求1所述的多功能装置，其中所述激光刻蚀单元包括：
激光束照射单元，用于将激光束照射到所述衬底上；
第一传送单元，用于在从所述入口到所述出口的方向上或者在与从所述入口到所述出口的方向相反的方向上传送所述激光束照射单元；以及
第二传送单元，用于在与从所述入口到所述出口的方向相交的方向上传送所述激光束照射单元。
12.如权利要求11所述的多功能装置，其中，所述第一传送单元和所述第二传送单元中的一个传送单元被配置为与所述激光束照射单元一起，被所述第一传送单元和所述第二传送单元中的另一个传送单元传送。
13.如权利要求1所述的多功能装置，其中所述激光刻蚀单元包括：
激光束照射单元，用于将激光束照射到所述衬底上；
引导单元，配置为将从所述激光束照射单元发出的激光束照射到所述衬底上；
第一传送单元，用于在从所述入口到所述出口的方向上或者在与从所述入口到所述出口的方向相反的方向上传送所述引导单元；以及
第二传送单元，用于在与从所述入口到所述出口的方向相交的方向上传送所述引导单元。
14.如权利要求13所述的多功能装置，其中，所述第一传送单元和所述第二传送单元中的一个传送单元被配置为与所述引导单元一起，被所述第一传送单元和所述第二传送单元中的另一个传送单元传送。
15.如权利要求13所述的多功能装置，其中，所述激光束照射单元关于所述腔体的相对位置是固定的。
16.如权利要求11所述的多功能装置，进一步包括刻蚀单元支撑单元，配置为从所述腔体外部支撑所述激光刻蚀单元，
其中，所述腔体具有形成于上部的上部开口并包括遮蔽所述上部开口的传输窗口，以及
其中，所述激光束照射单元配置为通过所述传输窗口将激光束照射到衬底上。
17.如权利要求16所述的多功能装置，其中所述刻蚀单元支撑单元配置为不接触所述腔体。
18.如权利要求1所述的多功能装置，其中所述腔体的内部维持为氮气环境。
19.如权利要求1所述的多功能装置，其中，用于测试和刻蚀衬底的所述多功能装置配置为制造底部发射显示装置。
20.如权利要求19所述的多功能装置，其中，所述传送单元配置为接触和传送所述衬底，光线穿过所述衬底，所述衬底是所述底部发射显示装置的部件。
21.衬底处理装置，包括：
第一处理腔体；
第二处理腔体；以及
如权利要求1所述的测试和刻蚀衬底的多功能装置，所述多功能装置设置在所述第一处理腔体与所述第二处理腔体之间。
22.如权利要求21所述的衬底处理装置，进一步包括：
第一腔体支撑单元，用于支撑所述第一处理腔体；以及
第二腔体支撑单元，用于支撑所述第二处理腔体，
其中，测试和刻蚀衬底的所述多功能装置由所述第一腔体支撑单元和所述第二腔体支撑单元支撑。
23.如权利要求21所述的衬底处理装置，其中，所述第一处理腔体是沉积腔体或等离子刻蚀腔体。
24.如权利要求21所述的衬底处理装置，其中，所述第二处理腔体是封装腔体。
25.如权利要求21所述的衬底处理装置，其中，所述衬底处理装置配置为制造底部发射显示装置。
26.如权利要求25所述的衬底处理装置，其中，测试和刻蚀衬底的所述多功能装置的传送单元配置为接触和传送所述衬底，光线穿过所述衬底，所述衬底是所述底部发射显示装置的部件。
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