CN103857633B - 薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法。从通过浮法流动熔融玻璃而制造的浮板中按照长边方向相对于浮动的流动方向成为90度的方式来切取玻璃母材。通过浮法使玻璃母材在长边方向上移动并在加热炉内加热进行软化，延伸为规定厚度而成形再曳引条来制造薄板玻璃。在再曳引条的成形时基于玻璃母材的长边方向的板厚分布来对传送速度和拉拔速度进行前馈控制。基于成形的再曳引条的长边方向的条厚分布来计算拉拔速度的补正值，并反馈应用于后行的玻璃母材的拉拔速度。

Description

薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法

技术领域

本发明涉及对玻璃母材进行加热延伸而形成的薄板玻璃的制造方法以及使用了薄板玻璃的基板的制造方法。

背景技术

以往以来，对半导体元件的基板、在电场效应型的平板显示器中使用的间隔器(spacer)和在磁盘基板等中使用的玻璃板寻求板厚均匀度和表面粗糙度优化。

作为制造具有规定的厚度且提高表面粗糙度的薄板玻璃的方法，提出有加热软化玻璃母材而使其延伸为规定的厚度的薄板玻璃的方法等(参照专利文献1)。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平11-199255号公报

发明概要

发明要解决的课题

但是，在使用专利文献1中记载的制造方法对通过浮(float)法制造的板玻璃进行加热软化使其延伸来制造薄板玻璃的情况下，存在以下问题，即，制造的薄板玻璃的板厚均匀度受到玻璃母材的板厚分布的影响，有时会无法得到希望的板厚均匀度。

本发明鉴于上述而形成，目的在于，提供一种即使在对由浮法制造的玻璃母材进行加热延伸的情况下，也能够制造板厚均匀度优异的薄板玻璃和玻璃基板的薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法。

发明内容

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，达成上述目的，本发明涉及的薄板玻璃的制造方法是具有对由浮法制造的玻璃母材进行加热使其软化并使其延伸为希望的厚度从而形成薄板玻璃的再曳引(redraw)工序的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，将再曳引工序中的玻璃母材的延伸方向相对于在浮法中流过熔融玻璃的流动方向设为90度的方向。

本发明涉及的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，在上述发明中，包括控制工序，在该控制工序中，基于玻璃母材的板厚分布来控制玻璃母材的传送速度和拉拔玻璃母材的拉拔速度中的至少一个速度。即，在本发明中，对玻璃母材的传送速度以及拉拔速度中的至少一个速度进行基于玻璃母材的板厚分布的前馈控制。

本发明涉及的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，在上述发明中，具有拉拔速度控制工序，在该拉拔速度控制工序中，基于玻璃母材的板厚分布来控制拉拔玻璃母材的拉拔速度；控制工序包括拉拔速度补正工序，在该拉拔速度补正工序中，测定由先行的第一玻璃母材成形的薄板玻璃的沿着长边方向的板厚分布，基于测定的薄板玻璃的板厚分布和薄板玻璃的目标板厚之差的分布来计算拉拔第一玻璃母材的拉拔速度的补正值，使用补正值对后行的第二玻璃母材的拉拔速度进行补正。即，在本发明中，对于在先行的第一玻璃母材之后通过再曳引法而延伸的后行的第二玻璃母材的拉拔速度，基于由第一玻璃母材成形的薄板玻璃的板厚与目标板厚之差的分布，进行反馈控制。并且，在这样的构成中，优选，在浮法中从在流动熔融玻璃的流动方向上相邻的位置上切取第一玻璃母材和第二玻璃母材。

本发明涉及的玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：薄板玻璃制造工序，通过上述发明涉及的薄板玻璃的制造方法来制造薄板玻璃；以及核化(coring)工序，按照使玻璃基板的中心大致位于薄板玻璃的宽度方向的中央上的方式而核化为一列。

发明效果

根据本发明涉及的薄板玻璃的制造方法以及玻璃基板的制造方法，在通过再曳引法来对由浮法制造的板玻璃进行加热延伸的情况下，能够制造板厚均匀度较高的薄板玻璃和规定形状的玻璃基板。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的浮板和从浮板切取的2个种类的玻璃母材的概略线图。

图2是表示本发明的一实施方式的A类型的玻璃母材沿着长边方向的板厚分布的曲线图。

图3是表示作为本发明的一实施方式的比较例的B类型的玻璃母材沿着长边方向的板厚分布的曲线图。

图4是表示本发明的一实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置的概略构成的示意图。

图5是使在本发明的一实施方式中测定的玻璃母材的测定位置、沿着长边方向的板厚分布、以及薄板玻璃的条厚与玻璃母材的长边方向相对应的条厚分布的曲线图。

图6是表示本发明的一实施方式的薄板玻璃制造装置的拉拔速度沿着母材长度的速度的控制的曲线图。

图7是表示通过本发明的一实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置制造的薄板玻璃的条厚的变化的曲线图。

图8是表示基于本发明的一实施方式的控制方法制造的再曳引条沿着长边方向的条厚分布的曲线图。

图9是用于说明从通过本发明的一实施方式制造的薄板玻璃对玻璃基板进行核化的方法的概略线图。

图10是表示通过本发明的一实施方式的玻璃基板的制造方法制造的玻璃基板和通过现有技术制造的玻璃基板沿着宽度方向的板厚的曲线图。

图11是表示通过本发明的一实施方式的玻璃基板的制造方法制造的玻璃基板和通过现有技术制造的玻璃基板沿着宽度方向的板厚的曲线图。

具体实施方式

以下，针对本发明的一实施方式参照附图进行说明。另外，在以下的一实施方式的所有附图中，对相同或者对应的部分附加相同的符号。此外，本发明不是由以下说明的实施方式来进行限定。

首先，说明本发明的一实施方式的薄板玻璃的制造方法。图1是示意性表示在该一个实施方式的薄板玻璃的制造方法中使用的玻璃母材、以及用于切取玻璃母材的浮板的图。

(玻璃母材的切取方向)

如图1所示，首先，准备由浮法制造的浮板10。即，在浮动总线(未图示)内填充熔融的金属锡，在其表面漂浮熔融玻璃，通过这样流入来形成浮板10。另外，在图1中，用空白箭头来表示熔融玻璃的流动方向作为浮动的流动方向。该浮法是能够稳定低价地大量生产大面积的板玻璃的方法。另外，在浮板10与金属锡相接触的一侧的面中，锡等金属作为离子侵入，形成锡面20。也可以去除该锡面20。

接着，将该浮板10切断为希望的大小，进行切取玻璃母材的原料加工。在切取这些玻璃母材31～33、41的原料加工中，将按照使长边方向相对于浮动的流动方向成为90度的方式切取出的玻璃母材31、32、33作为“A类型的玻璃母材”。另一方面，在原料加工中，将按照使长边方向相对于浮动的流动方向成为平行的方式切取出的玻璃母材41作为“B类型的玻璃母材”。另外，关于这些玻璃母材31～33、41的尺寸，长度L₀例如为2000mm，宽度W₀例如为600mm，厚度T₀例如为3mm。

图2表示在宽度方向的两端部即相对于长边方向的左右端部(图1中为实线以及虚线的箭头部分)分别对A类型的玻璃母材31的沿着长边方向的板厚进行测定而得到的结果。图3表示在相对于长边方向的左右端部分别对B类型的玻璃母材41沿着长边方向的板厚进行测定而得到的结果。另外，图1所示的虚线箭头是相对于长边方向的左端部，实线箭头是相对于长边方向的右端部。

根据图2可知，A类型的玻璃母材31的板厚分布，在相对于长边方向的左右端部的任一个中，按照沿着长边方向从3.16mm增加至最大值3.22mm并从该最大值减少至3.14mm的方式来进行推移。即，可知，A类型的玻璃母材31的板厚分布沿着该长边方向成为山形。

相对于此，根据图3可知，B类型的玻璃母材41的板厚分布，在相对于长边方向的左端部，沿着长边方向为3.135mm左右且大致为恒定，在相对于长边方向的右端部，沿着长边方向保持为3.165mm且大致为恒定。即，可知，B类型的玻璃母材41的板厚在左右端部分别沿着玻璃母材41的长边方向大致为恒定。

此外，根据图2可知，A类型的玻璃母材31，相对于其长边方向的左端部的板厚和右端部的板厚之差极小。另一方面，根据图3可知，B类型的玻璃母材41，相对于其长边方向的左端部的板厚和右端部的板厚之差比A类型的玻璃母材31大。

作为形成这样的板厚分布的理由，考虑以下事项。即，在基于浮法形成浮板10时，在金属锡上流入熔融玻璃时，该熔融玻璃示出作为流体的动作。由此，认为沿着熔融玻璃的流动方向、即浮动的流动方向的厚度的变化变小，另一方面，沿着与浮动的流动方向垂直的方向的厚度的变化变大。由此，在浮板10的整体中，存在沿着浮动的流动方向则板厚大致为恒定的倾向，另一方面，存在沿着与浮动的流动方向垂直的方向则板厚产生较大偏差的倾向。即，A类型的玻璃母材31，沿着长边方向的板厚差较大，但是沿着宽度方向的板厚差变得极小。另一方面，B类型的玻璃母材41沿着长边方向的板厚差较小，但是沿着宽度方向的板厚差变大。

基于以上这样的讨论，本发明者进一步地想起，由于从图1所示的浮板10切取的其他的玻璃母材32、33被沿着浮动的流动方向而依次切取，所以成为与玻璃母材31近似的形状。即，在其他的A类型的玻璃母材32、33中，这些玻璃母材的沿着长边方向的板厚分布的起伏较大，板厚差也较大，另一方面，这些玻璃母材的沿着宽度方向的板厚分布的起伏较小，板厚差也较小。并且，与玻璃母材31相邻而切取的玻璃母材32的板厚分布的倾向能够与玻璃母材31的板厚分布的倾向近似，玻璃母材33的板厚分布的倾向与玻璃母材32的板厚分布的倾向近似。这样，从相同的浮板10按照相邻的方式切取的A类型的玻璃母材31、32、33，它们的形状和板厚分布相互大致一致。

但是，详细情况后述，在基于再曳引法的薄板玻璃制造中，玻璃母材在长边方向上伸长。在该制造中，通常，关于制造的薄板玻璃的条厚分布，在宽度方向上玻璃母材的板厚分布被较大反映，另一方面，在长边方向上板厚分布的影响能够得到缓和。因此，在该一实施方式中，宽度方向的板厚大致恒定且变化较小的A类型的玻璃母材31、32、33被使用于薄板玻璃的制造中。

(薄板玻璃制造装置)

接着，说明本发明的一实施方式的薄板玻璃制造装置、以及使用该薄板玻璃制造装置的薄板玻璃的制造方法。图4是该一个实施方式的基于再曳引法的薄板玻璃制造装置的概略图。

如图4所示，采用再曳引法的薄板玻璃制造装置50具有：上把持部51、中把持部54、连接加热器部55、下把持部57、加热炉59、拉拔绞盘(capstan)60、以及切断机63。在薄板玻璃制造装置50中，进一步设置有分别用来驱动上把持部51、中把持部54、连接加热器部55、下把持部57、以及拉拔绞盘60的各个部分的驱动部C1、C2、C3、C4、C5。此外，在薄板玻璃制造装置50中，设置用来控制这些各个部分、驱动这些各个部分的驱动部C1～C5、加热炉59、切断机63的控制部65。进一步地，在薄板玻璃制造装置50中，作为各种测定单元，设置有板厚测定机52、以及条厚测定机56。板厚测定机52设置于上把持部51的下方和中把持部54的上方，是测定玻璃母材31～33的板厚的母材厚测定单元。并且，条厚测定机56设置于拉拔绞盘60的下方，是测定被成形的再曳引条61的条厚的条厚测定单元。另外，由这些板厚测定机52以及条厚测定机56测定的各测定值作为数据而提供给控制部65。

在薄板玻璃制造装置50中，上把持部51具有用来把持玻璃母材33的后端(上端)的2对把持部51a、51b。这些把持部51a、51b构成为，通过由控制部65控制的驱动部C1使玻璃母材33能够以长边方向的轴(Z方向)为中心旋转规定角度。此外，上把持部51通过驱动部C1对玻璃母材33的厚度方向(X方向)和宽度方向(Y方向)的位置进行补正。另外，驱动部C1对于上把持部51进行位置补正时的厚度方向(X方向)的移动和玻璃母材31～33的旋转。此外，设置于中把持部54的上方的板厚测定机52沿着移动的玻璃母材33的长边方向来测定玻璃母材33的板厚。

中把持部54具有把持玻璃母材32的后端在宽度方向上的左右端部的2对把持部54a、54b。这些把持部54a、54b构成为通过由控制部65控制的驱动部C2，能够在上下方向(Z方向)上进行移动。通过这些把持部54a、54b来把持由上把持部51进行了位置补正后的玻璃母材32，能够使玻璃母材33在提供方向(-Z方向)上移动。

连接加热器部55与先行的玻璃母材31和接着玻璃母材31而提供的后行的玻璃母材32的连接部朝向提供方向的移动同步地进行移动。该移动通过由控制部65控制的驱动部C3进行。连接加热器部55在玻璃母材31和玻璃母材32的连接部附近具备一对连接加热器55a、55b，该一对连接加热器55a、55b按照在板厚方向上夹着玻璃母材32、33的连接部的方式而对称配置。由于该一对连接加热器55a、55b的对称配置，玻璃母材31、32的厚度方向的温度上升分布或玻璃粘度分布成为对称，由于厚度方向的非对称性而产生的翘曲得到抑制。

下把持部57具有把持实际提供给加热炉59的玻璃母材31的后端部分的2对把持部57a、57b。各个把持部57a、57b在玻璃母材31的左右端部，从厚度方向夹着玻璃母材31进行把持。通过由控制部65控制的驱动部C4对下把持部57进行移动控制，以便能够将玻璃母材31～33依次送入加热炉59。此外，在2对把持部57a、57b把持玻璃母材31时，在与玻璃母材31相接的部分，分别设置加热器(未图示)，通过控制部65对这些加热器进行温度控制，以便成为接近于把持时的玻璃母材31的温度的温度。

通过控制部65对这些中把持部54以及下把持部57的各个驱动部C2、C4的驱动进行控制，将玻璃母材31送入至加热炉59时的传送速度得到控制。进一步地，使后行的玻璃母材32的前端与先行的玻璃母材31的后端进行对顶，该被对顶的连接部分通过连接加热器部55被熔敷，连续将玻璃母材31、32提供至加热炉59的情况下的传送速度也由控制部65进行控制。

被送入玻璃母材31的加热炉59是能够从玻璃母材31的两面对玻璃母材31进行加热的电气电阻炉。在加热炉59的内部设置作为对玻璃母材31进行加热的加热单元的加热器(未图示)。

设置于加热炉59的引出侧的拉拔绞盘60具有使玻璃母材31延伸并将其拉拔的2对辊60a、60b。这些辊60a、60b构成为通过由控制部65控制的驱动部C5能够进行旋转驱动。此外，通过控制部65对各个辊60a、60b的旋转速度进行控制，从而对使玻璃母材31延伸并将其拉拔的拉拔速度进行控制。此外，通过在玻璃母材31的拉拔的下游侧设置于拉拔绞盘60的下方的条厚测定机56，来对使玻璃母材31延伸后得到的再曳引条61的条厚进行测定。这里测定的条厚与后述的薄板玻璃64的板厚相对应。

在通过拉拔绞盘60使玻璃母材31延伸而成形为再曳引条61后，由切断机63按规定的每个长度L(mm)将该再曳引条61切断，制造薄板玻璃64。另外，在该一个实施方式中，关于制造的薄板玻璃64的尺寸，长度L例如为300mm，宽度w例如为110mm，厚度t例如为0.825mm。

另外，在该一个实施方式中，虽然由切断机63将再曳引条61切断来制造薄板玻璃64，但是在再曳引条有充分的挠性的情况下，可以不切断就照原样卷绕在卷轴上，成为薄板玻璃64。

(薄板玻璃制造装置的控制方法)

接着，说明使用以上这样构成的该一个实施方式的薄板玻璃制造装置50来制造薄板玻璃64时的控制方法。

(传送速度、拉拔速度的前馈控制)

首先，说明通过前馈控制来控制中把持部54以及下把持部57的玻璃母材31～33的传送速度、以及拉拔绞盘60的玻璃母材31～33的拉拔速度的方法。图5是表示玻璃母材的板厚的测定位置、和玻璃母材的沿着长边方向的板厚分布的曲线图、和使再曳引条61的条厚分布与玻璃母材相对应而示出的曲线图。另外，如图5(a)所示，在玻璃母材31的长边方向的两端部(前后端)存在在与其他的玻璃母材连接时使用的连接损耗部31a。

此外，关于玻璃母材31，沿着宽度方向的板厚分布的板厚差较小，另一方面，沿着长边方向的板厚分布的板厚差D变大。本发明者们测定的结果，在该一个实施方式中使用的玻璃母材31中，板厚差D为250μm左右。此外，板厚差D不一定限于该值。

此外，由于通过拉拔绞盘60使玻璃母材31延伸而成形为再曳引条61，所以通常玻璃母材31沿着长边方向的板厚分布被反映到再曳引条61沿着长边方向的条厚分布。因此，在该一个实施方式中，通过由控制部65对玻璃母材31～33的传送速度和拉拔速度中的至少一个速度进行控制，来降低再曳引条61沿长边方向的条厚分布的条厚差Δ。

即，首先，如图5(a)所示，由板厚测定机52沿着长边方向来测定玻璃母材31的板厚分布。由此，得到玻璃母材31沿着长边方向的板厚分布的数据。另外，如上所述，相邻切取的A类型的玻璃母材31的板厚分布相互大致一致。由此，在暂时测定板厚分布后，基于该板厚分布通过板厚测定机52在至少3点处测量板厚，并使板厚的测量值发生移位，由此能够导出玻璃母材31的板厚分布。图5(b)示出得到的玻璃母材31的板厚分布的数据。该玻璃母材31的板厚分布的数据从板厚测定机52提供至控制部65。

接着，控制部65基于从板厚测定机52提供的玻璃母材31的板厚分布的数据来对玻璃母材31的传送速度V以及拉拔速度v进行前馈控制，以便降低再曳引条61的条厚的偏差。该控制基于希望的再曳引条61的条厚(目标条厚)和玻璃母材31的板厚分布，将玻璃母材31的传送速度V和拉拔速度v建立关联后执行。

具体来说，能够由下述的(1)式来表示板厚T(mm)的玻璃母材的传送速度V(mm/min)、和将再曳引条61设为条厚t(mm)的情况下的拉拔速度v(m/min)之间的关系。该(1)式优选应用于玻璃母材的与长边方向垂直的剖面的纵横比(板厚和宽度之比)同再曳引条61的与长边方向垂直的剖面的纵横比(条厚和条宽之比)相等的情况。

[数学式1]

$v=\frac{1}{1000}{\left(\frac{T}{t}\right)}^{2}V...\left(1\right)$

另外，在薄板玻璃64的制造中，由于再曳引条61的目标条厚为恒定(t：恒定)，所以玻璃母材31的传送速度V和拉拔速度v之间的关系可以由下述的(2)式表示。

[数学式2]

$\frac{v}{V}\∝T^2...\left(2\right)$

如(2)式所示，玻璃母材31的传送速度V和拉拔速度v之比与玻璃母材31的板厚的平方成比例。

因此，在该一个实施方式中，控制部65基于玻璃母材31～33的板厚分布，按照该板厚T的变动来进行前馈控制，以便玻璃母材31的传送速度V和拉拔速度v中的至少一个速度满足(1)式。即，或者将玻璃母材31的传送速度V和再曳引条61的拉拔速度v都控制为可变，或者将一个速度固定为恒定并将另一个速度控制为可变。

这里，在该一个实施方式中，为了降低加热炉59的内部等中的玻璃母材31的扭曲，抑制作为最终制品的玻璃基板的起伏的产生，作为控制部65的控制，优选将玻璃母材31的传送速度V设为恒定并且将拉拔速度v控制为可变。这样，在将拉拔速度v控制为可变的情况下，如下述这样来进行前馈控制。即，在玻璃母材31的板厚分布中使板厚比较厚的部分进行延伸时，通过进行控制使拉拔绞盘60的拉拔速度_v变大而加速拉拔，从而使成形的再曳引条61的条厚变小而接近目标值。相反，在玻璃母材31的板厚分布中使板厚比较薄的部分延伸时，通过进行控制使拉拔速度v变小而延迟拉拔，从而增大成形的再曳引条61的条厚而使其接近目标值。并且，这样的拉拔速度v的变更在每次玻璃母材31传送规定长度、具体来说例如50mm时进行。

图6是表示这样进行控制的拉拔速度v的变更推移的具体例子的曲线图。另外，在图6中，示出与从沿着玻璃母材31的长边方向的前端开始的位置相应的拉拔速度v。如图5(b)以及图6所示，控制部65进行控制，以便沿着玻璃母材31的长边方向使拉拔绞盘60的拉拔速度v在玻璃母材31较薄且板厚较小的部分变小。由此，使成形的再曳引条61的条厚t变大，制造的薄板玻璃64的板厚接近目标值。另一方面，控制部65进行控制，以便拉拔绞盘60的拉拔速度v在玻璃母材31较厚且板厚较大的部分变大。由此，使成形的再曳引条61的条厚t变小，制造的薄板玻璃64的板厚接近目标值。

如以上所述，通过按照玻璃母材31的板厚分布来控制拉拔速度v，能够抑制玻璃母材31的板厚分布直接地被反映到成形后的再曳引条61的条厚分布，能够使再曳引条61的条厚分布的条厚差狭小化。另外，在使用与在一个实施方式中使用的玻璃母材31相同的玻璃母材31，将玻璃母材31的传送速度V和拉拔速度v一起设为恒定来对再曳引条61进行成形的情况下，如图5(c)所示，由玻璃母材31的连接损耗部31a以外的部分成形的再曳引条61的沿着长边方向的条厚差Δ最大为30～40μm。相对于此，在该一个实施方式中，基于由板厚测定机52预先测定的玻璃母材31的沿着长边方向的板厚分布，控制部65控制拉拔速度v，由此如图5(c)所示，由玻璃母材31的连接损耗部31a以外的部分成形的再曳引条61的条厚差Δ被确认为20μm以下。

(拉拔速度的反馈控制)

接着，说明为了进一步降低再曳引条61的条厚t的偏差，关注于拉拔速度v来进行反馈控制的控制方法。图7是表示用于说明该一个实施方式的反馈控制的、玻璃母材31的沿着长边方向的位置处的再曳引条61的条厚t的测定值和平均值的曲线图。

首先，如图7所示，测定使用1片玻璃母材31而成形的再曳引条61的条厚的推移(图7中点线)。接着，基于测定的再曳引条61的条厚的推移，控制部65计算每次沿着长边方向传送玻璃母材31规定长度例如50mm时的再曳引条61的条厚的平均值(图7中实线)。接着，控制部65计算已算出的再曳引条61的条厚t的平均值和再曳引条61的目标条厚之差。在图7中，在再曳引条61的目标条厚例如为825μm的情况下，控制部65计算再曳引条61的条厚的平均值(图7中实线)与825μm之差。

接着，控制部65基于该算出的条厚的平均值和目标条厚之差，计算对再曳引条61进行成形时的拉拔绞盘60的拉拔速度v的补正值。另外，按照计算上述的再曳引条61的条厚t的平均值时的间隔、即在每次传送玻璃母材31例如50mm时，来计算该拉拔速度v的补正值。

具体来说，控制部65在算出的再曳引条61的条厚的平均值比目标条厚大的情况下，按照其差，计算并设定补正值，以便比由玻璃母材31成形再曳引条61时的拉拔速度v大。相反，控制部65在算出的再曳引条61的条厚的平均值比目标条厚小的情况下，按照其差，计算并设定补正值，以便比由玻璃母材31成形再曳引条61时的拉拔速度v小。

然后，在使用了玻璃母材31的再曳引条61的成形时，跨越玻璃母材31的全长来计算这些拉拔速度v的补正值。并且，对由玻璃母材31成形再曳引条61的拉拔速度v的推移进行反馈，并设定应用了补正值的新的拉拔速度v的推移。并且，该拉拔速度v的推移应用于由在先行的玻璃母材31之后传送的后行的玻璃母材32成形再曳引条61时的拉拔速度v。

如上所述，玻璃母材31～33由于从相同的浮板10相邻而连续地切取，所以先行的玻璃母材31的板厚分布和后行的玻璃母材32的板厚分布具有大致相同的倾向。由此，如果将基于由先行的玻璃母材31成形的再曳引条61的条厚分布算出的拉拔速度v的补正值反馈并应用于后行的玻璃母材32的拉拔速度v，则能够使玻璃母材32的拉拔速度v最佳化。由此，能够使再曳引条61的条厚接近于目标条厚。这样，通过采用A类型的玻璃母材31～33，将玻璃母材31～33按照在浮板10中相邻的顺序而依次提供给薄板玻璃制造装置50，由此能够更有效地进行拉拔速度v的反馈控制。

(再曳引条的条厚分布)

图8示出在进行上述的前馈控制(FF控制)的情况、进行反馈控制(FB控制)的情况、将玻璃母材的传送速度和玻璃母材的拉拔速度设为恒定的速度的情况下制造的再曳引条的长边方向的条厚分布。

如图8所示，在不进行前馈控制和反馈控制的情况下，存在相对于目标值的偏移量为15μm以上的部分(图8中虚线部分)。相对于此，通过进行前馈控制，能够将偏移量设为10μm以下(图8中点划线部分)，进一步地，通过进行反馈控制，能够将偏移量降低为5μm以下(图8中实线部分)。

(玻璃基板)

接着，说明由上述这样通过薄板玻璃制造装置50制造的薄板玻璃所形成的玻璃基板。

首先，从上述这样制造的薄板玻璃64实施公知的核化工序，来对图9所示这样的平面圆盘状的玻璃基板90进行成型。在核化工序中，从制造的薄板玻璃64中，按照使玻璃基板90的中心位于大致薄板玻璃64的宽度方向的中央上的方式，依次将平面圆盘状的玻璃基板90抽取为一列。

另外，这里虽然使用在中心部没有圆孔的平面圆盘状的玻璃基板90，但是也可以使用在中心部设置有圆孔的环状玻璃基板。图10以及图11示出分别任意选择两片使用A类型的玻璃母材31所制造的玻璃基板90和使用B类型的玻璃母材41所制造的玻璃基板90，来对玻璃基板90在相当于薄板玻璃64的宽度方向上的板厚分布进行测定的结果。另外，在任一个情况下，不进行前馈控制和反馈控制，而使用将玻璃母材的传送速度以及拉拔速度都设为恒定来制造的薄板玻璃。上述前馈控制和反馈控制由于降低沿着薄板玻璃64的延伸方向的板厚差来改善板厚分布，所以不会对沿着宽度方向的板厚差造成影响，因此在进行了前馈控制和反馈控制的情况下也能得到相同的结果。

根据图10可知，由B类型的玻璃母材41制造的玻璃基板90的板厚差为8μm左右，相对于此，由在该一个实施方式中采用的A类型的玻璃母材31制造的玻璃基板90的左右的板厚差改善为3μm左右。此外，根据图11可知，由B类型的玻璃母材41制造的玻璃基板90的板厚差为8μm左右，相对于此，由A类型的玻璃母材31制造的玻璃基板90的左右的板厚差改善为4.5μm左右。即，可以确认，通过使用由A类型的玻璃母材31～33通过再曳引法制造的薄板玻璃64来制造玻璃基板90，由此大幅降低玻璃基板90的板厚的偏差，提高板厚均匀性。另外，通过对于上述这样成型的玻璃基板90，实施公知的边缘加工工序、端面抛光工序、以及主表面研磨工序，来制造作为制品的玻璃基板90。

根据以上说明的本发明的一个实施方式，通过将使用于薄板玻璃的制造中的玻璃母材设为长边方向相对于浮板制造时的熔融玻璃的流动方向成为90度而切取出的玻璃母材，能够将玻璃母材的沿着宽度方向的板厚设为大致恒定，并能够降低由该玻璃母材制造的薄板玻璃的沿着宽度方向的板厚的偏差。此外，通过基于偏差比较大的玻璃母材的沿着长边方向的板厚分布来控制玻璃母材的传送速度和拉拔速度，能够不使该板厚分布直接反映到再曳引条的条厚分布，能够制造板厚均匀性优异的希望的板厚的薄板玻璃，所以能够大幅降低作为最终制品的玻璃基板的板厚偏差，进一步提高玻璃基板的板厚均匀性。

以上，具体说明了本发明的一个实施方式，本发明不限定为上述的一个实施方式，能够进行基于该发明的技术思想的各种变形。例如，在上述的一个实施方式中列举的数值只不过是一例，可以按照需要使用与此不同的数值。

在上述的一个实施方式中，由设置于薄板玻璃制造装置50的板厚测定机52来进行玻璃母材31～33的板厚的测定，将该测定值提供给控制部65，但是也可以由设置于薄板玻璃制造装置50的外部的板厚测定装置来预先测定玻璃母材31～33的板厚，将测定值提供给控制部65。

此外，在上述的一实施方式中，按照玻璃母材31的板厚使用(1)式来控制玻璃母材31的拉拔速度，但是不必限定于(1)式，只要能够按照玻璃母材31的板厚，并按照玻璃母材31的尺寸、希望的薄板玻璃64的尺寸等，将玻璃母材31的传送速度V和拉拔速度v相互控制为最佳速度，则能够采用各种方式。

此外，在上述的一个实施方式中，由控制部65自动进行拉拔速度v的反馈控制，但是该反馈控制也可以手动进行。即，使用1～3片玻璃母材来成形再曳引条，基于这些再曳引条的条厚分布和再曳引条的目标条厚之差，在每次玻璃母材传送规定长度例如传送50mm时计算拉拔速度v的补正值，基于该补正值，也能够进行通过手动对由后行的玻璃母材32成形再曳引条61时的拉拔速度v进行补正那样的反馈控制。

此外，在上述的一个实施方式中，在基于玻璃母材31的板厚分布的前馈控制之时，由板厚测定机52沿长边方向在3点的位置处测定玻璃母材31的板厚，但是该板厚测定机52的板厚的测定也可以跨越玻璃母材31的沿着长边方向的全长来进行。

此外，在上述一个实施方式中，在每次玻璃母材31传送50mm时切换并变更玻璃母材31的拉拔速度v，但是也可以按照玻璃母材31的板厚分布来逐次变更玻璃母材31的拉拔速度v。

此外，在上述一个实施方式中，不进行前馈控制以及反馈控制的任一个，也能够将玻璃母材的传送速度、玻璃母材的拉拔速度中的任一个设为恒定的速度，来制造薄板玻璃。

工业可利用性

本发明优选能够在例如制造使用于太阳能电池模块、半导体元件的基板、电场效应型的平板显示器中的间隔器、或者使用于磁盘基板等中的薄板玻璃和玻璃基板时加以利用。

符号说明

10浮板

20锡面

31、32、33、41玻璃母材

31a连接损耗部

50薄板玻璃制造装置

51上把持部

51a、51b、54a、54b、57a、57b把持部

52板厚测定机

54中把持部

55连接加热器部

55a、55b连接加热器

56条厚测定机

57下把持部

59加热炉

60拉拔绞盘

60a、60b辊

61再曳引条

63切断机

64薄板玻璃

65控制部

90玻璃基板

Claims (5)

1.一种薄板玻璃的制造方法，具有再曳引工序，在该再曳引工序中，对由浮法制造的玻璃母材进行加热使其软化并使其延伸为希望的厚度从而成形薄板玻璃，

该薄板玻璃的制造方法的特征在于，

将上述再曳引工序中的上述玻璃母材的延伸方向相对于在上述浮法中流动熔融玻璃的流动方向设为90度的方向。

2.根据权利要求1所述的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，

包括控制工序，在该控制工序中，基于上述玻璃母材的板厚分布来控制上述玻璃母材的传送速度和拉拔上述玻璃母材的拉拔速度中的至少一个速度。

3.根据权利要求1所述的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，

具有拉拔速度控制工序，在该拉拔速度控制工序中，基于上述玻璃母材的板厚分布来控制拉拔上述玻璃母材的拉拔速度，

上述拉拔速度控制工序包括拉拔速度补正工序，在该拉拔速度补正工序中，测定由先行的第一玻璃母材成形的薄板玻璃的沿着上述延伸方向的板厚分布，基于上述测定的薄板玻璃的板厚分布和上述薄板玻璃的目标板厚之差的分布来计算拉拔上述第一玻璃母材的拉拔速度的补正值，使用上述补正值对后行的第二玻璃母材的拉拔速度进行补正。

4.根据权利要求3所述的薄板玻璃的制造方法，其特征在于，

在上述浮法中从在流动熔融玻璃的流动方向上相邻的位置上切取上述第一玻璃母材和上述第二玻璃母材。

5.一种玻璃基板的制造方法，其特征在于，包括：

薄板玻璃制造工序，通过权利要求1所述的薄板玻璃的制造方法来制造薄板玻璃；以及

核化工序，按照使玻璃基板的中心大致位于上述薄板玻璃的宽度方向的中央上的方式而核化为一列。