CN103792394B - 一种用于粘接石英音叉探针的装置 - Google Patents

一种用于粘接石英音叉探针的装置 Download PDF

Info

Publication number
CN103792394B
CN103792394B CN201410060484.9A CN201410060484A CN103792394B CN 103792394 B CN103792394 B CN 103792394B CN 201410060484 A CN201410060484 A CN 201410060484A CN 103792394 B CN103792394 B CN 103792394B
Authority
CN
China
Prior art keywords
axis
fork
regulating part
needle point
quartz tuning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201410060484.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103792394A (zh
Inventor
李英姿
李进
钱建强
张维然
张立文
王振宇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beihang University
Original Assignee
Beihang University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beihang University filed Critical Beihang University
Priority to CN201410060484.9A priority Critical patent/CN103792394B/zh
Publication of CN103792394A publication Critical patent/CN103792394A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103792394B publication Critical patent/CN103792394B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

本发明公开了一种用于粘接石英音叉探针的装置,该装置中的限位基座上设有等间距的相同直径的X轴向和Y轴向的安装孔;第一底座、第二底座、Z轴立柱和放大镜支架安装在限位基座上;Z轴立柱上安装有Y轴限位板;第一底座上安装有二自由度调节件,压板立柱安装在二自由度调节件上,压板安装在压板立柱上;第二底座上安装有X轴调节件,Z轴支撑座安装在X轴调节件上,Z轴支撑座7上安装有Z轴调节件,Z轴调节件上安装有石英音叉固定架;放大镜支架上安装有放大镜。本发明装置利用精密位移调整机构控制石英音叉和针尖的位移,替代了手工制作过程,提高了粘接的成功率,使得制作的石英音叉探针性能可靠。

Description

一种用于粘接石英音叉探针的装置
技术领域
本发明涉及一种胶液粘接加工机械,更特别地说,是指一种用于粘接石英音叉探针的装置。
背景技术
1986年,Binnig和Quate发明了原子力显微镜(Atomic ForceMicroscope,AFM)。原子力显微镜是利用一个极细的针尖逐点探测样品表面,当针尖与样品表面的距离达到纳米级时,探针会受到样品对其产生的相互作用力,通过对这个作用力的检测获取样品的表面信息。通过与多种现代技术的结合,原子力显微镜不仅成为世界上分辨率最高的显微镜之一,而且是可以在真空、大气和液态环境中对样品进行纳米级分辨率成像、具备纳米操纵与组装能力的、可以测量小到pN量级作用力的一种强有力的微观表面分析仪器。目前,原子力显微镜的广泛应用于材料科学,生物技术以及深空探测等热点领域。
石英音叉探针属于原子力显微镜的一部分,石英音叉探针是用于感知待扫描的样品的形貌信息。石英音叉探针由石英音叉和针尖组成,针尖是粘接在石英音叉的音叉臂上的;针尖为圆锥外形结构,针尖材质一般为钨丝,直径0.2mm、长1~2mm。目前市售的石英音叉产品的照片如图1所示,石英音叉5的A音叉臂5A、B音叉臂5B的端面为一个0.3mm×0.6mm的矩形截面,A音叉臂5A与B音叉臂5B之间的间距为0.3mm左右。因此直接用手工在音叉臂上粘接钨针尖是非常困难的,稍有不慎就会造成针尖或者石英音叉的毁坏。
发明内容
为了解决手工粘接石英音叉探针造成的针尖或石英音叉的毁坏,提高石英音叉探针的生产质量和效率,使粘接过程更简便易操作,本发明提供一种用于粘接石英音叉探针的装置。
本发明是一种用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于:该装置包括有Z轴立柱(1)、Y轴限位板(2)、压板(3)、压板立柱(4)、石英音叉固定架(6)、Z轴支撑座(7)、限位基座(8)、第一底座(9)、第二底座(10)、二自由度调节件(11)、Z轴调节件(12)、X轴调节件(13)、放大镜支架(14)和放大镜(15);
Z轴立柱(1)的两端分别为螺纹段;Z轴立柱(1)的一端螺纹段垂直安装在限位基座(8)上,Z轴立柱(1)的另一端螺纹段上安装有Y轴限位板(2),且用螺母安装固定;
Y轴限位板(2)上设有沟槽(2A),该沟槽(2A)用于放置光纤(5E),光纤(5E)一端粘接有A针尖(5C)的端面(5C1)或者粘接有B针尖(5D)的尖头(5D1);
压板(3)的一端安装在压板立柱(4)上,压板(3)的另一端用于与针尖接触,实现向针尖提供一个Y轴方向的按压力,使针尖在胶液下与石英音叉(5)的音叉臂端部粘接;
压板立柱(4)的一端安装在二自由度调节件(11)上,压板立柱(4)上安装有压板(3);
石英音叉固定架(6)包括有第一夹板(6A)、第二夹板(6B)、第三夹板(6C)、第四夹板(6D)、第一锁紧螺钉(6E)、压板(6F)、配重块(6G)、第一螺母(6H)、第二锁紧螺钉(6J)、第二螺母(6K)、第三锁紧螺钉(6L),其中第一夹板(6A)与第二夹板(6B)为金属材料,第三夹板(6C)与第四夹板(6D)为橡胶材料,第一夹板(6A)、第二夹板(6B)、第三夹板(6C)和第四夹板(6D)的构形相同;
配重块(6G)上安装有第二锁紧螺钉(6J)、第三锁紧螺钉(6L),且第二锁紧螺钉(6J)与第三锁紧螺钉(6L)保持垂直;第一锁紧螺钉(6E)的一端顺次穿过第二夹板(6B)、第四夹板(6D)、第三夹板(6C)、第一夹板(6A)后螺纹连接压板(6F);第二锁紧螺钉(6J)的一端顺次穿过第二夹板(6B)、第四夹板(6D)、第三夹板(6C)、第一夹板(6A)后螺纹连接第一螺母(6H);通过第一锁紧螺钉(6E)与压板(6F)、第二锁紧螺钉(6J)与第一螺母(6H)的配合实现了四块夹板的压紧;压紧的四块夹板能够将石英音叉(5)夹紧在夹持位(6M)处,以方便针尖与石英音叉(5)的粘接;
第三锁紧螺钉(6L)连接在Z轴调节件(12)上,且通过第二螺母(6K)锁紧;
Z轴支撑座(7)安装在X轴调节件(13)上,Z轴支撑座(7)的立板面上安装有Z轴调节件(12),Z轴调节件(12)上安装有石英音叉固定架(6);
限位基座(8)上设有多个定位螺纹孔;
第一底座(9)上设有AA沉头孔(9A)、AB沉头孔(9B)、AC沉头孔(9C)、AA通孔(9D)和AB通孔(9E),通过在AA沉头孔(9A)与AB沉头孔(9B)中放置螺钉实现将第一底座(9)固定在限位基座(8)上,通过在AC沉头孔(9C)、AA通孔(9D)和AB通孔(9E)中放置螺钉实现将二自由度调节件(11)固定在第一底座(9);
第二底座(10)上设有BA沉头孔(10A)、BB沉头孔(10B)、BC沉头孔(10C)、BA通孔(10D)和BB通孔(10E),通过在BA沉头孔(10A)与BB沉头孔(10B)中放置螺钉实现将第二底座(10)固定在限位基座(8)上,通过在BC沉头孔(10C)、BA通孔(10D)和BB通孔(10E)中放置螺钉实现将X轴调节件(13)固定在第二底座(10);
放大镜支架(14)的一端安装在限位基座(8)上,放大镜支架(14)的另一端部安装有放大镜(15)。
本发明用于粘接石英音叉探针的装置的优点在于:
①该发明利用精密位移调整机构控制石英音叉和针尖的位移,提高了粘接的成功率,使得制作的石英音叉探针性能可靠。
②该装置替代了手工制作过程,大大降低了石英音叉探针粘接的操作难度,批量制作的石英音叉探针性能稳定,重复性好。
③在石英音叉双臂粘接钨丝针尖后,能够使得双臂上的两段探针针尖在同一轴线上,达到石英音叉的双臂质量配平的要求。
附图说明
图1是市售石英音叉的照片。
图2是本发明粘接后的石英音叉探针的机械制图结构示意图。
图3是本发明用于粘接石英音叉探针装置的结构图。
图3A是本发明用于粘接石英音叉探针装置的另一视角结构图。
图3B是本发明未装配放大镜时的粘接石英音叉探针装置的结构图。
图3C是本发明针尖对头部分的结构图。
图3D是本发明石英音叉探针与石英音叉固定架的安装部位放大图。
图4是本发明第一定位底座的结构图。
图5是本发明第二定位底座的结构图。
图6是本发明石英音叉固定架的结构图。
图7A是光纤与A针尖粘接的示意图。
图7B是光纤与B针尖粘接的示意图。
1.Z轴立柱 2.Y轴限位板 2A.沟槽
3.压板 4.压板立柱 5.石英音叉
5A.A音叉臂 5B.B音叉臂 5C.A针尖
5C1.端面 5C2.尖头 5D.B针尖
5D1.尖头 5E.光纤 6.石英音叉固定架
6A.第一夹板 6B.第二夹板 6C.第三夹板
6D.第四夹板 6E.第一锁紧螺钉 6F.压板
6G.配重块 6H.第一螺母 6J.第二锁紧螺钉
6K.第二螺母 6L.第三锁紧螺钉 6M.夹持位
7.Z轴支撑座 8.限位基座 9.第一底座
9A.AA沉头孔 9B.AB沉头孔 9C.AC沉头孔
9D.AA通孔 9E.AB通孔 10.第二底座
10A.BA沉头孔 10B.BB沉头孔 10C.BC沉头孔
10D.BA通孔 10E.BB通孔 11.二自由度调节件
11A.Y轴调整旋钮 11B.X轴调整旋钮 12.Z轴调节件
12A.Z轴调整旋钮 13.X轴调节件 13A.X轴调整旋钮
14.放大镜支架 15.放大镜
具体实施方式
下面将结合附图对本发明做进一步的详细说明。
参见图2所示,石英音叉探针的A针尖5C粘接在A音叉臂5A的端面,B针尖5D粘接在B音叉臂5B的端面,且A针尖5C与B针尖5D的尖部保持在同一轴线上。针尖(A针尖5C、B针尖5D)可以设计成锥形结构。A针尖5C的尖头5C2与样品接触。针尖材质选用钨丝。石英音叉5选用双臂石英音叉,北京凯擎东光电子公司生产的K-3×8或K-2×6引线型晶体谐振器。
参见图3、图3A所示,本发明设计的用于粘接石英音叉探针的装置包括有Z轴立柱1、Y轴限位板2、压板3、压板立柱4、石英音叉固定架6、Z轴支撑座7、限位基座8、第一底座9、第二底座10、二自由度调节件11、Z轴调节件12、X轴调节件13、放大镜支架14和放大镜15。
Z轴立柱1
参见图3、图3A、图3B、图3C所示,Z轴立柱1的两端分别为螺纹段。Z轴立柱1的一端螺纹段垂直安装在限位基座8上,Z轴立柱1的另一端螺纹段上安装有Y轴限位板2,且用螺母安装固定。
Y轴限位板2
参见图3、图3A、图3B、图3C所示,Y轴限位板2上设有沟槽2A,该沟槽2A用于放置光纤5E,光纤5E一端粘接有A针尖5C的端面5C1或者粘接有B针尖5D的尖头5D1。
在本发明中,Y轴限位板2的材质选用铝合金。
压板3
参见图3、图3A、图3B所示,压板3的一端安装在压板立柱4上,压板3的另一端用于与针尖接触,实现向针尖提供一个Y轴方向的按压力,使针尖在胶液下与石英音叉5的音叉臂端部粘接,且粘接效果佳。
在本发明中,压板3的材质选用铝合金。
压板立柱4
参见图3、图3A所示,压板立柱4的一端安装在二自由度调节件11上,压板立柱4上安装有压板3。压板立柱4的材质选用铝合金。
石英音叉固定架6
参见图3、图3A、图3B、图3C、图3D、图6所示,石英音叉固定架6包括有第一夹板6A、第二夹板6B、第三夹板6C、第四夹板6D、第一锁紧螺钉6E、压板6F、配重块6G、第一螺母6H、第二锁紧螺钉6J、第二螺母6K、第三锁紧螺钉6L,其中第一夹板6A与第二夹板6B为金属材料(或者铝合金),第三夹板6C与第四夹板6D为橡胶材料,第一夹板6A、第二夹板6B、第三夹板6C和第四夹板6D的构形相同。
配重块6G上安装有第二锁紧螺钉6J、第三锁紧螺钉6L,且第二锁紧螺钉6J与第三锁紧螺钉6L保持垂直。第一锁紧螺钉6E的一端顺次穿过第二夹板6B、第四夹板6D、第三夹板6C、第一夹板6A后螺纹连接压板6F;第二锁紧螺钉6J的一端顺次穿过第二夹板6B、第四夹板6D、第三夹板6C、第一夹板6A后螺纹连接第一螺母6H;通过第一锁紧螺钉6E与压板6F、第二锁紧螺钉6J与第一螺母6H的配合实现了四块夹板的压紧。压紧的四块夹板能够将石英音叉5夹紧在夹持位6M处,以方便针尖与石英音叉5的粘接。
第三锁紧螺钉6L连接在Z轴调节件12上,且通过第二螺母6K锁紧。
Z轴支撑座7
参见图3、图3A、图3B所示,Z轴支撑座7安装在X轴调节件13上,Z轴支撑座7的立板面上安装有Z轴调节件12,Z轴调节件12上安装有石英音叉固定架6。
在本发明中,Z轴支撑座7分别与X轴调节件13、Z轴调节件12固定,其目的是为了实现石英音叉固定架6在X轴方向、Z轴方向的微位移运动。
限位基座8
参见图3、图3A、图3B所示,限位基座8的长度方向记为X轴方向,宽度方向记为Y轴方向,厚度方向记为Z轴方向。限位基座8上设有多个定位螺纹孔,所述定位螺纹孔用于保证安装在其上的零件保持与限位基座8的三个轴向。即垂直于限位基座8安装的零件为Z轴方向。
在本发明中,通过限位基座8来保证针尖在粘接过程中的水平,即两个针尖保持在同一轴线上。
第一底座9
参见图3、图3A、图4所示,第一底座9上设有AA沉头孔9A、AB沉头孔9B、AC沉头孔9C、AA通孔9D和AB通孔9E,通过在AA沉头孔9A与AB沉头孔9B中放置螺钉实现将第一底座9固定在限位基座8上,通过在AC沉头孔9C、AA通孔9D和AB通孔9E中放置螺钉实现将二自由度调节件11固定在第一底座9。
第二底座10
参见图3、图3A、图5所示,第二底座10上设有BA沉头孔10A、BB沉头孔10B、BC沉头孔10C、BA通孔10D和BB通孔10E,通过在BA沉头孔10A与BB沉头孔10B中放置螺钉实现将第二底座10固定在限位基座8上,通过在BC沉头孔10C、BA通孔10D和BB通孔10E中放置螺钉实现将X轴调节件13固定在第二底座10。
二自由度调节件11
参见图3、图3A、图3B所示,二自由度调节件11用于实现压板3在X轴和Y轴方向上的微位移移动。使压板3的端面与针尖接触。
二自由度调节件11选用北京大恒新纪元科技股份有限公司生产的GCM-127503BM型号的二维平台。
Z轴调节件12
参见图3、图3A、图3B所示,Z轴调节件12选用北京大恒新纪元科技股份有限公司生产的GCM-125101BM型号的一维平台。Z轴调节件12用于实现石英音叉固定架6在Z轴方向的微位移调节。
X轴调节件13
参见图3、图3A、图3B所示,X轴调节件13选用北京大恒新纪元科技股份有限公司生产的GCM-125101BM型号的一维平台。X轴调节件13用于实现石英音叉固定架6在X轴方向的微位移调节。
放大镜支架14
放大镜支架14的一端安装在限位基座8上,放大镜支架14的另一端部安装有放大镜15。放大镜支架14用于支撑起放大镜15。在本发明中,放大镜支架14采用螺纹伸缩结构杆,以方便调节观察范围。
放大镜15
在本发明中,放大镜15用于在粘接过程中进行观察针尖与音叉臂之间的距离。
本发明设计的用于粘接石英音叉探针的装置的装配为:限位基座8上设有等间距的相同直径的X轴向和Y轴向的安装孔;第一底座9、第二底座10、Z轴立柱1和放大镜支架14安装在限位基座8上;Z轴立柱1上安装有Y轴限位板2;第一底座9上安装有二自由度调节件11,压板立柱4安装在二自由度调节件11上,压板3安装在压板立柱4上;第二底座10上安装有X轴调节件13,Z轴支撑座7安装在X轴调节件13上,Z轴支撑座7上安装有Z轴调节件12,Z轴调节件12上安装有石英音叉固定架6;放大镜支架14上安装有放大镜15。
参见图2、图7A、图7B所示,本发明用于粘接石英音叉探针的装置进行针尖粘接的过程为:
(A)首先将A针尖5C的端面5C1粘接在光纤5E的一端上,然后将光纤5E置入Y轴限位板2的沟槽2A内;
(B)将石英音叉5夹持在四块夹板的夹持位6M处;
(C)调节Z轴调节件12,使得A针尖5C与石英音叉5的音叉臂在同一高度;
(D)调节X轴调节件13上的X轴调整旋钮13A,使得A针尖5C与石英音叉5的A音叉臂的距离在有效粘接范围内;
(E)调节二自由度调节件11,使得压板3端面接触A针尖,若压板3在Y轴方向远离A针尖,则调节Y轴调整旋钮11A;若压板3在X轴方向远离A针尖,则调节X轴调整旋钮11B;
(F)在石英音叉5的A音叉臂的端面点胶,调节二自由度调节件11的Y轴调整旋钮11A使压板3推A针尖5C与石英音叉5的音叉臂端面接触,待胶水风干后退出压板3,将光纤5E与A针尖5C分离,则A针尖5C粘接完全。
(G)调节X轴调节件13上的X轴调整旋钮13A,使得粘接好的石英音叉5退出有效粘接范围内,调节二自由度调节件11上的Y轴调整旋钮11A、X轴调整旋钮11B,使得压板3端面远离A针尖5C;
(H)将B针尖5D的尖头5D1粘接在光纤5E的一端上,然后将光纤5E置入Y轴限位板2的沟槽2A内;
(I)调节X轴调节件13上的X轴调整旋钮13A,使得B针尖5D与石英音叉5的B音叉臂的距离在有效粘接范围内;
(J)调节二自由度调节件11,使得压板3端面接触B针尖5D,若压板3在Y轴方向远离B针尖5D,则调节Y轴调整旋钮11A;若压板3在X轴方向远离B针尖5D,则调节X轴调整旋钮11B;
(K)在石英音叉5的B音叉臂5B的端面点胶,调节二自由度调节件11的Y轴调整旋钮使压板3推B针尖5D与石英音叉5的B音叉臂5B端面接触,待胶水风干后退出压板3,将光纤5E与B针尖5D分离,则B针尖5D粘接完全。

Claims (6)

1.一种用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于:该装置包括有Z轴立柱(1)、Y轴限位板(2)、A压板(3)、压板立柱(4)、石英音叉固定架(6)、Z轴支撑座(7)、限位基座(8)、第一底座(9)、第二底座(10)、二自由度调节件(11)、Z轴调节件(12)、X轴调节件(13)、放大镜支架(14)和放大镜(15);
Z轴立柱(1)的两端分别为螺纹段;Z轴立柱(1)的一端螺纹段垂直安装在限位基座(8)上,Z轴立柱(1)的另一端螺纹段上安装有Y轴限位板(2),且用螺母安装固定;
Y轴限位板(2)上设有沟槽(2A),该沟槽(2A)用于放置光纤(5E),光纤(5E)一端粘接有A针尖(5C)的端面(5C1)或者粘接有B针尖(5D)的尖头(5D1);
A压板(3)的一端安装在压板立柱(4)上,A压板(3)的另一端用于与针尖接触,实现向针尖提供一个Y轴方向的按压力,使针尖在胶液下与石英音叉(5)的音叉臂端部粘接;
压板立柱(4)的一端安装在二自由度调节件(11)上,压板立柱(4)上安装有A压板(3);
石英音叉固定架(6)包括有第一夹板(6A)、第二夹板(6B)、第三夹板(6C)、第四夹板(6D)、第一锁紧螺钉(6E)、B压板(6F)、配重块(6G)、第一螺母(6H)、第二锁紧螺钉(6J)、第二螺母(6K)、第三锁紧螺钉(6L),其中第一夹板(6A)与第二夹板(6B)为金属材料,第三夹板(6C)与第四夹板(6D)为橡胶材料,第一夹板(6A)、第二夹板(6B)、第三夹板(6C)和第四夹板(6D)的构形相同;
配重块(6G)上安装有第二锁紧螺钉(6J)、第三锁紧螺钉(6L),且第二锁紧螺钉(6J)与第三锁紧螺钉(6L)保持垂直;第一锁紧螺钉(6E)的一端顺次穿过第二夹板(6B)、第四夹板(6D)、第三夹板(6C)、第一夹板(6A)后螺纹连接B压板(6F);第二锁紧螺钉(6J)的一端顺次穿过第二夹板(6B)、第四夹板(6D)、第三夹板(6C)、第一夹板(6A)后螺纹连接第一螺母(6H);通过第一锁紧螺钉(6E)与B压板(6F)、第二锁紧螺钉(6J)与第一螺母(6H)的配合实现了四块夹板的压紧;压紧的四块夹板能够将石英音叉(5)夹紧在夹持位(6M)处,以方便针尖与石英音叉(5)的粘接;
第三锁紧螺钉(6L)连接在Z轴调节件(12)上,且通过第二螺母(6K)锁紧;
Z轴支撑座(7)安装在X轴调节件(13)上,Z轴支撑座(7)的立板面上安装有Z轴调节件(12),Z轴调节件(12)上安装有石英音叉固定架(6);
限位基座(8)上设有多个定位螺纹孔;
第一底座(9)上设有AA沉头孔(9A)、AB沉头孔(9B)、AC沉头孔(9C)、AA通孔(9D)和AB通孔(9E),通过在AA沉头孔(9A)与AB沉头孔(9B)中放置螺钉实现将第一底座(9)固定在限位基座(8)上,通过在AC沉头孔(9C)、AA通孔(9D)和AB通孔(9E)中放置螺钉实现将二自由度调节件(11)固定在第一底座(9);
第二底座(10)上设有BA沉头孔(10A)、BB沉头孔(10B)、BC沉头孔(10C)、BA通孔(10D)和BB通孔(10E),通过在BA沉头孔(10A)与BB沉头孔(10B)中放置螺钉实现将第二底座(10)固定在限位基座(8)上,通过在BC沉头孔(10C)、BA通孔(10D)和BB通孔(10E)中放置螺钉实现将X轴调节件(13)固定在第二底座(10);
放大镜支架(14)的一端安装在限位基座(8)上,放大镜支架(14)的另一端部安装有放大镜(15)。
2.根据权利要求1所述的用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于:Z轴支撑座(7)分别与X轴调节件(13)、Z轴调节件(12)的固定,实现了石英音叉固定架(6)在X轴方向、Z轴方向上的微位移运动。
3.根据权利要求1所述的用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于:二自由度调节件(11)用于实现A压板(3)在X轴和Y轴方向上的微位移移动。
4.根据权利要求1所述的用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于:Z轴调节件(12)用于实现石英音叉固定架(6)在Z轴方向的微位移调节。
5.根据权利要求1所述的用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于:X轴调节件(13)用于实现石英音叉固定架(6)在X轴方向的微位移调节。
6.根据权利要求1所述的用于粘接石英音叉探针的装置,其特征在于针尖粘接过程为:
(A)首先将A针尖(5C)的端面(5C1)粘接在光纤(5E)的一端上,然后将光纤(5E)置入Y轴限位板(2)的沟槽(2A)内;
(B)将石英音叉(5)夹持在四块夹板的夹持位(6M)处;
(C)调节Z轴调节件(12),使得A针尖(5C)与石英音叉(5)的音叉臂在同一高度;
(D)调节X轴调节件(13)上的X轴调整旋钮(13A),使得A针尖(5C)与石英音叉(5)的A音叉臂的距离在有效粘接范围内;
(E)调节二自由度调节件(11),使得A压板(3)端面接触A针尖,若A压板(3)在Y轴方向远离A针尖,则调节Y轴调整旋钮(11A);若A压板(3)在X轴方向远离A针尖,则调节X轴调整旋钮(11B);
(F)在石英音叉(5)的A音叉臂的端面点胶,调节二自由度调节件(11)的Y轴调整旋钮(11A)使A压板(3)推A针尖(5C)与石英音叉(5)的音叉臂端面接触,待胶水风干后退出A压板(3),将光纤(5E)与A针尖(5C)分离,则A针尖(5C)粘接完全;
(G)调节X轴调节件(13)上的X轴调整旋钮(13A),使得粘接好的石英音叉(5)退出有效粘接范围内,调节二自由度调节件(11)上的Y轴调整旋钮(11A)、X轴调整旋钮(11B),使得A压板(3)端面远离A针尖(5C);
(H)将B针尖(5D)的尖头(5D1)粘接在光纤(5E)的一端上,然后将光纤(5E)置入Y轴限位板(2)的沟槽(2A)内;
(I)调节X轴调节件(13)上的X轴调整旋钮(13A),使得B针尖(5D)与石英音叉(5)的B音叉臂的距离在有效粘接范围内;
(J)调节二自由度调节件(11),使得A压板(3)端面接触B针尖(5D),若A压板(3)在Y轴方向远离B针尖(5D),则调节Y轴调整旋钮(11A);若A压板(3)在X轴方向远离B针尖(5D),则调节X轴调整旋钮(11B);
(K)在石英音叉(5)的B音叉臂(5B)的端面点胶,调节二自由度调节件(11)的Y轴调整旋钮使A压板(3)推B针尖(5D)与石英音叉(5)的B音叉臂(5B)端面接触,待胶水风干后退出A压板(3),将光纤(5E)与B针尖(5D)分离,则B针尖(5D)粘接完全。
CN201410060484.9A 2014-02-23 2014-02-23 一种用于粘接石英音叉探针的装置 Expired - Fee Related CN103792394B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410060484.9A CN103792394B (zh) 2014-02-23 2014-02-23 一种用于粘接石英音叉探针的装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410060484.9A CN103792394B (zh) 2014-02-23 2014-02-23 一种用于粘接石英音叉探针的装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103792394A CN103792394A (zh) 2014-05-14
CN103792394B true CN103792394B (zh) 2015-09-09

Family

ID=50668262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410060484.9A Expired - Fee Related CN103792394B (zh) 2014-02-23 2014-02-23 一种用于粘接石英音叉探针的装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103792394B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106596411A (zh) * 2016-12-16 2017-04-26 苏州亿科斯通电气有限公司 石英增强光声光谱测声器的辅助组装装置及组装方法
CN113189156B (zh) * 2021-03-23 2024-08-16 中国石油大学(华东) 一种用于探针针尖封、开口的手动控制装置及其使用方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4209891B2 (ja) * 1998-06-22 2009-01-14 エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 走査型プローブ顕微鏡
JP4555930B2 (ja) * 2005-10-25 2010-10-06 国立大学法人名古屋大学 音叉型原子間力顕微鏡プローブ、その調整方法及び製造方法
KR101065981B1 (ko) * 2009-05-20 2011-09-19 인하대학교 산학협력단 소리굽쇠-주사탐침 결합 진동계
CN101592582B (zh) * 2009-06-26 2011-04-06 北京航空航天大学 一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置
CN103018492B (zh) * 2012-11-21 2015-04-22 西安建筑科技大学 一种物理粘附法制备pvdf微颗粒探针的装置及方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103792394A (zh) 2014-05-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101960287B (zh) 快速扫描的扫描探针显微镜以及对其进行操作的方法
EP2137737B1 (en) Fast scanning spm scanner and method of operating same
JP4174357B2 (ja) 走査型プローブ顕微鏡
US5448399A (en) Optical system for scanning microscope
Bauza et al. Development of a virtual probe tip with an application to high aspect ratio microscale features
CN110068918A (zh) 基于叠加双微球透镜的光学超分辨率成像系统和方法
CN104071746B (zh) 一种适用于原子力显微镜的金属探针制备方法
CN103383247B (zh) 一种光学检测系统及装置
US20120331592A1 (en) Interatomic force measurements using passively drift compensated non-contact in situ calibrated atomic force microscopy - quantifying chemical bond forces between electronic orbitals by direct force measurements at subatomic lateral resolution
JPH0758193B2 (ja) 原子間力顕微鏡の微動走査機構
Hii et al. Design, operation, and motion characteristics of a precise piezoelectric linear motor
CN103792394B (zh) 一种用于粘接石英音叉探针的装置
CN110595880A (zh) 一种介观尺度悬臂梁弯曲疲劳测试装置及测试方法
WO2006098123A1 (ja) 走査型プローブ顕微鏡とその測定方法
KR20130069570A (ko) 저 드리프트 스캐닝 프로브 현미경
Efimov et al. A novel design of a scanning probe microscope integrated with an ultramicrotome for serial block-face nanotomography
JP5061013B2 (ja) 装置構造及びその構造を備えた走査型プローブ顕微鏡
US9190938B2 (en) Piezoelectric actuating device
CN113376138A (zh) 显微镜三维移动聚焦系统和应用
CN117434303A (zh) 基于微悬臂-微球探针的超分辨拉曼/荧光/光电流二维扫描成像联合表征系统
CN103398805B (zh) 一种螺旋片簧弹性支承的三维纳米测头
Howard et al. Long range constant force profiling for measurement of engineering surfaces
JP4262621B2 (ja) 原子間力顕微鏡
CN213457516U (zh) 一种微调显微镜镜头支架
Lee et al. Versatile low-temperature atomic force microscope with in situ piezomotor controls, charge-coupled device vision, and tip-gated transport measurement capability

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20150909

Termination date: 20160223