CN103789726B - 与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及制备方法,属于表面工程技术领域。该多层涂层在工具表面上由内而外一共有四层,依次是Ti结合层(2)、TiN梯度结构层(3)、AlTiCrN支撑层(4)和AlTiCrN/MoN功能层(5);是通过工具基体(1)前处理和加热;等离子清洗;蒸镀Ti结合层(2);蒸镀TiN梯度结构层(3);溅射沉积AlTiCrN支撑层(4)和AlTiCrN/MoN功能层(5)得到的。本发明的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层与工具表面结合良好,同时具有良好的耐磨性,方法可控性好,易于实施,具有很好的工业应用前景。
Description
技术领域
本发明属于表面工程技术领域,具体涉及一种与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及制备方法。
背景技术
随着加工要求的不断提高,工具加工技术及工具表面涂层技术也相应有了较大的发展。涂层在工具上的成功应用,使得工具原本的使用寿命提高2~5倍,明显提高加工效率和节约了成本。TiN是应用最广泛的工具表面用涂层,硬度24GPa左右,摩擦系数为0.55,最高使用温度600℃,是低速切削的理想刀具涂层。CrN涂层硬度为19GPa左右,摩擦系数为0.3,最高使用温度700℃,是理想的减摩涂层,但硬度偏低,不适宜于加工高硬度材料。为了改善涂层的性能,通常在TiN中加入Al元素进行合金化,TiAlN涂层的硬度可以提高到28GPa,使用温度达700℃,进一步提高Al含量形成的高铝AlTiN涂层,硬度可到34GPa,使用温度可达900℃。TiAlCrN涂层是一种新型的保护涂层,具有高的硬度,并且摩擦系数略低于AlTiN涂层;但减摩润滑效果不理想。同时,由于合金元素比较复杂以及各元素之间物理性能差异较大,TiAlCrN涂层与工具基体之间结合较差。
Mo具有减摩润滑作用,许俊华(doi:10.3724/SP.J.1037.2011.00751)等人报道了一种用磁控溅射方法制备的TiMoN涂层,指出在摩擦磨损过程中,涂层中的Mo与环境中的O2或水反应,形成一层具有低剪切模量、自润滑效应的MoO3,降低了摩擦系数。但是,在Mo原子百分含量低于60%的情况下,TiMoN涂层的减摩效果不明显。更主要的是,该报道指出TiMoN涂层与基体的结合力非常低,不到10N,因此不能进行实际应用。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层及该涂层的制备方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,在工具表面上由内而外一共有四层,依次是Ti结合层、TiN梯度结构层、AlTiCrN支撑层和AlTiCrN/MoN功能层。
其中,上述涂层中,所述Ti结合层的厚度为100~200nm,TiN梯度结构层的厚度为100~200nm,AlTiCrN支撑层的厚度为150~300nm,AlTiCrN/MoN功能层的厚度为500~2000nm。
其中,上述涂层中,所述Ti结合层和TiN梯度结构层是通过蒸发镀膜技术获得,所述AlTiCrN支撑层和AlTiCrN/MoN功能层是通过溅射镀膜技术获得。
其中,AlTiCrN支撑层和AlTiCrN/MoN功能层中铝、钛和铬的原子比例关系为:AlxTiyCr100 -x-y,x:55~73,y:15~25。
其中,上述涂层中,所述AlTiCrN/MoN功能层是由纳米级AlTiCrN单层和MoN单层交替叠加而成。
其中,上述涂层中,所述AlTiCrN单层和MoN单层的厚度之和(调制周期)在8~20nm之间。
其中,上述与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层中,所述工具为硬质合金刀具、高速钢刀具、硬质合金模具或高速钢模具。
本发明还提供与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,包括如下步骤:
a、工具基体前处理和加热;
b、等离子清洗;
c、用蒸镀法沉积得到Ti结合层;
d、再用蒸镀法沉积得到TiN梯度结构层;
e、用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN支撑层;
f、再用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN/MoN功能层。
本发明与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法所使用的设备是四川大学研发的PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机。
其中,上述方法中,步骤a所述工具基体前处理和加热是指:对工具基体表面进行除油处理,去除表面层油污,随后在酒精溶液中脱水处理,经干燥之后立即装炉,并抽真空至≤6.0×10-3Pa;然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在2.5~4.0×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的转速为2~5rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为140~180A,利用产生的电子轰击刀具基体进行加热,加热时间为30~100min。
其中,上述方法步骤b等离子清洗过程中,调节氩气流量,控制室内压强为1.5~2.5×10-1Pa,对基体施加直流偏压-100~-200V和脉冲偏压-200~-500V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间15~60min。
其中,上述方法步骤c用蒸镀法沉积得到Ti结合层的过程中,调节氩气流量,控制工作压强为1.0~1.5×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至180~230A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,蒸发镀制时间为5~10min。
其中,上述方法步骤d用蒸镀法沉积得到TiN梯度结构层的过程中,控制氩气流量为25~50SCCM,然后以每分钟增加15~25SCCM的速度增加氮气流量,氮气最终流量为80~120SCCM,关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-50~-150V,沉积TiN梯度结构层的时间为3~10min。
其中,上述方法步骤e用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN支撑层的过程中,将热阴极离子柱弧的电流调至100~150A,调节氮气和氩气流量,控制工作压强为3.0~4.5×10-1Pa,基体偏压为-30~-100V;开启AlxTiyCr100-x-y合金靶,AlxTiyCr100-x-y合金靶的原子比例满足:x:55~73,y:15~25,AlxTiyCr100-x-y合金靶电流为5.0~7.0A,沉积AlTiCrN支撑层的时间为30~90min
其中,上述方法步骤f用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN/MoN功能层的过程中,保持AlxTiyCr100-x-y合金靶溅射时电流为5.0~7.0A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为2.0~3.5A,沉积AlTiCrN/MoN功能层的时间为90~240min。
本发明的有益效果是:本发明工具表面涂层从里到外共四层涂层,实现了成分与结构的渐变,依次为Ti结合层、TiN梯度结构层、AlTiCrN支撑层和AlTiCrN/MoN功能层,提高了涂层与基体的结合强度。本发明涂层兼具高硬度和低摩擦系数的特点,在摩擦过程中,涂层表面形成氧化铝、氧化铬和氧化钼减摩层,特别是在高速或干式切削条件下更具优势,具有良好的耐磨性。该涂层同时具有良好的抗高温氧化性,在切削过程中刀具的切削速度可以大幅提高,加工效率高。
本发明工具表面涂层制备方法,与多弧离子镀技术相比,制备的涂层表面不存在“液滴”现象,组织细密,表面光洁度好;与现有磁控溅射技术相比,本发明实现了蒸发镀膜技术与磁控溅射技术的结合,Ti结合层和TiN梯度结构层采用蒸发技术制备,沉积能量大,效率高,AlTiCrN支撑层和AlTiCrN/MoN功能层采用中频磁控溅射技术制备,溅射的涂层组织致密,光洁度好。采用两种技术相结合的方法镀膜,沉积效率高,涂层质量好,具有良好的经济效益。
附图说明
图1为本发明与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的结构示意图;
图中标记为:1是工具基体、2是Ti结合层、3是TiN梯度结构层、4是AlTiCrN支撑层、5是AlTiCrN/MoN功能层;
图2为本发明实施例一中与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的截面SEM图,放大倍数为40k倍,标尺为200nm;
图3为本发明对比例一中工具表面上AlTiCrN涂层的截面SEM图,放大倍数为20k倍,标尺为500nm;
图4为本发明对比例二中工具表面上TiN/MoN纳米多层涂层的截面SEM图,放大倍数为20k倍,标尺为500nm;
图5为本发明实施例一中与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层磨损后的表面形貌图,放大倍数为50倍,标尺为200μm;
图6为本发明对比例一中工具表面上AlTiCrN涂层磨损后的表面形貌图,放大倍数为50倍,标尺为200μm;
图7为本发明对比例二中工具表面上TiN/MoN纳米多层涂层磨损后的表面形貌图,放大倍数为50倍,标尺为200μm;
图8为本发明实施例一中与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的压痕测试图,施加的载荷为60kg,放大倍数为200倍,标尺为50μm。
图9为本发明对比例一中工具表面上的AlTiCrN涂层的压痕测试图,施加的载荷为60kg,放大倍数为200倍,标尺为50μm。
图10为本发明对比例二中工具表面上TiN/MoN纳米多层涂层的压痕测试图,施加的载荷为60kg,放大倍数为200倍,标尺为50μm。
具体实施方式
下面通过具体实施方式对本发明做进一步的说明。
如图1所示,本发明与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,在工具表面上由内而外一共有四层,依次是Ti结合层2、TiN梯度结构层3、AlTiCrN支撑层4和AlTiCrN/MoN功能层5。
本发明保护的客体是与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,本领域技术人员可以理解的是,如果为了使本发明保护客体更加清楚,本发明保护的客体也可以修改为具有表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的工具,其中,工具包括基体1,AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,在工具表面上由内而外一共有四层,依次是Ti结合层2、TiN梯度结构层3、AlTiCrN支撑层4和AlTiCrN/MoN功能层5。
优选的,上述涂层中,所述Ti结合层2的厚度为100~200nm,TiN梯度结构层3的厚度为100~200nm,AlTiCrN支撑层的厚度为150~300nm,AlTiCrN/MoN功能层的厚度为500~2000nm。Ti结合层,主要是起连接基体与外面层的过渡桥梁作用,太薄起不到粘结作用,也不宜过厚,因为整个涂层的总厚度也才1000~3000nm;TiN梯度结构层,它是从Ti层这种纯金属层渐渐转化为TiN这种氮化物层,这种渐变,不会造成Ti层与TiN层之间明显的界面,不会产生较大的应力,也是起过渡作用的,一般也不宜过厚;AlTiCrN支撑层本身性能也较好,直接作为最外层使用也有很好的性能,在本发明中,它作为最外层的支撑层,是整个涂层的核心支柱,故它的厚度可以适当厚些;AlTiCrN/MoN功能层是最体现涂层性能的层,它与被加工材料直接接触,在刀具上使用时,可起到减摩耐磨的作用,因此它的厚度是最厚的。
其中,上述涂层中,所述Ti结合层2和TiN梯度结构层3是通过蒸发镀膜技术获得,所述AlTiCrN支撑层4和AlTiCrN/MoN功能层5是通过溅射镀膜技术获得。Ti结合层2和TiN梯度结构层3在里层,对组织和性能要求不高,我们采用蒸发的技术制备,这样效率比较高,通常几分钟就可以达到200nm;外面两层核心层,需用磁控溅射方法制备,在背景技术提到,磁控溅射制备的涂层组织细密,表面光洁度好。
其中,上述涂层中,所述AlTiCrN/MoN功能层是由纳米级AlTiCrN单层和MoN单层交替叠加而成。
优选的,上述涂层中,所述AlTiCrN单层和MoN单层的厚度之和(调制周期)在8~20nm之间。本领域技术人员可以理解的是,所述的8~20nm是一层AlTiCrN单层和一层MoN单层的厚度之和。最外层的AlTiCrN/MoN纳米多层,主要是利用多层叠加后涂层中会出现致硬效应,涂层的硬度会提高,一般调制周期在20nm以内会出现这个效应;但在尺寸过小这个效应又会消失。
优选的,上述与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层中,所述工具为硬质合金刀具、高速钢刀具、硬质合金模具或高速钢模具。
本发明还提供与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,包括如下步骤:
a、工具基体1前处理和加热;
b、等离子清洗;
c、用蒸镀法沉积得到Ti结合层2;
d、再用蒸镀法沉积得到TiN梯度结构层3;
e、用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN支撑层4;
f、再用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN/MoN功能层5。
上述方法步骤a到f都可以在常规的多功能镀膜机中完成,也可以分别采用蒸发镀膜和磁控溅射镀膜仪器进行,本发明优选采用四川大学研发的PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机,该镀膜机蒸发镀膜能量大、效率高,磁控溅射的涂层结合力也更高。
优选的,上述方法中,步骤a工具基体1前处理包括:对工具基体1表面进行除油处理,去除表面层油污,随后在酒精溶液中脱水处理,经干燥之后立即装炉,并抽真空至≤6.0×10-3Pa;然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在2.5~4.0×10-1Pa,打开转动,控制工具基体1在炉内的转速为2~5rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为140~180A,利用产生的电子轰击刀具基体1进行加热,加热时间为30~100min。
优选的,上述方法步骤b等离子清洗过程中,调节氩气流量,控制室内压强为1.5~2.5×10-1Pa,对基体施加直流偏压-100~-200V和脉冲偏压-200~-500V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间15~60min。
优选的,上述方法步骤c用蒸镀法沉积得到Ti结合层2的过程中,调节氩气流量,控制工作压强为1.0~1.5×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至180~230A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,蒸发镀制时间为5~10min。
优选的,上述方法步骤d用蒸镀法沉积得到TiN梯度结构层3的过程中,控制氩气流量为25~50SCCM,然后以每分钟增加15~25SCCM的速度增加氮气流量,氮气最终流量为80~120SCCM,关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-50~-150V,沉积TiN梯度结构层3的时间为3~10min。
优选的,上述方法步骤e用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN支撑层4的过程中,将热阴极离子柱弧的电流调至100~150A,调节氮气和氩气流量,控制工作压强为3.0~4.5×10-1Pa,基体偏压为-30~-100V;开启AlxTiyCr100-x-y合金靶,AlxTiyCr100-x-y合金靶的原子比例满足:x:55~73,y:15~25,AlxTiyCr100-x-y合金靶电流为5.0~7.0A,沉积AlTiCrN支撑层4的时间为30~90min。
优选的,上述方法步骤f用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN/MoN功能层5的过程中,保持AlxTiyCr100-x-y合金靶溅射时电流为5.0~7.0A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为2.0~3.5A,沉积AlTiCrN/MoN功能层5的时间为90~240min。
下面通过实施例对本发明具体实施方式作进一步的说明,但并不因此将本发明的保护范围限制在实施例之中。
以下实施例中提供的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的断口形貌图及涂层厚度由日本Hitachi公司的S4800扫描电子显微镜检测;为比较几种涂层之间的耐磨性,采用JS-QHY-2球痕仪在相同载荷和转速下,用钢球磨损涂层5min,然后采用OLYMPUS的GX51光学显微镜观察磨痕的大小;涂层与基体的结合强度采用HR-150A洛式硬度计检测,硬质合金基体选用60kg载荷,高速钢基体选用150kg载荷,然后采用OLYMPUS的GX51光学显微镜观察压痕,根据压痕周围涂层与基体的结合情况判断涂层与基体的结合强度。
实施例一
将硬质合金车刀分别在清洗液和丙酮溶液中超声波清洗10min,去除油污,用酒精溶液脱水处理5min,吹干后装入PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机中,抽真空至6.0×10-1Pa,然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在3.5×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的公转速度为3rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为160A,利用其产生的电子轰击刀具基体进行加热,时间80min。调节氩气流量,控制室内压强为1.9×10-1Pa,对基体施加直流偏压-150V和脉冲偏压-350V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间15min。调节氩气流量,控制工作压强为1.1×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至200A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,时间10min。关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-120V,通入33SCCM氩气,以20SCCM/min的速度逐渐通入氮气,氮气最终流量为98SCCM,该过程为5min。将热阴极离子柱弧的电流调至130A,调节气体流量,控制工作压强为3.6×10-1Pa,基体偏压为-45V,开启Al60Ti25Cr15合金靶电源,AlTiCr靶电流为5.0A,该过程时间60min。保持AlTiCr合金靶溅射时电流为5.0A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为3.0A,继续镀膜时间120min。镀膜完毕后自然冷却80min,取出刀具。
经检测,本实施例中刀具基体上的涂层从里到外一共有四层,厚度分别为190nm、170nm、220nm和850nm。经摩擦磨损试验测试,磨损后的最大直径为376μm;经压痕测试,涂层与基体结合良好,压痕评定等级为HF2。
实施例二
将高速钢丝锥分别在清洗液和丙酮溶液中超声波清洗10min,去除油污,用酒精溶液脱水处理5min,吹干后装入PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机中,抽真空至6.0×10-1Pa,然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在3.3×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的公转速度为3rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为150A,利用其产生的电子轰击刀具基体进行加热,时间50min。调节氩气流量,控制室内压强为1.8×10-1Pa,对基体施加直流偏压-200V和脉冲偏压-500V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间40min。调节氩气流量,控制工作压强为1.2×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至205A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,时间8min。关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-100V,通入40SCCM氩气,以18SCCM/min的速度逐渐通入氮气,氮气最终流量为90SCCM,该过程为5min。将热阴极离子柱弧的电流调至130A,调节气体流量,控制工作压强为4.0×10-1Pa,基体偏压为-40V,开启Al65Ti20Cr15合金靶电源,AlTiCr靶电流为6.0A,该过程时间60min。保持AlTiCr合金靶溅射时电流为6.0A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为2.0A,继续镀膜时间120min。镀膜完毕后自然冷却50min,取出刀具。
经检测,本实施例中刀具基体上的涂层从里到外一共有四层,厚度分别为140nm、160nm、180nm和790nm。经摩擦磨损试验测试,磨损后的最大直径为382μm;经压痕测试,涂层与基体结合良好,压痕评定等级为HF2。
实施例三
将硬质合金铣刀分别在清洗液和丙酮溶液中超声波清洗10min,去除油污,用酒精溶液脱水处理5min,吹干后装入PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机中,抽真空至6.0×10-1Pa,然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在3.0×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的公转速度为2rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为170A,利用其产生的电子轰击刀具基体进行加热,时间85min。调节氩气流量,控制室内压强为2.0×10-1Pa,对基体施加直流偏压-200V和脉冲偏压-400V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间30min。调节氩气流量,控制工作压强为1.1×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至200A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,时间9min。关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-110V,通入35SCCM氩气,以22SCCM/min的速度逐渐通入氮气,氮气最终流量为93SCCM,该过程为6min。将热阴极离子柱弧的电流调至140A,调节气体流量,控制工作压强为3.8×10-1Pa,基体偏压为-50V,开启Al62Ti23Cr15合金靶电源,AlTiCr靶电流为6.2A,该过程时间70min。保持AlTiCr合金靶溅射时电流为6.2A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为2.8A,继续镀膜时间150min。镀膜完毕后自然冷却85min,取出刀具。
经检测,本实施例中刀具基体上的涂层从里到外一共有四层,厚度分别为180nm、180nm、210nm和1300nm。经摩擦磨损试验测试,磨损后的最大直径为365μm;经压痕测试,涂层与基体结合良好,压痕评定等级为HF2。
实施例四
将高速钢冲头分别在清洗液和丙酮溶液中超声波清洗10min,去除油污,用酒精溶液脱水处理5min,吹干后装入PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机中,抽真空至6.0×10-1Pa,然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在3.8×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的公转速度为2rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为155A,利用其产生的电子轰击刀具基体进行加热,时间60min。调节氩气流量,控制室内压强为2.1×10-1Pa,对基体施加直流偏压-180V和脉冲偏压-450V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间20min。调节氩气流量,控制工作压强为1.0×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至195A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,时间9min。关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-80V,通入45SCCM氩气,以21SCCM/min的速度逐渐通入氮气,氮气最终流量为88SCCM,该过程为4min。将热阴极离子柱弧的电流调至135A,调节气体流量,控制工作压强为3.5×10-1Pa,基体偏压为-45V,开启Al60Ti20Cr20合金靶电源,AlTiCr靶电流为6.5A,该过程时间65min。保持AlTiCr合金靶溅射时电流为6.5A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为2.5A,继续镀膜时间130min。镀膜完毕后自然冷却60min,取出刀具。
经检测,本实施例中刀具基体上的涂层从里到外一共有四层,厚度分别为192nm、176nm、232nm和1460nm。经摩擦磨损试验测试,磨损后的最大直径为379μm;经压痕测试,涂层与基体结合良好,压痕评定等级为HF2。
对比例1(AlTiCrN涂层)
将硬质合金车刀分别在清洗液和丙酮溶液中超声波清洗10min,去除油污,用酒精溶液脱水处理5min,吹干后装入PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机中,抽真空至6.0×10-1Pa,然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在3.5×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的公转速度为3rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为160A,利用其产生的电子轰击刀具基体进行加热,时间80min。调节氩气流量,控制室内压强为1.9×10-1Pa,对基体施加直流偏压-150V和脉冲偏压-350V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间15min。将热阴极离子柱弧的电流调至130A,调节气体流量,控制工作压强为3.6×10-1Pa,基体偏压为-45V,开启Al60Ti25Cr15合金靶电源,AlTiCr靶电流为5.0A,该过程时间200min。镀膜完毕后自然冷却80min,取出冲头。
经检测,本实施例中刀具基体上的涂层从里到外一共是一层,厚度为1480nm。经摩擦磨损试验测试,磨损后的最大直径为412μm;经压痕测试,涂层与基体结合较差,压痕评定等级为HF4。
对比例2(TiN/MoN涂层)
将硬质合金车刀分别在清洗液和丙酮溶液中超声波清洗10min,去除油污,用酒精溶液脱水处理5min,吹干后装入PEMS-800多功能超硬薄膜工模具镀膜机中,抽真空至6.0×10-1Pa,然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在3.5×10-1Pa,打开转动,控制工具基体在炉内的公转速度为3rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为160A,利用其产生的电子轰击刀具基体进行加热,时间80min。调节氩气流量,控制室内压强为1.9×10-1Pa,对基体施加直流偏压-150V和脉冲偏压-350V,利用等离子区离化的氩离子对刀具基体进行刻蚀清洗,清洗时间15min。打开溅射源,调节Ti靶电源电流为5.0A,调节Mo靶电源电流为3.0A,调节氮气和氩气流量,使工作压强为3.6×10-1Pa,基体偏压为-45V,溅射镀膜180min。镀膜完毕后自然冷却80min,取出刀具。
经检测,本实施例中刀具基体上的涂层从里到外一共是一层,厚度为1250nm。经摩擦磨损试验测试,磨损后的最大直径为470μm;经压痕测试,涂层与基体结合较差,压痕等级为HF4~5。
为了考察以上部分实施例与对比例所得工具表面涂层的结构和性能,本发明对其做了如下检测:
1)涂层断口组织对比
采用S4800-Hitach扫描电镜观察断口组织,得到图2、3和4。从图2中观察可知,刀具基体上一共有四层,各层之间连接紧密,过渡自然,最外层的AlTiCrN/MoN纳米层为柱状晶结构,组织致密,柱状之间无间隙。从图3可知,AlTiCrN涂层为柱状晶结构,柱状贯穿整个涂层,涂层与基体之间的界面存在有缝隙。从图4可知,TiN/MoN涂层组织类似于柱状晶结构,柱状有断裂,未贯穿整个涂层,涂层与基体之间的界面有裂缝。
2)涂层耐磨性对比
采用JS-QHY-2球痕仪在相同载荷和转速下,用钢球磨损涂层5min,然后采用OLYMPUS的GX51光学显微镜观察磨痕的大小,得到涂层的摩擦系数见图5、6和7。从图5中观察可知,AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的磨痕半径较小,为376μm,表明AlTiCrN/MoN纳米涂层耐磨性较好,涂层的减摩润滑效果较明显。从图6可知,AlTiCrN涂层的磨痕半径较大,为412μm,表明AlTiCrN纳米涂层耐磨性较差,涂层的减摩润滑效果较一般。从图7可知,TiN/MoN涂层涂层的磨痕半径更大,为470μm,表明TiN/MoN纳米涂层耐磨性最差,涂层的减摩润滑效果低。
3)涂层与基体结合情况对比
采用Rockwell压痕法(HR-150A洛氏硬度仪)在60kg载荷下测试涂层与基体结合情况,压痕的结果采用GX51光学显微镜观察,得到图8、9和10。从图8中观察可知,AlTiCrN/MoN纳米涂层的压痕周围出现了裂纹,但没有出现剥落现象,与标准等级对照,评定结合力为HF2,表面AlTiCrN/MoN纳米多层涂层与基体结合良好。从图9可知,AlTiCrN涂层的的压痕周围出现裂纹,并且存在剥落现象,与标准等级对照,评定结合力为HF4,表明AlTiCrN涂层与基体的结合较差。从图10可知,TiN/MoN涂层的压痕周围以剥落现象为主,与标准等级对照,评定结合力为HF4~5,表明TiN/MoN涂层与基体的结合很差。
Claims (10)
1.与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,其特征在于:在工具表面上由内而外一共有四层,依次是Ti结合层(2)、TiN梯度结构层(3)、AlTiCrN支撑层(4)和AlTiCrN/MoN功能层(5);所述Ti结合层(2)和TiN梯度结构层(3)是通过蒸发镀膜技术获得,所述AlTiCrN支撑层(4)和AlTiCrN/MoN功能层(5)是通过溅射镀膜技术获得;所述AlTiCrN/MoN功能层(5)是由纳米级AlTiCrN单层和MoN单层交替叠加而成;所述AlTiCrN单层和MoN单层的厚度之和在8~20nm之间。
2.根据权利要求1所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,其特征在于:所述Ti结合层(2)的厚度为100~200nm,TiN梯度结构层(3)的厚度为100~200nm,AlTiCrN支撑层(4)的厚度为150~300nm,AlTiCrN/MoN功能层(5)的厚度为500~2000nm。
3.根据权利要求1或2所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层,其特征在于:所述工具为硬质合金刀具、高速钢刀具、硬质合金模具或高速钢模具。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于包括如下步骤:
a、工具基体(1)前处理和加热;
b、等离子清洗;
c、用蒸镀法沉积得到Ti结合层(2);
d、再用蒸镀法沉积得到TiN梯度结构层(3);
e、用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN支撑层(4);
f、再用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN/MoN功能层(5)。
5.根据权利要求4所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于步骤a所述工具基体(1)前处理和加热是指:对工具基体(1)表面进行除油处理,去除表面层油污,随后在酒精溶液中脱水处理,经干燥之后立即装炉,并抽真空至≤6.0×10-3Pa;然后向镀膜室内通入氩气,并控制压强在(2.5~4.0)×10-1Pa,打开转动,控制工具基体(1)在炉内的转速为2~5rpm,开启热阴极离子柱弧使其电流为140~180A,利用产生的电子轰击工具基体(1)进行加热,加热时间为30~100min。
6.根据权利要求4所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于:步骤b等离子清洗过程中,调节氩气流量,控制室内压强为(1.5~2.5)×10-1Pa,对基体施加直流偏压-100~-200V和脉冲偏压-200~-500V,利用等离子区离化的氩离子对工具基体(1)进行刻蚀清洗,清洗时间15~60min。
7.根据权利要求4所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于:步骤c用蒸镀法沉积得到Ti结合层(2)的过程中,调节氩气流量,控制工作压强为(1.0~1.5)×10-1Pa,并将热阴极离子柱弧的电流调至180~230A,对坩埚进行加热,使坩埚内的Ti金属蒸发,蒸发镀制时间为5~10min。
8.根据权利要求4所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于:步骤d用蒸镀法沉积得到TiN梯度结构层(3)的过程中,控制氩气流量为25~50SCCM,然后以每分钟增加15~25SCCM的速度增加氮气流量,氮气最终流量为80~120SCCM,关闭脉冲偏压,控制直流偏压为-50~-150V,沉积TiN梯度结构层(3)的时间为3~10min。
9.根据权利要求4所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于:步骤e用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN支撑层(4)的过程中,将热阴极离子柱弧的电流调至100~150A,调节氮气和氩气流量,控制工作压强为(3.0~4.5)×10-1Pa,基体偏压为-30~-100V;开启AlxTiyCr100-x-y合金靶,AlxTiyCr100-x-y合金靶的原子比例满足:x:55~73,y:15~25,AlxTiyCr100-x-y合金靶电流为5.0~7.0A,沉积AlTiCrN支撑层(4)的时间为30~90min。
10.根据权利要求4所述的与工具表面结合牢固的AlTiCrN/MoN纳米多层涂层的制备方法,其特征在于:步骤f用磁控溅射法沉积得到AlTiCrN/MoN功能层(5)的过程中,保持AlxTiyCr100-x-y合金靶溅射时电流为5.0~7.0A,同时打开Mo靶,Mo靶电源电流为2.0~3.5A,沉积AlTiCrN/MoN功能层(5)的时间为90~240min。
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