CN103754843B - 一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法，包括黄磷漂洗、空气净化、燃烧、水合吸收、净化工序，采用超纯水净化黄磷和磷酸净化燃烧空气，矩形管气化黄磷燃烧，采用化学沉淀法对磷酸做初步净化除杂，再采用隔板结晶器结晶对磷酸进行深度净化提纯得到电子级磷酸。本发明有效地保证了电子酸原料的高纯度，水位差安全输送，黄磷燃烧效果好，在隔板结晶器内结晶，增加了单位结晶面积，提高了结晶效率。并有效利用黄磷燃烧余热，降低电子级磷酸的生产能耗，具有较好的经济效益和社会效益。
Description
技术领域：
本发明涉及磷化工行业中磷酸生产技术领域，涉及一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法。
背景技术：
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、导电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻，由于不溶性固体颗粒或者金属离子都可能在微细电路之间导通电流，使之短路，所以电子级磷酸对不溶性固体颗粒和绝大多数金属离子含量都有苛刻的要求。
由于电子级磷酸中要求金属离子杂质含量极少，分离难度较大，通常以食品级磷酸或初步提纯过的工业级磷酸为原料来制备电子级磷酸。目前，磷酸的净化方法一般有：溶剂萃取法、离子交换法、电渗析法、结晶法等。与其它几种方法相比，结晶法有着能耗低、设备简单、操作成本小、污染小的优点，同时产品纯度高，色度好，一直被作为电子级磷酸制备的重点研究方法。
中国专利CN2009l0094409.3，一种用黄磷直接制取电子级磷酸的方法涉及磷酸生产方法，是将经净化预处理的工业黄磷放入燃烧塔，经过多级除油、除杂、控湿的空气，使工业黄磷充分燃烧，然后将燃烧产生的气体五氧化二磷送入吸收塔，使用纯水进行循环吸收，吸收产生的磷酸浓度达到85.0％-87.0％后，送入磷酸净化后处理设备，经阴、阳离子脱除、曝气、多级过滤净化处理后，在万级或千级空气净化环境下净化。该法生产工艺复杂，生产环境要求苛刻，产品质量难以控制。
中国专利200610013611.5用熔融结晶法制备电子级磷酸，在-45～-35℃下挂壁产生晶种然后升温至-2～-10℃，循环加入原料使其在晶体表面生长至厚度达到2～4cm时开始升温，排除液体质量为10～40％时停止，产率在12～20％。此方法操作温度极低，能耗大，且需要对原料进行预处理除去砷，操作时间长，生产成本高，产率低。
中国专利201010100473.0用流动层析结晶法制备高纯磷酸，采用外加声场出晶，对所用原料纯度要求极高(主要杂质离子浓度均小于1.7mg/L，且需微孔膜过滤处理)，应用难度较大，不易于工业化。
中国专利201010104321.8采用液膜结晶法制备电子级磷酸，在10～20℃的壁面上加入晶种同时开始降温，通过分布器将原料磷酸液体加在壁面上，原料呈液膜状态流过晶种，在壁面生长成晶膜，达到降温终点5～10℃待母液充分排除后开始升温发汗，发汗至15～29℃时终止。该方法是一个动态的结晶操作过程，未结晶母液即时排出。通过一次性的降温结晶——恒温排液——升温热处理来提纯产品。该法改进了晶种产生方式，将操作温度提高到容易达到的区间，两次结晶产率20～30％。但是，用该方法制备得到的电子级磷酸中Na、Al、Mg、Cr等离子浓度偏高(1.79mg/L、0.94mg/L、0.49mg/L、0.37mg/L)，不能满足用户日益更新的需求，仍需进一步改进。
发明内容：
本发明的目的：是为了解决上述现有技术中存在的问题，旨在提供一种流程简单，实用性强，产品成本较低，产品质量稳定，创造良好经济效益的隔板结晶电子级磷酸生产方法。
本发明的技术方案是：
净化黄磷与洁净空气，使黄磷得到充分燃烧，黄磷燃烧产生的五氧化二磷气体在水合吸收塔中用稀酸或超纯水循环吸收，用五硫化二磷、双氧水、活性炭对粗磷酸做初步除杂，再采用隔板结晶器结晶进行磷酸的深度除杂提纯得到电子级磷酸。
本发明是这样实现的：
一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法，包括黄磷漂洗、空气净化、燃烧、水合吸收、净化工序，其特征在于：采用超纯水净化黄磷和磷酸净化燃烧空气，矩形管气化黄磷燃烧，采用化学沉淀法对磷酸做初步净化除杂，再采用隔板结晶器结晶对磷酸进行深度净化提纯得到电子级磷酸，具体操作步骤如下：
A、黄磷漂洗：将黄磷输入盛有60～80℃超纯水的漂洗槽中，开启循环泵反复漂洗10～30分钟；
B、熔磷：将漂洗的黄磷投入设夹套的高位供磷槽中，加热熔融，沉淀；
C、空气净化：开启空气洗涤塔，空气经洗涤塔中的磷酸洗涤除尘、除湿后进入黄磷燃烧炉；
D、燃烧：经漂洗后的液态磷在磷计量槽一定的水位差条件下在燃烧塔底部不断地供液态黄磷，液态黄磷与洁净空气在矩形管气化黄磷燃烧炉充分燃烧，矩形管不断吸收黄磷燃烧热直至管内的黄磷气化成磷蒸汽，燃烧产生的五氧化二磷气体借助尾部风机造成的负压10000～15000Pa自塔顶进入主吸收塔，液态黄磷燃烧需要的净化空气由塔下段的一个或多个进风口调节供给，气态黄磷燃烧热部分由塔壁夹套水吸收，热水供液态黄磷保温和结晶熔融使用，部分气态黄磷燃烧热随燃烧产生的五氧化二磷气体带走，进入主吸收塔；
E、水合吸收：从主吸收塔顶部进入的黄磷燃烧产生的五氧化二磷气体，由三个酸喷头喷洒稀酸和塔内顶部溢流槽的大量溢流磷酸顺流时吸收，酸酐的水化热一部分借循环酸带走，一部分传给夹套水带走，一部随气体进入副吸收塔；从主吸收塔底部出风口出来的未吸收完的五氧化二磷气体，由副吸收塔顶部两个稀喷头喷洒稀酸逆流吸收，副吸收塔的作用与主吸收塔一样，气体从副塔顶部进入酸雾吸收除雾系统；从主吸收塔底部流出的浓磷酸进入浓酸槽，不符合浓度要求的次浓磷酸进入次浓磷酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45～60℃，向主吸收塔供循环酸；从副吸收塔底部流出的稀磷酸进入稀酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45～60℃，向主、副吸收塔和文氏管供循环酸，未吸收完的五氧化二磷气体，一部分供塔喷头喷酸吸收；一部供吸收塔顶部溢流槽的溢流吸收。
当在循环槽发现主吸收塔和副吸收塔出口酸由于磷未充分氧化，而出现红酸和黄酸时，应减少投磷量，然后根据情况在循环槽处缓慢加入一定量的双氧水，约经20-30分钟系统循环，完全氧化酸色度正常后，再调整投磷量；浓磷酸槽的酸经检验合格后，送除杂处理槽；
F、一级化学净化：浓磷酸槽的磷酸，经循环酸泵的旁路酸管出酸通过文里管进脱砷反应器，在保温60～80℃情况下，根据砷含量加入1.3倍五硫化二磷反应20～60分钟脱砷除杂，若酸色不好，要加入活性炭脱色，脱砷反应器加热保温由燃烧塔产生的热水，通过保温管道供给，反应完全后经脱砷过滤机过滤，去除砷、氟、铅、汞、镉对人体有害的元素和活性炭，再在脱硫塔脱气去除硫，除硫保持槽内磷酸温度60～80℃，酸循环40～90分钟，然后打入结晶器进行二级结晶净化；滤渣经热水洗涤后甩干，用石灰中和，运往废料池排放，水洗清液返回磷酸生产系统；
G、二级结晶净化：将原料酸打至储酸格1/2～4/5液位处，将-15～0℃的盐水打入隔板结晶器储水格中，按一级化学净化磷酸重量的5‰～10‰将磷酸半水晶种涂抹至储酸格内壁，诱发结晶，晶体开始成长，结晶层厚度逐渐增大，待晶层厚度达2～5cm时，排出储水格的盐水，排除储酸格液相，静置15～30min使结晶面上的残余液相滴尽，打开洗晶装置，用超纯水或上一次的稀酸成品洗涤晶柱表面及储酸槽残余的液相并排尽，将黄磷燃烧炉的夹套热水输入储水格，使储酸格壁上的结晶受热熔融，晶层逐渐发汗熔融，取熔融酸样做ICP-MS检测，将经ICP-MS检测各金属杂质指标合格的酸打入调酸罐调节磷酸的温度及浓度；酸温调至40℃以上以确保无磷酸晶体残余，根据需要调节浓度后进行包装。
本发明的优点：
1、本发明采用本企业安全供磷装置专利技术，燃烧熔融原料黄磷由燃烧塔的底部进入燃烧室，在低位熔磷槽中以水位差安全输送，避免了传统生产线中用高压泵或压缩空气将处于高危状态下的熔融黄磷输送到高位槽，然后再经高压喷射燃烧这一危险的操作环节。
2、本方法采用超纯水对黄磷原料熔融和漂洗除杂预处理，有效地保证了电子酸原料的高纯度。
3、本方法采用磷酸洗涤塔对黄磷燃烧所需的空气进行净化除湿、除杂，有效地避免空气带入水汽及粉尘引起的黄磷燃烧效果不理想及产品杂质含量增高的问题。
4、气态黄磷与洁净空气在矩形管气化黄磷燃烧炉充分燃烧。
5、本方法通过采用隔板结晶器使磷酸在隔板面上结晶，增加了单位结晶面积，提高了结晶效率。
6、本方法在结晶器内设置洗晶装置，对晶柱表面及储酸槽残余液相的喷淋洗涤，避免了杂质含量较高的液相与纯净晶体混溶引起的产品质量下降的情况。
7、本方法采用双氧水和活性炭对磷酸进行化学和物理脱色，保证了电子级磷酸的白度。
8、本方法有效利用黄磷燃烧余热，降低电子级磷酸的生产能耗。
附图说明：
附图1：为本发明工艺流程示意图。
如图所示，本工艺流程主要包括：黄磷漂洗、空气净化、燃烧、水合吸收、一级化学净化和二级结晶净化工序。
具体实施方式：
下面结合实施例对本发明进一步说明，所列实施例仅在于说明本发明而不限于本发明。
实施例一：
将黄磷输入预先装有65℃超纯水的黄磷漂洗槽中，漂洗槽夹套热水加热，开启循环漂洗泵反复漂洗黄磷，将溶于水的杂质经热水浮选除去，液态磷由恒定磷液位装置流入磷计量槽，该装置使液态磷保持计量槽一定的磷液位，以水位差和阀门控制向燃烧塔供磷。黄磷管道采用热水夹套保温，以使液态磷保持流体状态。保温热水来自燃烧塔夹套，在热水位差的作用下，流入熔磷槽和磷计量槽夹套，出来后进入冷凝水池，经冷凝水泵又将水打入塔夹套，以保证熔磷槽和磷计量槽内熔磷温度恒定需要的热水。
开启空气洗涤塔的风机和酸循环泵，空气经洗涤塔中的磷酸洗涤除尘、除湿后进入黄磷燃烧炉。
液态磷在磷计量槽一定的水位差条件下在燃烧塔底部不断地供磷，气态黄磷与洁净空气在矩形管气化黄磷燃烧炉充分燃烧，借助尾部风机造成的负压11000Pa自塔顶进入主吸收塔。磷燃烧需要的净化空气由塔下段两侧的进风口调节供给。黄磷燃烧热部分由塔壁夹套水吸收，热水供溶磷保温用；部分随燃烧产生的P2O5等气体带走，进入主吸收塔。
从主吸收塔顶部进入的磷燃烧产生的五氧化二磷气体，由三个酸喷头喷稀酸和塔内顶部溢流槽的大量溢流磷酸顺流时吸收，酸酐的水化热一部分借循环酸带走，一部分传给夹套水带走，一部随气体进入副吸收塔。从主吸收塔底部出风口出来的未吸收完的五氧化二磷气体，由副吸收塔顶部两个稀喷头喷酸逆流吸收，副吸收塔的作用与主吸收塔一样，气体从副塔顶部进入酸雾吸收除雾系统。从主吸收塔底部流出的浓磷酸进入浓酸槽；从主吸收塔底部流出的次浓磷酸进入次浓磷酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45℃，向主吸收塔供循环酸；从副吸收塔底部流出的稀磷酸进入稀酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45℃，向主、副吸收塔和文氏管供循环酸，未吸收完的五氧化二磷气体，一部分供塔喷头喷酸吸收；一部供吸收塔顶部溢流槽的溢流吸收。
当在循环塔发现主吸收塔和副吸收塔出口酸由于磷未充分氧化，而出现红酸和黄酸时，应减少投磷量，然后根据情况在循环槽处缓慢加入一定量的双氧水，约经20-30分钟系统循环，完全氧化酸色度正常后，再调整投磷量。循环酸槽的酸经检验合格后，送除杂处理槽。
循环酸槽的磷酸，经循环酸泵的旁路酸管出酸通过文里管进脱砷反应槽，在保温60℃情况下，根据砷含量加入1.3倍五硫化二磷反应30分钟脱砷。反应槽夹套加热保温由燃烧塔产生的热水，通过保温管道供给，反应完全后经板框压滤机过滤后清液进入脱色槽，鼓泡脱气去除硫，保持槽内酸温60℃，鼓泡40分钟后降温；若酸色不好，要加入双氧水进一步氧化脱色，然后打入二级原料酸储存槽。
将原料酸打至隔板结晶器的储酸格3/4液位处，4格酸共3000kg，酸温26℃，浓度86.5%，将-10℃的盐水打入储水格中循环冷却，按原料酸重量的5‰将磷酸半水晶种涂抹至储酸格内壁，诱发结晶，晶体开始成长，结晶层厚度逐渐增大，待晶层厚度达3cm时，停止通盐水，排除液相，静置20min使结晶面上的残余液相滴尽，晶层的质量为1450kg，打开洗晶装置，用超纯水洗涤晶体表面及储酸格底部残余的液相并排尽；将黄磷燃烧炉的夹套热水输入储水格，使储酸格壁上的结晶受热熔融，取熔融酸样做ICP-MS检测，检测结果如表-1，熔融酸样输送至调酸罐调节浓度调至87%，作为二次结晶的原料酸。
表-1：一次结晶熔融酸样ICP-MS检测结果单位：ppb
| 分析物 | 原料酸 | 一次结晶 |
| Al | 83 | 42 |
| As | 200 | 89 |
| Cr | 114 | 86 |
| Cu | 67 | 44 |
| Fe | 2217 | 801 |
| K | 2817 | 1003 |
| Li | 53 | 36 |
| Mg | 29 | 10 |
| Mn | 40 | 26 |
| Na | 2234 | 976 |
| Ni | 98 | 65 |
| Pb | 235 | 162 |
| Sb | 2807 | 938 |
| Zn | 56 | 41 |
实施例二：
将装黄磷的桶外壁用水冲洗干净，通过吊车吊进熔磷槽，并加入适量的纯净水，熔磷槽夹套热水加热，槽内温度达到65℃使黄磷熔融。将溶于水的杂质经热水浮选除去，液态磷由恒定磷液位装置流入磷计量槽，该装置使液态磷保持计量槽一定的磷液位，以水位差和阀门控制向燃烧塔供磷。黄磷管道采用热水夹套保温，以使液态磷保持流体状态。保温热水来自燃烧塔夹套，在热水位差的作用下，流入溶磷槽和磷计量槽夹套，出来后进入冷凝水池，经冷凝水泵又将水打入塔夹套，以保证熔磷槽和磷计量槽内溶磷温度恒定需要的热水。
开启空气洗涤塔的风机和酸循环泵，空气经洗涤塔中的磷酸洗涤除尘、除湿后进入黄磷燃烧炉。
液态磷在磷计量槽一定的水位差条件下在燃烧塔底部不断地供磷，液态黄磷与洁净空气在矩形管气化黄磷燃烧炉充分燃烧，作用下燃烧，借助尾部风机造成的负压11000Pa自塔顶进入主吸收塔。磷燃烧需要的净化空气由塔下段两侧的进风口调节供给。黄磷燃烧热部分由塔壁夹套水吸收，热水供溶磷保温用；部分随燃烧产生的P2O5等气体带走，进入主吸收塔。
从主吸收塔顶部进入的磷燃烧产生的五氧化二磷气体，由三个酸喷头喷稀酸和塔内顶部溢流槽的大量溢流磷酸顺流时吸收，酸酐的水化热一部分借循环酸带走，一部分传给夹套水带走，一部随气体进入副吸收塔。从主吸收塔底部出风口出来的未吸收完的五氧化二磷气体，由副吸收塔顶部两个稀喷头喷酸逆流吸收，副吸收塔的作用与主吸收塔一样，气体从副塔顶部进入酸雾吸收除雾系统。从主吸收塔底部流出的浓磷酸进入浓酸槽；从主吸收塔底部流出的次浓磷酸进入次浓磷酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45℃，向主吸收塔供循环酸；从副吸收塔底部流出的稀磷酸进入稀酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45℃，向主、副吸收塔和文氏管供循环酸，未吸收完的五氧化二磷气体，一部分供塔喷头喷酸吸收；一部供吸收塔顶部溢流槽的溢流吸收。
当在循环塔发现主吸收塔和副吸收塔出口酸由于磷未充分氧化，而出现红酸和黄酸时，应减少投磷量，然后根据情况在循环槽处缓慢加入一定量的双氧水，约经20-30分钟系统循环，完全氧化酸色度正常后，再调整投磷量。循环酸槽的酸经检验合格后，送除杂处理槽。
循环酸槽的磷酸，经循环酸泵的旁路酸管出酸进脱砷反应槽，在保温75℃情况下，根据砷含量加入1.3倍五硫化二磷反应55分钟脱砷。反应槽夹套加热保温由燃烧塔产生的热水，通过保温管道供给，反应完全后经板框压滤机过滤后清液进入脱色槽，鼓泡脱气去除硫，保持槽内酸温75℃，鼓泡80分钟后降温；若酸色不好，要加入双氧水进一步氧化脱色，然后打入二级原料酸储存槽。
将原料酸打至隔板结晶器的储酸格3/4液位处，4格酸共3000kg，酸温26℃，浓度86.5%，将-10℃的盐水打入储水格中循环冷却，按原料酸重量的10‰将磷酸半水晶种涂抹至储酸格内壁，诱发结晶，晶体开始成长，结晶层厚度逐渐增大，待晶层厚度达3.5cm时，停止通盐水，排除液相，静置30min使结晶面上的残余液相滴尽，晶层的质量为1857kg，打开洗晶装置，用实施例一的稀酸洗涤晶体表面及储酸格底部残余的液相并排尽；将黄磷燃烧炉的夹套热水输入储水格，使储酸格壁上的结晶受热熔融，取熔融酸样做ICP-MS检测，检测结果如表-2，熔融酸样输送至调酸罐调节浓度调至87%，作为二次结晶的原料酸。
表-2：一次结晶熔融酸样ICP-MS检测结果单位：ppb
| 分析物 | 原料酸 | 一次结晶 |
| Al | 83 | 62 |
| As | 200 | 119 |
| Cr | 114 | 70 |
| Cu | 67 | 45 |
| Fe | 2217 | 954 |
| K | 2817 | 1152 |
| Li | 53 | 26 |
| Mg | 29 | 15 |
| Mn | 40 | 20 |
| Na | 2234 | 1004 |
| Ni | 98 | 55 |
| Pb | 235 | 128 |
| Sb | 2807 | 951 |
| Zn | 56 | 30 |
Claims (3)
1.一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法，包括黄磷漂洗、空气净化、燃烧、水合吸收、净化工序，其特征在于：采用超纯水净化黄磷和磷酸净化燃烧空气，矩形管气化黄磷燃烧，采用化学沉淀法对磷酸做初步净化除杂，再采用隔板结晶器结晶对磷酸进行深度净化提纯得到电子级磷酸，具体操作步骤如下：
A、黄磷漂洗：将黄磷输入盛有60～80℃超纯水的漂洗槽中，开启循环泵反复漂洗10～30分钟；
B、熔磷：将漂洗的黄磷投入设夹套的高位供磷槽中，加热熔融，沉淀；
C、空气净化：开启空气洗涤塔，空气经洗涤塔中的磷酸洗涤除尘、除湿后进入黄磷燃烧炉；
D、燃烧：经漂洗后的液态磷在磷计量槽一定的水位差条件下在燃烧塔底部不断地供液态黄磷，液态黄磷与洁净空气在矩形管气化黄磷燃烧炉内充分燃烧，燃烧产生的五氧化二磷气体借助尾部风机造成的负压10000～15000Pa自塔顶进入主吸收塔，液态黄磷燃烧需要的净化空气由塔下段的一个或多个进风口调节供给，气态黄磷燃烧热部分由塔壁夹套水吸收，热水供液态黄磷保温和结晶熔融使用，部分液态黄磷燃烧热随燃烧产生的五氧化二磷气体带走，进入主吸收塔；
E、水合吸收：采用两步法水合吸收五氧化二磷气体；
F、一级化学净化：采用五硫化二磷脱砷、鼓泡脱气去除硫和双氧水脱色；
G、二级结晶净化：采用隔板结晶器结晶、洗晶和熔融，取熔融酸样做ICP-MS检测，将经ICP-MS检测各金属杂质指标合格的酸打入调酸罐调节磷酸的温度及浓度，酸温调至40℃以上以确保无磷酸晶体残余，根据需要调节浓度后进行包装；
所述的二级结晶净化的方法是：将原料酸打至储酸格1/2～4/5液位处，开启搅拌机，将-15～0℃的盐水打入隔板结晶器储水格中，按一级化学净化磷酸重量的5‰～10‰将磷酸半水晶种涂抹至储酸格内壁，诱发结晶，晶体开始成长，结晶层厚度逐渐增大，待晶层厚度达2～5cm时，排出储水格的盐水，排除储酸格液相，静置15～30min使结晶面上的残余液相滴尽，打开洗晶装置，用超纯水或上一次的稀酸成品洗涤晶柱表面及储酸槽残余的液相并排尽，将黄磷燃烧炉的夹套热水输入储水格，使储酸格壁上的结晶受热熔融，晶层逐渐发汗熔融。
2.根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法，其特征在于：所述的两步法水合吸收是：从主吸收塔顶部进入的黄磷燃烧产生的五氧化二磷气体，由三个酸喷头喷洒稀酸和塔内顶部溢流槽的大量溢流磷酸顺流时吸收，酸酐的水化热一部分借循环酸带走，一部分传给夹套水带走，一部随气体进入副吸收塔；从主吸收塔底部出风口出来的未吸收完的五氧化二磷气体，由副吸收塔顶部两个稀喷头喷洒稀酸逆流吸收，副吸收塔的作用与主吸收塔一样，气体从副塔顶部进入酸雾吸收除雾系统；从主吸收塔底部流出的浓磷酸进入浓酸槽，不符合浓度要求的次浓磷酸进入次浓磷酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45～60℃，向主吸收塔供循环酸；从副吸收塔底部流出的稀磷酸进入稀酸槽，通过循环酸泵进入板式冷却器冷却至45～60℃，向主、副吸收塔和文氏管供循环酸，未吸收完的五氧化二磷气体，一部分供塔喷头喷酸吸收；一部供吸收塔顶部溢流槽的溢流吸收；
当在循环槽发现主吸收塔和副吸收塔出口酸由于磷未充分氧化，而出现红酸和黄酸时，应减少投磷量，然后根据情况在循环槽处缓慢加入一定量的双氧水，经20-30分钟系统循环，完全氧化酸色度正常后，再调整投磷量，浓磷酸槽的酸经检验合格后，送除杂处理槽。
3.根据权利要求1所述的一种隔板结晶生产电子级磷酸的方法，其特征在于：所述的一级化学净化方法是：浓磷酸槽的磷酸，经循环酸泵的旁路酸管出酸通过文里管进脱砷反应器，在保温60～80℃情况下，根据砷含量加入1.3倍五硫化二磷反应20～60分钟脱砷除杂，若酸色不好，要加入活性炭脱色，脱砷反应器加热保温由燃烧塔产生的热水，通过保温管道供给，反应完全后经脱砷过滤机过滤，去除砷、氟、铅、汞、镉对人体有害的元素和活性炭，再在脱硫塔脱气去除硫，除硫保持槽内磷酸温60～80℃，酸循环40～90分钟，然后打入结晶器进行二级结晶净化；滤渣经热水洗涤后甩干，用石灰中和，运往废料池排放，水洗清液返回磷酸生产系统。
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