CN103697746A - 一种换热器均流装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。本发明提供的一种换热器均流装置，改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，使流通换热器的气流均流，提高换热器的使用效率，具有占用空间小、均流效果好、结构设计简单和具有可调性等优点。

Description

一种换热器均流装置
技术领域
本发明涉及半导体设备换热领域，具体地说，涉及一种均流装置，更具体涉及一种换热器均流装置。
背景技术
半导体立式炉设备是集成电路装备的一种，是生产半导体器件的重要设备，可用于集成电路制造工艺过程中的氧化、退火、化学气相淀积等工艺。由于硅片的制造对外界环境要求极高，尤其是随着集成电路制造工艺的更新换代，对立式炉设备内部微环境的要求越来越高，温度和流场就是立式炉设备内部微环境的两个重要技术参数。
目前的集成电路发展工艺下，要求立式炉设备内部微环境的温度低于70℃，并能保持水平均匀的流场。但在目前的主流工艺要求下，立式炉设备的硅片出舟温度达到了650℃，造成立式炉设备微环境内部的温度过高，对微环境形成了极大降温压力。这就要求微环境的热交换装置具备较大的热交换功率，由于微环境内部空间有限，不能选择结构太大的换热器，因此在一定的热交换功率下，提高换热器的使用效率成为了满足设备设计要求的重要途径。
现有的均流装置主要原理是在换热器前设计分流风道，使流场均匀的分布在换热进风面，但其占用空间大，由于立式炉设备的特殊性，其换热器前侧不能设计分流风道结构，同时立式炉设备微环境空间紧凑的特点也限制了分流风道结构的使用。因此现有的大多数立式炉设备在换热器装置中没有通过分流风道结构来提高换热器使用效率，现有解决问题的方法是通过设计一些简单导流片来提高换热器，但其均流效果较差。
因此，在半导体设备本身的有限的空间内，提高半导体设备微环境中流场均匀性成为本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种换热器均流装置，用于改善半导体设备微环境内部流场的均匀性。
本发明为解决上述技术问题而采用的技术方案是提供一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。
优选的，所述均流板上设有可改变通孔大小的调节装置。
优选的，所述的调节装置包括在换热器和均流板之间设有调节板，所述调节板上设有通孔，所述调节板上的通孔与均流板上的通孔大小及位置相应，所述调节板与均流板通过调节锁固定连接，所述调节锁通过控制调节板的位置方向改变均流板的通孔大小。
优选的，所述调节板相对于均流板左右移动。
优选的，所述的调节锁包括各区域均流板的上端设有条形孔，调节板上设有与均流板大小及位置相应的条形孔，均流板和调节板通过条形孔中的螺栓螺母固定连接在一起。
优选的，所述的均流板通过设置条状隔离板划分不同的区域。
优选的，所述各区域的均流板为可拆卸的。
优选的，所述通孔为长圆孔、圆形孔、椭圆形孔、方形孔。
优选的，所述区域内的通孔尺寸相同且均匀分布。
优选的，所述的均流板的材料为不锈钢。
本发明的一种换热器均流装置调节各区域通孔的风阻和流通截面，实现内部风压平衡，使流通换热器的气流均流，改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，提高换热器的使用效率；通过均流板与换热器之间设有可改变通孔大小的调节装置，改变通孔的大小来调节风阻和流通截面，进而改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，具有占用空间小、均流效果好、结构设计简单和具有可调性等特点。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例中均流板的结构示意图；
图2为本发明实施例中换热器均流装置结构原理图；
图3为本发明实施例中换热器均流装置结构装配图；
图4为本发明实施例中换热器均流装置主视图；
图5为本发明实施例中均流板局部结构示意图；
图6为本发明实施例中调节后的均流板局部结构示意图。
图中标号说明如下：
1、换热器；2、均流板；3、通孔；4、调节板；5、调节锁；6、隔离
板；7、回风盒；8、出风口。
具体实施方式
下面结合图1至图6对本发明中的一种换热器均流装置作进一步的说明：
半导体设备微环境内部的流体一般为氮气或空气，如图2所示，换热器1的左侧为进风侧，换热器1的右侧为出风侧，当换热器1没有均流装置时，由于出风口8位于回风盒7下侧，回风盒7内部风道的风压不同，导致流体从换热器1下侧通过的流量远大于从换热器1上侧通过的流量，降低了换热器的使用效率。
如图1至图4所示，本发明提供的一种换热器均流装置，包括换热器1、回风盒7、回风盒7下侧设有出风口8，所述换热器1与回风盒7之间设有均流板2，所述均流板2划分至少两个不同的区域，所述均流板2各区域设有若干个供气流通过的通孔3，所述通孔3大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。
如图2所示，流体经过换热器1出风侧的均流板2，流体进入回风盒7，最后通过出回风盒7下端的出风口8流出。通过在均流板2各区域的通孔3大小和/或分布密度自上而下逐渐减小，从而调节每个区域的风阻和流通截面，在风压大的区域设计较大的阻力和较小的流通截面，在风压小的区域设计较小的阻力和较大的流通截面，当流体通过截面时由于受到不同的阻力，就会使半导体设备微环境内部风压趋于平衡，从而使流通换热器的气流均流，提高换热器的使用效率。
如图3、图5所示，进一步的，在所述均流板2上设有可改变通孔3大小的调节装置，所述的调节装置包括在换热器1和均流板2之间设有调节板4，所述调节板4上设有通孔，所述调节板4上的通孔与均流板2上的通孔3大小及位置相应，所述调节板4与均流板2通过调节锁5固定连接，所述调节锁5通过控制调节板4的位置方向改变均流板2的通孔3大小。所述的调节板4的通孔与均流板2的通孔3也可大小不一致但位置相应。
如图5、图6所示，所述的调节锁5包括各区域均流板2的上端设有条形孔，调节板4上设有与均流板2大小及位置相应的条形孔，均流板2和调节板4通过条形孔中的螺栓螺母固定连接在一起。所述的条形孔可以水平设置，也可垂直设置，当水平设置时，调节板4相对于均流板2左右方向移动，当条形孔垂直设置时，调节板4相对于均流板2上下方向移动。
请参考图6，图6为换热器均流装置经调节装置调节后的结构示意图，通过控制调节锁5，将所述的调节板4相对于均流板2上下或左右方向移动后，实现改变均流板2的通孔3大小。优选的，所述的调节板4相对于均流板2左右移动。进一步通过改变均流板2某一区域或几个区域内的通孔3的风阻和流通截面，从而达到进一步平衡流体风压的目的。
为了进一步提高本发明，均流板2通过设置条状隔离板6划分不同的区域，均流板2的通孔3为长圆孔、圆形孔、椭圆形孔或方形孔，进一步的，所述的均流板2为不锈钢或塑料材料制成，所述各区域的均流板2为可拆卸的。
本发明提供的优选实施例中，请参照图1，均流板2通过设置条状隔离板6划分4个不同的区域，均流板2的通孔3优选为长圆孔，均流板2各区域内的通孔3的尺寸可以预设不同也可以预设相同，可以均匀分布或不均匀分布，优选为尺寸相同且均匀分布，所述的均流板2为不锈钢材料制成。
本发明的一种换热器均流装置调节各区域通孔的风阻和流通截面，实现内部风压平衡，使流通换热器的气流均流，改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，提高换热器的使用效率；通过均流板与换热器之间设有可改变通孔大小的调节装置，改变通孔的大小来调节风阻和流通截面，进而改善半导体设备微环境内部流场的均匀性，具有占用空间小、均流效果好、结构设计简单和具有可调性等优点点。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种换热器均流装置，包括换热器、回风盒、回风盒下侧设有出风口，其特征在于，所述换热器与回风盒之间设有均流板，所述均流板划分至少两个不同的区域，所述均流板各区域设有若干个供气流通过的通孔，所述通孔大小和/或分布密度自上而下逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的换热器均流装置，其特征在于，所述均流板上设有可改变通孔大小的调节装置。
3.根据权利要求2所述的换热器均流装置，其特征在于，所述的调节装置包括在换热器和均流板之间设有调节板，所述调节板上设有通孔，所述调节板上的通孔与均流板上的通孔大小及位置相应，所述调节板与均流板通过调节锁固定连接，所述调节锁通过控制调节板的位置方向改变均流板的通孔大小。
4.根据权利要求3所述的换热器均流装置，其特征在于，所述调节板相对于均流板左右移动。
5.根据权利要求3所述的换热器均流装置，其特征在于，所述的调节锁包括各区域均流板的上端设有条形孔，调节板上设有与均流板大小及位置相应的条形孔，均流板和调节板通过条形孔中的螺栓螺母固定连接在一起。
6.根据权利要求1所述的换热器均流装置，其特征在于，所述的均流板通过设置条状隔离板划分不同的区域。
7.根据权利要求1所述的换热器均流装置，其特征在于，所述各区域的均流板为可拆卸的。
8.根据权利要求1所述的换热器均流装置，其特征在于，所述通孔为长圆孔、圆形孔、椭圆形孔、方形孔。
9.根据权利要求1所述的换热器均流装置，其特征在于，所述区域内的通孔尺寸相同且均匀分布。
10.根据权利要求1～10任一所述的换热器均流装置，其特征在于，所述均流板的材料为不锈钢。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104374008A (zh) * 2014-10-31 2015-02-25 广东美的制冷设备有限公司 空调器及该空调器的送风方法
CN105709664A (zh) * 2016-04-13 2016-06-29 山东理工大学 双反应室预热催化氧化装置机械调节式进气均流系统
CN105749813A (zh) * 2016-04-13 2016-07-13 山东理工大学 双反应室预热催化氧化装置电控调节式进气均流系统
CN106016649A (zh) * 2016-07-15 2016-10-12 青岛海尔空调电子有限公司 一种空调换热器送风装置
CN107995836A (zh) * 2017-12-28 2018-05-04 重庆八二信息技术有限公司 一种高效降温的电器柜总成及其使用方法
CN109323281A (zh) * 2018-09-14 2019-02-12 哈尔滨锅炉厂有限责任公司 均流孔板型调节挡板
CN109489231A (zh) * 2018-11-14 2019-03-19 西安建筑科技大学 一种反向速度分布的静压箱
CN109725494A (zh) * 2017-10-31 2019-05-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5107923A (en) * 1991-06-10 1992-04-28 United Technologies Corporation Flow distribution device
CN101548787A (zh) * 2009-02-20 2009-10-07 长沙楚天科技有限公司 用于热风循环式灭菌干燥机加热腔体内的均流装置
CN202119027U (zh) * 2011-06-08 2012-01-18 林刚 空气冷却装置
CN102441533A (zh) * 2011-09-30 2012-05-09 中国中材国际工程股份有限公司 一种密度分选机均风控制系统
CN203642774U (zh) * 2013-12-31 2014-06-11 北京七星华创电子股份有限公司 一种换热器均流装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5107923A (en) * 1991-06-10 1992-04-28 United Technologies Corporation Flow distribution device
CN101548787A (zh) * 2009-02-20 2009-10-07 长沙楚天科技有限公司 用于热风循环式灭菌干燥机加热腔体内的均流装置
CN202119027U (zh) * 2011-06-08 2012-01-18 林刚 空气冷却装置
CN102441533A (zh) * 2011-09-30 2012-05-09 中国中材国际工程股份有限公司 一种密度分选机均风控制系统
CN203642774U (zh) * 2013-12-31 2014-06-11 北京七星华创电子股份有限公司 一种换热器均流装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104374008A (zh) * 2014-10-31 2015-02-25 广东美的制冷设备有限公司 空调器及该空调器的送风方法
CN104374008B (zh) * 2014-10-31 2017-10-31 广东美的制冷设备有限公司 空调器及该空调器的送风方法
CN105709664A (zh) * 2016-04-13 2016-06-29 山东理工大学 双反应室预热催化氧化装置机械调节式进气均流系统
CN105749813A (zh) * 2016-04-13 2016-07-13 山东理工大学 双反应室预热催化氧化装置电控调节式进气均流系统
CN105709664B (zh) * 2016-04-13 2018-09-25 山东理工大学 双反应室预热催化氧化装置机械调节式进气均流系统
CN105749813B (zh) * 2016-04-13 2018-11-06 山东理工大学 双反应室预热催化氧化装置电控调节式进气均流系统
CN106016649A (zh) * 2016-07-15 2016-10-12 青岛海尔空调电子有限公司 一种空调换热器送风装置
CN109725494A (zh) * 2017-10-31 2019-05-07 上海微电子装备（集团）股份有限公司 气浴装置、该气浴装置的制备方法以及光刻设备
CN107995836A (zh) * 2017-12-28 2018-05-04 重庆八二信息技术有限公司 一种高效降温的电器柜总成及其使用方法
CN109323281A (zh) * 2018-09-14 2019-02-12 哈尔滨锅炉厂有限责任公司 均流孔板型调节挡板
CN109489231A (zh) * 2018-11-14 2019-03-19 西安建筑科技大学 一种反向速度分布的静压箱

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