CN103659604A

CN103659604A - 一种研磨盘平面度修正装置

Info

Publication number: CN103659604A
Application number: CN201210350132.8A
Authority: CN
Inventors: 任明元; 张景
Original assignee: SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Current assignee: SUZHOU HRT ELECTRONIC EQUIPMENT TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date: 2012-09-20
Filing date: 2012-09-20
Publication date: 2014-03-26
Anticipated expiration: 2032-09-20
Also published as: CN103659604B

Abstract

本发明公开了一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨、矩形导轨和平面度修正机构，所述的丝杠丝母螺旋副机构安装在方形导轨内，方形导轨设置在矩形导轨内，矩形导轨通过底板与被修复研磨盘主机相连。本发明技术方案，通过采用伺服拖动控制车刀进刀，可实现盘面螺旋线螺距的精密加工；螺旋测微头高分辨率设定进刀深度，可实现盘面螺旋槽深度的精却控制，同时通过千分表与调整螺栓的调节，可实现盘面平面度凸心（或凹心）的准确控制，该装置可在线实现研磨抛光设备自身盘面平面度的修研，同时可满足超硬材料对盘面的特殊修研要求。

Description

一种研磨盘平面度修正装置

技术领域

本发明涉及研磨抛光设备技术领域，尤其是涉及一种研磨盘平面度修正装置。

背景技术

研磨抛光设备在使用一定时候后，由于自身磨损或加工工艺的特定需求，需要对研盘的平面度进行必要的修复。传统盘面的修研方法是将研磨抛光盘从设备取下，使用专用的平面度修研设备对盘面的平面度进行修研，其加工效率低，同时由于反复安装，影响了研磨精度。

现有技术中的研磨设备本身无平面修正装置，在研盘使用磨损后，需将研盘从本机拆除后，在其他设备上（如立车、旋风磨床等）实现，不但修研辅助时间长，工作量大，而且修研精度没有本体修研精度高。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的以上问题，提供一种研磨盘平面度修正装置。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明通过以下技术方案实现：

一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨、矩形导轨和平面度修正机构，所述丝杠丝母螺旋副机构安装在所述方形导轨内，所述方形导轨设置在所述矩形导轨内，所述矩形导轨通过底板与被修复研磨盘主机相连，所述平面度修正机构的车刀通过刀架安装在刀架导轨上，所述刀架导轨通过固定板固定安装在所述方形导轨端部，螺旋测微头通过定位环安装在支板上，所述支板固定安装在所述固定板上，所述支板与所述刀架之间设置有拉簧。

进一步的，所述平面度修正机构的车刀通过第一紧定螺钉与所述刀架固定相连，所述固定板一侧设置有第二紧定螺钉，所述刀架通过所述刀架导轨带动沿所述车刀轴线滑动并通过所述第二紧定螺钉定位。

进一步的，所述丝杠丝母螺旋副机构包括丝母和丝杠，所述丝母固定安装在所述方形导轨的端部，所述丝杠一端通过所述丝母伸入所述方形导轨内，所述丝杠另一端通过第一轴承和第二轴承旋转支撑，所述第一轴承通过轴承盖安装在轴承座上，所述轴承座安装在后板上，所述后板通过螺母和短拉杆与端板固定相连，所述端板通过长拉杆与所述矩形导轨的端部相连；所述第二轴承（10）通过轴承压盖安装在所述端板上。

进一步的，所述伺服电机固定在电机安装板上，所述电机安装板与所述端板固定相连，主动轮安装在所述伺服电机输出轴上，所述主动轮通过同步带与设置在所述丝杠丝母螺旋副机构的丝杠上的从动轮相连，所述从动轮通过锁母安装在所述第二轴承外侧的所述丝杠上，所述从动轮与所述轴承压盖之间设置有隔环。

进一步的，所述主动轮与所述伺服电机通过平键固定相连，所述从动轮通过所述平键与所述丝杠固定相连。

进一步的，所述矩形导轨两端与所述方形导轨结合处分别设置有第一压板、盖板和刮板。

进一步的，所述矩形导轨一端与所述底板之间通过销轴与铰座铰接，所述矩形导轨另一端与所述底板之间设置有第二压板和用于角度调整的调整螺钉，所述调整螺钉的一侧设置有千分表，所述千分表通过表杆固联与所述底板上，固定座与紧定座分别固定安装在所述矩形导轨两侧的所述底板上，所述固定座上设置有固定螺钉，所述紧定座上设置有定位螺钉，所述矩形导轨外部设置有导轨盖板。

本发明的有益效果是:

本发明技术方案，通过采用伺服拖动控制车刀进刀，可实现盘面螺旋线螺距的精密加工；螺旋测微头高分辨率设定进刀深度，可实现盘面螺旋槽深度的精却控制；同时通过千分表与调整螺栓的调节，可实现盘面平面度凸心（或凹心）的准确控制；该装置可在线实现研磨抛光设备自身盘面平面度的修研，同时可满足超硬材料对盘面的特殊修研要求。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是本发明的外部结构示意图；

图2是本发明图1中L-L处的剖视结构示意图；

图3是本发明图1中M-M处的剖视结构示意图；

图4是本发明图1的右视结构图。

图中标号说明：：1、轴承盖，2、螺母，3、后板，4、第一轴承，5、短拉杆，6、锁母，7、从动轮，8、隔环，9、轴承压盖，10、第二轴承，11、同步带，12、主动轮，13、电机安装板，14、伺服电机，15、端板，16丝杠，17、丝母，18、长拉杆，19、方形导轨，20、第一压板，21、盖板，22、刮板，23、导轨盖板，24、矩形导轨，25、第二压板，26、调整螺钉，27、铰座，28、固定板，29、刀架导轨，30、刀架，31、支板，32、定位环，33、车刀，34、第一紧定螺钉，35、第二紧定螺钉，36、固定座，37、固定螺钉，38、紧定座，39、定位螺钉，40、底板，41、销轴，42、拉簧，43、轴承座，44、螺旋测微头，45、千分表，46、表杆。

具体实施方式

下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。

参照图1、2、3、4所示，一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机14、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨19、矩形导轨24和平面度修正机构，所述丝杠丝母螺旋副机构安装在所述方形导轨19内，所述方形导轨19设置在所述矩形导轨24内，所述矩形导轨24通过底板40与被修复研磨盘主机相连，所述平面度修正机构的车刀33通过刀架30安装在刀架导轨29上，所述刀架导轨29通过固定板28固定安装在所述方形导轨19端部，螺旋测微头44通过定位环32安装在支板31上，所述支板31固定安装在所述固定板28上，所述支板31与所述刀架30之间设置有拉簧42。

进一步的，所述平面度修正机构的车刀33通过第一紧定螺钉34与所述刀架30固定相连，所述固定板28一侧设置有第二紧定螺钉35，所述刀架30通过所述刀架导轨29带动沿所述车刀33轴线滑动并通过所述第二紧定螺钉35定位。

进一步的，所述丝杠丝母螺旋副机构包括丝母17和丝杠16，所述丝母17固定安装在所述方形导轨19的端部，所述丝杠16一端通过所述丝母17伸入所述方形导轨19内，所述丝杠16另一端通过第一轴承4和第二轴承10旋转支撑，所述第一轴承4通过轴承盖1安装在轴承座43上，所述轴承座43安装在后板3上，所述后板3通过螺母2和短拉杆5与端板15固定相连，所述端板15通过长拉杆18与所述矩形导轨24的端部相连；所述第二轴承10通过轴承压盖9安装在所述端板15上。

进一步的，所述伺服电机14固定在电机安装板13上，所述电机安装板13与所述端板15固定相连，主动轮12安装在所述伺服电机14输出轴上，所述主动轮12通过同步带11与设置在所述丝杠丝母螺旋副机构的丝杠16上的从动轮7相连，所述从动轮（7）通过锁母6安装在所述第二轴承10外侧的所述丝杠16上，所述从动轮7与所述轴承压盖9之间设置有隔环8。

进一步的，所述主动轮12与所述伺服电机14通过平键固定相连，所述从动轮7通过所述平键与所述丝杠16固定相连。

进一步的，所述矩形导轨24两端与所述方形导轨19结合处分别设置有第一压板20、盖板21和刮板22。

进一步的，所述矩形导轨24一端与所述底板40之间通过销轴41与铰座27铰接，所述矩形导轨24另一端与所述底板40之间设置有第二压板25和用于角度调整的调整螺钉26，所述调整螺钉26的一侧设置有千分表45，所述千分表45通过表杆46固联与所述底板40上，固定座36与紧定座38分别固定安装在所述矩形导轨24两侧的所述底板40上，所述固定座36上设置有固定螺钉37，所述紧定座38上设置有定位螺钉39，所述矩形导轨24外部设置有导轨盖板23。

以上所述仅为发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种研磨盘平面度修正装置，包括伺服电机（14）、丝杠丝母螺旋副机构、方形导轨（19）、矩形导轨（24）和平面度修正机构，所述丝杠丝母螺旋副机构安装在所述方形导轨（19）内，所述方形导轨（19）设置在所述矩形导轨（24）内，所述矩形导轨（24）通过底板（40）与被修复研磨盘主机相连，所述平面度修正机构的车刀（33）通过刀架（30）安装在刀架导轨（29）上，所述刀架导轨（29）通过固定板（28）固定安装在所述方形导轨（19）端部，螺旋测微头（44）通过定位环（32）安装在支板（31）上，所述支板（31）固定安装在所述固定板（28）上，所述支板（31）与所述刀架（30）之间设置有拉簧（42）。

2.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述平面度修正机构的车刀（33）通过第一紧定螺钉（34）与所述刀架（30）固定相连，所述固定板（28）一侧设置有第二紧定螺钉（35），所述刀架（30）通过所述刀架导轨（29）带动沿所述车刀（33）轴线滑动并通过所述第二紧定螺钉（35）定位。

3.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述丝杠丝母螺旋副机构包括丝母（17）和丝杠（16），所述丝母（17）固定安装在所述方形导轨（19）的端部，所述丝杠（16）一端通过所述丝母（17）伸入所述方形导轨（19）内，所述丝杠（16）另一端通过第一轴承（4）和第二轴承（10）旋转支撑，所述第一轴承（4）通过轴承盖（1）安装在轴承座（43）上，所述轴承座（43）安装在后板（3）上，所述后板（3）通过螺母（2）和短拉杆（5）与端板（15）固定相连，所述端板（15）通过长拉杆（18）与所述矩形导轨（24）的端部相连；所述第二轴承（10）通过轴承压盖（9）安装在所述端板（15）上。

4.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述伺服电机（14）固定在电机安装板（13）上，所述电机安装板（13）与所述端板（15）固定相连，主动轮（12）安装在所述伺服电机（14）输出轴上，所述主动轮（12）通过同步带（11）与设置在所述丝杠丝母螺旋副机构的丝杠（16）上的从动轮（7）相连，所述从动轮（7）通过锁母（6）安装在所述第二轴承（10）外侧的所述丝杠（16）上，所述从动轮（7）与所述轴承压盖（9）之间设置有隔环（8）。

5.根据权利要求4所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述主动轮（12）与所述伺服电机（14）通过平键固定相连，所述从动轮（7）通过所述平键与所述丝杠（16）固定相连。

6.根据权利要求1所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述矩形导轨（24）两端与所述方形导轨（19）结合处分别设置有第一压板（20）、盖板（21）和刮板（22）。

7.根据权利要求1、6所述的研磨盘平面度修正装置，其特征在于，所述矩形导轨（24）一端与所述底板（40）之间通过销轴（41）与铰座（27）铰接，所述矩形导轨（24）另一端与所述底板（40）之间设置有第二压板（25）和用于角度调整的调整螺钉（26），所述调整螺钉（26）的一侧设置有千分表（45），所述千分表（45）通过表杆（46）固联与所述底板（40）上，固定座（36）与紧定座（38）分别固定安装在所述矩形导轨（24）两侧的所述底板（40）上，所述固定座（36）上设置有固定螺钉（37），所述紧定座（38）上设置有定位螺钉（39），所述矩形导轨（24）外部设置有导轨盖板（23）。