CN103635688B - 真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法 - Google Patents

Abstract

提供无需使用昂贵的质量流量控制器、不会大量消耗导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。真空装置(1)具备真空容器(2)、测定真空容器(2)的内部的压力的真空计(3)、对真空容器(2)进行真空排气的第一真空泵(4)、传导阀(5)、经由传导阀(5)与真空容器(2)连接的第二真空泵(6)、朝真空容器(2)供给气体的气体供给单元(7)、以及基于真空计(3)的输出将真空容器(2)的内部的压力控制成控制压力的控制装置(8)。第二真空泵(6)是以内部的压力高于真空容器(2)的内部的压力(控制压力)的方式选定的干式真空泵，且构成为由气体供给单元(7)供给的气体在泵内部从排气口(6b)朝吸气口(6a)流通。

Description

真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法

技术领域

本发明涉及用于控制真空容器的内部的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。

背景技术

以往，在溅射、CVD等中使用的工业用真空装置中，使用有用于控制真空容器的内部的压力的真空装置。作为这种真空装置，例如在日本特开平9-158833号公报中公开有如下的真空装置：在朝真空容器导入气体的系统中设置具有与真空容器的排气系统独立的排气系统的中间室、和设置在该中间室与真空容器之间的可变传导阀(conductancevalve)，利用通常使用的质量流量控制器将来自气体供给单元的导入气体以一定流量导入中间室，进而利用可变传导阀调整从中间室流入真空容器内的导入气体量，由此，无需使用用于高精度地控制极微小的气体导入量的昂贵的质量流量控制器就能够调整真空容器内的压力。

但是，在上述技术中，由于一边将由气体供给单元供给的气体经由中间室朝真空容器供给，一边利用第二真空泵对中间室内的气体始终进行排气，因此由气体供给单元供给的导入气体的大部分并未到达真空容器就被朝装置系统的外部，会消耗大量的气体，存在运转成本高的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种不使用昂贵的质量流量控制器、不消耗大量的导入气体就能够控制真空容器内的压力的真空装置以及真空装置的真空容器内的压力控制方法。

在本发明中，为了实现上述目的，在本发明的第一方式中，采用如下的技术手段：真空装置具备：真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对上述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由上述流量控制单元与上述真空容器连接，上述减压单元构成为：该减压单元内部的压力比利用上述排气单元进行真空排气后的上述真空容器内的压力高，气体能够在上述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，通过将在上述减压单元的内部流通的气体从上述吸气口经由上述流量控制单元导入上述真空容器来控制上述真空容器内的压力。

根据本发明的第一方式，利用排气单元对真空容器内进行排气，使内部的压力低于减压单元的内部的压力，由此，使得减压单元的吸气口侧的压力始终在减压单元的内部的压力以下，由此，能够使气体从减压单元的排气口侧朝吸气口侧流通，能够将在减压单元的内部流通的气体经由流量控制单元从吸气口导入真空容器内。

由此，能够在将气体减压至减压单元的到达压力后的状态下经由流量控制单元导入真空容器，因此，即便不使用昂贵的质量流量控制器也能够精密地控制导入真空容器的气体的量，因此能够高精度地控制真空容器内的压力。

并且，能够将在减压单元流通并被导入真空容器的气体的所有的量导入真空容器，因此不存在将气体朝系统外排出而白白地消耗的情况，能够将运转成本抑制得较低。

在本发明的第二方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一方式的真空装置中，上述减压单元的真空泵是干式真空泵。

根据本发明的第二方式，减压单元由干式真空泵构成，因此，导入真空容器的气体处于洁净状态，真空容器内不会被污染。

在本发明的第三方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一或者第二方式的真空装置中，上述真空装置具备气体供给单元，该气体供给单元连接于上述减压单元的排气口，对减压单元供给气体。

根据本发明的第三方式，由于能够将从气体供给单元供给的气体导入真空容器，因此能够朝真空容器内导入任意的气体。

在本发明的第四方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一或者第二方式的真空装置中，上述减压单元的排气口朝大气敞开。

在真空容器内的气体氛围可以不是特定气体的情况下，能够像本发明的第四方式那样采用减压单元的排气口朝大气敞开的结构，由此，能够使装置结构简单而降低装置成本，并且不需要使用昂贵的气体，因此能够以便宜的运转成本控制真空容器内的压力。

在本发明的第五方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一或者第二方式的真空装置中，真空装置具备：真空计，该真空计测定上述真空容器内的压力；以及控制装置，该控制装置基于上述真空计的输出控制上述流量控制单元，以使得上述真空容器内的压力成为预先设定的控制压力。

根据本发明的第五方式，即便并不手动地控制流量控制单元也无妨，因此能够降低工时，并且能够高精度地可靠地进行真空容器的压力控制。

在本发明的第六方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一方式的真空装置中，上述减压单元是隔膜泵。

当像本发明的第六方式那样构成为减压单元是隔膜泵时，由于隔膜泵的到达真空度一般为3×10⁴pa至3×10³pa左右，因此能够适用于欲将真空容器的内部的压力控制为3×10⁴pa至20Pa左右的情况。

并且，隔膜泵是真空泵中最便宜的种类的真空泵，因此能够抑制装置成本。

在本发明的第七方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一方式的真空装置中，上述减压单元是涡旋泵。

当像本发明的第七方式那样构成为减压单元是涡旋泵时，由于涡旋泵是在能够单独使用的干式真空泵中的到达压力最低的种类的真空泵，到达真空度通常为20Pa至1Pa左右，因此能够适用于欲将真空容器的内部的压力控制为20Pa至4.0×10^-2Pa左右的情况。

在本发明的第八方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一方式的真空装置中，上述减压单元是包含机械增力泵的排气单元。

在像本发明的第八方式那样构成为减压单元是包含机械增力泵的排气单元时，由于包含机械增力泵的排气单元的到达真空度通常为4.0×10^-2Pa左右，因此能够适用于欲将真空容器的内部的压力控制为4.0×10^-2pa以下的情况。作为包含机械增力泵的排气单元，例如能够使用在机械增力泵组合有涡旋泵等的单元。

在本发明的第九方式中采用如下的技术手段：在本发明的第一或者第二方式的真空装置中，上述真空容器是层叠体固定夹具，该层叠体固定夹具对层叠膜材料而成的层叠体进行固定，以便利用加压单元该对层叠体进行加压接合来制造层叠接合体。

在制造层叠固体高分子膜、燃料极膜、以及空气极膜并进行接合而形成的固体高分子型燃料电池用的膜-电极接合体(Membrane-ElectrodeAssembly)等层叠接合体时使用对配置层叠体的空间进行减压而固定层叠体的方式的层叠体固定夹具的情况下，有时需要对配置层叠体的空间内的压力进行控制。通过像本发明的第九方式这样将真空容器构成为层叠体固定夹具，能够适用于这种层叠接合体的制造。

在本发明的第十方式中采用如下的技术手段：真空容器内的压力控制方法具备：排气工序，准备真空装置，并利用上述真空装置对上述真空容器内进行真空排气，使得上述真空容器内的压力低于减压单元的内部的压力，其中，上述真空装置具备：真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对上述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及上述减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由上述流量控制单元与上述真空容器连接；气体导入工序，使气体通过上述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，并将在上述减压单元的内部流通的气体经由上述流量控制单元导入上述真空容器内；以及压力控制工序，通过对上述流量控制单元进行控制来进行真空容器内的压力控制。

根据本发明的第十方式，在排气工序中利用上述排气单元对上述真空容器内进行真空排气而使其压力成为比上述减压单元的内部的压力低的压力，在气体导入工序中使气体通过减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，并将在减压单元的内部流通的气体经由流量控制单元导入真空容器内，并在压力控制工序中通过对流量控制单元进行控制，由此能够进行真空容器内的压力控制。

由此，能够将气体在减压至减压单元的到达压力后的状态下经由流量控制单元导入真空容器，因此，即便不使用昂贵的质量流量控制器也能够精密地控制导入真空容器的气体的量，因此能够高精度地控制真空容器内的压力。

并且，在减压单元流通并被导入真空容器的气体的所有的量均被导入真空容器，因此不会将气体朝系统外排出而白白浪费，能够将运转成本抑制得较低。

在本发明的第十一方式中采用如下的技术手段：真空装置具备：真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；第一真空泵，该第一真空泵与上述真空容器内连通连接；流量控制单元，该流量控制单元与上述真空容器内连通连接，并控制气体的流量；以及第二真空泵，该第二真空泵与上述流量控制单元连通连接，且具备连通排气口和吸气口的内部路径，上述第二真空泵构成为：上述内部路径内的压力高于利用上述第一真空泵产生的上述真空容器内的被真空排气后的压力，并且，气体能够在上述第二真空泵的内部从上述排气口侧朝上述进气口侧流通，在上述第二真空泵内流通的气体经由上述流量控制单元被导入上述真空容器。

根据本发明的第十一方式，通过利用第一真空泵对真空容器内进行真空排气而使其内部的压力低于连通第二真空泵的排气口和吸气口的内部路径的压力，使第二真空泵的吸气口侧的压力始终在第二真空泵的内部路径的压力以下，由此，能够使气体在内部路径中从排气口侧吸气口侧流通，并将在第二真空泵内流通的气体从吸气口经由流量控制单元导入真空容器内。由此，能够将气体在减压至第二真空泵的内部路径的到达压力后的状态下经由流量控制单元导入真空容器，因此，即便不使用昂贵的质量流量控制器也能够精密地控制导入真空容器的气体的量，因此能够高精度地控制真空容器内的压力。并且，能够将在第二真空泵内流通并被导入真空容器的气体的所有的量导入真空容器，因此不会将气体朝系统外排出而白白地浪费，能够将运转成本抑制得较低。

该申请基于2011年11月16日在日本国提出申请的日本特愿2011-250334号，其内容构成本申请的内容的一部分。

并且，通过以下的详细说明应当能够更完全地理解本申请。然而，详细的说明以及特定的实施例只不过是本发明的优选实施方式，仅仅是为了进行说明的目的而记载的。本领域技术人员能够根据该详细说明清楚知晓各种变更、改变。

申请人并不意图将所记载的实施方式中的任一个奉献于公众，所公开的改变、替代方案中的在文字上并未包含于权利要求的范围的方案，在等同论下也属于本发明的一部分。

在本发明的说明书或者权利要求书的记载中，对于名词以及同样的指示语的使用，只要并未特意指示、或者根据上下文明确否定，则应当解释为包含单数以及复数的双方。在本发明的说明书中提供的任一个示例或者示例性用语(例如“等”)的使用也只不过是意图使得易于对本发明进行说明，只要并未特意记载于权利要求书中，就不对本发明的范围施加限制。

附图说明

图1是示出本发明的真空装置的结构的结构图。

图2是示出真空装置的真空容器内的压力控制方法的工序图。

图3是示出作为真空容器使用的层叠体固定夹具的构造的说明图。图3(A)是第一固定部件以及密封部件的俯视说明图，图3(B)是第二固定部件的俯视说明图。

图4是示出将层叠体配置于层叠体固定夹具后的状态的俯视说明图。

图5是示出将层叠体配置于层叠体固定夹具后的状态的剖视说明图。图5(A)是沿着图4的A-A线的从箭头方向观察的剖视图，图5(B)是沿着图4的B-B线的从箭头方向观察的剖视图，图5(C)是沿着图4的C-C线的从箭头方向观察的剖视图，图5(D)是沿着图4的D-D线的从箭头方向观察的剖视图。

具体实施方式

(第一实施方式)

其次，参照附图对本发明进行说明。如图1所示，本发明的真空装置1具备：真空容器2，将在真空中处理的处理材料配置在该真空容器2的内部；真空计3，该真空计3测定真空容器2的内部的压力；第一真空泵4，该第一真空泵4对真空容器2进行真空排气；传导阀5，该传导阀5能够通过控制阀的开度来控制气体流量；第二真空泵6，该第二真空泵6经由传导阀5与真空容器2连接；气体供给单元7，该气体供给单元7供给用于导入真空容器2的气体；以及控制装置8，该控制装置8通过基于真空计3的输出控制传导阀5的开度而将真空容器2的内部的压力控制成预先设定的控制压力。

此处，第一真空泵1相当于本发明的第一方式的排气单元，第二真空泵6相当于减压单元，传导阀5相当于流量控制单元。

第一真空泵4要考虑真空容器2的控制压力来选定。在本实施方式中，为了将真空容器2的内部的压力减压至4.0×10^-2Pa以下，采用在涡轮分子泵作为辅助泵组合有旋转泵的排气单元。另外，作为第一真空泵4，能够采用干式真空泵、湿式真空泵等各种形式的泵。

第二真空泵6是以其内部的压力高于利用第一真空泵4减压后的真空容器2内部的压力(控制压力)的方式选定的干式真空泵。第二真空泵6的吸气口6a经由传导阀5与真空容器2连接，排气口6b与气体供给单元7连接。

此处，所谓“第二真空泵6的内部的压力”，后面即将叙述，表示供从气体供给单元7供给的气体流通的连通排气口6b和吸气口6a的内部路径的真空度。

第二真空泵6构成为由气体供给单元7供给的气体能够在泵内部从排气口6b朝吸气口6a流通，能够使用隔膜泵、涡旋泵、或者包含在机械增力泵组合涡旋泵等而成的机械增力泵的排气单元等。此处，虽然在图中并未示出，但也能够设置有与排气口6b侧连通的排气用的分支的配管。

气体供给单元7由用于供给用于在真空容器2中形成所需要的氛围的气体(例如惰性气体)的、例如具备压力计的储气罐等构成。

并且，在无需将真空容器2形成为特定的气体氛围的情况下，也可以并不设置气体供给单元7，而使第二真空泵6的排气口6b朝大气敞开。

能够在真空容器2、第一真空泵4、第二真空泵6以及气体供给单元7之间适当地设置阀。

对利用本结构的真空装置1进行的真空容器2的压力控制方法进行说明。首先，在图2所示的排气工序中，启动第一真空泵4以及第二真空泵6，对真空容器2的内部进行真空排气而使压力成为在控制装置8中设定的控制压力(例如4.0×10^-2pa)以下的10^-3pa左右。在作为第二真空泵6使用涡旋泵的情况下，第二真空泵6的内部的压力(到达真空度)为20～1Pa左右，真空容器2内被真空排气至比第二真空泵6的内部的压力低的压力。

在接下来的气体导入工序中，将第二真空泵6与真空容器2连接，利用气体供给单元7朝第二真空泵6供给气体。于是，由于吸气口6a侧的压力低于排气口6b侧的压力，因此从气体供给单元7供给的气体通过第二真空泵6的内部从排气口6b朝吸气口6a流动，并通过传导阀6被导入真空容器2内。

在接下来的压力控制工序中，通过控制传导阀5的开度来进行真空容器2内的压力控制。在本实施方式中，控制装置8基于来自真空计3的输出调整传导阀5的开度，将真空容器2内的压力控制成预先设定的控制压力。通过以上的工序，能够控制真空容器2内的压力。

第二真空泵6能够考虑真空容器2的控制压力等适当选择。

隔膜泵的到达真空度通常为3×10⁴pa至3×10³pa左右，因此能够适用于欲将真空容器2的内部的压力控制为3×10⁴pa至20Pa左右的情况。并且，隔膜泵是真空泵中最便宜的种类的真空泵，因此能够抑制装置成本。涡旋泵是在能够单独使用的干式真空泵中的到达压力最低的种类的真空泵，到达真空度通常为20Pa至1Pa左右，因此能够适用于欲将真空容器2的内部的压力控制为20Pa至4.0×10^-2Pa左右的情况。包含机械增力泵的排气单元的到达真空度通常为4.0×10^-2pa左右，因此能够适用于欲将真空容器2的内部的压力控制为4.0×10^-2pa以下的情况。

在本实施方式中示出了真空装置1具备控制装置8的结构，但也能够采用不具备控制装置8而手动调整传导阀5的结构。并且，作为流量控制单元使用了传导阀5，但并不限定于此，例如也能够采用电-气调压阀等。

【第一实施方式的效果】

根据本实施方式的真空装置1以及真空装置1的真空容器2内的压力控制方法，能够在将气体减压至第二真空泵6的到达压力后的状态下经由传导阀5导入真空容器2，因此，无需使用昂贵的质量流量控制器就能够精密地控制导入真空容器2的气体的量，因此能够高精度地控制真空容器2内的压力。

并且，对于在第二真空泵6的内部流动并被导入真空容器2的气体，由于能够将所有的量的气体导入真空容器2，因此不会将气体朝系统外排出而白白地浪费，能够抑制运转成本降低。

此外，在利用干式真空泵构成第二真空泵6的方式中，被导入真空容器2的气体处于洁净状态，真空容器2内不会被污染。

(第二实施方式)

在本实施方式中，以下对作为真空容器2采用层叠体固定夹具的情况进行说明，该层叠体固定夹具对对层叠膜材料而成的层叠体进行固定，以便利用辊式冲压机等加压单元对层叠体进行加压接合从而制造层叠接合体。此处，作为层叠接合体的例子，能够举出层叠固体高分子膜、燃料极膜、以及空气极膜并进行接合而成的固体高分子型燃料电池用的膜-电极接合体(Membrane-ElectrodeAssembly)。

参照图3至5对层叠体固定夹具的一个实施例进行说明。层叠体固定夹具100具备连接第一真空泵4以及第二真空泵6的第一固定部件10、与第一固定部件10组合使用的第二固定部件20、以及密封部件30。

第一固定部件10通过在以与朝向辊式冲压机等加压单元的输送方向大致平行的方式配置的形成为棱柱状的第一柱状部件11、11之间张紧架设由具有挠性的带状部件构成的第一片材12而形成。第一片材12例如由作为金属材料的不锈钢形成。

第一片材12与密封部件30一起，各个的端部借助板状的第一按压部件13分别被固定于第一柱状部件11的沿长边方向延伸的面之一(图5(A))。

在第一柱状部件11形成有排气路14，该排气路14经由排气孔16与真空泵连接，且与后述的收纳空间S连通。此处，一方的第一柱状部件11经由排气孔16与第一真空泵4连接，另一方的第一柱状部件11经由排气孔16与第二真空泵6连接。

在第一片材12的与第一柱状部件11抵接的区域，与排气路14开口的位置对应地贯通形成有排气孔12a。排气孔12a分别经由真空垫15与排气路14连通。

在第一柱状部件11设置有用于确定与第一柱状部件11对置配置的第二柱状部件21的位置的定位销17。

第二固定部件20通过在与第一柱状部件11对置配置的第二柱状部件21、21之间张紧架设由具有挠性的带状部件构成的第二片材22而形成。第二柱状部件21、21之间的第二片材22的外形形成为与第一柱状部件11、11之间的第一片材12的外形大致相同。

第二片材22沿着第二柱状部件21被折弯，且从侧面经由按压板23借助第二按压部件24被固定。如图5(A)以及(C)所示，在第二按压部件24设置有插通于按压板23以及第二片材22且用于将该第二按压部件24与第二柱状部件21进行固定的固定螺钉25，以及用于调节按压第二柱状部件21的位置的调节螺钉26。

在第二按压部件24贯通形成有定位孔27，第一固定部件10的定位销17插通于该定位孔27，以便确定第二固定部件20的位置。

密封部件30配置在借助第一柱状部件11、11和第二柱状部件21、21以对置的方式定位的第一片材12和第二片材22之间。在密封部件30形成有：收纳部30a，该收纳部30a将第一片材12和第二片材22对置形成的空间划分成能够收纳层叠体W；以及排气部30b，该排气部30b形成为与收纳部30a连通，用于对由第一片材12、第二片材22以及收纳部30a划分成的密闭空间亦即收纳空间S的内部进行排气。

密封部件130被夹在第一片材12和第二片材22之间，由此来发挥作为收纳空间S的侧壁的作用。

排气部30b形成为：与收纳部30a连通，朝第一柱状部件11侧突出，且面对第一片材12的排气孔12a。并且，排气口30b形成为小于收纳部30a，以使得被收纳于收纳部30a的层叠体W不会移动。

对于层叠体固定夹具100，借助上述的结构，通过将层叠体W配置于收纳空间S，并利用第一真空泵4对收纳空间S进行排气，利用传导阀5、第二真空泵6、气体供给单元7将收纳空间S的内部控制成规定的压力，能够使第一片材12以及第二片材22与配置于收纳空间S的层叠体W密接而对层叠体W进行固定。此处，能够将收纳空间S的内部控制成规定的压力，从而控制第一片材12以及第二片材22与层叠体W密接并进行固定的力。

进而，利用辊式冲压装置等加压单元对被固定的层叠体W进行加压而将其接合，从而制造层叠接合体。

另外，除了在本实施例中示出的构造的层叠体固定夹具以外，作为真空容器，也能够采用对配置层叠体的空间进行减压而固定层叠体的方式的层叠体固定夹具。

【第二实施方式的效果】

在制造层叠固体高分子膜、燃料极膜、以及空气极膜并进行接合而形成的固体高分子型燃料电池用的膜-电极接合体(Membrane-ElectrodeAssembly)等层叠接合体时使用对配置层叠体的空间进行减压而固定层叠体的方式的层叠体固定夹具的情况下，有时需要对配置层叠体的空间内的压力进行控制。通过像本实施方式这样将真空容器2构成为层叠体固定夹具100，能够适用于这种层叠接合体的制造。

以下，汇总示出本说明书以及附图中使用的主要的标号。

1：真空装置；2：真空容器；3：真空计；4：第一真空泵；5：传导阀；6：第二真空泵；6a：吸气口；6b：排气口；7：气体供给单元；8：控制装置；100：层叠体固定夹具；W：层叠体。

Claims (11)

1.一种真空装置，其特征在于，

所述真空装置具备：

真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；

排气单元，该排气单元对所述真空容器内进行真空排气；

流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及

减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由所述流量控制单元与所述真空容器连接，

所述减压单元构成为：该减压单元内部的压力比利用所述排气单元进行真空排气后的所述真空容器内的压力高，气体能够在所述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，

通过将在所述减压单元的内部流通的气体从所述吸气口经由所述流量控制单元导入所述真空容器来控制所述真空容器内的压力。

2.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述减压单元的真空泵是干式真空泵。

3.根据权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，

所述真空装置具备气体供给单元，该气体供给单元连接于所述减压单元的排气口，对减压单元供给气体。

4.根据权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，

所述减压单元的排气口朝大气敞开。

5.根据权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，

所述真空装置具备：

真空计，该真空计测定所述真空容器内的压力；以及

控制装置，该控制装置基于所述真空计的输出控制所述流量控制单元，以使得所述真空容器内的压力成为预先设定的控制压力。

6.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述减压单元是隔膜泵。

7.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述减压单元是涡旋泵。

8.根据权利要求1所述的真空装置，其特征在于，

所述减压单元是包含机械增力泵的排气单元。

9.根据权利要求1或2所述的真空装置，其特征在于，

所述真空容器是层叠体固定夹具，该层叠体固定夹具对层叠膜材料而成的层叠体进行固定，以便利用加压单元对该层叠体进行加压接合来制造层叠接合体。

10.一种真空容器内的压力控制方法，其特征在于，

所述真空容器内的压力控制方法具备：

排气工序，准备真空装置，并利用所述真空装置对所述真空容器内进行真空排气，使得所述真空容器内的压力低于减压单元的内部的压力，其中，所述真空装置具备：真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；排气单元，该排气单元对所述真空容器内进行真空排气；流量控制单元，该流量控制单元控制气体的流量；以及所述减压单元，该减压单元由真空泵构成，该真空泵的吸气口经由所述流量控制单元与所述真空容器连接；

气体导入工序，使气体通过所述减压单元的内部从排气口侧朝吸气口侧流通，并将在所述减压单元的内部流通的气体经由所述流量控制单元导入所述真空容器内；以及

压力控制工序，通过对所述流量控制单元进行控制来进行真空容器内的压力控制。

11.一种真空装置，

所述真空装置具备：

真空容器，将处理材料配置在该真空容器的内部；

第一真空泵，该第一真空泵与所述真空容器内连通连接；

流量控制单元，该流量控制单元与所述真空容器内连通连接，并控制气体的流量；以及

第二真空泵，该第二真空泵与所述流量控制单元连通连接，且具备连通排气口和吸气口的内部路径，

所述真空装置的特征在于，

所述第二真空泵构成为：所述内部路径内的压力高于利用所述第一真空泵产生的所述真空容器内的被真空排气后的压力，并且，气体能够在所述第二真空泵的内部从所述排气口侧朝所述吸气口侧流通，

在所述第二真空泵内流通的气体经由所述流量控制单元被导入所述真空容器。