CN103578506A - 磁盘驱动器悬架 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种磁盘驱动器悬架。其中，滑动件（11）和一对微型致动器元件（31,32）设置在挠性件（22）的万向节部（30）上。万向节部（30）包括第一舌部（91）、第二舌部（92）和铰接部（93）。滑动件（11）的尾侧部(11b)固定到第二舌部(92)。滑动件（11）的前侧部（11a）相对于第一舌部（90）可动。导电电路部（41）包括连接到滑动件（11）的元件的导体(61,62)和连接到微型致动器元件（31,32）的电极的导体（87）。导电电路部（41）包括设置在微型致动器元件（31,32）内的第一配线型式部（41b）和相对于万向节部（30）向后延伸的第二配线型式部（41c）。

Description

磁盘驱动器悬架

技术领域

本发明涉及一种磁盘驱动器悬架（suspension），该磁盘驱动器悬架包括为例如锆钛酸铅（PZT）的微型致动器元件。

背景技术

人们在诸如个人计算机之类的信息处理设备中使用硬盘驱动器（HDD）。硬盘驱动器包括可绕芯轴旋转的磁盘、可绕枢轴转动的托架等。包括致动器臂在内的托架构造成通过诸如音圈马达之类的定位马达相对于盘的轨道横向地绕枢轴转动。

悬架安装在致动器臂上。悬架包括负载梁以及叠置于其上的挠性件。构成磁头的滑动件安装在形成于挠性件的远端部附近的万向节部上。滑动件设置有用于访问数据、即读取或写入数据的元件（转换器）。负载梁、挠性件、滑动件等构成磁头万向节组件。

为了克服盘的记录密度增大的问题，磁头应相对于各个盘的记录表面更精确地定位。为了实现这一目的，已开发了两级致动器（DSA）悬架，这些悬架将定位马达（音圈马达）和由诸如锆钛酸铅（PZT）之类的压电材料制成的微型致动器元件结合。

悬架的远端可通过向致动器元件施加电压并由此使致动器元件变形来沿摆动方向（或相对于轨道横向）快速运动极小距离。如在日本专利申请特许公开第2003-059219号（专利文献1）和第2010-146631号（专利文献2）中公开的那样，此外，已知微型致动器元件设置在挠性件的万向节部上的DSA悬架。

专利文献1中公开的微型致动器被称为背驮式微型致动器。在背驮式微型致动器中，PZT等的微型致动器元件叠置在滑动件的背面上。在此情况下，微型致动器元件的厚度加到滑动件的厚度上。因此，磁头万向节组件的磁头部的厚度增大，从而使得难以减小磁盘驱动器的厚度。在一些背驮式微型致动器中，由机械冲击引起的、施加于磁头万向节组件的负载（如果有的话）会作用于滑动件和微型致动器元件。因此，诸如PZT的易碎材料制成的微型致动器元件易于断裂。

另一方面，专利文献2中公开的微型致动器包括固定到舌形件的一个表面（面向负载梁）的微型致动器元件和固定到舌形件的另一表面的滑动件。在这种微型致动器的情况下，形成于负载梁上的凹窝的远端与舌形件的一个表面接触。因此，有必要使微型致动器元件的厚度小于凹窝的突出高度。由此，存在由诸如PZT的易碎材料所制成的微型致动器元件容易断裂的问题。

此外，传统DSA悬架的导电电路部容易摆动，因为它绕过一对微型致动器元件而设置在外部。在此情况下，导电电路部随着被驱动的微型致动器元件振动而摇摆，且万向节部不可避免地受到振动的影响。此外，当滑动件由微型致动器元件枢转时，导电电路部由于其大运动量而张紧，由此可能会阻碍到滑动件的枢转运动。此外，如果导电电路部的一部分设置在微型致动器元件附近，易碎的微型致动器元件会在与导电电路部分接触时断裂。

发明内容

由此，本发明的目的是提供一种磁盘驱动器悬架，该磁盘驱动器悬架构造成使微型致动器元件的厚度灵活性较高，可以在驱动微型致动器元件时减小导电电路部的运动，且可以防止微型致动器元件受损。

根据实施例的磁盘驱动器悬架包括负载梁和挠性件。挠性件包括固定到负载梁的固定部分和其上安装有滑动件的万向节部。各自包括有第一和第二端部的微型致动器元件设置在滑动件的两侧。挠性件包括一对第一支承部、一对第二支承部和其上安装有滑动件的舌形件。该对微型致动器元件的对应第一端部各自固定到该对第一支承部。该对微型致动器元件的对应第二端部各自固定到该对第二支承部。此外，悬架包括支承突出部（例如，凹窝的凸表面）和导电电路部，该支承突出部相对于负载梁可摆动地支承铰接部。导电电路部包括导通到滑动件的元件的导体和连接到微型致动器元件的电极的导体。此外，导电电路部包括设置在舌形件上的该对微型致动器元件之间的第一配线型式部和相对于万向节部从第一配线型式部向后延伸的第二配线型式部。

根据该实施例的设置，微型致动器元件设置在滑动件的两侧。第一配线型式部设置在微型致动器元件之间，而第二配线型式部相对于万向节部从微型致动器元件之间向后延伸。因此，当驱动微型致动器元件时，由于导电电路部与设置在微型致动器元件外的传统形式相比运动得少，因而可以防止导电电路部摇摆。此外，导电电路部不位于微型致动器元件上方，因而，可以防止微型致动器元件由于与导电电路部接触而受损。此外，微型致动器元件的厚度的灵活性较高，从而可用的微型致动器元件的机械强度较高。

在上述实施例中，万向节部可包括面向负载梁的第一表面和与第一表面相对的第二表面，且滑动件、微型致动器元件和导电电路部可全都设置在第二表面上。此外，舌形件可包括第一舌部、第二舌部和铰接部，第一舌部形成于该对第一支承部之间，且滑动件的前侧部设置在该第一舌部上以进行运动，第二舌部形成于该对第二支承部之间，且滑动件的尾侧部固定到该第二舌部，铰接部形成于第一和第二舌部之间。铰接部比第一和第二舌部窄，并可枢转地连接这些舌部。此外，开口可限定在第一和第二支承部之间，由此防止微型致动器元件的沿前后的中间部与舌部接触。

在下面的说明书中将提出本发明的其它目的和优点，这些其它目的和优点部分地将从说明书中变得明白，或可通过对本发明的实践来学到。借助于在下文中特别指出的手段和组合，可实现和达到本发明的目的和优点。

附图说明

包含于此并构成本说明书一部分的附图示出本发明的实施例，它与上面给出的总体描述和下面给出的对实施例的详细描述一起用来揭示本发明的原理。

图1是示出磁盘驱动器的一个例子的立体图；

图2是图1所示的磁盘驱动器的局部剖视图；

图3是根据第一实施例的悬架的立体图；

图4是从滑动件看的图3的悬架的微型致动器安装部段的立体图；

图5是从舌形件看的图4的微型致动器安装部段的立体图；

图6是图5的微型致动器安装部段的平面图；

图7是从与图5相对侧看的、图5的微型致动器安装部段的仰视图；

图8是悬架的挠性件的导电电路部的局部剖视图；

图9是图4的微型致动器安装部段的剖视图；

图10是示出位于负载梁上的凹窝和万向节部的一部分的剖视图；

图11是图5的微型致动器安装部段的挠性件的万向节部的平面图；

图12是示意地示出微型致动器元件被驱动的微型致动器安装部段的平面图；

图13是根据第二实施例的微型致动器安装部段的仰视图；

图14是根据第三实施例的微型致动器安装部段的仰视图；以及

图15是根据第四实施例的微型致动器安装部段的仰视图。

具体实施方式

现将参照图1至12描述根据本发明的第一实施例的磁盘驱动器悬架。

图1中所示的磁盘驱动器（HDD）1包括壳体2、可绕芯轴3转动的磁盘4、可绕枢轴5转动的托架6、用于致动托架6的定位马达（音圈马达）7等。用盖子（未示出）来密封壳体2。

图2是示意地示出磁盘驱动器1的一部分的剖视图。如图1和2中所示，托架6包括臂（托架臂）8。在各个臂8的远端部上安装有悬架10。构成磁头的滑动件11设置在该悬架10的远端上。在各个磁盘4以高速旋转的状态下，当空气流入磁盘4和滑动件11之间时，在磁盘与滑动件11之间形成有空气轴承。如果定位马达7使托架6转动，则悬架10相对于磁盘4径向运动。此时，滑动件11运动到磁盘4的所期望的轨道。

图3示出两级致动器（DSA）型的悬架10。该悬架10包括固定到托架6的对应臂8（图1和2）上的基板20、负载梁21、具有导体的挠性件22、位于悬架10的远端附近的微型致动器安装部段23等。在基板20上形成有将插入各个臂8中的孔8a（图2）内的凸台部20a。

在图3中，箭头X和Y分别表示负载梁21的纵向、即悬架10的纵向（前后方向）和摆动方向（滑动件11的横向）。在负载梁21的近侧部（后端部）上形成有能沿厚度方向弹性变形的弹性部25。挠性件22沿负载梁21设置。

图4是从滑动件11侧看的、微型致动器安装部段23的立体图。微型致动器安装部段23设置在悬架10的远端部上。能在磁信号和电信号之间转换的诸如磁阻（MR）元件之类的元件28设置在构成磁头的滑动件11端部上。这些元件28用于访问数据，即，将数据写入磁盘4或从磁盘4读出数据。滑动件11、负载梁21、挠性件22等构成磁头万向节组件。

微型致动器安装部段23包括形成于挠性件22的远端部上的万向节部30和一对微型致动器元件31和32。这些微型致动器元件31和32单独地设置在万向节部30上的滑动件11的相对两侧。微型致动器元件31和32由PZT等的压电板构成，并具有借助后文详细描述的结构来使滑动件11沿摆动方向枢转的功能。

图5是从与图4相对的一侧看的挠性件22的远端部上的万向节部30的立体图。微型致动器元件31和32设置在万向节部30上。图6是示出万向节部30和微型致动器元件31和32的平面图。挠性件22包括由不锈钢板制成的金属基部40和导电电路部41。导电电路部41沿金属基部40设置。导电电路部41包括与金属基部40交叠的部分和不与金属基部40交叠的部分。图7是从导电电路部41侧看的、微型致动器安装部段23的仰视图。

金属基部40固定到负载梁21。固定装置的示例包括通过激光焊接形成的第一焊点W1（图3、6等）和第二焊点W2（图3到7）。挠性件22包括第一和第二固定部分22a和22b。第一固定部分22a通过焊点W1在悬架10的沿前后的中间部分处固定到负载梁21。第二固定部分22a通过焊点W2在挠性件22的远端部附近的位置处固定到负载梁21。挠性件22的后部22c（图3）从基板20向后延伸。

如图5到7中所示，挠性件22的金属基部40包括一对第一臂51和52以及一对第二臂53和54。第一臂51和52与第一固定部分22a连接，而第二臂53和54与第二固定部分22b连接。第一臂51和52的对应远端部51a和52a为U形。第二臂53和54的对应后端连接到远端部51a和52a附近。

图8示出金属基部40和导电电路部41的剖视图的示例。导电电路部41包括绝缘层60、写入导体61、读出导体62和覆盖层63。绝缘层60和覆盖层63由诸如聚酰亚胺的弹性绝缘树脂制成。导体61和62形成于绝缘层60上。覆盖层63覆盖导体61和62。写入导体和读出导体61和62连接到滑动件11的元件28。例如，金属基部40为20微米（12到25微米）厚；绝缘层60为10微米（5到20微米）厚；导体61和62为9微米（4到15微米）厚；以及覆盖层63为5微米（2到10微米）。金属基部40的厚度小于负载梁21的厚度（例如，30微米）。

该对微型致动器元件31和32设置在挠性件22的万向节部30上。万向节部30包括面向负载梁21的第一表面30a（图5和10）以及与第一表面30a相对的第二表面30b（图4和10）。滑动件11和微型致动器元件31和32设置在第二表面30b上。

微型致动器元件31和32分别包括第一端部31a和32a以及第二端部31b和32b。图4和6中的箭头X1和X2分别表示关于微型致动器元件31和32的前进和后退方向。微型致动器元件31和32的第一端部31a和32a分别固定到形成于万向节部30上的一对第一支承部70和71。第一支承部70和71分别通过挠性第一臂51和52与挠性件22的第一固定部分22a连接。第一臂51和52的远端部51a和52a分别通过第二臂53和54与挠性件22的第二固定部分22b连接。因此，第一支承部70和71通过第一臂部51和52以及第二臂部53和54支承在固定部分22a和22b上，这些臂部能相对于负载梁21弹性变形。微型致动器元件31和32的第二端部31b和32b分别固定到形成于万向节部30上的一对第二支承部72和73。

图9示出（该对微型致动器元件31和32的）一个微型致动器元件31的接头部的剖视图。微型致动器元件31的相对端部31a和31b固定到万向节部30，并通过接头部电连接到导电电路部41。由于另一微型致动器元件32的相对端部32a和32b处的接头部以与图9中所示相同的方式构造，所以下面将代表性地描述一个微型致动器元件31。

如图9中所示，微型致动器元件31包括PZT元件80和形成于PZT元件80的周缘表面上的第一和第二电极81和82。第一电极81形成为范围从PZT元件80的一个端表面到其下表面。第二电极82形成为范围从PZT元件80的另一端表面到其上表面。微型致动器元件31的第一端部31a通过电绝缘的粘结剂层85固定到万向节部30的第一支承部70。微型致动器元件31的第二端部31b通过另一粘结剂层85固定到第二支承部72。

图9中所示的第一电极81通过第一支承部70上的导电的粘结剂层（例如，银膏）86导通到导电电路部41的导体87。第二电极82通过第二支承部72上的另一粘结剂层86导通到接地侧导体88。接地侧导体88固定于并导通到金属基部40。

如图5和6中所示，挠性件22的万向节部30包括位于固定侧的第一舌部91、可动的第二舌部92和形成于舌部91和92之间的铰接部93。第一舌部91形成于第一支承部70和71之间，而第二舌部92形成于第二支承部72和73之间。铰接部93形成于第一和第二舌部91和92之间。第一支承部70和71、第二支承部72、第一和第二舌部91和92以及铰接部93构成金属基部40的一部分，且例如通过蚀刻来形成它们各自的轮廓。第一和第二舌部91和92以及铰接部93构成舌形件90，该舌形件90构造成将滑动件11承载于其上。

如图7中所示，导电电路部41左右分叉，并通过第一和第二舌部91和92上方。用于滑动件11的端子41a形成于导电电路部41的远端上。这些端子41a导通到导电电路部41的导体61和62，并电连接到滑动件11的元件28（图4）。用于微型致动器元件31和32的导体87单独设置在导电电路部41的相对左右两侧。在第一支承部70和71上，导体87分别连接到微型致动器元件31和32的对应电极81。

导电电路部41包括第一和第二布线型式部41b和41c。第一布线型式部41b设置在微型致动器元件31和32之间。第二布线型式部41c相对于万向节部30从第一布线型式部41b向后延伸。在第二布线型式部41c的纵向部分上形成有弯曲部41d。弯曲部41d用于减小第一臂51和52之间的导电电路部41的弯曲刚度。

因此，导电电路部41包括设置在该对微型致动器元件31和32之间的第一布线型式部41b。第一布线型式部41b在微型致动器元件31和32之间通过。第一布线型式部41b相对于万向节部30从滑动件11的前侧部11a向后延伸。在微型致动器元件31和32之间设置有铰接部93。换言之，第一布线型式部41b在铰接部93的各侧处通过，并相对于万向节部30纵向延伸。此外，第一布线型式部41b通过聚酰亚胺等的绝缘层60固定到第一和第二舌部91和92。

图10是在铰接部93所在位置处剖取的负载梁21和万向节部30的局部剖视图。图11是万向节部30的平面图。铰接部93的宽度L1比第一和第二舌部91和92中每个舌部的宽度L2小得多。狭缝94和95在舌部91和92之间各自形成于铰接部93的相对两侧。舌部91和92通过受限的铰接部93相对可枢转地连接在一起。由此，可动的第二舌部92构造成沿由图11中的箭头A和B所示方向、相对于固定侧上的第一舌部91运动。

滑动件11设置在第一和第二舌部91和92以及铰接部93上。此外，滑动件11的前侧部11a设置成相对于第一舌部91运动。滑动件11的尾侧部11b固定到第二舌部92。文中所述的“前侧”是当磁盘转动时空气流入滑动件11和磁盘4之间的那侧。另一方面，“尾侧”是滑动件11与磁盘4之间的空气流出的那侧。铰接部93形成于滑动件11的中心位置11c，例如，滑动件11的重心或者滑动件关于横向和纵向的中心。

在负载梁21的远端附近形成有凹窝100（图10）。凹窝100包括由向万向节部30突出的凸表面构成的支承突出部100a。支承突出部100a的远端与铰接部93邻接。换言之，铰接部93由凹窝100的凸表面可摆动地支承。由此，将万向节部30支承为可相对于负载梁21绕铰接部93和凹窝100的远端之间的接触点P1摆动。

或者，凹窝可形成于铰接部93上，因而，其远端与负载梁21邻接。简而言之，诸如凹窝之类的支承突出部100a应仅形成于负载梁21和铰接部93对应的相面对的表面中的一个上，以使它与另一面对的表面邻接。

一个开口110（位于图11的右侧）形成于第一和第二支承部70和72之间。开口110与一个狭缝94连通。另一开口111（位于图11的左侧）形成于第一和第二支承部71和73之间。开口111与另一狭缝95连通。

由于开口110和111由此分别形成于舌部91和92的相对两侧，可防止元件31和32的沿前后方向（纵向）的中间部与舌部91和92接触。如果悬架10受到外部机械冲击，则因此可防止元件31和32的纵向中间部被舌部91和92撞击。因此，可防止元件31和32由于被撞击而被破坏。文中所述的微型致动器元件31和32的纵向是微型致动器元件31和32的伸出和缩回行程的方向。

如图4和5中所示，本实施例的万向节部30包括限制构件120和121。一个限制构件120连接到一个第一臂51的远端部51a、第二臂53和第二支承部72。另一限制构件121连接到另一第一臂52的远端部52a、第二臂54和第二支承部73。

限制构件120和121是聚酰亚胺等制成的树脂绝缘层60的一部分，该树脂绝缘层构成了导电电路部41的一部分。由于这些限制构件120和121从万向节部30上方看是波形的，所以它们沿行程方向的刚度较低。由此，当驱动微型致动器元件31和32时，第二舌部92的运动并不受阻碍。如果悬架10受到外部机械冲击，限制构件120和121具有使铰接部30不远离凹窝100（凹窝分离）的功能。

下面说明本实施例的悬架10的操作。

如果托架6（图1和2）由定位马达7转动，悬架10相对于磁盘4径向运动。此时，磁头的滑动件11运动到磁盘4的记录表面的所期望的轨道上。如果将电压施加到微型致动器元件31和32，微型致动器元件31和32关于电压而彼此相对地扭曲。这样，负载梁21可沿摆动方向（由图3中的箭头Y所示）运动极小的距离。

如图12中示意性的示出的，例如，当一个和另一个微型致动器元件31和32分别缩回和伸出时，第二舌部92沿箭头A的方向运动。因此，滑动件11上的元件28（图4）可快速而精确地沿摆动方向定位。实际上，滑动件11沿摆动方向的运动距离范围从几纳米到几十纳米。然而，在图12中，为了更好地理解滑动件11和第二舌部92的运动，夸张地示出万向节部30的变形程度。

在本实施例的微型致动器安装部段23中，如果驱动微型致动器元件31和32，可动的第二舌部92绕铰接部93、相对于固定侧的第一舌部91横向枢转。滑动件11的尾侧部11b固定到第二舌部92。与此相对，滑动件11的前侧部11a相对于第一舌部91可动。如图10中所示，凹窝100的远端在接触点P1处与铰接部93邻接。

如果通过施加电压而驱动微型致动器元件31和32，则因此第二舌部92和滑动件11绕与凹窝100的接触点P1枢转。因此，滑动件11的枢转中心可与接触点P1的位置匹配。这样，凹窝100的远端可以在驱动微型致动器元件31和32（或当滑动件11枢转）时不与挠性件22摩擦。由此，可以抑制在第二舌部92的枢转期间产生高摩擦阻力或致污染作用。

此外，微型致动器元件31和32在与滑动件11相同的一侧设置在万向节部30的第二表面30b上。因此，无须使微型致动器元件31和32中每个微型致动器元件的厚度比凹窝100的突出部高度小。由此，可将较厚的结构用于微型致动器元件31和32。由此，可用的微型致动器元件31和32提供高输出负载和机械强度，并难以断裂。

如上所述，第一布线型式部41b设置在微型致动器元件31和32之间。第一布线型式部41b在铰接部93的各侧处通过，并相对于万向节部30纵向延伸。具体来说，第一布线型式部41b在被驱动的微型致动器元件31和32作极少运动的铰接部93的接触点P1处附近通过。第二布线型式部41c相对于万向节部30从微型致动器元件31和32之间向后延伸。

在包括以此方式构造的导电电路部41在内的微型致动器安装部段23中，被驱动的元件31和32与导电电路部设置在微型致动器元件外的传统形式相比运动得要少。由此，当元件31和32被驱动时，可防止导电电路部41张紧或摇摆。此外，导电电路部41不位于元件31和32上方，因而，可以防止元件31和32由于与导电电路部41接触而被破坏。

图13示出根据第二实施例的微型致动器安装部段23A。本实施例的微型致动器安装部段23A与呈第一臂51和52以及第二臂53和54形式的第一实施例的微型致动器安装部段23略不同。具体来说，图13的微型致动器安装部段23A的第二臂53和54分别位于第一臂51和52内侧。此外，第一臂51和52的对应远端部51a和52a分别连接到第二臂53和54。由于其它构造和效果对于第一和第二实施例的微型致动器安装部段23和23A来说是相同的，用同样的符号来表示第一和第二实施例的相同部分，并且省却对这些部分的说明。

图14示出根据第三实施例的微型致动器安装部段23B。该实施例的第二臂53和54分别连接到第一臂51和52。第二臂53和54不固定到负载梁。第一支承部70和71、第一舌部91和第二臂53和54通过第一臂51和52支承于挠性件22的固定部分22a上。由于其它构造和效果对于第一和第三实施例的微型致动器安装部段23和23B来说是相同的，用相同的符号来表示第一和第三实施例的相同部分，并且省却对这些部分的说明。

图15示出根据第四实施例的微型致动器安装部段23C。本实施例的第一支承部70和71以及第一舌部91仅通过第一臂51和52支承于挠性件22的固定部分22a上。由于其它构造和效果对于第三（图14）和第四实施例的微型致动器安装部段23B和23C是相同的，用相同的符号来表示第三和第四实施例的相同部分，并且省却对这些部分的说明。

应理解到，为了实施本发明，可以对包括挠性件的舌形件和第一和第二支承部在内的微型致动器安装部段以及第一和第二布线型式部和微型致动器元件的组成元件的具体形式作各种修改。

对本领域的技术人员来说还可易于有其它优点和更改。因此，本发明在其更广泛方面并不限于本文所示和所述的具体细节和代表性实施例。因此，可以作出各种修改而不脱离如所附权利要求书及其等价物所限定的本总体发明概念的精神或范围。

Claims (8)

1.一种磁盘驱动器悬架（10），所述磁盘驱动器悬架包括负载梁（21）和挠性件（22），所述挠性件包括固定到所述负载梁（21）的固定部分（22a，22b）和其上安装有滑动件（11）的万向节部（30），所述磁盘驱动器悬架（10）的特征在于还包括：

一对微型致动器元件（31,32），所述一对微型致动器元件设置在所述滑动件（11）的两侧，并各自包括第一端部(31a,32a)和第二端部(31b,32b)；

所述万向节部（30）的一对第一支承部（70,71），所述一对第一端部(31a,32a)各自固定到所述一对第一支承部，且所述一对第一支承部由所述固定部分（22a,22b）支承；

所述万向节部（30）的一对第二支承部（72,73），所述一对第二端部(31b,32b)各自固定到所述一对第二支承部；

所述万向节部（30）的舌形件（90），所述滑动件（11）安装在所述舌形件上；

支承突出部（100a），所述支承突出部相对于所述负载梁（21）可摆动地支承所述舌形件（90）；以及

导电电路部（41），所述导电电路部包括连接到所述滑动件（11）的元件的导体(61,62)和连接到所述微型致动器元件（31,32）的电极的导体（87），且所述导电电路部（41）包括设置在所述舌形件（90）上的所述一对微型致动器元件（31,32）之间的第一配线型式部（41b）和相对于所述万向节部（30）从所述第一配线型式部（41b）向后延伸的第二配线型式部（41c）。

2.如权利要求1的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，所述万向节部（30）包括面向所述负载梁（21）的第一表面（30a）和与所述第一表面（30a）相对的第二表面（30b），且所述滑动件（11）、所述微型致动器元件（31,32）和所述导电电路部（41）都设置在所述第二表面（30b）上。

3.如权利要求1所述的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，所述舌形件（90）包括第一舌部（91）、第二舌部（92）和铰接部（93），所述第一舌部形成于所述一对第一支承部(70,71)之间，并且所述滑动件（11）的前侧部（11a）设置在所述第一舌部上以进行运动，所述第二舌部形成于所述一对第二支承部(72,73)之间，并且所述滑动件（11）的尾侧部（11b）固定到所述第二舌部，所述铰接部形成于所述第一和第二舌部（91,92）之间，比所述舌部（91,92）窄，并可枢转地连接所述舌部（91,92）。

4.如权利要求2所述的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，所述舌形件（90）包括第一舌部（91）、第二舌部（92）和铰接部（93），所述第一舌部形成于所述一对第一支承部(70,71)之间，并且所述滑动件（11）的前侧部（11a）设置在所述第一舌部上以进行运动，所述第二舌部形成于所述一对第二支承部(72,73)之间，并且所述滑动件（11）的尾侧部（11b）固定到所述第二舌部，所述铰接部形成于所述第一和第二舌部（91,92）之间，比所述舌部（91,92）窄，并可枢转地连接所述舌部（91,92）。

5.如权利要求3所述的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，所述支承突出部（100a）是形成于所述负载梁（21）上的凹窝（100）的凸表面，所述凹窝（100）的凸表面与所述铰接部（93）邻接。

6.如权利要求4所述的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，所述支承突出部（100a）是形成于所述负载梁（21）上的凹窝（100）的凸表面，所述凹窝（100）的凸表面与所述铰接部（93）邻接。

7.如权利要求3所述的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，开口（110,111）限定于所述第一和第二支承部（70,71)(72,73）之间，由此，防止所述微型致动器元件（31,32）的沿前后方向的中间部与所述第一和第二舌部（91,92）接触。

8.如权利要求4所述的磁盘驱动器悬架（10），其特征在于，开口（110,111）限定于所述第一和第二支承部（70,71)(72,73）之间，由此，防止所述微型致动器元件（31,32）的沿前后方向的中间部与所述第一和第二舌部（91,92）接触。

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