CN103574080B - 真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜 - Google Patents

Abstract

本发明提供真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。本发明的真空保持阀门通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：主体部，从外部接收动力而沿着腔室的壁面进行并进运动；止挡部，位于腔室上，具备旋转辊；阀门部，在与主体部连接的状态下移动，其一面与旋转辊接触，从而其移动方向转换为开口部侧方向或者远离开口部的方向中的一个方向而开闭腔室；旋转构件，在主体部上与旋转辊相对配置，当止挡部和阀门部接触时接触阀门部的另一面，以引导阀门部的移动方向。由此，本发明提供一种通过旋转辊和旋转构件引导阀门部的运动，以防止主体部的前进或者后退时发生的冲击，从而能够抑制粉尘产生。

Description

真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜

技术领域

本发明涉及一种真空保持阀门及利用该装置的电子显微镜，特别涉及一种保持镜筒内部真空的同时，还能防止阀门开闭时产生颗粒的真空保持阀门及利用该装置的电子显微镜。

背景技术

最近，不仅因为信息设备的极小化趋势，在尖端材料领域中也由于极微细技术产业化，切实要求有关微细结构物或者材料表面形象的信息。特别是，从1990年代后半期开始，随着全世界对纳米研究的活跃，人们进行查明纳米物质结构与特性的研究，而电子显微镜在此担当着非常重要的核心作用。

真空显微镜的镜筒内部为了保护用于防止光线散射并产生电子的细丝需要保持真空，要保持10^-10～10^-8的高真空。为此使用开闭镜筒的光线投入口的真空保持阀门。

图1是概略表示以往的真空保持阀门的主视图。以往的真空保持阀门1包括腔室10、主体部20、阀门部30、密封部31、止挡部40和板簧50。

如图1所示，所述阀门部30通过板簧50与所述主体部20连接，在与所述主体部20相连的状态下通过气缸12向左侧移动并与所述止挡部40相冲撞。在冲撞时，利用形成在止挡部40外表面的轴钉41，阀门部30沿着阀门部30的倾斜面向开口部侧移动。

以往的这种技术，由于阀门部30同轴钉41的冲撞，阀门部30的一部分破碎而导致粉尘产生或阀门部30受损。而且，由于主体部20和阀门部30之间频频发生冲撞，导致粉尘产生或者主体部20或阀门部30受损。这一粉尘的产生会污染腔室内部的真空状态，并与光源产生的电子冲撞而破损光源。

另外，由于通过板簧50连接主体部20和阀门部30，主要由板簧50来控制阀门部30开闭开口部11的过程。在这一控制过程中难以调节板簧50的弹力，并且板簧50的变形越大越存在产生粉尘这一问题。

而且，与主体部20结合而运动的阀门部30的并进运动受气缸12的支配。在密封部31与腔室10的壁面接触的状态下阀门部30也会前进或者后退，因此存在由于摩擦而密封部31受损或者产生粉尘这一问题。

发明内容

本发明是鉴于上述问题提出的，其目的在于提供一种真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。该真空保持阀门及扫描电子显微镜以在开闭阀门时缓和止挡部和阀门部冲撞时发生的冲击，并进行与主体部的运动分开的另一运动的方式配置有阀门部，使密封部不会沿着腔室的壁面滑动，以抑制粉尘产生。

而且，本发明的目的在于提供一种真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。该真空保持阀门及扫描电子显微镜同时支撑阀门部中相对的面，使投光口均匀密封，从而能够保持高真空。

为了实现如上所述目的，本发明提供一种真空保持阀门。该真空保持阀门通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：主体部，从外部接收动力而沿着所述腔室的壁面进行并进运动；止挡部，位于所述腔室上，具备旋转辊；阀门部，在与所述主体部连接的状态下移动，其一面与所述旋转辊接触，从而其移动方向转换为所述开口部侧方向或者远离所述开口部的方向中的一个方向而开闭所述腔室；旋转构件，在所述主体部上与所述旋转辊相对配置，当所述止挡部和所述阀门部接触时接触所述阀门部的另一面，以引导所述阀门部的移动方向。

在此，在所述阀门部与所述旋转辊及所述旋转构件接触时，当所述旋转辊和所述旋转构件的相隔距离缩短时，所述阀门部可向所述开口部侧接近，当所述旋转辊和所述旋转构件的相隔距离增大时，所述阀门部可远离所述开口侧。

而且，阀门部的与旋转辊接触的表面可为越是朝向开口部侧越会偏向止挡部侧倾斜，以使阀门部在与旋转辊接触时，向开口部侧移动。

在此，主体部的端部可向阀门部的上侧突出，并形成有狭槽，用于在阀门部与旋转辊接触时，引导阀门部向主体部的移动方向的相反方向运动，且可进一步包括连接部，连接部的一侧在收容于狭槽内的状态下，当开放腔室时偏向位于止挡部侧，当密封腔室时偏向位旋转构件侧，另一侧插入于阀门部并连接主体部和阀门部。

而且，连接部可包括：轴构件，在插入阀门部侧的端部上形成有凹凸部；弹性构件，沿着所述轴构件的外周面而配设，并与所述凹凸部接触，当密封所述腔室时被压缩，当开放所述腔室时被拉伸。

在此，可进一步包括缓冲构件，配置在主体部和阀门部之间，用于缓冲由于弹性构件拉伸时产生的恢复力而产生的冲击。

而且，可进一步包括密封部，配置在阀门部的下面，当密封腔室时密封部处于腔室壁面和阀门部之间。

在此，腔室可进一步包括彼此间隔开配置的一对导向部，用于使所述主体部能够通过。

而且，本发明的目的在于提供一种扫描电子显微镜。其特征在于包括：光源；腔室，用于收容光源并形成有开口部；上述第一项至第八项的任一项所述的真空保持阀门，用于密封腔室；聚光镜，用于将从光源发射的电子束聚焦成一点；光圈，用于改变通过聚光镜的光线波长；物镜，用于使被光圈改变了波长的光线通过；镜筒，用于收容腔室、真空保持阀门、聚光镜、光圈及物镜；以及载物台，用于支撑试样。

在此，可进一步包括检测部，配置在所述真空保持阀门的上方，用于检测从所述光源发射的电子束量。

根究本发明，提供一种真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜。该真空保持阀门及扫描电子显微镜通过旋转辊和旋转构件引导阀门部的运动，防止主体部前进或者后退时发生的冲击，以抑制粉尘发生。

而且，由于阀门部和主体部通过连接部连接，阀门部和主体部之间配置缓冲构件，从而防止阀门部和主体部的接触，故能够抑制接触导致的粉尘的产生。

而且，在阀门部的下面设有密封部，防止外部空气流入，从而能够保持腔室内部的高真空。

而且，沿着形成在主体部上的狭槽可移动地配置有连接部，因此在密封腔室时防止密封部从腔室壁面滑动，从而能够防止由于摩擦而在密封部产生粉尘或者密封部破损。

而且，当密封腔室时，通过旋转构件和旋转辊支撑阀门部的两个侧面，并均匀地下压密封部，故在高真空下也能够保持遮蔽。

而且，导向部以主体部为中心相隔配置，因此能够防止主体部的移动路径脱离。

附图说明

图1是概略表示以往的扫描电子显微镜中保持腔室真空的真空保持阀门的主视图。

图2是概略表示本发明的第一实施例的真空保持阀门的立体图。

图3是概略表示图2所示真空保持阀门的分解立体图。

图4是概略表示图2所示真空保持阀门中腔室开口部打开状态的剖视图。

图5是概略表示图2所示真空保持阀门中腔室开口部封闭状态的剖视图。

图6是概略表示图2所示真空保持阀门中阀门部工作的剖视图。

图7是概略表示包括本发明第二实施例的真空保持阀门的扫描电子显微镜的剖视图。

符号说明

100:真空保持阀门110:主体部

120:阀门部130:密封部

140:连接部150:止挡部

160:旋转构件170:缓冲构件

180:导向部200:扫描电子显微镜

210:光源220:真空保持阀门

230:腔室240:聚光镜

250:光圈260:物镜

270:镜筒280:载物台

290:检测部

具体实施方式

在详细说明本发明之前需要强调的是，在以下多个实施例中，对于具有相同结构的结构要素，采用相同符号在第一实施例中代表性地加以说明，而在其他实施例中只说明不同于第一实施例的其他结构。

下面，参照附图详细说明本发明的第一实施例的真空保持阀门100。

图2是概略表示本发明的第一实施例的真空保持阀门的立体图，图3是概略表示图2所示真空保持阀门的分解立体图，图4是概略表示图2所示真空保持阀门中腔室开口部打开状态的剖视图，图5是概略表示图2所示真空保持阀门中腔室开口部封闭状态的剖视图，图6是概略表示图2所示真空保持阀门中阀门部工作的剖视图。

如图2至图6所示，本发明的第一实施例的真空保持阀门100包括主体部110、阀门部120，密封部130、连接部140、止挡部150、旋转构件160、缓冲构件170和导向部180。

本发明的第一实施例的真空保持阀门100，用于使主体部110和阀门部120的接触最小化，抑制粉尘产生。当腔室105的开口部106通过阀门部120密封时，阀门部120沿着狭槽向主体部110的运动方向的反方向移动，以防密封部130沿着腔室105的壁面滑动，以抑制密封部130的破损和粉尘的产生。

所述主体部110的右侧面连接于气缸部107，随着气缸的往返运动进行并进运动。而且，主体部110的左侧面向后述的阀门部120的上侧突出，并通过后述的连接部140与阀门部120连接，以传达动力使阀门部在120与主体部110结合的状态下进行并进运动。

而且，向主体部110的左上侧突出而与阀门部120连接的部位上形成有狭槽111，所述狭槽111沿主体部110的长度方向的形成长度大于沿主体部110的宽度方向的形成长度。

将在后面描述的连接部140插入狭槽111中，以连接主体部110和阀门部120，阀门部120能够沿着狭槽111移动。后面将进行对此的详细说明。

所述阀门部120与主体部110连接，并在与主体部110连接的状态下通过气缸部107进行往返运动。当通过气缸部107向左侧移动并接触旋转辊151时，阀门部120沿着阀门部120的左侧面的倾斜方向朝开口部106侧转换移动方向，且与腔室105表面接触而密封开口部106。而且，当通过气缸部107向右侧移动时，阀门部120沿着与旋转构件160接触的阀门部120的右侧面的倾斜方向移动，当后述的缓冲构件170与主体部110接触时，在与主体部110连接的状态下向右侧移动。

而且，至少有所述阀门部120的左侧面越朝向开口部侧越向外侧偏向地形成倾斜，通过旋转辊151，阀门部120沿着阀门部120的外表面的倾斜方向朝开口部106侧移动。优选被设置为右侧面与左侧面对称，即优选将阀门部120的剖面形状设计成梯形。这将通过后述的旋转构件160引导阀门部120向主体部110侧的移动方向，后述的弹性构件142的恢复力使旋转构件160旋转，缓和缓冲构件170与主体部110接触时发生的冲击。

所述密封部130配置在阀门部120的下面，当封闭开口部106时压缩并紧贴在腔室105的壁面。利用密封部130可防止阀门部120和开口部106之间流入外部空气，故能够将腔室105的内部保持高真空。本发明的第一实施例所涉及的密封部130采用了环型密封圈(O-ring)，但并不限于此。

所述连接部140的上侧插入狭槽111，下侧插入阀门部120，从而连接主体部110和阀门部120，并包括轴构件141和弹性构件142。

如图4至图6所示，所述轴构件141起到连接部140的主架作用，轴构件141的上侧可沿着狭槽111移动，在下侧形成凹凸部用于支撑弹性构件142。即，轴构件141与阀门部120结合，当阀门部120与旋转辊151接触时，轴构件141和阀门部120一起运动。

所述弹性构件142沿着所述轴构件141的外周面设置，上侧与后述的缓冲构件170接触，下侧与轴构件141的凹凸部接触，以在缓冲构件170和凹凸部之间进行拉伸或者压缩运动。

换句话讲，当主体部110向左侧移动时阀门部120与旋转辊151接触，并沿着阀门部120的外表面向开口部106侧移动，弹性构件142受压缩。当主体部110向右侧移动时，通过压缩了的弹性构件142的恢复力，阀门部120向上侧移动。本发明的第一实施例所涉及的弹性构件142采用了弹簧，但并不限于此。

重新说明主体部110、阀门部120和连接部140之间的结合关系如下。沿着主体部110的狭槽111，轴构件141可移动地插入狭槽111中，通过狭槽111的轴构件141的端部插入阀门部120。

而且，沿着轴构件141的外周面配设有弹性构件142，弹性构件142收容在阀门部120的内部而不外露。即，弹性构件142在阀门部120的内部进行压缩或拉伸运动，而进行拉伸运动时通过恢复力提升阀门部120。

另外，轴构件141的凹凸部接触于供轴构件141插入的阀门部120的内表面，从而当轴构件141沿着狭槽111移动时，阀门部120也同轴构件141一起移动。

所述止挡部150的位置固定在腔室105的上面，其包括旋转辊151，所述旋转辊151用于将以与主体部110连接的状态移动的阀门部120的运动方向转换为阀门部120外表面的倾斜方向。即，止挡部150用于停止主体部110的运动，并转换阀门部120的运动方向，使阀门部120密封开口部106。

所述旋转辊151直接接触阀门部120，通过旋转转换阀门部120的移动方向。即，当阀门部120在与旋转辊151接触的状态下前进时，旋转辊151向顺时针方向旋转并引导阀门部120的移动方向，使阀门部120前进及下降以密封开口部。此外，旋转辊151向逆时针方向旋转，并引导阀门部120的移动方向，使阀门部后退及上升以开放开口部。

所述旋转构件160配置在主体部120并与旋转辊151相对，接触阀门部120的右侧面而引导阀门部120的移动路径，以使阀门部120向开口部106侧运动而密封腔室105。而当阀门部120进行远离开口部106侧的运动时，旋转构件160引导阀门部120的移动路径，使之回到原状。

即，配合旋转辊151向逆时针方向旋转，以使阀门部120下降，而且当阀门部120上升时，向顺时针方向旋转，以引导阀门部120的运动方向，使之进行上下运动。

所述缓冲构件170配置在主体部110和阀门部120之间，用于缓和由于弹性构件152的弹力而可能产生的冲击。

所述导向部180为一对，该一对导向部180彼此隔开而配置在腔室里，用于引导主体部110的并进运动方向，使主体部110能够通过该一对导向部之间。通过气缸部107决定主体部110的并进运动方向，但根据气缸部107的长度，主体部110有可能脱离运动方向，导向部180即防止该脱离现象。

下面，说明上述真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜的第一实施例100中，通过阀门部120开闭开口部106的真空保持阀门的动作。说明之前，先将主体部110的移动方向定义为X轴方向，与之垂直的方向定义为Y轴方向。

如图4至图6所示，在阀门部120接触旋转辊151之前，阀门部120在与主体部110连接的状态下，接收来自气缸部107的动力，沿着X轴方向移动。

即便阀门部120接触旋转辊151，主体部110也会沿着X轴方向移动。由于旋转辊151沿着阀门部120的倾斜外表面旋转，阀门部120也会沿着倾斜外表面的倾斜方向向开口部106移动。即，不仅沿着X轴方向移动，还会沿着-Y轴方向移动。此时，旋转构件160也接触阀门部120的右侧面并旋转，引导阀门部120的移动。

另一方面，当阀门部120向-Y轴方向移动时，配置在阀门部120的内表面并位于凹凸部和缓冲构件170之间的弹性构件120受到压缩。凹凸部的Y轴方向的位置是固定的，但是与阀门部120结合的缓冲构件170也向-Y轴方向移动，因此凹凸部和缓冲构件170之间的空间变窄，弹性构件142也会受到压缩。

而且，与此同时，阀门部120沿着狭槽111向主体部110的运动方向的相反方向(-X轴方向)移动。若阀门部120不沿着狭槽111移动，则由于阀门部120沿着倾斜面向对角线方向移动，导致阀门部120在X轴方向上的移动距离小于主体部110在X轴方向上的移动距离，从而有可能损伤连接部140。为了防止这一问题发生，阀门部120沿着狭槽111向-X轴方向移动。

即，主体部110最大限地在X轴方向上移动并停止时，阀门部120的下面的密封部130受到压缩紧贴于腔室105的表面，阀门部120向狭槽111的右侧偏移后停止。此时，开口部106位于密封部170的内部，利用密封部170和阀门部120防止空气流入。

另一方面，当阀门部120密封开口部105并处于停止状态时，旋转辊151和旋转构件160接触并支撑阀门部120的两面，从而能够均匀加压密封部130，在高真空状态下也能够保持真空。

另一方面，打开腔室105时的阀门部120的动作如下：通过气缸部107，主体部110向-X轴方向移动。

伴随主体部110的移动，阀门部120受弹性构件142的恢复力向Y轴方向移动。恢复力是指，在一平衡系统中其平衡状态被打破时，向重新回到平衡状态的方向作用的力量。对于弹簧等弹性构件142而言，恢复力表示在压缩状态下要重新拉伸到原状，或者在被拉伸的状态下要重新压缩到原状的力量。

此时，利用这一恢复力，通过旋转构件160引导向Y轴方向的移动，不仅是Y轴方向，沿着狭槽111也能够向X轴方向移动。即，利用旋转构件160的旋转，阀门部120沿着阀门部120的斜面方向移动。

换句话讲，阀门部120在密封腔室105之前，其左侧面与旋转辊151接触，其右侧面与旋转单元160接触。当主体部110为了密封腔室105而向左侧移动，即与阀门部120接触的旋转辊151和旋转构件160之间的隔离距离缩短时，旋转辊151向顺时针方向旋转，而旋转构件160向逆时针方向旋转，从而将阀门部120向开口部106侧推出，当旋转辊151和旋转构件160之间的隔离距离变得最短时，密封部130与腔室105的壁面接触以密封腔室105。

另一方面，当保持最短距离的旋转辊151和旋转构件160之间的隔离距离变大时，无法支撑压缩收容在阀门部120内部的弹性构件142的力量，阀门部120远离开口部106侧而移动。这可通过弹性构件142的恢复力加以说明，但已在上文中进行过说明，故省略对此的详细说明。若假设主体部110向止挡部150的相反方向有细微的移动，则旋转辊151向逆时针方向旋转，旋转构件160向顺时针方向旋转，同时引导阀门部120进行远离开口部106方向的移动。

当缓冲构件170接触主体部110时，阀门部120在与主体部110连接的状态下，向-X轴方向移动。

即，通过旋转辊151的旋转及狭槽111的阀门部120的运动，防止密封部130从腔室105的表面滑动，从而防止由于密封部130和腔室105之间的摩擦而产生粉尘或者破损。

接下来说明本发明的第二实施例所涉及的真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜200。

图7是概略表示包括本发明的第二实施例的真空保持阀门的扫描电子显微镜的剖视图。

如图7所示，本发明的第二实施例所涉及的真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜是一种包括真空保持阀门的电子显微镜。该装置包括光源210、真空保持阀门220、腔室230、聚光镜240、光圈250、物镜260、镜筒270、载物台280和检测部290。

所述光源210是用于将加热后述的镜筒270内部的阴极所产生的电子束向下方的载物台侧扫描的构件。

所述真空保持阀门220是用于将收容光源210的后述腔室230保持为高真空的装置，在本发明的第一实施例中对此已经进行了详细说明。在本发明的第二实施例200中，该装置表现为收容在腔室230的内部，但并不限于此，该装置还可以配置在腔室230的外部并与腔室230的底面接触。

所述腔室230是用于收容光源210而配置的空间，该装置为了防止光源210受损，在保持高真空的状态下单独收容光源210。也可以不另外配设腔室230，可在镜筒270内部直接收容光源210，但是为了将镜筒270内部保持高真空状态，镜筒270的制作需要大量费用，因此最好另外配设腔室230。

所述聚光镜240是用于将上述从光源210发射的电子束聚焦于一点的构件。

所述光圈250是用于将通过聚光镜240而汇聚的电子束改变成波长一致的形态的构件。

所述物镜260是接近试样而设置的装置，这是人们周知的技术，故省略详细说明。

所述镜筒270是用于将光源210、真空保持阀门220、腔室230、聚光镜240、光圈250及物镜260收容在内部的外装件，其被构成为电子束射出侧的端部，即安装试样侧的端部保持真空状态。

所述载物台280是用于支撑利用本发明的第二实施例的真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜200检测试样的场所。

所述检测部290配置在主体部110的上表面，用于检测从光源210发射的电子束的浓度。根据本发明的第二实施例200，检测部290采用铜板，但并不限于此。

而且，为了将从检测部290检测的数据传递到外部，进一步包括与检测部290连接的连接线291为佳，检测的数据可通过连接线确认。在本发明的第二实施例200中，连接线291配置在止挡部150侧，但并不限于此。

本发明的第二实施例所涉及的真空保持阀门及利用该装置的扫描电子显微镜200的工作与周知的扫描电子显微镜的工作相同，故省略对此的详细说明。

而且，关于真空保持阀门220的工作方法，已经在本发明的第一实施例的工作方法中做过说明，故省略对此的详细说明。

只是，检测部290检测从光源210发射的电子束在腔室内部中的浓度。检测的浓度传递到连接线291，可通过外部另外配设的装置加以确认。

本发明并不仅限于上述实施例及变形例，而是在不脱离本发明精神的范围内，可以实现为多种形式的实施例。因此在不脱离本发明精神的范围内，本领域普通技术人员所进行的各种变更及修饰均属于本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种真空保持阀门，通过密封形成在腔室上的开口部，将腔室内部保持真空，其特征在于，包括：

主体部，从外部接收动力而沿着所述腔室的壁面进行并进运动；

止挡部，位于所述腔室上，具备旋转辊；

阀门部，在与所述主体部连接的状态下移动，其一面与所述旋转辊接触，从而其移动方向转换为所述开口部侧方向或者远离所述开口部的方向中的一个方向而开闭所述腔室；

旋转构件，在所述主体部上与所述旋转辊相对配置，当所述止挡部和所述阀门部接触时接触所述阀门部的另一面，以引导所述阀门部的移动方向，

在所述阀门部与所述旋转辊及所述旋转构件接触时，当所述旋转辊和所述旋转构件的相隔距离缩短时，所述阀门部向所述开口部侧接近，当所述旋转辊和所述旋转构件的相隔距离增大时，所述阀门部远离所述开口侧。

2.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述阀门部的与所述旋转辊接触的表面越是朝向开口部侧越偏向止挡部侧倾斜，以使所述阀门部在与所述旋转辊接触时，向所述开口部侧移动。

3.根据权利要求2所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述主体部的端部向所述阀门部的上侧突出，并形成有狭槽，用于在所述阀门部与旋转辊接触时，引导所述阀门部向所述主体部的移动方向的相反方向运动，

且进一步包括连接部，所述连接部的一侧在收容于狭槽内的状态下，当开放所述腔室时偏向位于所述止挡部侧，当密封所述腔室时偏向位于所述旋转构件侧，另一侧插入于阀门部并连接所述主体部和所述阀门部。

4.根据权利要求3所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述连接部包括：轴构件，在插入阀门部侧的端部上形成有凹凸部；弹性构件，沿着所述轴构件的外周面而配设，并与所述凹凸部接触，当密封所述腔室时被压缩，当开放所述腔室时被拉伸。

5.根据权利要求4所述的真空保持阀门，其特征在于，

进一步包括缓冲构件，配置在所述主体部和所述阀门部之间，用于缓冲由于在所述弹性构件拉伸时产生的恢复力而产生的的冲击。

6.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

进一步包括密封部，配置在所述阀门部的下面，当密封所述腔室时处于所述腔室的壁面和所述阀门部之间。

7.根据权利要求1所述的真空保持阀门，其特征在于，

所述腔室进一步包括彼此间隔开配置的一对导向部，用于使所述主体部能够通过。

8.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：

光源；

腔室，用于收容所述光源并形成有开口部；

所述权利要求1至7中的任一项所述的真空保持阀门，用于密封所述腔室；

聚光镜，用于将从所述光源发射的电子束聚焦成一点；

光圈，用于改变通过所述聚光镜的光线波长；

物镜，用于使被所述光圈改变了波长的光线通过；

镜筒，用于收容所述腔室、所述真空保持阀门、所述聚光镜、所述光圈及所述物镜；以及

载物台，用于支撑试样。

9.根据权利要求8所述的扫描电子显微镜，其特征在于，进一步包括检测部，配置在所述真空保持阀门的上方，用于检测从所述光源发射的电子束量。