CN103540943B - 装载和卸载热处理炉的设备和方法 - Google Patents

Abstract

一种用于对工件（2）进行热处理的环形结构转底炉（1），其包括外壁和内壁（3，4），所述外壁和内壁界定一炉膛（6），所述炉膛具有至少一个渗碳区（7）和至少一个布置该渗碳区后面的处理区（8），本发明的目的是提出一种解决方案，这种解决方案在设计简单、成本低廉的基础上提供一种经改进的工件热处理方法以及一种用于实施该方法的装置。达成这一目的的方式如下：所述至少一个处理区（8）具有至少一个布置在所述至少一个渗碳区（7）后面的等温退火区（11），所述等温退火区配设至少一个将所述等温退火区（11）的温度保持在最高720℃的加热‑冷却装置（17a，17b），其中，在所述至少一个渗碳区（7）和所述至少一个等温退火区（11）之间设有至少一个入口端闸区（18），所述入口端闸区由一对活动门（12，14）构成且可容纳至少一个工件（2）。

Description

装载和卸载热处理炉的设备和方法

技术领域

本发明涉及一种用于对工件进行热处理，尤其是用于对金属工件进行气体渗碳的环形结构转底炉，其包括外壁和内壁，所述外壁和内壁界定一炉膛，所述炉膛具有至少一个在保护气体下对所述工件进行碳富集处理的渗碳区和至少一个布置在所述至少一个渗碳区后面的处理区，其中，所述外壁上设有至少一个用于为所述炉膛装载和/或卸载工件的可封闭开口。

本发明还涉及一种在转底炉中对工件进行热处理的方法，所述转底炉包括一炉膛，所述炉膛具有至少一个渗碳区和至少一个布置在所述至少一个渗碳区后面的处理区，其中，在所述至少一个渗碳区内在保护气体下以超过900℃的温度对所述工件进行碳富集处理。

背景技术

上述类型的转底炉和方法例如公开自DE102007038991A1。这种已知的转底炉主要用于对金属工件进行气体渗碳并且具有多个处理区，这些处理区例如包括预热区、渗碳区和扩散区。

表面硬化钢的渗碳处理，尤其是在转底炉中进行的气体渗碳必须达到优选0.8mm以上的较大渗碳深度，需要好几小时直至数天的处理用时。气体渗碳是在950℃左右的温度范围内进行，因而会出现不期望的晶粒粗化效应。这种粗化会因合金的不同而有不同程度的强弱呈现。

出现晶粒粗化时，通过在650℃左右进行等温退火，而后再重新加热直至奥氏体化，可以消除大部分的这种晶粒粗化现象。这一处理过程通常被称为“再结晶”。这里利用的是等温退火过程中会从相对较大的奥氏体晶粒中产生多个较小的珠光体晶粒。如果此时重新进行奥氏体化，这些珠光体晶粒就会再度形成奥氏体晶粒，而这部分奥氏体晶粒明显小于最初的奥氏体晶粒。这个过程可以反复实施，通常被称作“循环退火（Pendeln）”。

然而，迄今为止还未在用于气体渗碳的转底炉内部将气体渗碳温度或者说渗碳后的温度下降至等温退火所需要的650℃左右的温度范围。其原因在于，所使用的保护气氛或吸热型气氛（一般是约20%的CO，约40%的H₂，约40%的N₂，余量为其他气体）在冷却时有非常强烈的生成烟灰的倾向。另外，在这个650℃左右的温度范围内还存在低于保护气体或吸热型气体的自燃温度的危险，这在炉膛内意外进风或进氧的情况下会导致自爆。如果因遮蔽而存在局部温度较低区域，上述风险就会大大提高。因此，通常在温度低于750℃左右，最晚低于700℃左右时就用不燃气体启动对炉膛的紧急吹扫。

就上述用以实现“再结晶”的等温退火处理而言，现有技术是从转底炉中取出待处理工件并将其转移到第二炉或冷却室，以便在不燃气氛（例如氮气或氩气）下进行降温处理，随后将金属工件送入转底炉内重新奥氏体化。作为将冷却后的工件送回转底炉的替代方案，也可以在其他炉内将此前经冷却的工件奥氏体化。在奥氏体化之后所实施的步骤通常是油浴淬火或聚合物淬火，较为少见的是在保护气体下进行冷却。由此可见，设备上需要至少两个用于气体渗碳的炉，由此将产生设备的建设和运行成本，这一切绝谈不上最佳。此外，已知的气体渗碳设备一点都不紧凑，而且由于至少两个炉的存在而需要占用大量空间。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提出一种解决方案，这种解决方案在设计简单、成本低廉的基础上提供一种经改进的工件热处理方法以及一种用于实施该方法的装置，借此提高相关气体渗碳工艺的经济效率。

就前述类型的转底炉而言，本发明用以达成上述目的的解决方案为：所述至少一个处理区具有至少一个布置在所述至少一个渗碳区后面的等温退火区，所述等温退火区配设至少一个将所述等温退火区的温度保持在最高720℃的加热-冷却装置，其中，在所述至少一个渗碳区和所述至少一个等温退火区之间设有至少一个入口端闸区，所述入口端闸区由一对活动门构成且可容纳至少一个工件。

就前述类型的方法而言，本发明用以达成上述目的的解决方案为：在至少一个布置在所述至少一个渗碳区后面且从属于所述处理区的等温退火区内，借助至少一个加热-冷却装置将所述工件冷却至低于720℃的温度以形成珠光体组织，其中，在将所述工件布置于所述至少一个等温退火区之前，先使其穿过至少一个布置于所述至少一个渗碳区后面的入口端闸区，所述入口端闸区由一对活动门构成且可容纳至少一个工件。

加热-冷却装置在此指既能加热又能冷却转底炉某一区域的装置。这种加热-冷却装置提供基本恒定的温度，亦即，这种加热-冷却装置不是在冷却时从该区域中排出热量，就是通过放热来加热该区域的气氛。

本发明的有益及合理的技术方案与改进方案请参阅从属权利要求。

本发明提供一种方法和一种转底炉，借此二者可以在转底炉内部安全地非临界实施包括等温退火在内的气体渗碳处理，前述的烟灰析出和失控爆炸危险得以消除。这一点主要通过入口端闸区而实现，该入口端闸区将渗碳区和连接在该渗碳区后面的等温退火区彼此分开，以免两区之间发生气氛交换。将渗碳区和等温退火区分开后就可以在这两区内使用不同的保护气氛，这样在为等温退火区选择保护气体以及该区的处理方式时，就可以将前述危险考虑在内并找出相应对策。与现有技术中包括至少两个炉的已知设备相比，本发明的转底炉和该转底炉的操作方法成本低廉，运行方便，这可以通过相应的功能设计并采用紧凑结构而实现。此外，在单独一个转底炉内实现等温退火还可以大幅缩短气体渗碳的处理用时，从而显著缩减工件的热处理时间，特别是在以往的渗碳温度普遍而言少有达到1100℃左右的情况下。迄今为止，如此之高的渗碳温度只有利用经特殊细粒稳定处理的合金才能应用于气体渗碳，但仍存在形成粗晶粒的残余风险。需要指出的是，在本发明范围内，“保护气体”这一概念既指保护气体（用于防止待处理物料上发生非期望反应），又指反应气体（用于在待处理物料上引发期望反应）。

由于渗碳区的保护气体组成是烟灰析出和爆炸危险的主要原因，根据本发明转底炉的技术方案，在所述入口端闸区的正前方和/或内部设有用于排出保护气体的保护气体排出装置，该保护气体排出装置将渗碳区的保护气体排出炉膛。本发明的方法则相应最迟于入口端闸区内部将渗碳区的保护气体排出炉膛，以免在入口端闸区和等温退火区内的冷却过程中析出烟灰和/或发生爆炸。

根据本发明转底炉的技术方案，所述入口端闸区内部设有至少一个冷却工件的加热-冷却装置，借此加快处理速度或渗碳速度。如此一来，工件在进入所述至少一个等温退火区之前就已经在入口端闸区内被该加热-冷却装置冷却。

根据本发明方法的技术方案，在所述入口端闸区内喷入用于对流冷却工件的冷却空气和/或冷却水。这项措施可以作为在入口端闸区中设置加热-冷却装置的替代方案或补充方案，通过这项措施可以对工件的冷却用时施加重要影响。

根据本发明转底炉的另一有益方案，为了进一步消除烟灰析出和失控爆炸危险，所述至少一个等温退火区后面设有至少一个出口端闸区，该出口端闸区由一对活动门构成且可容纳至少一个工件。本发明的方法则相应是使工件穿过至少一个布置于所述至少一个等温退火区后面的出口端闸区，该出口端闸区由一对活动门构成且可容纳至少一个工件。

由于等温退火区后面一般连接至少一个其他处理区，该其他处理区可以布置在转底炉内部或外部，用于将工件重新加热至奥氏体化温度，因此就缩短处理用时而言的有益方案是：在所述至少一个出口端闸区内设有至少一个为工件加热的加热-冷却装置，或者，在所述至少一个出口端闸区内用加热-冷却装置加热工件。

根据本发明转底炉的替代性技术方案，所述至少一个等温退火区前面设有至少一个包括一对活动门的入口端闸区，后面设有至少一个包括一对活动门的出口端闸区，其中，所述入口端闸区和/或所述出口端闸区可以纯选择性地分别具有至少一个加热-冷却装置。

如果所述至少一个等温退火区后面设有至少一个加热区且该加热区包括至少一个将工件至少加热至奥氏体化温度的加热-冷却装置，就能以高效、经济的方式在转底炉内制造出具有期望性能的组织。

由于重新加热也需要使用保护气氛，且该保护气氛不同于等温退火区的保护气氛，因而有必要将这两区分开或隔开。为此，本发明的另一技术方案是：所述至少一个出口端闸区布置于所述至少一个等温退火区和所述至少一个加热区之间。

鉴于炉膛内使用不同的保护气氛，因此特别有益的方案是：所述至少一个等温退火区具有输送保护气体以对流冷却工件的保护气体输送装置，或者，为所述至少一个等温退火区输送不同于所述渗碳区的保护气体。

为了避免所述至少一个等温退火区的保护气体对经过该等温退火区之后的工件的重新加热产生不良影响，本发明设置出口端保护气体排出装置，该出口端保护气体排出装置布置在所述至少一个等温退火区后面，用于排出来自所述至少一个等温退火区的保护气体。

最后，根据本发明转底炉或本发明方法的技术方案，所述至少一个等温退火区自身具有将输送给所述至少一个等温退火区的保护气体排出的保护气体排出装置。作为可选方案，可以对从等温退火区中排出的保护气体进行再处理和冷却，并提供给保护气体输送装置重新送入所述至少一个等温退火区。所述方法则相应是将输送给所述至少一个等温退火区的保护气体从所述至少一个等温退火区中排出。作为可选方案，接下来可以在炉膛外部对这部分保护气体进行再处理和冷却，而后作为保护气体重新输送给所述至少一个等温退火区。保护气体的再处理和再度使用会对所述至少一个等温退火区的运行产生有益影响。

可以理解的是，在本发明范围内，上文中提到的以及下文还将予以阐述的特征不仅可按本申请所给出的方式进行组合，也可按其他方式组合应用或单独应用。本发明的范围仅由权利要求书定义。

附图说明

下面联系附图和附图中示范性示出的本发明优选实施例对本发明的其他技术细节、特征和优点进行说明。附图中唯一的图1为本发明的环形结构转底炉1的俯视示意图。

具体实施方式

转底炉1用于对工件2进行热处理，尤其是用于对金属工件2进行气体渗碳。转底炉1具有图1中未示出的盖板、外壁3、内壁4和回转炉底5，工件2布置在该回转炉底上。回转炉底5与内外壁4、3和盖板共同界定一炉膛6，其中，回转炉底5从底部界定炉膛6，外壁3和内壁4沿周向界定炉膛6。盖板从顶部界定炉膛6。

根据图1所示的实施方式，炉膛6具有在保护气体（吸热型气体）或保护气氛下对工件2进行碳富集处理的渗碳区7和布置在渗碳区7后面的处理区8，其中，渗碳区7就是一种类型的处理区。作为可选方案，可以将这一个渗碳区7划分成多个渗碳区。同样作为可选方案，可以在这一个渗碳区7或这些渗碳区前面设置预热区。

外壁3上设有至少一个用于为炉膛6装载和/或卸载工件2的可封闭开口9。经开口9被送入炉膛6的工件2被布置在回转炉底5上或者被布置在安装于回转炉底5的支架上，而后随可绕假想旋转轴10进行旋转调节的回转炉底5一起旋转，其中，在图示实施例中，旋转方向按逆时针方向以箭头A所指方向进行。当然，本发明的转底炉1也可以相反的旋转方向运行，此时需要对各区进行相应布置。经开口9被送入炉膛6并被布置在回转炉底5上的工件2先穿过渗碳区7，该区在相应的保护气氛下以约950℃的温度至少对工件的边缘区域进行碳富集处理。但是在这一碳富集过程中会出现前述的晶粒粗化效应。

为了应对不期望的晶粒粗化效应，本发明在转底炉1内部进行等温退火，在布置于渗碳区7后面的处理区8内进行这一等温退火。因此在图示实施例中，处理区8同时相当于等温退火区11。为了使得随回转炉底5一起旋转的工件2能够从用以在保护气体（例如含约20%的CO、约40%的H₂、约40%的N₂及其他气体作为余量的吸热型气体）下以超过900℃的温度对工件2进行碳富集处理的渗碳区7进入处理区8或等温退火区11，转底炉1具有多个门12、14、15和16，这些门例如可以竖向移动或运动并且将渗碳区7与等温退火区11分开。由门对14和15定义的等温退火区11配设加热-冷却装置17a和17b，这些加热-冷却装置在等温退火区11内部布置于内壁3和外壁4区域，其作用是使得等温退火区11内最高为720℃的温度占优势，其中，力图在等温退火区11内达到优选约为650℃的温度。也就是说，加热-冷却装置17a和17b的作用是将来自渗碳区7的工件2冷却至低于720℃的温度，以便能形成珠光体组织。

为了消除转底炉1内部析出烟灰和失控爆炸的危险，在渗碳区7和等温退火区11之间设有由活动门12和14构成的入口端闸区18。门12和14以及门15和15可竖向移动，因而在工件2从渗碳区7经入口端闸区18进入等温退火区11时，这两个区7和11之间不会发生气氛交换。在将工件运入等温退火区11之前，入口端闸区18中可容纳至少一个工件2。换言之，这对活动门12、14之间可容纳至少一个工件。如上所述，入口端闸区18的任务是分离渗碳区7和等温退火区11，以便尽量防止渗碳区7的保护气体进入等温退火区11，从而避免烟灰析出和失控爆炸。为了消除失控爆炸危险，在图示实施例中，入口端闸区18内部设有用于将来自渗碳区7的保护气体排出的保护气体排出装置19。作为替代方案，也可以在渗碳区7内在门12正前方设置保护气体排出装置，以便最大程度地避免渗碳区7的保护气体积聚于入口端闸区18。因此合理方案是，最迟于入口端闸区18内部将渗碳区7的保护气体排出炉膛6。作为可选方案，也可以将保护气体排出装置19所排出的保护气体烧掉。

本发明的转底炉1可以通过不同措施来缩短工件2的冷却过程用时。第一项可选措施是在入口端闸区18内部设置用于冷却工件2的加热-冷却装置20a和20b，但也可以仅设置两加热-冷却装置中的其中一加热-冷却装置20a或20b。第二项可选或替代措施是在入口端闸区18内喷入用于对流冷却工件2的冷却空气和/或冷却水，但此时由于存在爆炸危险，需要严格确保无空气进入等温退火区。

等温退火区11内主要用加热-冷却装置17a和17b冷却工件2。但可以用保护气体输送装置21为工件2的冷却提供支持，其中，输送给等温退火区11的保护气体的组成不同于渗碳区7的保护气体，其作用是对流冷却工件2。这种情况下也有可能析出烟灰，因此可以选择在等温退火区11内设置保护气体排出装置22。通过这项措施可以持续为等温退火区11输送新的保护气体，并且对保护气体排出装置22所排出的可能含有可燃气体的保护气体进行焚烧处理。但根据图1所示的替代方案，更节约资源的做法是保护气体排出装置22将保护气体输送装置21输送给等温退火区11的保护气体排出，在转底炉1外部相应的再处理设备中对被排出的保护气体进行再处理或净化以及冷却，而后提供给保护气体输送装置21，以便将这部分保护气体再度输送给等温退火区11。

在等温退火区11内以低于720℃的温度对工件2进行过等温退火后，在连接在后面的处理区（该处理区在此被称为加热区23）将工件2加热至800℃以上的温度，或者说加热至奥氏体化温度，以便实现再结晶。为此，布置于等温退火区11后面的加热区23具有图1中未示出的加热-冷却装置，用以将工件2加热至奥氏体化温度。

由于加热区23中的加热是在一个与渗碳区7相似但碳含量有所增加的保护气氛下进行，因而需要防止加热区23的气氛组分进入等温退火区11。为此在等温退火区11后面设置出口端闸区24。出口端闸区24在此由一对活动门15和16构成，与入口端闸区18一样也可容纳至少一个工件2。在图示实施例中，布置在等温退火区11和加热区23之间的出口端闸区24具有出口端保护气体排出装置25，该出口端保护气体排出装置布置在等温退火区11后面，用于排出来自等温退火区11的保护气体。作为替代方案，也可以将出口端保护气体排出装置25布置在出口端闸区24以外加热区23内部的门16区域，以防来自等温退火区11的保护气体在加热区23内扩散并与此处的保护气体混合。

为了进一步缩短工件2在加热区23内的再加热用时，出口端闸区24内已设有加热-冷却装置26a和26b，借此使工件2进入加热区23时的温度高于等温退火温度。

先在等温退火区11内进行等温退火，而后在加热区23内进行奥氏体化，这个过程可反复实施一次以上，这就是所谓的在一定温度范围内用于细化组织的“循环退火”。因此根据图示实施例的一种可行的变化方案，转底炉1可以多次交替使用等温退火区11和加热区23，以便制造出具有期望细粒组织且边缘区域具有相应碳含量的工件2。在此过程中必须用相应闸区分隔等温退火区11和加热区23。

综上所述，本发明涉及一种包括整合式等温退火区11的气体渗碳用转底炉1和一种在该转底炉1中进行气体渗碳处理、而后再依次进行等温退火和奥氏体化的方法。本发明的转底炉1和方法特别适合用来对表面硬化钢进行需要达到较大渗碳深度（优选大于0.8mm）、因而会出现非期望的晶粒粗化效应的气体渗碳处理。本发明的转底炉1和方法通过等温退火，而后再重新奥氏体化来消除晶粒粗化，在此过程中通过冷却应对生成烟灰的危险，以及通过在等温退火区11前后分别设置闸区18、24，借此防止渗碳气氛的组分进入等温退火区11来应对意外进氧时的爆炸危险。尽管存在上述的烟灰析出和失控爆炸危险，但借助本发明可以在单独一个转底炉1内部实现等温退火。因此，本发明在转底炉1内部设置包括加热-冷却装置17a、17b的等温退火区11，其中：

-设有两内部闸区18、24（等温退火区11前后各一个），这些闸区分别配设加热-冷却装置20a、20b和26a、26b。

-需要时可以借助保护气体输送装置21为等温退火区11额外输送用于对流冷却的冷保护气体。

-在闸区18、24内还可以用保护气体排出装置22排出可燃的保护气体，并且在需要时对这部分保护气体进行彻底的焚烧处理。

-可以选择额外排出一部分保护气体，在对这部分保护气体进行过外部冷却处理后将其作为冷却气体重新送入设备。

当然，本发明不限于所述和/或所示实施方式。显然，附图所示的实施方式可以作出大量与预期用途相关的变化，这样的变化对于本领域技术人员是显而易见的，也不超出本发明的范围。凡说明书包含的内容和/或附图中示出的内容，包括那些不同于具体实施例但对于本领域技术人员显而易见的内容在内，皆落入本发明的保护范围。

Claims (15)

1.一种用于对金属工件进行气体渗碳的环形结构转底炉(1)，其包括外壁和内壁(3，4)，所述外壁和内壁界定一炉膛(6)，所述炉膛具有至少一个在保护气体下对所述工件(2)进行碳富集处理的渗碳区(7)和至少一个布置在所述至少一个渗碳区(7)后面的处理区(8)，其中，所述外壁(3)上设有至少一个用于为所述炉膛(6)装载和/或卸载工件(2)的可封闭开口(9)，其特征在于，所述至少一个处理区(8)具有至少一个布置在所述至少一个渗碳区(7)后面的等温退火区(11)，所述等温退火区配设至少一个将所述等温退火区(11)的温度保持在最高720℃的加热-冷却装置(17a，17b)，其中，在所述至少一个渗碳区(7)和所述至少一个等温退火区(11)之间设有至少一个入口端闸区(18)，所述入口端闸区由一对活动门(12，14)构成且可容纳至少一个工件(2)，其中在所述入口端闸区(18)的正前方和/或内部设有用于排出保护气体的保护气体排出装置(19)，所述保护气体排出装置将所述渗碳区(7)的保护气体排出所述炉膛(6)，以及其中所述至少一个等温退火区(11)后面设有至少一个出口端闸区(24)，所述出口端闸区由一对活动门(15，16)构成且可容纳至少一个工件(2)。

2.根据权利要求1所述的转底炉(1)，其特征在于，所述入口端闸区(18)内部设有至少一个冷却所述工件(2)的加热-冷却装置(20a，20b)。

3.根据权利要求1或2所述的转底炉(1)，其特征在于，在所述至少一个出口端闸区(24)内设有至少一个为所述工件(2)加热的加热-冷却装置(26a，26b)。

4.根据权利要求1或2所述的转底炉(1)，其特征在于，所述至少一个等温退火区(11)后面设有至少一个加热区(23)，所述加热区包括至少一个将所述工件(2)至少加热至奥氏体化温度的加热-冷却装置。

5.根据权利要求4所述的转底炉(1)，其特征在于，所述至少一个出口端闸区(24)布置于所述至少一个等温退火区(11)和所述至少一个加热区(23)之间。

6.根据权利要求1所述的转底炉(1)，其特征在于，所述至少一个等温退火区(11)具有输送保护气体以对流冷却所述工件(2)的保护气体输送装置(21)。

7.根据权利要求6所述的转底炉(1)，其特征在于，所述至少一个等温退火区(11)具有将输送给所述至少一个等温退火区(11)的保护气体排出的保护气体排出装置(22)。

8.根据权利要求6或7所述的转底炉(1)，其特征在于，设有出口端保护气体排出装置(25)，所述出口端保护气体排出装置布置在所述至少一个等温退火区(11)后面，用于排出来自所述至少一个等温退火区(11)的保护气体。

9.一种在转底炉(1)中对工件(2)进行热处理的方法，所述转底炉包括一炉膛(6)，所述炉膛具有至少一个渗碳区(7)和至少一个布置在所述至少一个渗碳区(7)后面的处理区(8)，其中，在所述至少一个渗碳区(7)内在保护气体下以超过900℃的温度对所述工件(2)进行碳富集处理，其特征在于，在至少一个布置在所述至少一个渗碳区(7)后面且从属于所述处理区(8)的等温退火区(11)内，借助至少一个加热-冷却装置(17a，17b)将所述工件(2)冷却至低于720℃的温度以形成珠光体组织，其中，在将所述工件(2)布置于所述至少一个等温退火区(11)之前，先使其穿过至少一个布置于所述至少一个渗碳区(7)后面的入口端闸区(18)，所述入口端闸区由一对活动门(12，14)构成且可容纳至少一个工件(2)，其中最迟于所述入口端闸区(18)内部将所述渗碳区(7)的保护气体排出所述炉膛(6)，以及其中使所述工件(2)穿过至少一个布置于所述至少一个等温退火区(11)后面的出口端闸区(24)，所述出口端闸区由一对活动门(15，16)构成且可容纳至少一个工件(2)。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在所述入口端闸区(18)内用至少一个加热-冷却装置(20a，20b)冷却所述工件(2)。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，在所述入口端闸区(18)内喷入用于对流冷却所述工件(2)的冷却空气和/或冷却水。

12.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在所述至少一个出口端闸区(24)内用至少一个加热-冷却装置(26a，26b)加热所述工件(2)。

13.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，为所述至少一个等温退火区(11)输送保护气体。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，将输送给所述至少一个等温退火区(11)的保护气体从所述至少一个等温退火区(11)中排出。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，在所述炉膛(6)外部对从所述等温退火区(11)中排出的保护气体进行再处理和冷却，并作为保护气体重新输送给所述至少一个等温退火区(11)。