CN103515521B - 一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法 - Google Patents

一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103515521B
CN103515521B CN201310420775.XA CN201310420775A CN103515521B CN 103515521 B CN103515521 B CN 103515521B CN 201310420775 A CN201310420775 A CN 201310420775A CN 103515521 B CN103515521 B CN 103515521B
Authority
CN
China
Prior art keywords
alsic
substrate
copper
layers
minutes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201310420775.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN103515521A (zh
Inventor
洪晓松
李国强
张成良
刘玫潭
凌嘉辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
South China University of Technology SCUT
Huizhou NVC Lighting Technology Corp
Original Assignee
South China University of Technology SCUT
Huizhou NVC Lighting Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by South China University of Technology SCUT, Huizhou NVC Lighting Technology Corp filed Critical South China University of Technology SCUT
Priority to CN201310420775.XA priority Critical patent/CN103515521B/zh
Publication of CN103515521A publication Critical patent/CN103515521A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103515521B publication Critical patent/CN103515521B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • H01L33/641Heat extraction or cooling elements characterized by the materials
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/005Processes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/64Heat extraction or cooling elements
    • H01L33/642Heat extraction or cooling elements characterized by the shape

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
  • Led Device Packages (AREA)

Abstract

本发明公开了一种覆铜AlSiC复合散热基板,其AlSiC基板和附着在AlSiC基板上的铜层,所述铜层与AlSiC基板之间形成有铜铝尖晶石共晶界面。本发明的覆铜AlSiC复合散热基板的结构简单、散热性能好,可解决散热基板与芯片材料热膨胀不匹配的问题,使板上封装的LED芯片不易脱落,提高了LED的使用寿命,适用于低成本大功率LED的制造。

Description

一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种复合材料的散热基板,特别涉及一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法。
背景技术
随着LED向高功率发展,散热问题是LED发展过程中不容忽视的问题,这直接制约了LED的发展。如果不能通过有效地解决LED散热问题,将会降低LED的工作效率,影响LED的正常发光,最终使LED失效。
传统的封装材料包括硅基板,金属基板和陶瓷基板等。硅和陶瓷基板加工困难,成本高,热导率低;金属材料的热膨胀系数与LED芯片衬底材料不匹配,在LED工作循环多次后,容易产生热应力,造成芯片和基板间产生微小裂缝,增大热阻,最终导致脱落。因此,这些传统的封装材料很难满足封装基板的苛刻需求。
国内外新研发的散热基板材料有金属芯印刷电路板(MCPCB)、覆铜陶瓷板(DBC)和金属基低温烧结陶瓷基板(LTCC-M)。其中,金属芯印刷电路板热导率受到绝缘层的限制,热导率低,且不能实现板上封装;覆铜陶瓷板采用直接键合方式将陶瓷和金属键合在一起,提高了热导率,同时使得热膨胀系数控制在一个合适的范围,但金属和陶瓷的反应能力低,润湿性不好,使得键合难度高,界面结合强度低,易脱落;金属基低温烧结陶瓷基板对成型尺寸精度要求高,工艺复杂,也同样存在金属和陶瓷润湿性不好、易脱落的难题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种芯片不易脱落且散热性能好的覆铜AlSiC复合散热基板。
一种覆铜AlSiC复合散热基板,包括AlSiC基板和附着在AlSiC基板上的铜层,所述铜层与AlSiC基板之间形成有铜铝尖晶石共晶界面。
优选的,所述AlSiC基板的厚度为1mm~1.5mm。
优选的,所述铜层的厚度为0.3mm~0.5mm。
优选的,所述铜层是采用热熔式粘合的方法与AlSiC基板复合。
优选的,多块AlSiC基板拼装为板状附着在铜层上,相邻的AlSiC基板之间的空隙用导热胶粘剂填充。
本发明还提供了一种覆铜AlSiC复合散热基板的制备方法,该方法包括以下步骤:
将未经抛光清洗的AlSiC基板的一面抛光至镜面;
将AlSiC基板上附着的油脂等杂物清洗掉并烘干;
将AlSiC基板抛光的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,然后冷却;
将铜层的要与AlSiC基板复合的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,然后冷却;以及
将AlSiC基板抛光的一面和铜层迭压在一起进行烧结,加热段起始加热温度为280~320℃,峰值温度最高达到1000~1100℃,烧结时间为60~70分钟,炉内氧含量为20~300ppm。
优选的,清洗所述AlSiC基板上附着的油脂等杂物的方法包括:用无水乙醇通过超声波清洗仪将经过浸泡的AlSiC基板清洗10~15分钟。
优选的,在所述烧结的步骤中,多块AlSiC基板拼装为板状后与铜层迭压在一起进行烧结,烧结后,等烧结在一起的复合的多块AlSiC基板和铜层冷却后,再将烧结在一起的复合的多块AlSiC基板和铜层加热至55~65℃,用导热胶粘剂灌封多块AlSiC基板间的缝隙,待导热胶粘剂固化后冷却至室温,形成所述的覆铜AlSiC复合散热基板。
与现有技术相比,本发明具有以下优点和有益效果:
(1)本发明采用AlSiC(铝碳化硅)材料和铜制成,AlSiC复合材料由于原材料价格便宜,能近净成形复杂形状,且具有热导率高、膨胀系数可调、比刚度大、密度小,使封装结构具有功率密度高、芯片寿命长、可靠性高和质量轻等特点,在电子封装领域展现出了良好的应用前景。通过调节AlSiC复合材料的热膨胀系数,使其与LED芯片材料相匹配;采用AlSiC复合基板不但有效地解决LED芯片工作时的散热问题,同时解决了散热基板与芯片材料热膨胀不匹配的问题,使板上封装的LED芯片不易脱落,提高了LED的使用寿命,适用于低成本大功率LED的制造。
(2)本发明通过热熔式粘合的方法使铜层粘接在AlSiC基板上,形成覆铜AlSiC复合散热基板。金属铜的热导率很高,可达到383W/(m*K),远远大于AlSiC复合材料的热导率。因此覆铜能提高基板的热导率,进而增强基板的散热性能。另外,通过高温高压的方法使两种材料复合,不但可以减少粘接剂,节约成本,还可以解决粘接剂热导率不高的问题。
(3)本发明通过在铜层上热粘合AlSiC基板,可以解决AlSiC基板表面小的问题,扩大AlSiC基板的实用性。
附图说明
图1为本发明的实施例一的覆铜AlSiC复合散热基板示意图。
图2为本发明的实施例二的覆铜AlSiC复合散热基板示意图。
具体实施方式
下面结合实施例,对本发明作进一步地详细说明,但本发明的实施方式不限于此。
本发明涉及的覆铜AlSiC复合散热基板是在AlSiC基板上复合铜层,铜层与AlSiC基板之间形成有铜铝尖晶石共晶界面。其中,AlSiC基板厚度可为1~1.5mm(毫米),铜层厚度可为0.3~0.5mm,如此,可达到成本、散热性能、强度和工艺要求方面的平衡。基板太厚会降低散热性能,太薄时容易断裂。铜层太厚则成本高,太薄工艺上很难做到。
实施例一:
如图1所述,本实施例的覆铜AlSiC复合散热基板,包括AlSiC基板1和附着在AlSiC基板1上的铜层2。铜层与AlSiC基板之间形成有铜铝尖晶石共晶界面。
其中,AlSiC基板是以SiC为增强相的Al基复合材料。AlSiC基板厚度为1mm,铜层厚度为0.3mm。
本实施例的覆铜AlSiC复合散热基板的制备方法包括如下所述的步骤(1)至步骤(4)。
步骤(1),将未经抛光清洗的AlSiC基板的一面抛光至镜面,然后用无水乙醇通过超声波清洗仪将经过浸泡的AlSiC基板清洗10~15分钟,并烘干,以清除基板上附着的油脂等杂物。
步骤(2),将AlSiC基板抛光的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,使该表面上的铝形成致密的氧化铝,然后冷却备用。
步骤(3),将铜层的要与AlSiC基板复合的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,使该表面上的铜形成致密的氧化膜,然后冷却备用。
步骤(4),将AlSiC基板和铜层迭压在一起进行烧结,用氮气保护网带式烧结炉,加热段起始加热温度可为280~320℃,峰值温度最高达到1000~1100℃,烧结时间为60~70分钟分钟,炉内氧含量为20~300ppm。
实施例二:
如图2所示,本实施例的覆铜AlSiC复合散热基板,包括AlSiC基板1、铜层2和导热胶粘剂3。其中,多块AlSiC基板1拼装为板状附着在铜层2上,相邻的AlSiC基板1之间的空隙用导热胶粘剂3填充,以加强整体的强度。铜层与AlSiC基板之间形成有铜铝尖晶石共晶界面。
其中,AlSiC基板是以SiC为增强相的Al基复合材料。AlSiC基板厚度为1mm,铜层厚度为0.5mm。
本实施例的覆铜AlSiC复合散热基板的制备方法包括如下所述的步骤(1)至步骤(5)。
步骤(1),将未经抛光清洗的AlSiC基板的一个面抛光至镜面,然后用无水乙醇通过超声波清洗仪将经过浸泡的AlSiC基板清洗10~15分钟,并烘干,以清除基板上附着的油脂等杂物。
步骤(2),将AlSiC基板抛光的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,使该表面上的铝形成致密的氧化铝,然后冷却备用。
步骤(3),将铜层的要与AlSiC基板复合的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,使该表面上的铜形成致密的氧化膜,然后冷却备用。
步骤(4),按照图2所示将AlSiC基板排列,使多块AlSiC基板相互紧密相连拼装为板状,并将抛光面朝下放在氧化处理后的铜层面上,迭压在一起进行烧结。烧结时,优选采用氮气保护网带式烧结炉,加热段起始加热温度为208~320℃,峰值温度最高达到1000~1100℃,烧结时间为60~70分钟,炉内氧含量为20~300ppm。冷却备用。
步骤(5),将上述覆铜AlSiC复合散热基板加热至55~65℃,用导热胶灌封AlSiC符合基板间的缝隙,待导热胶固化后冷却至室温。
本发明为采用AlSiC材料和铜制成的复合基板。AlSiC复合材料由于原材料价格便宜,能近净成形复杂形状,且具有热导率高、膨胀系数可调、比刚度大、密度小的特性,使封装结构具有功率密度高、芯片寿命长、可靠性高和质量轻等特点,在电子封装领域展现出了良好的应用前景。通过调节AlSiC复合材料的热膨胀系数,可使其与LED芯片材料相匹配。采用覆铜AlSiC复合散热基板不但有效地解决LED芯片工作时的散热问题,同时解决了散热基板与芯片材料热膨胀不匹配的问题,使板上封装的LED芯片不易脱落,提高了LED的使用寿命,适用于低成本大功率LED的制造。
本发明通过热熔式粘合的方法使铜层粘接在AlSiC基板上,形成覆铜AlSiC复合散热基板。金属铜的热导率很高,可达到383W/(m*K),远远大于AlSiC材料的热导率(200W/(m·K)以下)。因此覆铜能提高基板的热导率,进而增强基板的散热性能。另外,通过高温高压的方法使两种材料复合,不但可以减少粘接剂,节约成本,还可以解决粘接剂热导率不高的问题。
此外,本发明通过在铜层上热粘合AlSiC基板,可以解决AlSiC基板表面小的问题,扩大AlSiC基板的实用性。
上述实施例为本发明较佳的实施方式,但本发明的实施方式并不受所述实施例的限制,其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化,均应为等效的置换方式,都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种覆铜AlSiC复合散热基板的制备方法,其特征在于包括以下步骤:
将未经抛光清洗的AlSiC基板的一面抛光至镜面;
将AlSiC基板上附着的油脂等杂物清洗掉并烘干;
将AlSiC基板抛光的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,然后冷却;
将铜层的要与AlSiC基板复合的一面用200~220℃空气热风加热10~15分钟,然后冷却;以及
将AlSiC基板抛光的一面和铜层迭压在一起进行烧结,加热段起始加热温度为280~320℃,峰值温度最高达到1000~1100℃,烧结时间为60~70分钟,炉内氧含量为20~300ppm;
在所述烧结的步骤中,多块AlSiC基板拼装为板状后与铜层迭压在一起进行烧结,烧结后,等烧结在一起的复合的多块AlSiC基板和铜层冷却后,再将烧结在一起的复合的多块AlSiC基板和铜层加热至55~65℃,用导热胶粘剂灌封多块AlSiC基板间的缝隙,待导热胶粘剂固化后冷却至室温,形成所述的覆铜AlSiC复合散热基板。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,清洗所述AlSiC基板上附着的油脂等杂物的方法包括:用无水乙醇通过超声波清洗仪将经过浸泡的AlSiC基板清洗10~15分钟。
CN201310420775.XA 2013-09-16 2013-09-16 一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法 Active CN103515521B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310420775.XA CN103515521B (zh) 2013-09-16 2013-09-16 一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310420775.XA CN103515521B (zh) 2013-09-16 2013-09-16 一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103515521A CN103515521A (zh) 2014-01-15
CN103515521B true CN103515521B (zh) 2016-06-08

Family

ID=49897911

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310420775.XA Active CN103515521B (zh) 2013-09-16 2013-09-16 一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103515521B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110634757B (zh) * 2019-09-25 2020-12-25 烟台台芯电子科技有限公司 一种晶圆背面覆铜的焊接工艺

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101322232A (zh) * 2005-12-08 2008-12-10 英特尔公司 焊料设置及薄芯片热界面材料的热处理
CN101483217A (zh) * 2009-02-04 2009-07-15 宋立峰 一种led高导热陶瓷覆铜散热电路板
CN201699011U (zh) * 2010-04-06 2011-01-05 淄博市临淄银河高技术开发有限公司 Igbt模块用低热阻陶瓷覆铜板
CN102267260A (zh) * 2010-04-28 2011-12-07 普拉特及惠特尼火箭达因公司 具有激光烧结的底板的基片
CN102569625A (zh) * 2012-01-05 2012-07-11 中国计量学院 一种大功率led散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板
CN203503711U (zh) * 2013-09-16 2014-03-26 惠州雷士光电科技有限公司 一种覆铜AlSiC复合散热基板

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4206651B2 (ja) * 2001-06-19 2009-01-14 三菱マテリアル株式会社 ヒートシンク付回路基板

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101322232A (zh) * 2005-12-08 2008-12-10 英特尔公司 焊料设置及薄芯片热界面材料的热处理
CN101483217A (zh) * 2009-02-04 2009-07-15 宋立峰 一种led高导热陶瓷覆铜散热电路板
CN201699011U (zh) * 2010-04-06 2011-01-05 淄博市临淄银河高技术开发有限公司 Igbt模块用低热阻陶瓷覆铜板
CN102267260A (zh) * 2010-04-28 2011-12-07 普拉特及惠特尼火箭达因公司 具有激光烧结的底板的基片
CN102569625A (zh) * 2012-01-05 2012-07-11 中国计量学院 一种大功率led散热用覆铜线路铝碳化硅陶瓷基板
CN203503711U (zh) * 2013-09-16 2014-03-26 惠州雷士光电科技有限公司 一种覆铜AlSiC复合散热基板

Also Published As

Publication number Publication date
CN103515521A (zh) 2014-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN203481273U (zh) 一种基于AlSiC复合基板的LED光源模块
TW201226797A (en) LED light module and LED chip
Mei et al. Thermo-mechanical reliability of double-sided IGBT assembly bonded by sintered nanosilver
CN105236982A (zh) 氮化铝增强的石墨基复合材料及制备工艺
JP5889488B2 (ja) 電子回路装置
CN103171207A (zh) 一种热沉材料及其制备方法
CN209627793U (zh) 一种散热电路板
CN203503711U (zh) 一种覆铜AlSiC复合散热基板
CN103515521B (zh) 一种覆铜AlSiC复合散热基板及其制备方法
CN101740678A (zh) 固态发光元件及光源模组
TW201810560A (zh) 功率模組及其製造方法
CN103725261A (zh) 一种具有双熔点特征的三元液态金属热界面材料
CN103057202A (zh) 层叠结构热沉材料及制备方法
CN103000590A (zh) 无底板功率模块
CN103722804B (zh) 一种具有双熔点特征的四元液态金属热界面材料
CN207185099U (zh) 一种具有散热功能的屏蔽罩
CN103247742B (zh) 一种led散热基板及其制造方法
CN103383985A (zh) 一种基于AlSiC复合基板封装的LED
CN103617967B (zh) 一种采用新型绝缘材料的电力电子模块
CN105244432A (zh) 一种led点状式cob模组及其制造方法
CN101363596A (zh) 一种led灯具的制造方法
TWI352407B (en) Composite substrate structure for high heat dissip
JP2004055577A (ja) アルミニウム−炭化珪素質板状複合体
CN220307641U (zh) 一种超高效电子学模块静态散热系统
CN203118927U (zh) 无底板功率模块

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant