CN103459158B - 液滴检测 - Google Patents
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Abstract
提供一种液滴检测器组件,该组件包括喷射液滴的喷射元件、选择性地接收从液滴散射的光的光导、以及形成在光导中以检测由光导接收的光的光检测器。
Description
背景技术
喷墨打印机是一种流体喷射装置,该装置提供经过打印头喷口的液滴按需喷射从而将图像打印在打印介质(例如一张纸)上。喷墨喷口会被堵塞并停止正确操作,并且被预期工作时不正确喷射墨水的喷口会导致可见的打印缺陷。这种打印缺陷通常被称为缺失喷口打印缺陷。
在多程印刷模式中,通过使喷墨打印头在一部分的打印页上多次通过而解决了缺失喷口打印缺陷的问题,从而为若干个喷口提供机会以便把墨水喷射到打印页的相同部分以使一个或多个缺失喷口的影响最小化。解决这种缺陷的另一种方式是推测性喷口检修,其中无论喷口是否会引起打印缺陷,打印机都会把墨水喷射入检修站以训练喷口并确保将来的功能。在单程打印模式中,通过在打印头上使用可以标示与缺失喷口相同的打印页区域的冗余喷口、或者通过检修缺失喷口以恢复完整功能,而解决了缺失喷口打印缺陷的问题。然而,这些方案的成功依赖于及时地确认缺失喷口,尤其是在单程打印模式中。
附图说明
现在将通过举例并参照附图来描述本发明的实施例,其中:
图1是根据本发明一个实施例的、适于包括如本文中所公开液滴检测器组件的示例性流体喷射装置的仰视图。
图2是根据本发明一个实施例的、如图2中所示液滴检测器组件的俯视平面图。
图3是根据本发明一个实施例的液滴检测器组件的偏移侧面剖视图,该剖面是大体上沿图2的线A-A所截取。
图4是根据本发明一个实施例的液滴检测器的偏移剖视图,该剖面是大体上沿图2的线B-B所截取。
图5A是根据本发明一个实施例的液滴检测器组件的光导的局部侧面剖视图,该光导采用透镜。
图5B是根据本发明一个实施例的液滴检测器组件的光导的局部侧面剖视图,该光导采用透镜。
图6是根据本发明一个实施例的带采用透镜的光导的液滴检测器的偏移剖视图,该剖面是沿图3的线A-A所截取。
图7示出了根据本发明一个实施例的液滴检测器组件的总体框图。
图8示出了根据本发明一个实施例的基本流体喷射装置的方框图。
具体实施方式
如上所述,不同方案在解决喷墨打印机缺失喷口打印缺陷中的成功依赖于及时地确认缺失喷口。这在单程打印模式中尤其如此,例如在页宽阵列打印装置中,其中通常不存在使喷墨打印头在一部分打印页上通过多次的选项。
新兴的喷墨打印市场(例如,高速大幅面打印)要求在不降低打印质量的情况下具有更高的页吞吐量。此性能可通过使用明显更大的打印头以及使用页宽阵列打印机的单程打印而实现。然而,单程页宽阵列打印方法的结果是传统的多程打印方案无法获得的。
在单程页宽阵列打印中,存在打印喷口被使用次数的显著增加、以及在保持喷口健康状态所需时间和墨水体积中的相应增加。在单程打印模式中用于缺失喷口打印缺陷的方案包括使用冗余喷口,这些喷口是可以标示与缺失喷口相同的页区域并且检修缺失喷口以恢复其完整功能的打印头上的其它喷口。
为了使针对缺失喷口打印缺陷的这种方案在单程打印模式中起效,必须及时地确认这些缺失喷口。甚至在多程打印环境中,暂时的喷口缺陷可以是通常仅在执行实时检测中可以校正的问题。用于确认缺失喷口的一项技术是光散射液滴检测(LSDD)法。一般来说,LSDD技术能够通过监测由喷口所喷射的液滴散射的光来评判喷口功能。LSDD技术是可扩展的、具成本效益的液滴检测方法,该方法可确认缺失喷口并且允许打印机在导致打印缺陷之前对缺失喷口加以校正。LSDD技术能够实现在采用单程打印和页宽阵列打印头的新兴高速打印市场中所需的高页吞吐量和打印质量性能。
本发明的概念通过使光检测器与打印头硅芯片上的光导相结合而改进现有的光散射液滴检测(LSDD)技术。以能够捕获与喷墨喷口所喷射液滴的存在或不存在相对应的光信号(即,散射光)的方式来排列光检测器。光导可构造成使光检测器与从相邻喷口所喷射液滴散射的光相连,但排斥从其它喷口所喷射液滴散射的光。光检测器所检测的光强度将随着与光散射液滴之间的距离而变化。因此,在使用多个光检测器的情况下,光检测器可用于确定液滴相对于特定喷口的位置、以及这种液滴的存在和不存在。
因此,整体的光检测器与光导(在本文中也被称为液滴检测器组件)使采用页宽阵列打印头的单程打印机能够执行实时液滴/喷口健康状态检测并且提高图像打印质量。然而,整体的光检测器与光导也可用于改善多程打印机的图像打印质量。
在一些示例中,液滴检测器组件包括形成在芯片基板上的用于喷射液滴的喷射元件。亦形成在基板上的光检测器可被配置在光导内,用以检测从喷射液滴散射的光。如本文中所述,光导可构造成使从特定喷口所喷射液滴散射的光与相应的光检测器相连。形成在基板上的检测器电路构造成提供与被检测的光相关的指示信号,其指示喷射液滴的存在和/或位置。
可利用透明的覆盖层来保护光检测器和光导,以便可经过透明的覆盖层检测从液滴散射的光。在一些示例中,光导可采用使光集中在光检测器上的透镜或者其它结构。这种透镜能够通过使光导的接收角变窄而获得更大的信号差异和/或可通过增加光检测器处的光强度而增强对光的有效采集。
在操作中,可利用电子控制器来控制喷射元件和光检测器。因此,光检测器可用于检测液滴穿过光束时从液滴散射的光。该方法可包括产生液滴、以及当液滴处在期望位置时由相关的光检测器产生指示信号。在采用多个光检测器的情况下,可利用指示信号对液滴位置进行三角测量,例如基于由两个、三个、四个或更多个相互间隔的光检测器所检测光强度的变化。
图1示出了适于包括如本文中所公开液滴检测器组件102的示例性流体喷射装置100的仰视图。在此示例中,流体喷射装置100是喷墨打印机,例如热喷墨打印机或者压电喷墨打印机,但也可以是其它流体喷射装置。流体喷射装置100包括具有打印喷口的阵列的打印头条104。打印头条104包括布置在两个交错的排中的多个打印头芯片106,并且各芯片包括多个独立的打印喷口108。打印头条104和打印喷口的阵列延伸横跨打印区112的宽度110,使得打印介质222(例如,一张纸;见图3)可以在相对于打印区112的宽度110的垂直方向114上移动经过喷口阵列。
各打印喷口108构造成当打印喷口相对于静止的打印头条104在垂直方向114上移动时以顺序的方式喷射墨水,从而把字符、符号和/或其它图形或图像打印在打印介质222上。因此,在此示例中,流体喷射装置(喷墨打印机)100可以被称为页宽阵列打印机,该页宽阵列打印机具有固定或静止的打印头条104和打印喷口的阵列。然而,尽管在本文中喷墨打印机100通常被描述成是页宽阵列打印机,但并不局限于页宽阵列打印机,在其它示例中也可构造成例如扫描类型的喷墨打印装置。
流体喷射装置100还包括光源116,例如准直光源。光源116可以例如是发光二极管118或者激光器,光源116可包括光学部件或者准直器120,例如透镜或弯曲的反射镜。光源116构造成发射一束光122,这束光在喷口和打印介质222之间的空间中越过打印头条104中的打印喷口阵列108。然而,光源也可位于其它位置。此外,尽管可使用任意形状的光束122,但为了说明的目的在所描述示例中示出的是矩形剖面形状的光束122(例如,见图3)。
光源116通常与液滴检测器组件102相结合地起作用,和/或作为液滴检测器组件102的一部分而起作用,光源116提供光,光被从喷射液滴散射到光导中以及光检测器上,如下所述。尽管仅图示说明并论述了单个光源116,但不同的示例可以包括其它光源,这取决于例如光源的功率、提供从喷口108中喷射的液滴对光的充分散射所需的光强度等。
图2是显示包括示例性液滴检测器组件102的流体喷射装置100的俯视平面图。如图所示,流体喷射装置100包括布置在流体缝槽202的相对侧上的多个喷口108。液滴检测器组件102使用多个光导208,这些光导208构造成使相应的光检测器214(图3和图4)与相邻喷口相连以便确定液滴的位置、以及液滴的存在/不存在。
尽管图2示出了位于各喷口108侧面的一对光导208,但可以采用其它布置。例如,两个、三个、四个或更多的喷口可在各喷口周围从而提供对从各喷口中所排出液滴位置的独立的三角测量。类似地,一组光导可与两个或更多的喷口相关从而提供对从多个喷口的任一喷口中所排出液滴(无论液滴的来源如何)的三角测量。如将在下面所作的进一步说明,液滴的三角测量可以基于由光检测器214接收的与各种光导相关的完全不同的光强度(图3和图4)。
图3是显示示例性液滴检测器组件102的偏移侧面剖视图。图3通常是沿图2的线A-A所截取。尽管喷口108(在图3中)似乎是在与光导208(和光检测器214)相同的平面内,但喷口108实际上从喷口108偏移(如通常由图2的线A-A所示)。
如图所示,液滴检测器组件102可构成流体喷射装置100的一部分,流体喷射装置100相应地包括带流体缝槽202的芯片基板200。流体缝槽202是延伸到图3的平面中的细长缝槽,并且与流体供给装置(例如储液室,未图示)流体连通。基板200可采用可由例如Si晶片利用本领域技术人员熟知的标准微加工工艺(例如,电铸、激光烧蚀、各向异性刻蚀、溅射、干法刻蚀、光刻、铸造、模压成型、冲压、和机械加工)所形成硅片基板的形式。因此,基板200可以包括特征物(例如流体缝槽202)。
室层204被设置在基板200上,该室层限定形成在其内的喷射室206,以在喷射之前容纳来自流体缝槽202的喷射流体(例如,墨水)。在本示例中,室层204还限定与喷射室206相邻的光导208。各光导208与相邻喷射室206的距离可在大约10微米至大约1000微米的范围内。更典型地,光导与相邻喷射室的距离可在大约50微米和大约250微米之间。
喷口板210被设置在室层204上,并且构成喷射室206的顶部。喷口板210包括喷口108并且还可包括与光导208相对应的开口,液滴被从喷口108喷射。室层204可由例如SU8材料形成,该材料提供对于沿光导208引导光而且合适的特性。如图3中所示,光导的特征是具有开口,该开口的直径d小于光导的深度(对应于室层204的厚度t)。具有直径小于光导深度的开口的光导将具有适于检测来自相邻喷射室的液滴但不适于检测来自更远喷射室的液滴的光接收角。
在本示例中,这些光导被透明的覆盖层230所密封,覆盖层230通常是一层可感光成像材料(例如SU8)。在其它示例中,透明的喷口板可密封光导。通过覆盖光导,可防止流体进入光导,由此改善光导操作并增加表面清洗的效果。
如图所示,通过设置喷射元件212而把液滴207从喷射室206中经过相应的喷口108喷射出来。喷射元件212可以是能够经过喷口108喷射出液滴207的任何装置,例如热电阻或者压电驱动器。在本示例中,喷射元件212是由制造在基板200顶部上(在喷射室206底部)的薄膜堆所构成的热电阻。该薄膜堆通常包括氧化物层、限定喷射元件212的金属层、导电引线和钝化层(未单独地图示)。
液滴检测器组件102还包括光检测器214,光检测器214设置在光导208内,在透明覆盖层230之下。光检测器214可以是例如光检测器、电荷耦合器件(CCD)、或者其它类似的光传感装置。在本示例中,光检测器214被制造在芯片基板200上(在光导208的底部)。光导208通常构造成接收从相关喷口的预期区域内的液滴207散射的光,但排斥从该预期区域以外的液滴散射的光。因此,该光检测器可生成表示特定光检测器的视野内存在(或不存在)液滴的电信号。也可基于由光检测器或一组光检测器所检测的光强度来确定液滴的位置和/或轨迹。
检测器电路216可与各光检测器214相关联并且也可形成在基板200上以支持各光检测器214。液滴检测器组件102还可包括正时和总线电路(未图示),其促进用于通过检测器电路216捕获散射光的正时以及用于从检测器电路读出数据的正时。
光源116从图2的平面中朝向观察者发射光束122。在本示例中,可通过选择光源而产生波长约为780纳米、850纳米或950纳米的光,这些波长已被表明适用于SU8材料的光导。如上所述,图示的光束122具有矩形的剖面形状。光束122在喷口108与打印介质222之间的空间内沿打印头条104的长度行进并越过打印喷口108的阵列(打印介质222在相对于光束122和打印头条104的垂直方向114上行进(图1))。
当喷射的液滴207行进经过光束122时,光被从液滴207散射并且向光检测器组件102散射。散射光中的一些(通常由虚线箭头218表示)穿过透明的覆盖层230沿光导208行进并且被光检测器214吸收或捕获。由于光导208的缘故,光检测器214检测被从相邻喷口喷射的液滴所散射的光,但不检测被从更远喷口喷射的液滴所散射的光。这可能由于光导208的光接收角所致,和/或由于在光导的侧壁处对光的吸收(或折射)所造成的光损失。
显然,为了使对来自液滴107的散射光的捕获最大化,光导208可位于相关喷口108的附近。尽管光导208(和光检测器214)似乎(在图3中)在基板200上,处于与喷口108相同平面内的位置,但它们实际上稍微位于喷口108的后面(即,设置在图3的平面内)并且是在比喷口108更接近光源116的位置。
图4是大致沿图2的线B-B所截取的偏移侧剖视图。尽管喷口108似乎(在图4中)是在与光导208(和光检测器214)相同的平面内,但喷口108实际上从喷口108偏移(如大致由图2的线B-B所示)。如图2中所示,图4所示的检测器组件102的视图大致垂直于图3所示的检测器组件102的视图。该视图意图利用可操作地联接到所选择喷口的一组光检测器来说明液滴位置检测。尽管在各图示的组中示出了两个光检测器,但三个或更多的光检测器(各自具有不同的视野)类似地可用于对液滴位置进行三角测量。此外,光检测器可用作一个、两个或更多的不同的光检测器组的一部分。换句话说,各光检测器可与多于一个的喷口相关联。
如上所述,光检测器214被制造在基板200上,因此位于喷口板210和室层204之下。这些光检测器也位于透明覆盖层230之下。可利用标准的CMOS工艺步骤来制作检测器214,在一个示例中该工艺使用高电阻率基板。
一般来说,光检测器214是沿基板200的长度排列,使得在液滴正确喷射时它们提供对光信号(即,散射光)的最大捕获。这可以利用用以限定各光检测器的视野的光导来实现,从而提供各光检测器对特定喷口的有效关联。当液滴处在光检测器的视野中时,相应的光检测器将检测来自该液滴的散射光。当液滴在光检测器的视野之外时,相应的光检测器将不检测来自该液滴的散射光。
在图4中,光导208a1限定视野209a1,使得从喷口108a中正确喷射的液滴207a将被光检测器214a1检测。相应地,光导208a2限定视野209a2,使得液滴207a也将被光检测器214a2检测。尽管每个光检测器具有更宽的视野,但这些光检测器具有共同的视野(在共同视野中,视野209a1与视野209a2部分重叠),其指示了正确喷射的液滴。换句话说,只有正确喷射的液滴将同时被光检测器214a1和光检测器214a2检测。因此,液滴检测器组件102可以检测正确喷射液滴的位置。
不正确喷射液滴的位置也可被液滴检测器组件102检测。如图4中所示,从喷口108a中不正确喷射的液滴207b将被光检测器214b2检测到,但将不被光检测器214b1检测到。这是因为液滴207b在光检测器214b2的视野209b2内,但不在光检测器214b1的视野209b1内。此外,基于散射光是被光检测器214b2检测而不是被光检测器214b1检测的事实,可确定液滴207b的位置在光检测器214b2的下方。可通过使用另一个光检测器(或者多个光检测器)来进一步完善位置检测从而提供更精确的共同视野(例如,在垂直于图4平面的方向上)。也可以基于各种光检测器所接收的光强度来推算液滴位置(或轨迹)。
在一些示例中,透镜可形成在光导附近从而使光导的光导接收角变窄和/或增加在光导内光检测器处的光强度。图5A示出了具有凸透镜240的光导,凸透镜240形成在光导208的入口附近。更具体地,在覆盖光导208的区域内,透镜240形成在覆盖层230的表面上。在把透明喷口板用作覆盖光导208的透明覆盖层的情况下,透镜可形成在喷口板上。
图示的透镜240可由涉及如下步骤的工艺而形成:聚合物材料(例如SU8)干膜层压在覆盖层230的外表面上、聚合物材料的曝光和显影、使经显影聚合物材料回流以形成透镜的形状、以及回流材料的紫外线和烘箱固化。此工艺将形成平凸透镜240,如图5A中所示。
透镜240也可通过以下步骤而形成:将聚合物材料(例如SU8)针板转移到覆盖层230的外表面上、使聚合物材料回流以形成透镜的形状、以及回流材料的紫外线和烘箱硬化。此工艺也将形成平凸透镜240,如图5A中所示。
在一些示例中,透镜242可形成在(或者部分地)光导内,如图5B中所示。这可通过以下步骤实现:将聚合物(例如SU8)针转移到光导中、使聚合物材料回流以形成透镜的形状、以及回流材料的紫外线和烘箱硬化。所得透镜自身可用来覆盖光导,从而排除对单独覆盖层的需要。
现在参照图6,从喷口108a中正确喷射的液滴207a当经过光束122时会形成散射光118a1和118a2。这种散射光可经由透镜光导208a1和208a2而被收集并且分别被传送至光检测器214a1和214a2。可利用透镜242(和/或透镜240)使光导的光导接收角变窄和/或增加光检测器处的光强度,由此增加信号强度。
如图所示,所接收的光被各自的光导208a1、208a2的侧壁反射,并且被集中在各自的光检测器214a1、214a2上。取决于入射角,被光导侧壁反射的光将被部分地吸收,但不足以完全消除从光检测器的视野(由光导和透镜限定)进入的光。
光强度将可预测地随着与光检测器的距离(在各光检测器视野的界限内)而变化,从而能够在多个光检测器处利用检测到的强度对液滴位置进行三角测量。例如,可基于在一对相邻光检测器214a1、214a2处的光强度来确定由喷口108a喷射的液滴在图6的平面内的位置。可利用其它光检测器来确定在垂直于图6平面的平面中的位置。
不正确喷射的液滴207b(从喷口108b中喷射出)可能在相关光检测器视野的外部,这意味着光检测器将检测不到该液滴的存在。这在图6中由散射光118b1示出,该散射光以将不被相关透镜透过的角度接近光导,或者将由于光导侧壁的反射而大致完全地被消除,因此不能到达光检测器214b1。然而,散射光118b2将更直接地进入光导208b2,因此将经历比从正确喷射液滴所散射的光更少的光损耗(由于光导侧壁的反射减少和/或由于更低的光接收角)。相应地,光检测器214b2将检测到指示散射光的更直接路径的光强度。因此仍然可以检测到液滴207b在图6的平面内的位置。
图7示出了液滴检测器组件102的总体框图,其中光检测器和光导被布置在喷口组的附近(这些喷口组可以但不必采用原来的形式)。就组件102中的各喷口组500而言,存在相应的光检测器阵列215和检测器电路216,其均形成在打印头芯片基板200上。正时和总线电路220也形成在芯片基板200上。每个喷口组500代表例如一组喷口108以及用于控制喷口的液滴喷射功能的相关电路。当检测器捕获或吸收从液滴散射的光218时,正时发生器502提供正时信号以控制各检测器电路216何时及用多长时间整合来自相应光检测器阵列215的光电流。正时发生器502基于来自打印机控制器600(图8)的打印数据608(图8)而控制光电流整合时间,这告知正时发生器502在给定的时刻哪个组500中的哪个喷口108喷射液滴。在整合时间段期间,检测器电路216整合光电流并将其转换成电压。然后,正时发生器502将电压从检测器电路216读出到模拟总线中。因此,在特定组500中的喷口108喷射液滴时的适当时间,正时发生器502重新设置适当的检测器电路216,开始和结束检测器电路216的整合时间段,并且把电压从检测器电路216读出到模拟总线中。
正时发生器502还对输出电压从各检测器电路216向模拟总线的转移设定时间并加以控制。加载到模拟总线上的各电压被模拟-数字转换器504(ADC)转换成数字值。来自各检测器电路216的数字值被置于寄存器506中,并且经串行链路508被传输至打印机控制器600。通过在对应于液滴的预期喷射时间的适当时间采集并监测散射光218或者其缺失(即,通过用打印机控制器600输出的打印数据进行相关性分析),而作出关于喷口108是否正在喷射液滴的判断。因此,例如以实时方式作出关于喷口是否被堵塞的判断。另外,从散射光218采集的信息还使得能够确定液滴的位置、尺寸和品质,这可以指示喷口中的健康水平。例如,此信息可以表明喷口是否可能被部分地堵塞。然后打印机控制器600或者打印机写出系统可以例如采取纠正措施来掩盖已退化的或不工作的打印喷口,例如通过采用打印缺陷隐藏算法。
图8示出了根据一个示例的基本流体喷射装置100的方框图。流体喷射装置100包括液滴检测器组件102和/或电子打印机控制器600。液滴检测器组件102通常包括流体喷射组件,具有共同地构成液滴检测器组件102的其它液滴检测元件。打印机控制器600通常包括用于与液滴检测器组件102通信处理器、固件和其它电子器件,从而以精确方式控制喷射液滴并且检测液滴的喷射。
在一个示例中,流体喷射装置100是喷墨打印装置。因此,流体喷射装置100还可以包括:将流体提供给液滴检测器组件102的流体/墨水供给组件602、提供用于接收喷射液滴图案的介质的介质供给组件604和电源606。一般来说,打印机控制器102接收来自主机系统(例如计算机)的打印数据608。打印数据608代表例如被打印的文件和/或文件,并且构成包含一个或多个反应任务命令和/或命令参数的打印任务。打印机控制器600根据打印数据608来限定将要喷射的液滴图案,该图案形成字符、符号和/或其它图形或图像。
Claims (15)
1.一种液滴检测器组件,包括:
喷射元件,所述喷射元件喷射液滴;
光导,所述光导选择性地接收从所述液滴散射的光;以及
光检测器,所述光检测器形成在所述光导中,以检测由所述光导接收的光。
2.如权利要求1所述的液滴检测器组件,所述液滴检测器组件还包括检测器电路以提供与被检测的光相关的信号,所述信号指示喷射液滴的状态。
3.如权利要求2所述的液滴检测器组件,所述液滴检测器组件还包括控制器以控制所述喷射元件,基于所述信号来确定所述喷射液滴的状态,并且使所述状态与所述喷射元件相关联。
4.如权利要求1所述的液滴检测器组件,其中,所述光导具有视野,所述视野对应于接收来自由所述喷射元件正确喷射的液滴的散射光。
5.如权利要求1所述的液滴检测器组件,所述液滴检测器组件还包括形成在所述光导附近的透镜,以当接收来自由所述喷射元件正确喷射的液滴的散射光时增加在所述光检测器处的光强度。
6.如权利要求1所述的液滴检测器组件,还包括光源,所述光源发射光束以使光从所述液滴散射。
7.一种用于确定喷射液滴位置的液滴检测器组件,所述液滴检测器组件包括:
基板;
形成在所述基板上的喷射元件,所述喷射元件用于喷射所述液滴;
光源,所述光源使光从所述液滴散射;
第一光导,所述第一光导形成在所述基板上且与所述喷射元件相邻,用于当所述液滴在相应的第一视野内时选择性地接收从所述液滴散射的光;
第一光检测器,所述第一光检测器形成在所述第一光导中,以检测由所述第一光导接收的光;
第二光导,所述第二光导形成在所述基板上且与所述喷射元件相邻,用于当所述液滴在相应的第二视野中时选择性地接收从所述液滴散射的光;
第二光检测器,所述第二光检测器形成在所述第二光导中,以检测由所述光导接收的光。
8.如权利要求7所述的液滴检测器组件,其中,所述第一视野与所述第二视野部分重叠从而限定共同的视野。
9.如权利要求8所述的液滴检测器组件,其中,正确喷射液滴通过所述共同的视野。
10.如权利要求7所述的液滴检测器组件,其中,所述第一光导在所述喷射元件的第一侧上并且所述第二光导在所述喷射元件的第二侧上。
11.如权利要求10所述的液滴检测器组件,其中,所述第一光导接收从位于所述喷射元件的第一侧上的液滴散射的光,但排斥从位于所述喷射元件的第二侧上的液滴散射的光。
12.如权利要求11所述的液滴检测器组件,其中,所述第二光导接收从位于所述喷射元件的第二侧上的液滴散射的光,但排斥从位于所述喷射元件的第一侧上的液滴散射的光。
13.如权利要求7所述的液滴检测器组件,所述液滴检测器组件还包括分别在所述第一光导和所述第二光导中的透镜,所述透镜用于将接收的光分别集中在所述第一光检测器和第二光检测器上。
14.一种液滴检测器组件,包括:
基板,所述基板具有形成在其上的室层,所述室层限定喷射室,所述喷射室具有形成在其内的喷射元件以喷射液滴;
光源,所述光源使光从喷射液滴散射;
光导,所述光导形成在所述室层中且与所述喷射室相邻,所述光导具有不同的部分重叠的视野,所述光导从所述不同的部分重叠的视野接收由所述液滴散射的光;
光检测器,所述光检测器形成在所述光导中,以检测由所述光导接收的光,被检测的光的强度指示与所述液滴之间的距离,以用于所述液滴的位置的三角测量。
15.如权利要求14所述的液滴检测器组件,所述液滴检测器组件还包括检测器电路和控制器,所述检测器电路提供与被检测的光相关的信号,所述控制器控制所述喷射元件并基于所述信号来确定喷射液滴的位置。
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20160413 |