CN103451614A - 车灯玻璃连续镀膜装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种车灯玻璃连续镀膜装置及方法，其装置包括呈直线式连续排列的多个真空室，第一个真空室的入口处、最后一个真空室的出口处以及任意相邻的两个真空室之间的连接处分别设有真空插板阀，各个真空室分别外接抽真空机构；多个真空室两端分别设有通过输送带连接的前旋转台和后旋转台；其方法是将车灯玻璃工件依次送入各个工艺段相应的真空室进行处理，通过前选择转台、输送带和后旋转台实现工件架的输送。本车灯玻璃连续镀膜装置呈连续式的直线结构，将各个工艺段分开在独立的真空室内进行，可使工件在较好的真空气氛内加工，避免因真空气氛被破坏或真空度达不到要求而引起的产品质量问题，有效提高工件质量，降低工件加工成本。

Description

车灯玻璃连续镀膜装置及方法

技术领域

本发明涉及车灯玻璃镀膜技术领域，特别涉及一种车灯玻璃连续镀膜装置及方法。

背景技术

传统用于车灯玻璃镀膜的设备一般为单真空室设备，工件的整个镀膜工艺（包括抽气、离子清洗、镀膜、镀保护层等）均在同一真空室内完成，由于各工序对真空室的真空度要求各不相同，因此，该设备在实际生产应用中存在以下缺陷：

（1）由于工件的整个镀膜工艺均在同一真空室内完成，使得该真空室结构复杂，真空室内的真空度也必须按最高要求设备，设备维护成本相当高；

（2）该设备只设有一个真空室，当工件加工完成后，必须打开真空室才能更换工件，这就容易破坏整个镀膜工艺的真空气氛，影响后续镀膜工艺的正常进行，也容易影响产品质量；同时，该真空室内无法完成工件表面的清洁即沉积等工艺，对工件的表面处理工艺必须采用其它专用设备完成，这就加大了工艺的复杂性，工件的表面质量也难以得到较好的控制。

（3）传统的单真空室设备中普遍采用平面靶作为镀膜靶材，由于车灯玻璃带有弧形面，所以经常存在工件表面镀膜不均匀的现象。

另外，目前常用于镀膜机真空室的真空插板阀一般为翻板式结构，即通过翻转阀板实现真空室工件通孔的启闭，但该结构的真空插板阀中，由于阀板采用翻转式，所占的空间较大，真空插板阀关闭时由于阀板靠自重挡住工件通孔，挡板底部没有相应的固定机构，其密封效果不好；另外，真空插板阀必须设于真空室内部，其加工难度大，阀板易变形，日常的维护也相当困难。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种原理简单、工件表面镀膜效果较好的车灯玻璃连续镀膜装置。

本发明的另一目的在于提供一种通过上述装置实现的车灯玻璃连续镀膜方法。

本发明的技术方案为：车灯玻璃连续镀膜装置，包括呈直线式连续排列的多个真空室，第一个真空室的入口处、最后一个真空室的出口处以及任意相邻的两个真空室之间的连接处分别设有真空插板阀，各个真空室分别外接抽真空机构；第一个真空室的入口端设有前旋转台，最后一个真空室的出口端设有后旋转台，前旋转台与后旋转台之间通过输送带连接，前旋转台、多个真空室和后旋转台之间形成连续式的循环系统。

按照玻璃工件的输送方向，所述多个真空室包括依次连接的前粗抽室、离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室、后精抽室和后粗抽室；

前粗抽室的入口处设置第一真空插板阀，前粗抽室与离子清洗室的连接处设置第二真空插板阀，离子清洗室与前精抽室的连接处设置第三真空插板阀，前精抽室与主镀膜室的连接处设置第四真空插板阀，主镀膜室与保护层镀膜室的连接处设置第五真空插板阀，保护层镀膜室与后精抽室的连接处设置第六真空插板阀，后精抽室与后粗抽室的连接处设置第七真空插板阀，后粗抽室的出口处设置第八真空插板阀；

前粗抽室外接第一抽真空机构，离子清洗室和后精抽室分别外接第二抽真空机构，前精抽室、主镀膜室和保护层镀膜室分别外接第三抽真空机构，后粗抽室外接第四抽真空机构；离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室和后精抽室分别设有独立的扩散泵，并通过扩散泵外接相应的抽真空机构。

所述主镀膜室内设有旋转式的磁控溅射靶。采用旋转式的磁控溅射靶作为镀膜靶材，可实现工件表面均匀镀膜，提高产品质量。

所述前旋转台呈圆形结构，前旋转台的圆周方向上均匀分布有多个工件架工位；后旋转台的结构与前旋转台相同；前旋转台上设有上件工位，后旋转台上设有卸件工位。前旋转台及后旋转台的结构配合多个真空室的分布，可使整个镀膜装置的结构更紧凑，形成的循环系统可有效提高设备的机械化程度，控制灵活，减少人工操作，降低误差率及人工成本。

所述真空插板阀包括阀板、阀板开关气缸和阀板锁紧机构，两个真空室的工件通孔之间为连接通道，阀板设于连接通道内，阀板开关气缸与阀板外侧面连接，阀板锁紧机构与阀板板面连接；连接通道内设有阀板运动通道，阀板运动通道贴紧于其中一个真空室的工件通孔，阀板设于阀板运动通道内。

所述阀板开关气缸设于阀板运动通道外端，阀板开关气缸的活塞末端伸入阀板运动通道，且阀板开关气缸的活塞末端与阀板外侧面连接；阀板处于关闭状态时，阀板一侧的板面封住相应真空室的工件通孔，阀板另一侧的板面与阀板锁紧机构连接。

所述阀板锁紧机构有两组，分别设于阀板板面的左右两侧；各阀板锁紧机构分别包括阀板压紧气缸、阀板压紧臂和锁紧转轴，阀板压紧气缸的活塞末端与阀板压紧臂连接，阀板压紧臂中部设置锁紧转轴；

阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂；阀板压紧臂为滚轮结构；

阀板压紧气缸的运动方向与阀板开关气缸的运动方向互相垂直。

其中，锁紧转轴的主要作用是挤压阀板，使阀板与真空室的外壁贴紧密封。为了使阀板受力更均匀，阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂。其中，辅助压紧臂的结构可与阀板压紧臂相同。此时，锁紧转轴还起到带动辅助压紧臂压紧阀板的作用。

各个真空插板阀采用相同的结构设计，可有效简化镀膜装置结构，降低镀膜装置的制造成本。各真空插板阀使用时，其原理是：当需要关闭真空插板阀时，阀板开关气缸动作，推动阀板沿着阀板运动通道运动；阀板运动至封住真空室的工件通孔后，阀板锁紧机构中的阀板压紧气缸动作，推动相应的阀板压紧臂压紧阀板顶部，阀板压紧臂带动锁紧转轴旋转并挤压阀板的板面，使阀板与工件通孔周围的真空室外壁密封连接，从而起到密封作用。设置两组阀板锁紧机构，其目的是使阀板受力平衡，有效提高其密封效果。根据阀板的实际大小，也可相应调整阀板锁紧机构的数量。

本发明通过上述装置实现一种车灯玻璃连续镀膜方法，包括以下步骤：

（1）带有车灯玻璃工件的工件架进入前旋转台上相应的工件架工位后，第一真空插板阀打开，前旋转台的旋转将工件架带入前粗抽室内，然后关闭第一真空插板阀；

（2）第一抽真空机构对前粗抽室内进行抽真空，直至前粗抽室内的真空度达到50Pa；

（3）第二真空插板阀打开，工件架进入离子清洗室，然后关闭第二真空插板阀；在离子清洗室内，工件架持续旋转，同时设于离子清洗室内的线形离子源对车灯玻璃工件进行离子清洗；第二抽真空机构通过扩散泵对离子清洗室内进行抽真空，直至离子清洗室内的真空度达到5×10^-1Pa；

（4）离子清洗结束后，工件架停止旋转；第三真空插板阀打开，工件架进入前精抽室，然后关闭第三真空插板阀；第三抽真空机构通过扩散泵对前精抽室内进行抽真空，直至前精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（5）第四真空插板阀打开，工件架进入主镀膜室，然后关闭第四真空插板阀；在主镀膜室内，工件架持续旋转，同时主镀膜室内的磁控溅射靶旋转，将镀膜材料溅射镀到车灯玻璃工件上；第三抽真空机构通过扩散泵对主镀膜室内进行抽真空，直至主镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（6）镀膜结束后，工件架停止旋转；第五真空插板阀打开，工件架进入保护层镀膜室，然后关闭第五真空插板阀；在保护层镀膜室内，工件架持续旋转，同时开启保护层镀膜源，在车灯玻璃工件表面镀上保护层；第三抽真空机构通过扩散泵对保护层镀膜室内进行抽真空，直至保护层镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（7）保护层镀膜完成后，工件架停止旋转；第六真空插板阀打开，工件架进入后精抽室，然后关闭第六真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对离子后精抽室内进行抽真空，直至后精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（8）第四抽真空机构对后粗抽室进行抽真空，直至后粗抽室内的真空度达到10Pa；然后第七真空插板阀打开，工件架进入后粗抽室，再关闭第七真空插板阀；

（9）对后粗抽室进行放气，直至后粗抽室内的气压达到大气平衡；然后打开第八真空插板阀，工件架被送至后旋转台上，再关闭第八真空插板阀；工件架在卸件工位上被送出镀膜装置。

本发明相对于现有技术，具有以下有益效果：

本车灯玻璃连续镀膜装置呈连续式的直线结构，将车灯玻璃镀膜工艺的各个工序分开，并在独立密封的真空室内进行，可使工件在较好的真空气氛内进行加工，避免因真空气氛被破坏或真空度达不到要求而引起的产品质量问题，有效提高工件质量，降低工件加工成本。

本车灯玻璃连续镀膜装置中采用的真空插板阀结构简单，使用方便，对镀膜装置中各个真空室可起到较好的隔离作用，可保证各个真空室内的真空度可达到工艺要求，方便工艺控制、装置日常维护及清洗等，可较好地保持装置中各个真空室内的真空气氛，避免因真空气氛被破坏所引起的产品质量问题；相对于传统的翻板式插板阀，该真空插板阀结构简单，占用空间小，密封效果也更好，应用后可有效简化整个镀膜装置的结构，也方便其工艺控制。

另外，本车灯玻璃连续镀膜装置采用前旋转台和后旋转台配合多个真空室，可使整个镀膜装置的结构更紧凑，形成的循环系统可有效提高设备的机械化程度，控制灵活，减少人工操作，降低误差率及人工成本。

附图说明

图1为本车灯玻璃连续镀膜装置的结构示意图。

图2为本车灯玻璃连续镀膜装置中真空插板阀的结构示意图。

图3为图2的A-A方向视图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本发明作进一步的详细说明，但本发明的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种车灯玻璃连续镀膜装置，如图1所示，包括呈直线式连续排列的多个真空室，第一个真空室的入口处、最后一个真空室的出口处以及任意相邻的两个真空室之间的连接处分别设有真空插板阀，各个真空室分别外接抽真空机构；第一个真空室的入口端设有前旋转台10，最后一个真空室的出口端设有后旋转台11，前旋转台与后旋转台之间通过输送带12连接，前旋转台、多个真空室和后旋转台之间形成连续式的循环系统。

按照玻璃工件的输送方向，多个真空室包括依次连接的前粗抽室13、离子清洗室14、前精抽室15、主镀膜室16、保护层镀膜室17、后精抽室18和后粗抽室19；

前粗抽室的入口处设置第一真空插板阀20，前粗抽室与离子清洗室的连接处设置第二真空插板阀21，离子清洗室与前精抽室的连接处设置第三真空插板阀22，前精抽室与主镀膜室的连接处设置第四真空插板阀23，主镀膜室与保护层镀膜室的连接处设置第五真空插板阀24，保护层镀膜室与后精抽室的连接处设置第六真空插板阀25，后精抽室与后粗抽室的连接处设置第七真空插板阀26，后粗抽室的出口处设置第八真空插板阀27；

前粗抽室外接第一抽真空机构28，离子清洗室和后精抽室分别外接第二抽真空机构29，前精抽室、主镀膜室和保护层镀膜室分别外接第三抽真空机构30，后粗抽室外接第四抽真空机构31；离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室和后精抽室分别设有独立的扩散泵，并通过扩散泵外接相应的抽真空机构。

其中，各抽真空机构可采用传统的抽真空装置；第一抽真空机构、第二抽真空机构和第三抽真空机构的参数根据相应真空室的真空度要求进行调整即可。

主镀膜室内设有旋转式的磁控溅射靶。磁控溅射靶可采用市面已有的磁控溅射靶，采用旋转式的磁控溅射靶作为镀膜靶材，可实现工件表面均匀镀膜，提高产品质量。

前旋转台呈圆形结构，前旋转台的圆周方向上均匀分布有多个工件架工位；后旋转台的结构与前旋转台相同；前旋转台上设有上件工位，后旋转台上设有卸件工位。前旋转台及后旋转台的结构配合多个真空室的分布，可使整个镀膜装置的结构更紧凑，形成的循环系统可有效提高设备的机械化程度，控制灵活，减少人工操作，降低误差率及人工成本。

真空插板阀包括阀板2、阀板开关气缸3和阀板锁紧机构，两个真空室的工件通孔之间为连接通道4，阀板设于连接通道内，阀板开关气缸与阀板外侧面连接，阀板锁紧机构与阀板板面连接；连接通道内设有阀板运动通道5，阀板运动通道贴紧于其中一个真空室的工件通孔6，阀板设于阀板运动通道内。

阀板开关气缸设于阀板运动通道外端，阀板开关气缸的活塞末端伸入阀板运动通道，且阀板开关气缸的活塞末端与阀板外侧面连接；阀板处于关闭状态时，阀板一侧的板面封住相应真空室的工件通孔，阀板另一侧的板面与阀板锁紧机构连接。

阀板锁紧机构有两组，分别设于阀板板面的左右两侧；各阀板锁紧机构分别包括阀板压紧气缸7、阀板压紧臂8和锁紧转轴9，阀板压紧气缸的活塞末端与阀板压紧臂连接，阀板压紧臂中部设置锁紧转轴；

阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂；阀板压紧臂为滚轮结构；

阀板压紧气缸的运动方向与阀板开关气缸的运动方向互相垂直。

其中，锁紧转轴的主要作用是挤压阀板，使阀板与真空室的外壁贴紧密封。为了使阀板受力更均匀，阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂。其中，辅助压紧臂的结构可与阀板压紧臂相同。此时，锁紧转轴还起到带动辅助压紧臂压紧阀板的作用。

各个真空插板阀采用相同的结构设计，可有效简化镀膜装置结构，降低镀膜装置的制造成本。各真空插板阀使用时，其原理是：当需要关闭真空插板阀时，阀板开关气缸动作，推动阀板沿着阀板运动通道运动；阀板运动至封住真空室的工件通孔后，阀板锁紧机构中的阀板压紧气缸动作，推动相应的阀板压紧臂压紧阀板顶部，阀板压紧臂带动锁紧转轴旋转并挤压阀板的板面，使阀板与工件通孔周围的真空室外壁密封连接，从而起到密封作用。设置两组阀板锁紧机构，其目的是使阀板受力平衡，有效提高其密封效果。根据阀板的实际大小，也可相应调整阀板锁紧机构的数量。

本实施例通过上述装置实现一种车灯玻璃连续镀膜方法，包括以下步骤：

（1）带有车灯玻璃工件的工件架1进入前旋转台10上相应的工件架工位后，第一真空插板阀20打开，前旋转台的旋转将工件架带入前粗抽室13内，然后关闭第一真空插板阀；

（2）第一抽真空机构对前粗抽室内进行抽真空，直至前粗抽室内的真空度达到50Pa；

（3）第二真空插板阀21打开，工件架进入离子清洗室14，然后关闭第二真空插板阀；在离子清洗室内，工件架持续旋转，同时设于离子清洗室内的线形离子源对车灯玻璃工件进行离子清洗；第二抽真空机构通过扩散泵对离子清洗室内进行抽真空，直至离子清洗室内的真空度达到5×10^-1Pa；

（4）离子清洗结束后，工件架停止旋转；第三真空插板阀22打开，工件架进入前精抽室15，然后关闭第三真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对前精抽室内进行抽真空，直至前精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（5）第四真空插板阀23打开，工件架进入主镀膜室16，然后关闭第四真空插板阀；在主镀膜室内，工件架持续旋转，同时主镀膜室内的磁控溅射靶旋转，将镀膜材料溅射镀到车灯玻璃工件上；第三抽真空机构通过扩散泵对主镀膜室内进行抽真空，直至主镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（6）镀膜结束后，工件架停止旋转；第五真空插板阀24打开，工件架进入保护层镀膜室17，然后关闭第五真空插板阀；在保护层镀膜室内，工件架持续旋转，同时开启保护层镀膜源，在车灯玻璃工件表面镀上保护层；第三抽真空机构通过扩散泵对保护层镀膜室内进行抽真空，直至保护层镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（7）保护层镀膜完成后，工件架停止旋转；第六真空插板阀25打开，工件架进入后精抽室18，然后关闭第六真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对离子后精抽室内进行抽真空，直至后精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（8）第四抽真空机构对后粗抽室19进行抽真空，直至后粗抽室内的真空度达到10Pa；然后第七真空插板阀26打开，工件架进入后粗抽室，再关闭第七真空插板阀；

（9）对后粗抽室进行放气，直至后粗抽室内的气压达到大气平衡；然后打开第八真空插板阀27，工件架被送至后旋转台11上，再关闭第八真空插板阀；工件架在卸件工位上被送出镀膜装置。

如上所述，便可较好地实现本发明，上述实施例仅为本发明的较佳实施例，并非用来限定本发明的实施范围；即凡依本发明内容所作的均等变化与修饰，都为本发明权利要求所要求保护的范围所涵盖。

Claims (8)

1.车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，包括呈直线式连续排列的多个真空室，第一个真空室的入口处、最后一个真空室的出口处以及任意相邻的两个真空室之间的连接处分别设有真空插板阀，各个真空室分别外接抽真空机构；第一个真空室的入口端设有前旋转台，最后一个真空室的出口端设有后旋转台，前旋转台与后旋转台之间通过输送带连接，前旋转台、多个真空室和后旋转台之间形成连续式的循环系统。

2.根据权利要求1所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，按照玻璃工件的输送方向，所述多个真空室包括依次连接的前粗抽室、离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室、后精抽室和后粗抽室；

前粗抽室的入口处设置第一真空插板阀，前粗抽室与离子清洗室的连接处设置第二真空插板阀，离子清洗室与前精抽室的连接处设置第三真空插板阀，前精抽室与主镀膜室的连接处设置第四真空插板阀，主镀膜室与保护层镀膜室的连接处设置第五真空插板阀，保护层镀膜室与后精抽室的连接处设置第六真空插板阀，后精抽室与后粗抽室的连接处设置第七真空插板阀，后粗抽室的出口处设置第八真空插板阀；

前粗抽室外接第一抽真空机构，离子清洗室和后精抽室分别外接第二抽真空机构，前精抽室、主镀膜室和保护层镀膜室分别外接第三抽真空机构，后粗抽室外接第四抽真空机构；离子清洗室、前精抽室、主镀膜室、保护层镀膜室和后精抽室分别设有独立的扩散泵，并通过扩散泵外接相应的抽真空机构。

3.根据权利要求2所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述主镀膜室内设有旋转式的磁控溅射靶。

4.根据权利要求1所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述前旋转台呈圆形结构，前旋转台的圆周方向上均匀分布有多个工件架工位；后旋转台的结构与前旋转台相同；前旋转台上设有上件工位，后旋转台上设有卸件工位。

5.根据权利要求1所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述真空插板阀包括阀板、阀板开关气缸和阀板锁紧机构，两个真空室的工件通孔之间为连接通道，阀板设于连接通道内，阀板开关气缸与阀板外侧面连接，阀板锁紧机构与阀板板面连接；连接通道内设有阀板运动通道，阀板运动通道贴紧于其中一个真空室的工件通孔，阀板设于阀板运动通道内。

6.根据权利要求5所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述阀板开关气缸设于阀板运动通道外端，阀板开关气缸的活塞末端伸入阀板运动通道，且阀板开关气缸的活塞末端与阀板外侧面连接；阀板处于关闭状态时，阀板一侧的板面封住相应真空室的工件通孔，阀板另一侧的板面与阀板锁紧机构连接。

7.根据权利要求5所述的车灯玻璃连续镀膜装置，其特征在于，所述阀板锁紧机构有两组，分别设于阀板板面的左右两侧；各阀板锁紧机构分别包括阀板压紧气缸、阀板压紧臂和锁紧转轴，阀板压紧气缸的活塞末端与阀板压紧臂连接，阀板压紧臂中部设置锁紧转轴；

阀板压紧臂设于锁紧转轴上端，锁紧转轴下端设有辅助压紧臂；阀板压紧臂为滚轮结构；

阀板压紧气缸的运动方向与阀板开关气缸的运动方向互相垂直。

8.根据权利要求2或3任一项所述装置实现一种车灯玻璃连续镀膜方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）带有车灯玻璃工件的工件架进入前旋转台上相应的工件架工位后，第一真空插板阀打开，前旋转台的旋转将工件架带入前粗抽室内，然后关闭第一真空插板阀；

（2）第一抽真空机构对前粗抽室内进行抽真空，直至前粗抽室内的真空度达到50Pa；

（3）第二真空插板阀打开，工件架进入离子清洗室，然后关闭第二真空插板阀；在离子清洗室内，工件架持续旋转，同时设于离子清洗室内的线形离子源对车灯玻璃工件进行离子清洗；第二抽真空机构通过扩散泵对离子清洗室内进行抽真空，直至离子清洗室内的真空度达到5×10^-1Pa；

（4）离子清洗结束后，工件架停止旋转；第三真空插板阀打开，工件架进入前精抽室，然后关闭第三真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对前精抽室内进行抽真空，直至前精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（5）第四真空插板阀打开，工件架进入主镀膜室，然后关闭第四真空插板阀；在主镀膜室内，工件架持续旋转，同时主镀膜室内的磁控溅射靶旋转，将镀膜材料溅射镀到车灯玻璃工件上；第三抽真空机构通过扩散泵对主镀膜室内进行抽真空，直至主镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（6）镀膜结束后，工件架停止旋转；第五真空插板阀打开，工件架进入保护层镀膜室，然后关闭第五真空插板阀；在保护层镀膜室内，工件架持续旋转，同时开启保护层镀膜源，在车灯玻璃工件表面镀上保护层；第三抽真空机构通过扩散泵对保护层镀膜室内进行抽真空，直至保护层镀膜室内的真空度达到2×10^-1Pa；

（7）保护层镀膜完成后，工件架停止旋转；第六真空插板阀打开，工件架进入后精抽室，然后关闭第六真空插板阀；第二抽真空机构通过扩散泵对离子后精抽室内进行抽真空，直至后精抽室内的真空度达到5×10^-2Pa；

（8）第四抽真空机构对后粗抽室进行抽真空，直至后粗抽室内的真空度达到10Pa；然后第七真空插板阀打开，工件架进入后粗抽室，再关闭第七真空插板阀；

（9）对后粗抽室进行放气，直至后粗抽室内的气压达到大气平衡；然后打开第八真空插板阀，工件架被送至后旋转台上，再关闭第八真空插板阀；工件架在卸件工位上被送出镀膜装置。

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