CN103364910A - 光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法 - Google Patents
光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103364910A CN103364910A CN2013101208568A CN201310120856A CN103364910A CN 103364910 A CN103364910 A CN 103364910A CN 2013101208568 A CN2013101208568 A CN 2013101208568A CN 201310120856 A CN201310120856 A CN 201310120856A CN 103364910 A CN103364910 A CN 103364910A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- optics
- mounting surface
- light
- basic components
- installation constitution
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
- G02B7/1805—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for prisms
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/1006—Beam splitting or combining systems for splitting or combining different wavelengths
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/08—Mirrors
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
- G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
一种光学部件的安装构造,其具有:光学部件,该光学部件具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;基础部件,其具有用于载置光学部件的载置面;以及粘接剂层,其存在于光学部件和基础部件的载置面之间,将光学部件与载置面固定粘接。粘接剂层含有填料,填料在光学部件与载置面之间实质上以单层的方式存在。
Description
技术领域
本发明涉及光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法。
背景技术
在日本特开2004-010758号公报中记载了用于将光学元件安装在框架上的粘接构造。在该粘接构造中,为了在将光学元件向框架粘接固定时,在光学元件与框架之间设置间隙且以较高的位置精度进行粘接,而使用高触变性的多填料型粘接剂。并且,利用低粘度的少填料型粘接剂,对粘接力较差且易发生翘起这样的多填料型粘接剂的缺点进行弥补。
另外,在日本特表2009-508159号公报中记载了信道路径选择用的光纤波长选择开关。在该波长选择开关中,在将光束横向扩大后,利用偏光旋转装置,按照该光的各波长成分进行定向。然后,将定向后的光束向与各波长成分相对应的输出端口定向。该定向是通过MEMS或LCOS阵列而进行的。在该文献中记载了下述技术,即,使用由折射率被调整后的石英形成的部件(棱镜等)作为用于使光束横向扩大的光学部件或用于将光束定向的光学部件。
例如在波长选择开关等光学装置中,在将棱镜或反射镜等光学部件固定在基础部件上时,需要高精度地控制光学部件的倾斜度。特别地,在波长选择开关中,由于光学部件的倾斜度成为选择波长的波动的原因,因此,对于光学部件的倾斜度要求极高的精度。因此,在制造上述光学装置时,例如如在日本特开2004-010758号公报中记载所示,在光学部件与基础部件之间隔开一定程度的间隔,使光学部件抬起的状态下,将粘接剂填充至该间隙中,在对光学部件的倾斜度调整后,使粘接剂硬化。
然而,如上所述,如果以使光学部件从基础部件上抬起的状态使粘接剂硬化,则在光学装置之间粘接剂的变形程度产生波动。特别地,在粘接剂中含有填料的情况下,由于填料的分布不均匀,而使上述现象变得明显。并且,由于上述变形程度的波动,因此粘接剂硬化后的光学部件的倾斜度产生波动。因此,难以高精度地控制光学部件的倾斜度。
发明内容
本发明的一个方式所涉及的光学部件的安装构造具有:光学部件,其具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;基础部件,其具有用于载置光学部件的载置面;以及粘接剂层,其存在于光学部件和基础部件的载置面之间,将光学部件与载置面固定粘接,粘接剂层含有填料,填料在光学部件与载置面之间实质上以单层的方式存在。
在该光学部件的安装构造中,粘接剂层中含有的填料在光学部件与载置面之间实质上以单层的方式存在。上述单层的填料将光学部件与基础部件的载置面之间的间隔保持固定。因此,通过该光学部件的安装构造,能够高精度地控制光学部件的倾斜度。此外,所谓实质上为单层,由于填料的破损或缺欠而产生的极小颗粒并不包含在填料层数中。另外,如上所述,含有实质上为单层的填料的粘接剂层,例如是通过在将粘接剂填充至光学部件与基础部件的载置面之间后,朝向基础部件推压(按压)光学部件而形成的。
为了抑制由温度变化引起的光学部件之间的距离变动,作为基础部件的构成材料,例如可以使用超级因伐合金(invar)这种热膨胀率较小的材料。另一方面,作为光学部件的构成材料,考虑到光的透过特性或反射特性,例如选择对折射率进行了调整的石英等。因此,有时光学部件的线膨胀系数与基础部件的线膨胀系数相差较大。即使在上述情况下,通过上述的光学部件的安装构造,也能够使得因温度变化而在光学部件与基础部件之间产生的应力被粘接剂层的树脂部分吸收,能够有效地防止光学部件的破损等。
另外,本发明的其他方式所涉及的光学部件的安装构造具有:光学部件,其具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;基础部件,其具有用于载置光学部件的载置面;以及粘接剂层,其存在于光学部件和基础部件的载置面之间,将光学部件与载置面固定粘接,粘接剂层含有填料,光学部件和载置面之间的粘接剂层的厚度小于填料的平均粒径的2倍。
如上所述,在光学部件和载置面之间的粘接剂层的厚度小于填料的平均粒径的2倍的情况下,粘接剂层中的填料可视作实质上以单层的方式存在。因此,通过该光学部件的安装构造,能够利用单层的填料将光学部件与基础部件的载置面之间的间隔保持固定,能够高精度地控制光学部件的倾斜度。
在上述的光学部件的安装构造中,填料的粒径分布的范围可以为20μm以内。这样,通过降低填料的粒径的波动,从而能够更高精度地控制光学部件的倾斜度。
在上述的光学部件的安装构造中,光学部件的线膨胀系数可以为大于或等于基础部件的线膨胀系数的10倍。这样,即使在光学部件及基础部件的各线膨胀系数相差较大的情况下,通过上述的光学部件的安装构造,也能够使得因温度变化而在光学部件与基础部件之间产生的应力被粘接剂层的树脂部分吸收,能够有效地防止光学部件的破损等。并且,如上所述,作为光学部件及基础部件的各线膨胀系数相差较大的情况,例如可以举出光学部件由玻璃制成,基础部件由因伐合金或超级因伐合金制成的情况。
在上述的光学部件的安装构造中,基础部件还可以具有以包围载置面的方式形成的槽。在基础部件具有上述槽的情况下,作为粘接剂层的状态,例如能够想到下面两种状态。一种状态是粘接剂层的外缘位于由槽包围出的区域内,另一种状态是粘接剂层的外缘到达至槽的内部。
在粘接剂层的外缘位于由槽包围出的区域内的情况下,粘接剂层的存在范围被限定在由槽包围出的区域内。因此,即使在光学部件及基础部件的各线膨胀系数相差较大的情况下,也能够将粘接剂层在沿载置面的面内方向上的伸缩程度限定为一定程度。另外,在粘接剂层的外缘到达至槽的内部的情况下,与没有设置槽的情况相比,基础部件与粘接剂层的接触面积变大。因此,能够进一步提高光学部件相对于基础部件的固定强度。
上述的光学部件的安装构造具有:多个光学部件;基础部件,其具有多个载置面;以及多个粘接剂层,它们分别存在于多个光学部件和多个载置面之间,多个光学部件可以分别与包含在多个光学部件中的其他光学部件光学耦合。根据该光学部件的安装构造,由于能够利用单层的填料将光学部件与基础部件的载置面之间的间隔保持固定,因此,能够高精度地控制光学部件的倾斜度,高精度地将光学部件之间光耦合。
本发明的一个方式所涉及的波长选择设备具有:光端口,其用于输入光;光扩大部,其将从光端口输入的光扩宽;分光元件,其将由光扩大部扩宽后的光,按照该光的各波长成分向不同的光路中分光;以及聚光透镜,其将由分光元件分光后的各波长成分的光向不同的位置聚光,光扩大部、分光元件及聚光透镜中的至少一个光学部件利用上述的任一个光学部件的安装构造,安装在基础部件上。利用该波长选择设备,能够通过包含在粘接剂层中的单层的填料将光扩大部、分光元件或聚光透镜这些光学部件与基础部件之间的间隔保持固定。因此,能够高精度地控制光扩大部、分光元件或聚光透镜这些光学部件的倾斜度,高精度地使这些光学部件光耦合。另外,由此,能够有效地抑制选择波长的波动。
在波长选择设备中,光扩大部可以由彼此光学耦合的多个棱镜构成。根据该波长选择设备,能够高精度地将光扩大部的多个棱镜光耦合。
本发明的另一个方式所涉及的光学部件的安装构造的制造方法包含下述工序:涂敷工序,在该工序中,向具有用于载置光学部件的载置面的基础部件的载置面上,涂敷含有填料的粘接剂,其中,光学部件具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;载置工序,在该工序中,将光学部件载置在载置面上;按压工序,在该工序中,通过朝向载置面按压光学部件,从而使填料在光学部件与载置面之间实质上以单层的方式存在;以及硬化工序,在该工序中,使粘接剂硬化而形成粘接剂层。
在上述的制造方法中,基础部件还具有以包围载置面的方式形成的槽,在按压工序中,粘接剂的剩余部分向槽排出。
附图说明
图1是表示第1实施方式所涉及的光学部件的安装构造的侧剖视图。
图2是光学部件的安装构造的组装图。
图3是表示填料的粒径分布的一个例子的图表。
图4是表示光学部件的安装构造的制造方法的一个例子的流程图。
图5是表示光学部件向基础部件粘接时的按压力与粘接剂层的厚度之间的关系的一个例子的图表。
图6是作为第1实施方式的变形例,示出光学部件的安装构造的结构的侧剖视图。
图7是作为第1实施方式的另一个变形例,示出光学部件的安装构造的结构的侧剖视图。
图8是作为本发明所涉及的光学部件的安装构造的第2实施方式,示出波长选择设备的结构的斜视图。
具体实施方式
下面,一边参照附图,一边对本发明所涉及的光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法的实施方式进行详细说明。此外,在附图的说明中,针对相同的要素标注相同的标号,并省略重复的说明。
(第1实施方式)图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的光学部件的安装构造10A的侧剖视图。图2是光学部件的安装构造10A的组装图。在图1、2中所示的光学部件的安装构造10A具有:基础部件(基座)20、光学部件30、粘接剂层40(在图2中省略)。基础部件20是机械地支撑光学部件30的部件,例如由金属制板状部件构成。优选基础部件20例如由线膨胀系数较小的材料(例如因伐合金或超级因伐合金等)形成,以使得光学部件30与载置在基础部件20上的其他光学部件之间的距离不随周围温度的变化而发生变动。基础部件20的线膨胀系数例如为1×10-6(/deg℃)。
基础部件20具有主面21,在主面21中包含用于载置光学部件30的载置面22。载置面22是沿规定的平面形成的大致平坦的表面,具有与和载置面22相对的光学部件30的粘接面31的形状大致相同的平面形状。载置面22的面积例如小于或等于20mm2。另外,在基础部件20的主面21上形成有槽23。槽23以包围载置面22的方式沿载置面22的外周形成,如图1所示,槽23是用于收容在形成粘接剂层40时的粘接剂的剩余部分而形成的。
光学部件30具有将光反射的光反射面及使光透过的光透过面中的至少一者。作为光学部件30可以举出棱镜、透镜或偏振分离光学元件这些光透过性的光学部件,或者反射镜或衍射光栅这些光反射性的光学部件。例如在图2中作为光学部件30而示出了具有光透过面32及33的棱镜。在光学部件30为光透过性的光学部件的情况下,作为光学部件30的构成材料,优选例如以相对于透过的光的波长具有适当的折射率的方式对成分进行了调整的玻璃(石英等)。在此情况下,光学部件30的线膨胀系数例如为大于或等于1×10-5(/deg℃),有时成为大于或等于基础部件20的线膨胀系数的10倍。光学部件30的质量例如小于或等于10克。
此外,在一个实施例中,光学部件30的光透过面(例如如图2所示的光透过面32、33)或光反射面,向与包含载置面22的基础部件20的主面21相交叉的方向(典型情况为垂直于主面21的方向)延伸,在这些光透过面或光反射面处入射/出射的光的光轴沿主面21延伸。
另外,光学部件30具有与基础部件20的载置面22相对的粘接面31。粘接面31是向与光学部件30的光透过面或光反射面交叉的方向延伸的面,沿基础部件20的载置面22延伸。
粘接剂层40存在于基础部件20的载置面22和光学部件30的粘接面31之间,是将基础部件20与光学部件30彼此固定粘接的层。粘接剂层40含有:树脂41,其通过热量或紫外线等硬化;以及填料42,其大量混入在树脂41中。树脂41主要包含例如环氧树脂、丙烯酸树脂或硅树脂这些有机材料而构成。此外,如上所述,光学部件30的线膨胀系数有时明显大于基础部件20的线膨胀系数。在上述情况下,为了缓和因周围温度的变化而在基础部件20与光学部件30之间产生的应力(包含内部应力和振动/冲击等外部应力,在沿载置面22的方向上产生),树脂41优选由即使硬化后仍具有较高伸缩性的材料而形成。填料42是由与树脂41不同的材质形成的微小固体粒状物,例如由二氧化硅、金属或Al2O3这些无机材料形成。
如图1所示,填料42在光学部件30与载置面22之间实质上以单层的方式存在。所谓单层,是指在载置面22的法线方向上,仅配置有一个填料42而未排列多个填料42的状态。因此,光学部件30与载置面22之间的粘接剂层40的厚度t,小于在该粘接剂层40中含有的填料42的粒径L的平均值的2倍。此外,所谓实质上为单层,由于填料42的破损或缺欠而产生的极小颗粒并不包含在填料42的层数中。
在此,图3是表示填料42的粒径分布的一个例子的图表。如图3所示,填料42的粒径L例如具有以平均值L0为中心的一定分布。并且,该粒径分布的范围即粒径L的最大值LMAX与最小值LMIN的差(LMAX-LMIN)优选为20μm以内的较小值。作为典型情况,优选最大值LMAX与平均值L0的差(LMAX-L0)、及平均值L0与最小值LMIN的差(L0-LMIN)彼此相等,分别为10μm以内。
这种含有实质上为单层的填料42的粘接剂层40,例如能够按照下述方式形成。图4是表示光学部件的安装构造10A的制造方法的一个例子的流程图。首先,向基础部件20的载置面22上涂敷含有树脂41及填料42的粘接剂(涂敷工序S11)。然后,将光学部件30载置在载置面22上(载置工序S12)。此时,例如向光学部件30的上表面照射激光,基于其反射光测量光学部件30的倾斜度,同时对光学部件30的倾斜度进行调整即可。另外,此时,例如通过将光学部件30的侧面向用于规定光学部件30的位置的夹具按压,同时进行光学部件30的定位,从而能够高精度地确定光学部件30的搭载位置。
然后,通过向光学部件30的上表面施加按压载荷,从而朝向基础部件20的载置面22按压光学部件30(按压工序S13)。由此,夹在光学部件30与基础部件20之间的填料42实质上成为单层。在该按压工序S14中,粘接剂的剩余部分向槽23排出即可。然后,使粘接剂硬化而形成粘接剂层40(硬化工序S14)。
在此,图5是表示光学部件30向基础部件20粘接时的按压力与粘接剂层40的厚度t之间的关系的一个例子的图表。在图5中,横轴表示按压力(单位:MPa),纵轴表示粘接剂层40的厚度t(单位:μm)。另外,折线A1是将多个粘接剂层40的厚度t的分布的平均值连结的线,线段A2表示与各按压力相对应的粘接剂层40的厚度t的分布范围。
如果参照图5,可知在按压力大约为0.013(MPa)时,厚度t的分布的平均值为100(μm),厚度t的分布范围为±20(μm)。另外,在按压力大约为0.05(MPa)时,厚度t的分布的平均值为60(μm),厚度t的分布范围为±12(μm)。另外,在按压力大约为0.07(MPa)时,厚度t的分布的平均值为53(μm),厚度t的分布范围为±7.5(μm)。相对于这些数值,在施加0.12(MPa)这种比较大的按压力的情况下,厚度t的分布的平均值变得较小,为42(μm),另外,厚度t的分布范围变得非常小,为±3(μm)。
如上所述,可知对光学部件30的按压力越大,粘接剂层40的厚度t越小,且厚度t的分布范围缩小。并且,如果按压力进一步增大,则厚度t逐渐接近填料42的粒径L(在图5中以虚线A3表示)。即,对于光学部件30的按压力越大,填料42越接近单层。在优选条件下,如果按压力为大于或等于0.1(MPa),则能够使填料42充分单层化。
对通过上述所说明的光学部件的安装构造10A及其制造方法而取得的效果进行了说明。如上所述,在光学部件的安装构造10A中,在粘接剂层40中包含的填料42在光学部件30与载置面22之间实质上以单层的方式存在。或者说,光学部件30与载置面22之间的粘接剂层40的厚度小于填料42的平均粒径的2倍。由此,能够将光学部件30与载置面22之间的间隔保持为由填料42的粒径L规定的固定值。因此,能够通过该光学部件的安装构造10A,高精度地控制光学部件30的倾斜度。
另外,为了抑制由于温度变化而引起的光学部件30与其他光学部件之间的距离的变动,作为基础部件20的构成材料,例如通常使用超级因伐合金这种热膨胀率较小的材料。另一方面,作为光学部件30的构成材料,将光的透过特性或反射特性考虑在内,例如选择对折射率进行了调整的玻璃等。因此,有时光学部件30的线膨胀系数与基础部件20的线膨胀系数相差较大。即使在上述情况下,根据本实施方式的光学部件的安装构造10A,由于温度变化而在光学部件30与基础部件20之间产生的应力被粘接剂层40的树脂部分41吸收,能够有效地防止光学部件30的破损等。
另外,如上所述,优选填料42的粒径分布的范围为20μm以内(在典型情况下,平均值±10μm以内)。如上所述,通过降低填料42的粒径L的波动,从而能够更高精度地控制光学部件30的倾斜度。
另外,如上所述,光学部件30的线膨胀系数也可以大于或等于基础部件20的线膨胀系数的10倍。这样,即使在光学部件30及基础部件20的各线膨胀系数相差较大的情况下,根据本实施方式的光学部件的安装构造10A,也能够使得因温度变化而在光学部件30与基础部件20之间产生的应力被粘接剂层40的树脂41吸收,也能够有效地防止光学部件30的破损等。
再次参照图2,在本实施方式中,形成粘接剂层40时的树脂41的剩余部分向槽23中溢出,粘接剂层40的外缘40a到达至槽23的内部。由此,与没有设置槽23的情况相比,能够增大基础部件20与粘接剂层40的接触面积。因此,能够进一步提高光学部件30相对于基础部件20的固定强度。特别地,在载置面22的周围的整体范围内粘接剂层40的外缘40a到达至槽23的内部的情况下,由槽23包围出的基础部件20的凸状部分作为固定部起作用,能够极其牢固地保持在沿载置面22的方向上的光学部件30的位置。
(变形例)图6是作为上述实施方式的变形例,示出光学部件的安装构造10B的结构的侧剖视图。本变形例所涉及的光学部件的安装构造10B与上述实施方式所涉及的光学部件的安装构造10A的不同点在于粘接剂层40是否到达至槽23。即,在本变形例中,形成粘接剂层40时的树脂41的剩余部分没有向槽23中溢出,粘接剂层40的外缘40a没有到达至槽23的内部。换言之,粘接剂层40的外缘40a位于由槽23包围出的区域内。
如上所述,在粘接剂层40的外缘40a位于由槽23包围出的区域内的情况下,粘接剂层40的存在范围限定在由槽23包围出的区域内。因此,即使在光学部件30及基础部件20的各线膨胀系数相差较大的情况下,也能够将树脂41在沿载置面22的面内方向上的伸缩程度限定为一定程度,因此,与上述实施方式相比,能够采用伸缩性较低的树脂41。
图7是作为上述实施方式的另一个变形例,示出光学部件的安装构造10C的结构的侧剖视图。本变形例所涉及的光学部件的安装构造10C与上述实施方式所涉及的光学部件的安装构造10A的不同点在于有无槽23。即,在本变形例中,在基础部件20上没有形成槽23,主面21成为平坦的面。并且,主面21的一部分作为载置面22起作用,在其上经由粘接剂层40安装有光学部件30。
如上所述,即使在基础部件20上没有形成槽23的情况下,由于粘接剂层40的填料42实质上以单层的方式存在,因此,能够取得与上述实施方式相同的作用效果。
(第2实施方式)图8是作为本发明所涉及的光学部件的安装构造的第2实施方式,示出波长选择设备50的结构的斜视图。波长选择设备50具有:多个光端口51,其用于输入/输出光P;光扩大部(光束扩展器)52,其将从光端口51输入的光P扩宽;分光元件53,其将由光扩大部52扩宽后的光P,按照光P的各波长成分向不同的光路中分光;聚光透镜54,其将由分光元件53分光后的各波长成分的光向不同的位置聚光;以及基础部件60,其支撑上述部件。
在该波长选择设备50中,如果从一个光端口51输入光P,则该光P在通过准直器阵列57后由光扩大部52扩宽。光扩大部52例如是将彼此光学耦合的多个棱镜在光轴方向上并排配置而形成的。由光扩大部52扩宽后的光P射入分光元件53。分光元件53例如由一对光透过型衍射光栅53a、53b而构成,光P依次通过这些光透过型衍射光栅53a、53b。此时,由于衍射作用而相互增强的光的出射角与光P的波长相对应而不同,因此,从光透过型衍射光栅53b射出的光P向与其波长相对应的光路输出。
这样,由分光元件53分光后的光P,在折回反射镜55上反射后,射入至聚光透镜54。随后,光P由聚光透镜54聚光且在折回反射镜56上反射,到达至MEMS反射镜阵列58。MEMS反射镜阵列58具有将多个反射面排成一列而配置的结构,各反射面的角度彼此略微不同。聚光后的光P在该MEMS反射镜阵列58的多个反射面中的与光P的波长相对应的反射面上进行反射。然后,光P沿与上述路径相反的方向行进到达至光端口51。此时,由于光P的光路因MEMS反射镜阵列58,与其每一个波长相对应而不同,因此,光P到达至多个光端口51中的与光P的波长相对应的光端口51。如上所述,将光P选择性地从与其波长相对应的光端口51输出。
在该波长选择设备50中,光扩大部52、分光元件53及聚光透镜54中的至少一个光学部件,利用第1实施方式的光学部件的安装构造10A(或者10B、10C)安装在基础部件60上。即,在设在基础部件60上的载置面上载置这些光学部件,且在这些光学部件与基础部件60的载置面之间,存在粘接剂层(相当于图1所示的粘接剂层40)。并且,该粘接剂层含有填料,该填料在光学部件与载置面之间实质上以单层的方式存在。
根据该波长选择设备50,能够通过在粘接剂层中含有的单层的填料,将光扩大部52、分光元件53或聚光透镜54这些光学部件与基础部件60之间的间隔保持为固定值。因此,能够高精度地控制光扩大部52、分光元件53或聚光透镜54这些光学部件的倾斜度,能够高精度地将这些光学部件光耦合。另外,由此,能够有效地抑制选择波长的波动。
此外,也能够将该波长选择设备50视作一种光学部件的安装构造。在此情况下,该光学部件的安装构造具有:光扩大部52、分光元件53及聚光透镜54等多个光学部件;以及基础部件60,其具有多个载置面,并且该光学部件的安装构造还具有多个粘接剂层,它们分别存在于多个光学部件与多个载置面之间。并且,多个光学部件分别与包含在该多个光学部件中的其他的光学部件光学耦合。在该光学部件的安装构造中,由于利用单层的填料将各光学部件与基础部件60的载置面之间的间隔保持为固定值,因此,能够高精度地控制各光学部件的倾斜度,高精度地使光学部件之间光耦合。
如上所述,对本发明所涉及的光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法的优选实施方式进行了说明,但本发明并不限定于上述实施方式,在不脱离其主旨的范围内能够进行各种变更。
Claims (13)
1.一种光学部件的安装构造,其具有:
光学部件,其具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;
基础部件,其具有用于载置所述光学部件的载置面;以及
粘接剂层,其存在于所述光学部件和所述基础部件的所述载置面之间,将所述光学部件与所述载置面固定粘接,
所述粘接剂层含有填料,
所述填料在所述光学部件与所述载置面之间实质上以单层的方式存在。
2.一种光学部件的安装构造,其具有:
光学部件,其具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;
基础部件,其具有用于载置所述光学部件的载置面;以及
粘接剂层,其存在于所述光学部件和所述基础部件的所述载置面之间,将所述光学部件与所述载置面固定粘接,
所述粘接剂层含有填料,
所述光学部件和所述载置面之间的所述粘接剂层的厚度小于所述填料的平均粒径的2倍。
3.根据权利要求1或2所述的光学部件的安装构造,
所述填料的粒径分布的范围为20μm以内。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学部件的安装构造,
所述光学部件的线膨胀系数为大于或等于所述基础部件的线膨胀系数的10倍。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学部件的安装构造,
所述光学部件由玻璃制成,
所述基础部件由因伐合金或超级因伐合金制成。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学部件的安装构造,
所述基础部件还具有以包围所述载置面的方式形成的槽。
7.根据权利要求6所述的光学部件的安装构造,
所述粘接剂层的外缘位于由所述槽包围出的区域内。
8.根据权利要求6所述的光学部件的安装构造,
所述粘接剂层的外缘到达至所述槽的内部。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的光学部件的安装构造,其具有:
多个所述光学部件;
所述基础部件,其具有多个所述载置面;以及
多个所述粘接剂层,它们分别存在于所述多个光学部件和所述多个载置面之间,
所述多个光学部件分别与包含在所述多个光学部件中的其他的所述光学部件光学耦合。
10.一种波长选择设备,其特征在于,具有:
光端口,其用于输入光;
光扩大部,其将从光端口输入的光扩宽;
分光元件,其将由所述光扩大部扩宽后的光,按照该光的各波长成分向不同的光路中分光;以及
聚光透镜,其将由所述分光元件分光后的各波长成分的光向不同的位置聚光,
所述光扩大部、所述分光元件及所述聚光透镜中的至少一个光学部件是利用权利要求1至9中任一项所述的光学部件的安装构造,安装在所述基础部件上的。
11.根据权利要求10所述的波长选择设备,其特征在于,
所述光扩大部由彼此光学耦合的多个棱镜构成。
12.一种光学部件的安装构造的制造方法,其包含下述工序:
涂敷工序,在该工序中,向具有用于载置光学部件的载置面的基础部件的所述载置面上,涂敷含有填料的粘接剂,其中,所述光学部件具有将光反射的反射面及使光透过的透过面中的至少一者;
载置工序,在该工序中,将所述光学部件载置在所述载置面上;
按压工序,在该工序中,通过朝向所述载置面按压所述光学部件,从而使所述填料在所述光学部件与所述载置面之间实质上以单层的方式存在;以及
硬化工序,在该工序中,使所述粘接剂硬化而形成粘接剂层。
13.根据权利要求12所述的光学部件的安装构造的制造方法,
所述基础部件还具有以包围所述载置面的方式形成的槽,
在所述按压工序中,所述粘接剂的剩余部分向所述槽排出。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012-088567 | 2012-04-09 | ||
JP2012088567A JP2013216785A (ja) | 2012-04-09 | 2012-04-09 | 光学部品実装構造、波長選択デバイス、及び光学部品実装構造の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103364910A true CN103364910A (zh) | 2013-10-23 |
Family
ID=49292107
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2013101208568A Pending CN103364910A (zh) | 2012-04-09 | 2013-04-09 | 光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130265645A1 (zh) |
JP (1) | JP2013216785A (zh) |
CN (1) | CN103364910A (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104635316A (zh) * | 2015-02-06 | 2015-05-20 | 上海索广映像有限公司 | 一种四棱镜接着治具及其工作原理 |
CN105816142A (zh) * | 2015-01-26 | 2016-08-03 | 富士胶片株式会社 | 光学装置及电子内窥镜、以及光学装置的制造方法 |
CN110658627A (zh) * | 2018-06-29 | 2020-01-07 | 精工爱普生株式会社 | 光学模块以及头部佩戴型显示装置 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9964729B2 (en) * | 2015-03-10 | 2018-05-08 | Alliance Fiber Optic Products, Inc. | Micro-optics alignment and assembly using needle pin and temporary attachment |
KR102545724B1 (ko) * | 2015-09-24 | 2023-06-20 | 엘지이노텍 주식회사 | 카메라 모듈 |
JP2017223893A (ja) * | 2016-06-17 | 2017-12-21 | 株式会社リコー | 光学装置、光学ユニット、表示装置、及びプリズム固定方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1217737A (zh) * | 1997-02-27 | 1999-05-26 | 精工爱普生株式会社 | 粘接剂、液晶装置、液晶装置的制造方法和电子装置 |
WO2008059695A1 (fr) * | 2006-11-13 | 2008-05-22 | Konica Minolta Opto, Inc. | Unité de lentille, procédé de fabrication d'unité de lentille, cône de vision de lentille, procédé de fabrication de cône de vision de lentille et dispositif de prise de vues |
US20110033151A1 (en) * | 2005-09-08 | 2011-02-10 | Oclaro (New Jersey), Inc. | Optical wavelength selective router |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6639742B2 (en) * | 2001-08-30 | 2003-10-28 | 3M Innovative Properties Company | Apparatus and methods for mounting an optical element in an optical system |
US7591561B2 (en) * | 2005-10-13 | 2009-09-22 | Nikon Corporation | Liquid cooled mirror for use in extreme ultraviolet lithography |
JP5173382B2 (ja) * | 2007-12-03 | 2013-04-03 | キヤノン株式会社 | プリズムユニット |
-
2012
- 2012-04-09 JP JP2012088567A patent/JP2013216785A/ja active Pending
-
2013
- 2013-04-05 US US13/857,697 patent/US20130265645A1/en not_active Abandoned
- 2013-04-09 CN CN2013101208568A patent/CN103364910A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1217737A (zh) * | 1997-02-27 | 1999-05-26 | 精工爱普生株式会社 | 粘接剂、液晶装置、液晶装置的制造方法和电子装置 |
US20110033151A1 (en) * | 2005-09-08 | 2011-02-10 | Oclaro (New Jersey), Inc. | Optical wavelength selective router |
WO2008059695A1 (fr) * | 2006-11-13 | 2008-05-22 | Konica Minolta Opto, Inc. | Unité de lentille, procédé de fabrication d'unité de lentille, cône de vision de lentille, procédé de fabrication de cône de vision de lentille et dispositif de prise de vues |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105816142A (zh) * | 2015-01-26 | 2016-08-03 | 富士胶片株式会社 | 光学装置及电子内窥镜、以及光学装置的制造方法 |
CN104635316A (zh) * | 2015-02-06 | 2015-05-20 | 上海索广映像有限公司 | 一种四棱镜接着治具及其工作原理 |
CN110658627A (zh) * | 2018-06-29 | 2020-01-07 | 精工爱普生株式会社 | 光学模块以及头部佩戴型显示装置 |
CN110658627B (zh) * | 2018-06-29 | 2022-08-02 | 精工爱普生株式会社 | 光学模块以及头部佩戴型显示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20130265645A1 (en) | 2013-10-10 |
JP2013216785A (ja) | 2013-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN108983369B (zh) | 用于在光子集成电路中的应用的mems倾斜反射镜 | |
CN103364910A (zh) | 光学部件的安装构造、波长选择设备及光学部件的安装构造的制造方法 | |
US11675146B2 (en) | Optical assembly and manufacturing method thereof | |
US11256047B2 (en) | Optical assembly | |
US20120002918A1 (en) | Wavelength multiplexer/demultiplexer and method of manufacturing the same | |
CN106104343B (zh) | 导光装置、制造方法以及ld模块 | |
JP2016508626A (ja) | 一体化されたフレクシャを有するモノリシック光学構成要素 | |
WO2016051836A1 (ja) | 光部品、光モジュールおよび光部品の製造方法 | |
US11391889B2 (en) | Monolithic cavity for light manipulation | |
US8659845B2 (en) | High-precision monolithic optical assemblies and methods for fabrication and alignment thereof | |
US20220057578A1 (en) | Optical Connecting Structure | |
WO2021061899A1 (en) | Photonic integrated circuit (pic) package | |
US11360266B2 (en) | Method for manufacturing optical multiplexer/demultiplexer | |
CN110447150A (zh) | 波分复用光发送模块及其制造方法 | |
JP5851794B2 (ja) | 光軸合わせ方法及び光ファイバアレイユニットの製造方法 | |
JP5287243B2 (ja) | 光送信モジュール及びその製造方法 | |
JP2008151897A (ja) | 光分波装置 | |
CN1996072A (zh) | 斜面光纤式双向光学组件 | |
JP2008046271A (ja) | 光モジュールの製造方法及び光モジュールの製造装置 | |
JP2005274700A (ja) | 光合分波器 | |
WO2021095164A1 (ja) | 光学装置 | |
JP2006349815A (ja) | 光通信装置 | |
JP2011027900A (ja) | 光ファイバモジュール、光ファイバモジュールの製造方法 | |
US20220404567A1 (en) | Optical Circuit Module | |
CN116794789A (zh) | 一种光学组件以及光学组件的制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20131023 |